DE9013724U1

DE9013724U1 - Vorrichtung für die Behandlung von Substraten

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Publication number: DE9013724U1
Application number: DE9013724U
Authority: DE
Original assignee: Hamatech Halbleiter-Maschinenbau und Technologie 7137 Sternenfels De GmbH
Current assignee: Hamatech Halbleiter-Maschinenbau und Technologie 7137 Sternenfels De GmbH
Priority date: 1990-10-02
Filing date: 1990-10-02
Publication date: 1992-02-06
Anticipated expiration: 2000-10-03

Description

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LANDESGIROKASSE STUTTGART 2 915 076 DIPI "INC^. HANS RAIBLE

ZUGELASSENER VERTRETER BEIM EUROR PATENTAMT EUROPEAN PATENT ATTORNEY

Hamatech GmbH Stuttgart, den q 1.10.1990

ANWALTSAKTE:

7130 Mühlacker 3 H74.22D12/m

Vorrichtung für die Behandlung von Substraten

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung von Halbleitersubstraten, Masken für die Halbleiterherstellung, oder dergleichen, im folgenden Substrate genannt.

Bei der Herstellung von Halbleitern sind zahlreiche Behandlungsschritte notwendig. Teils müssen die Wafer selbst gereinigt, geätzt und entwickelt werden, und andererseits müssen die Masken für ihre Herstellung gereinigt und auch anderen Herstellungsschritten unterworfen werden. Alle diese Behandlungsschritte sind aufwendig und erfordern bislang eine Vielzahl von Geräten.

Es ist deshalb eine Aufgabe der Erfindung, hier eine Verbesserung zu schaffen.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe bei einer eingangs genannten Vorrichtung dadurch gelöst, daß zur Zuführung von unter Druck stehender Behandlungsflüssigkeit zur Prozeßkammer eine Düse vorgesehen ist, die in die Prozeßkammer einschwenkbar ist. Man erreicht so, daß einerseits diese Düse zur Hochdruckreinigung eines Substrats in der Prozeßkammer dann zur Verfügung steht, wenn sie benötigt wird, daß aber andererseits in der Prozeßkammer auch andere Behandlungen durchgeführt werden können, die von einer solchen Düse gestört oder behindert würden, wenn diese sich in der Prozeßkammer

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befände. Im letzteren Fall ist es möglich, die Düse ganz oder teilweise aus der Prozeßkammer herauszuschwenken.

Zweckmäßig wird die Düse an einer abgewinkelten Rohranordnung angeordnet. Diese Rohranordnung kann einerseits die erheblichen Kräfte aufnehmen, die bei Verwendung hoher Drücke auftreten, und sie kann andererseits dazu dienen, der Düse die benötigte Behandlungsflüssigkeit zuzuführen.

Die abgewinkelte Rohranordnung wird mit Vorteil auf einem verdrehbaren Teil angeordnet, welches eine von der horizontalen abweichende Drehachse aufweist. Diese Drehachse verläuft mit Vorteil etwa vertikal.

Mit Vorteil wird dieses verdrehbare Teil mit einer Lageranordnung versehen, welche einen Abschnitt der abgewinkelten Rohranordnung in der Weise lagert, daß dieser Abschnitt in dieser Lageranordnung um seine Längsachse oder eine hierzu parallele Achse verdrehbar ist. Dabei wird mit großem Vorteil dieser Lageranordnung eine Drehvorrichtung zur Drehung des dort gelagerten Abschnitts der Rohranordnung zugeordnet.

Eine sehr vorteilhafte Ausgestaltung ist ferner dadurch gekennzeichnet, daß der Düse eine Antriebsvorrichtung zugeordnet ist, welche nach dem Einschwenken in die Prozeßkammer eine oszillierende Bewegung der Düse über dem Substrat ermöglicht. Man kann dann die Düse in oszillierenden Bewegungen über dem Substrat hin- und herführen und das Substrat dadurch an allen Stellen gleich intensiv säubern. Dabei ist es dann besonders vorteilhaft, wenn in der Prozeßkammer ein Motor vorgesehen ist, welcher eine Rotation des Substrats unter der in die Prozeßkammer eingeschwenkten Düse ermöglicht.

