DE910204C - Hochvakuummolekularpumpe - Google Patents

Hochvakuummolekularpumpe

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Publication number
DE910204C
DE910204C DEN3746A DEN0003746A DE910204C DE 910204 C DE910204 C DE 910204C DE N3746 A DEN3746 A DE N3746A DE N0003746 A DEN0003746 A DE N0003746A DE 910204 C DE910204 C DE 910204C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
high vacuum
pump
groove
rotor
molecular pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DEN3746A
Other languages
English (en)
Inventor
Adrianus Cornelis Van Dorsten
Adrianus Verhoeff
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Application granted granted Critical
Publication of DE910204C publication Critical patent/DE910204C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044Holweck-type pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

  • Hochvakuummolekularpumpe Die Erfindung betrifft eine Ilochvakuummole= kularpumpe. In der Technik werden derartige Pumpen für verschiedene Zwecke verwendet, z. B. zum Aufrechterhalten eines Vakuums bei Elektronenmikroskopen oder bei Elektronenröhren. Die bekannten Pumpen sind im allgemeinen entweder als Diffusionspumpen, beispielsweise Quecksilber-oder Öldiffusionspumpen, oder als Pumpen ausgebildet, bei denen das Vakuum durch gegenseitige Verdrängung zweier Körper, nämlich eines Läufers zum Ständer, erzeugt wird. Auf diese Art der Hochvakuumpumpen nimmt die Erfindung Bezug.
  • Derartige Pumpen weisen in bekannter Ausgestaltung einen Läufer und einen Ständer auf, .die sich beide konzentrisch eng umschließen und deren Umschlieflungsfläche kegelförmig gestaltet ist. In einem dieser Teile ist an der Umschließungsfläche eine nach dieser Fläche hin sich öffnende wendellinienförmige Pumpennut vorgesehen, die einen gegen die Saugseite hin sich vergrößernden Querschnitt aufweist.
  • Erfindungsgemäß wird bei dieser Bauart der Hocbvakuummolekularpumpe der Boden dieser wendellinienförmigen Pumpennut in der Weise ausgebildet, daß er stets im gleichen Abstand von der Umdrehungsachse liegt. Diese Bauart ermöglicht es, die Nut auf einfache Weise sehr genau anzubringen und dies mit verhältnismäßig einfachen Mitteln, indem die Nut nach Aufspannung des mit dieser Nut zu versehenden Teils auf eine Dre'hban'k durch spanabhebende Bearbeitung erzeugt und dadurch erreicht wird, daß der Boden in der gewünschten Weise in stets gleichbleibendem Abstand von der Umdreliungsac'hse verbleibt.
  • Diese Ausführung der Nut ist gegenüber den bekannten Bauarten, bei denen der Abstand des Nutbodens von der Umdrehungsachse einen sich ändernden Abstand aufweist, neu. Bei der bekannten Bauart bedingt die Herstellung der Nut größere Aufwendungen und Erschwerungen.
  • Statt Läufer und Ständer sich einmal konzentrisch eng umschließen zu lassen, kann es von Vorteil sein, den Läufer und/oder den Ständer in der Weise auszubilden, daß der eine Teil an mehreren ineinanderliegenden Kegelmantelflächen von dem anderen Teil umschlossen ist, wobei dann in jeder der kegelförmig verlaufenden Umschließungsflächen eine wendellinienförmige Pumpennut vorgesehen ist, deren Boden jeweils im gleichen Abstand von der Umdrehungsachse liegt. Dieses mehrseitige Umschließen des einen Teils durch den anderen umfaßt auch eine Bauart, bei welcher beide Teile mit mehreren sich in Richtung der Umdrehungsachse erstreckenden, sich umschließenden Schenkeln versehen sind, die an kegelförmig verlaufenden Umschließungsflächen nahe beieinander liegen und bei denen die Böden der wendellinienförmigen Pumpennuten jeweils in gleichbleibendem Abstand von der Umdrehungsachse liegen. Durch eine solche Bauart kann die Pumpenleistung verdoppelt oder z. B. vervierfacht werden, ohne daß die Länge der Hochv akuummelokularpumpe vergrößert zu werden braucht und ohne daß auch der Durchmesser dieser Pumpe übermäßig ansteigt.
  • Die Figuren der Zeichnung stellen schematisch eine Ausführungsform der Hochv akuummolekularpumpe nach der Erfindung dar.
  • Fig. i ist ein Schnitt durch eine Hochvaküummolekularpumpe, die mit einem Läufer i versehen ist. Dieser Läufer ist mit einer nach einer Seite zu geöffneten Kammer 2 versehen. Die Mantelwand des Läufers i ist sowohl auf der Innen- als auch auf der Außenseite kegelförmig gestaltet. Die Hochvakuummolekularpumpe ist mit zwei Ständern 3 und 4. versehen. Diese Ständer haben je eine schraubenlinienförmige Pumpennut 5 bzw. 6. Diese Pumpennuten können auf einfache Weise in den Ständern angebracht werden, da der Boden jeder Nut von der Achse I-1 des Läufers gleichen Abstand hat. Die Nuten weisen einen nach der Ansaugseite der Hochvakuummolekularpumpe zu größer werdenden Querschnitt auf. Dieser kann sich durch den kegelförmigen Verlauf der Umschließungsflächen ergeben. Das abzupumpende Mittel wird in Richtung der Achse des Läufers den Nuten zugeführt. Die Zufuhr erfolgt durch einen Kanal 7; die Ableitung des abgepumpten Mittels erfolgt durch einen Kanal B. Die Kammer 2 im Läufer i ist als Vorv akuumraum wirksam. Dieser Raum steht durch die Öffnungen g mit dem Kanal 8 in Verbindung. Der Läufer ist mit einer Welle io verseben, die sowohl am oberen Ende als auch am unteren Ende in einem Kugellager i i bzw. 12 gelagert ist. Das Kugellager 12 ruht- auf einer in axialer Richtung verschiebbaren Buchse 13 auf, die von einer Feder i¢ gegen den Läufer gedrückt wird. Das Kugellager i i wird am oberen Ende des Läufers unter Zuhilfenahme eines Stellbolzens 15 gehalten. Am unteren Ende des Läufers i ist der Anker 16 eines Elektromotors befestigt. Um diesen Anker herum ist der Ständer 17 angebracht.