Ferner wird die Vorrichtung mit großem Vorteil so ausgebildet, daß zum Abführen der durch die Düse in die Prozeßkammer eingebrachten Behandlungsflüssigkeit nach deren Einwirkung auf das Substrat, und des von der Behandlungsflüssigkeit gebildeten Nebels, im unteren Bereich der Prozeßkammer eine Rinne mit einem Ablauf vorgesehen ist, welcher Rinne ein Umlenkelement in der Weise zugeordnet ist, daß die Flüssigkeit und der Nebel aus der Prozeßkammer durch diese Rinne hindurch umgeleitet und dabei die Flüssigkeit mindestens teilweise in der Rinne abgeschieden wird. Man erreicht so, daß die Behandlungsflüssigkeit nach dem Aufbringen auf das Substrat in einfacher Weise wieder gesammelt und entsorgt werden kann.

Weitere Einzelheiten und vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den im folgenden beschriebenen und in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen, sowie aus den verschiedenen Ansprüchen. Es zeigt:

Fig. 1 eine raumbildliche Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und ihrer Prozeßkammer, wobei sich die Türe der Prozeßkammer in ihrer Offenstellung befindet,

Fig. 2 eine Darstellung analog Fig. 1, bei der sich aber die Türe der Prozeßkammer in ihrer Schließstellung befindet,

Fig. 3 eine stark schematisierte Darstellung eines Teils der Prozeßkammer und der Türe, welche die Querschnittsform der Türe und deren Lage im geöffneten Zustand zeigt,

Fig. 4 eine Darstellung der Vorrichtung, gesehen längs der Linien IV-IV der Fig. 5 oder der Fig. 9, wobei Fig. 4 die Vorrichtung in einem nur teilweise montierten Zustand zeigt, z.B. ohne die Aufspannvorrichtung für das zu behandelnde Substrat, ohne den Motor für den Antrieb der Aufspannvorrichtung, etc.,

Fig. 5 einen Schnitt, gesehen längs der Linie V-V der Fig. 4, wobei aber im Unterschied zu Fig. 4 der Motor für den Antrieb der Aufspannvorrichtung und die diesem zugeordneten Teile dargestellt sind, um die Strömung in diesem Bereich besser darstellen zu können; Fig. 5 ist in einem größeren Maßstab dargestellt als Fig. 4,

Fig. 6 eine Draufsicht auf eine typische, mit Vakuum betätigte Aufspannvorrichtung für ein Substrat,

Fig. 7 einen Schnitt durch den oberen Abschnitt der Prozeßkammer, gesehen längs der Linie VII-VII der Fig. 4,

Fig. 8 eine Draufsicht von oben auf die Prozeßkammer, gesehen längs des Pfeiles VIII der Fig. 7; die Aufspannvorrichtung ist in Fig. 8 nicht dargestellt; der Maßstab der Figuren 7 und 8 ist größer als derjenige der Figur 4 oder der Fig. 5, um Einzelheiten besser darstellen zu können,

Fig. 9 eine teilweise geschnitten dargestellte Vorderansicht der Prozeßkammer, gesehen in Richtung des Pfeiles IX der Fig. 4; Fig. 9 ist in einem größeren Maßstab dargestellt als Fig. 4,

Fig. 10 eine Darstellung einer winkelverstellbaren Spritzdüse, wie sie in mittleren Bereich der Prozeßkammer verwendet wird; Fig. 10 zeigt drei mögliche Stellungen dieser Düse, um die Verstellbarkeit zu veranschaulichen; die Spritzdüse ist im eingebauten Zustand dargestellt,

Fig. 11 eine teilweise geschnittene, raumbildliche Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, die hier mit einer verstellbaren Vorrichtung zum Einspritzen von Behandlungsmedien versehen ist,

Fig. 12 eine teilweise geschnittene, raumbildliche Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, welche schematisch den Verlauf der Strömungen innerhalb der Vorrichtung zeigt, wenn sich diese im Betrieb befindet,

Fig. 13 eine raumbildliche Darstellung eines Abflußschiebers mit drei verschiedenen Drehstellungen, entsprechend drei verschiedenen Prozeßflüssigkeiten, die getrennt entsorgt werden sollen,

Fig. 14 einen Längsschnitt durch den Abflußschieber der Fig. 13, gesehen längs der Linie XIV - XIV der Fig. 16,

Fig. 15 einen abgewickelten (gestreckten) Schnitt durch die stationäre Grundplatte des Abflußschiebers, gesehen längs der Linie XV-XV der Fig. 16,

Fig. 16 eine Draufsicht auf die stationäre Grundplatte des Abflußschiebers, gesehen in Richtung des Pfeiles XVI der Fig. 15,

Fig. 17 ein Diagramm einer bevorzugten Mikroprozessorsteuerung der Vorrichtung,

Fig. 18 eine Draufsicht von oben auf eine bevorzugte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung,

die hier zusätzlich mit einer Hochdruck-Reinigungsvorrichtung versehen ist, mit der eine Behandlungsflüssigkext unter hohem Druck auf das Substrat gespritzt werden

Fig. 19 eine raumbildliche Darstellung, bei der

der Deutlichkeit halber die Türe 35 und ihre Antriebsvorrichtung nicht dargestellt sind; diese Darstellung zeigt, wie ein etwa rechtwinklig ausgebildeter Arm der Hochdruckvorrichtung durch einen seitlichen Schlitz der Prozeßkammer in waagerechter Lage in diese eingeführt wird,

Fig. 20 eine raumbildliche Darstellung analog Fig. 19, welche zeigt, wie der Arm der Hochdruckvorrichtung nach unten geklappt wird, nachdem er in den seitlichen Schlitz der Prozeßkammer eingeschwenkt worden ist, und

Fig. 21 eine raumbildliche Darstellung analog Fig. 19 und 20, welche zeigt, wie der eingeschwenkte und nach unten geklappte Arm der Hochdruckvorrichtung über dem Substrat oszillierend hin- und herbewegt wird, um dieses mit Hochdruck zu säubern.

Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung 10, deren wesentliches Teil eine Prozeßkammer 11 ist.

Außer dieser Prozeßkammer 11 und dem ihr zugeordneten, unter ihr befindlichen geschlossenen Behälter 12, der die aus der Prozeßkammer abströmenden Dämpfe aufnimmt, enthält die Vorrichtung 10 noch Vorratsräume für Behandlungsflüssigkeiten, ein Steuerpult 14 mit einer programmierbaren Mikroprozessorsteuerung (Fig.

17) und entsprechenden, nicht dargestellten Anzeigeinstrumenten und Eingabevorrichtungen, sowie je nach Anwendung weitere Zusatzgeräte, von denen eines in Fig. 11 dargestellt ist. Diese Zusatzgeräte stellen Optionen dar, die je nach der Verwendung der Vorrichtung 10 vom Kunden zusätzlich gekauft werden können. Die erfindungsgemäße Vorrichtung erlaubt so einen modularen Ausbau entsprechend den Bedürfnissen des Benutzers.

In der Prozeßkammer 11 befindet sich eine Aufspannvorrichtung 15, auch Chuck genannt, und auf dieser ist ein zu behandelndes Substrat 16 befestigt, z.B. durch Ansaugen mit Vakuum. Durch einen in Fig. 5 dargestellten, stufenlos regelbaren Motor 17 kann der Chuck 15 sowie das auf ihm befindliche Substrat 16 - mit einer Drehzahl angetrieben werden, die z.B. zwischen Null und 5.000 U/min liegt und die durch den bereits erwähnten Mikroprozessor steuerbar ist.

Bei dem Substrat 16 kann es sich z.B. handeln um Chrommasken oder Chromoxidmasken oder Eisenoxidmasken für die Halbleiterherstellung, um Wafer, oder um sonstige spezielle Substrate, die z.B. in dieser Vorrichtung gereinigt, geätzt oder entwickelt werden sollen.

Je nach Ausbau werden in der Prozeßkammer 11 vor allem folgende Schritte ausgeführt:

Reinigung mit Säure: H₂O₂ZH₂SO₄ für Chrommasken; HNO3 für Eisenoxidmasken; Reinigung mit Lösungsmitteln, z.B. mit Ketonen oder mit Alkohol; Reinigung mit einer Bürste (Sonderausstattung); Hochdruckreinigung (Sonderausstattung); resist stripping mit nachfolgender Reinigung; Ätzen; Entwickeln. Andere Anwendungen sind selbstverständlich nicht ausgeschlossen.

Insbesondere können in der Prozeßkammer 11 auch mehrere der vorgenannten Schritte nacheinander ausgeführt werden, ohne daß dazu das Substrat 16 aus der Prozeßkammer herausgenommen werden muß, und dies stellt in der Praxis eine große Arbeitsersparnis dar. Die erfindungsgemäße Vorrichtung enthält eine Vielzahl an Sicherheitsmerkmalen, die auch bei solchen aufeinanderfolgenden Prozeßschritten gewährleisten, daß sich keinerlei sicherheitsgefährdende Momente ergeben. Dies geschieht insbesondere durch gegenseitige Verriegelung von Prozeßschritten, und dadurch, daß diese durch Spülungen mit deionisiertem Wasser voneinander zeitlich getrennt werden.