  • Die Moleküle des im Hochväkuumraum am oberen Ende der Molekularpumpe befindlichen Mittels werden infolge der Umdrehung des Läufers in die Nuten 5 und 6 befördert, wodurch am oberen Ende der Pumpe im Kanal 7 ein Vakuum entsteht. Der Schlitzabstand zwischen der Mantelwand des Läufers i und den Ständern 3 und 4. kann unter Zuhilfenahme des Stellbolzens. 15 beliebig eingestellt werden-.-- Wenn der Druck auf der Hochv akuumseite plötzlich zunimmt, wird dies zur Folge haben, daß der Läufer in axialer Richtung belastet wird. Infolge dieser Druckzunahme wird sich der Läufer etwas in axialer - Richtung verschieben können, wodurch die Feder 14 etwas zusammengedrückt wird. Infolge dieser Verschiebung nimmt der Schlitzabstand zwischen dem Läufer und den Ständern zu, so daß ein Druckaustausch zwischen der Hochvakuumseite und der Niedervakuumseite stattfinden kann. Dadurch wird dann der Läufer durch die Spannung der Feder 1q. wieder in seine ursprüngliche Lage zurückbewegt, so daß die Pumpe unmittelbar danach im Hochvakuumraum wieder den erwünschten Unterdruck erzeugen kann. Die Hochvakuummolekularpumpe hat bei der Bauart nach der Figur die doppelte Leistung der bisher bekannten Molekularpumpen, obgleich die Länge dieser Hochvakuummolekularpumpe der Länge einer Hochvakuummolekularpumpe der bisher bekannten Art entspricht.
  • Die Hochvakuummolekularpumpe nach diesen Figuren hat Ständer, die nur mit einem einzigen Wendelelement versehen sind. Es ist ersichtlich, daß es bei diesen Ausführungsformen oft erwünscht sein wird, die Ständer nicht mit einem, sondern mit zwei oder mehreren Wendelelementen zu versehen; dies ermöglicht es, bei der gleichen Baulänge eine größere Anzahl von Nuten, z. B. 3, .I oder mehr, vorzusehen. Infolgedessen wird die Leistung der Pumpe verdrei-, vervier- oder vermehrfacht, obgleich trotzdem die Bemessung der Pumpe nicht oder nahezu nicht geändert zu werden braucht.
  • Die vorstehend beschriebene Ausführungsform der Erfindung ist mit einer schraubenlinienförmigen Pumpennut versehen. Fig. 2 stellt eine andere Ausführungsform einer wendellinienförmigen Pumpennut dar. Die wendellinienförmige Nut ist aus einer Anzahl zur Achse II-II des Läufers senkrechter Nuten 2i zusammengesetzt. Diese Nuten stellen durch die schrägen Kanäle 22 miteinander in Verbindung. Auf diese Weise entsteht eine wendellinienförmige Pumpennut.
  • Bei den dargestellten Ausführungsformen sind die Pumpennuten im Ständer angebracht; sie können jedoch auch im Läufer angebracht werden.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: r. Hochvakuummolekularpumpe mit einem Läufer und einem Ständer, wobei einer dieser Teile den anderen konzentrisch eng umschließt und die Umschließungsfläche kegelförmig gestaltet ist, wobei einer dieser Teile an der Umschließungsfläche mit einer auf diese Fläche zu geöffneten, wendellinienförmigen Pumpennut versehen ist, die einen sich nach der Saugseite zu vergrößernden Querschnitt aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden der Nut stets im gleichen Abstand von der Urndre'hungsachse liegt. a. Hochvakuummolekularpumpe nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß der Läufer und/oder der Ständer an mehreren ineinanderliegenden Kegelmantelflächen von dem anderen Teil umschlossen ist und in jeder der kegeligen Umschließungsflächen eine wendellinienförmige Pumpennut, deren Boden im gleichen Abstand von der Umdrehungsachse liegt, vorgesehen ist.
DEN3746A 1950-04-12 1951-04-08 Hochvakuummolekularpumpe Expired DE910204C (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL910204X 1950-04-12

Publications (1)

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DE910204C true DE910204C (de) 1954-04-29

Family

ID=19860004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEN3746A Expired DE910204C (de) 1950-04-12 1951-04-08 Hochvakuummolekularpumpe

Country Status (1)

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DE (1) DE910204C (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1010235B (de) * 1955-04-22 1957-06-13 Arthur Pfeiffer Fa Molekularpumpe
DE2808125A1 (de) * 1977-02-25 1978-08-31 Ultra Centrifuge Nederland Nv Molekularpumpe
EP0464292A1 (de) * 1990-07-06 1992-01-08 Alcatel Cit Zweite Stufe für mechanische Vakuumpumpeinheit und Lecküberwachungssystem zur Anwendung dieser Einheit

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1010235B (de) * 1955-04-22 1957-06-13 Arthur Pfeiffer Fa Molekularpumpe
DE2808125A1 (de) * 1977-02-25 1978-08-31 Ultra Centrifuge Nederland Nv Molekularpumpe
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