Die Prozeßkammer 11 bildet in ihrem unteren Abschnitt 21 (Fig. 5) eine Art Topf mit einer durchgehenden, zylindrischen Wand 21', die also den Chuck 15 und das Substrat 16 radial durchgehend umgibt. Dieser Abschnitt 21 kann auch als Prozeßtopf 21 bezeichnet werden. Die Wand 21' geht unten auf ihrer Innenseite über in ein mit ihr dicht verbundenes kreisringförmiges

Teil 22, das eine Rinne'23 bildet, welche in Fig. .',. ..' 5 ein Gefälle von rechts nach links hat, so daß Flüssigkeit in ihr zu einem Auslauf 24 und von diesem über eine Leitung 25 (Fig. 12) zu einem Abflußschieber 26 (Fig.

12 bis 16) strömt. Je nach Art der verwendeten Behandlungsflüssigkeit wird diese mittels des Abflußschiebers 26 zu einer von drei Abflußleitungen A, B und C geleitet, von denen z.B. die Leitung A für Wasser, die Leitung B für Säuren und die Leitung C für organische Lösungsmittel bestimmt ist. Entsprechende Aufnahmebehälter können an diese Leitungen A, B bzw. C angeschlossen werden.

Der Abflußschieber 26 ist durch die elektronische Steuerung (Fig. 17) zwangsverriegelt mit der Art der Behandlung des Substrats 16: Wenn dieses mit Säure behandelt werden soll, ist die Säurezufuhr so lange gesperrt, bis die Leitung 25 durch den Abflußschieber 26 mit der Leitung B verbunden ist. Dasselbe gilt analog für organische Lösungsmittel: Deren Zufuhr zum Substrat 16 kann erst dann eingeschaltet werden, wenn die Leitung 25 durch den Abflußschieber 26 mit der Leitung C verbunden ist.

Durch diese Trennung der Abflüsse erst am Ausgang der Vorrichtung 10 ist es möglich, die Installation im Inneren der Vorrichtung 10 äußerst einfach und übersichtlich zu halten und die Fehleranfälligkeit stark zu reduzieren. Außerdem sind Reparaturen sehr leicht möglich, da der Abflußschieber 26 bevorzugt an einer Wand, hier der Rückwand 28, der Vorrichtung angeordnet wird, vgl. Fig. 12, und deshalb von dort aus sehr leicht ausgewechselt oder repariert werden kann.

Oberhalb des topfartigen Abschnitts 21, der bei dieser Ausführungsform etwa ein Drittel der Gesamthöhe der Prozeßkammer 11 einnehmen kann, hat die Prozeßkammer 11 auf ihrer dem Bedienungspult 14 zugewandten Seite eine senkrecht verlaufende öffnung 30, die im nicht

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verschlossenen Zustand einen freien seitlichen Zugang" zum Substrat 16 bzw. zum Chuck 15 ermöglicht. Diese öffnung 30 wird seitlich begrenzt durch zwei zueinander parallele senkrechte Begrenzungswände 31 und 32, deren dem Bedienungspult 14 zugewandte vordere Kanten 31' bzw, 32' hier bevorzugt senkrecht verlaufen und mit den hierzu komplementär ausgebildeten Seitenelementen 33 bzw. 34 einer Türe 35 zusammenwirken, wie das Fig. 3 an einer schematischen Darstellung besonders gut zeigt. Diese Seitenelemente 33 und 34 der Türe 35 haben jeweils einen U-förmigen Querschnitt, der die zugeordnete Begrenzungswand 31 bzw. 32 nach Art einer Labyrinthdichtung umschließt und dadurch eine gute Abdichtung bewirkt.

Fig. 1 zeigt die Türe 35 in ihrem geöffneten Zustand, in dem sie also durch einen zu ihr komplementären Spalt 37 nach unten gefahren und in dem geschlossenen Behälter 12 versenkt ist, was in Fig. 3 durch gestrichelte Linien 38 angedeutet ist. Der Spalt 37 ist in einer Arbeitsplatte 40 ausgebildet, welche den geschlossenen Behälter 12 oben abschließt, mit diesem fest verbunden ist, z.B. durch Kunststoffschweißen, und in welcher ihrerseits die Prozeßkammer 11 befestigt ist, z.B. durch Schweißen, wie in Fig. 5 dargestellt. Die Grundrißform des geschlossenen Behälters 12 ergibt sich aus Fig. 4, wo sie mit gestrichelten Linien eingezeichnet ist. Dieser Grundriß erstreckt sich bis zur Rückwand 28 der Vorrichtung 11. Die Rückwand des geschlossenen Behälters 12 ist dort mit einem Auslaßstutzen 42 (Fig. 12) versehen, welcher in Fig. 4 nicht dargestellt ist. - Der geschlossene Behälter 12 hat unten einen waagerechten Boden. Dieser kann leicht zu einem Abfluß geneigt sein, welcher Abfluß in der Zeichnung nicht dargestellt ist.

Es wird als wichtiges Merkmal der Erfindung angesehen, daß sich die Türe 35 innerhalb des Grundrisses des geschlossenen Behälters 12 befindet, und daß sie

im geöffneten Zustand in diesen eintaucht. Denn bei der Behandlung des Substrats 16 gelangen Dämpfe des Behandlungsmittels, also z.B. von Säuren, auch auf die Innenseite der Türe 35, die sich dann in ihrem geschlossenen Zustand (vgl. Fig. 2) befindet, und die Flüssigkeit von der Türe 35 fließt dann einfach durch den Spalt 37 in den geschlossenen Behälter 12 und wird anschließend aus diesem entsorgt.

Die mit Behandlungsflüssigkeit in Kontakt kommenden Teile der Vorrichtung 10 sind bevorzugt aus natürlichem Polypropylen hergestellt und soweit wie möglich aus einem Stück, sei es, daß die Teile entsprechend bearbeitet oder daß sie zusammengeschweißt sind. Man erhält so eine kompakte, flüssigkeitsdichte Einheit, die als Ganzes in das Gehäuse der Vorrichtung 11 eingesetzt oder aus diesem herausgenommen werden kann. Diese Einheit besteht im wesentlichen aus der Arbeitsplatte 40, der in dieser befestigten Prozeßkammer 11, und dem unten an die Arbeitsplatte 40 anschließenden und dort angeschweißten, geschlossenen Behälter 12.

In der Praxis ist das alles ein großes Arbeitsstück, das von zwei Personen getragen werden muß und das man etwa mit einem Schiffsrumpf, nämlich dem Behälter 12, mit einem überdimensionierten Kamin, nämlich der Prozeßkammer 11, vergleichen könnte, wobei die Arbeitsplatte 40 das Deck darstellt.

Fig. 2 zeigt die Türe 35 im geschlossenen Zustand, in dem sie die seitliche öffnung der Prozeßkammer 11 verschließt. Dabei bleibt die Prozeßkammer 11 oben offen. Im Betrieb wird ihr dort von oben ständig Reinluft zugeführt. Der oben offenen Zustand hat den Vorteil, daß nicht beim öffnen oder Schließen einer Türe Schmutzpartikel auf das - eben gereinigte Substrat 16 in der Prozeßkammer 11 fallen und dieses Substrat erneut verschmutzen. Bei senkrechter Bewegung der Türe 35 außerhalb des Bereichs des Substrats 16 wird eine solche Verschmutzung verhindert, zumal

der von oben kommende Luftstrom bei geöffneter Türe 35 aus der seitlichen öffnung 30 nach außen strömt und dabei Schmutzpartikel nach außen wegträgt.

Zur Betätigung der Türe 35 dient ein selbstsperrender Linearantrieb 45, der in Form einer Säule 46 neben der Seitenwand 31 angeordnet ist. Sein Antriebsmotor 47 und dessen Untersetzungsgetriebe 48 befinden sich unterhalb der Arbeitsplatte 40 und außerhalb des verschlossenen Gehäuses 12. In der Säule 46 befindet sich eine - nicht dargestellte - Spindel, die über einen Mitnehmer 49 die Türe 35 antreibt.

Vorteilhaft ist hierbei, daß bei Stromausfall der Motor 47 und damit die Spindel in der Säule 46 stehenbleibt und die Türe in der Stellung festgehalten wird, in der sie sich bei Stromausfall befand. Da durch interne Verriegelungen sichergestellt ist, daß ein Prozeß in der Prozeßkammer 11 überhaupt nur ablaufen kann, wenn die Türe 35 geschlossen ist, erreicht man so, daß bei Stromausfall während des Ablaufs eines Prozesses die Türe 35 immer geschlossen bleibt. - In Fig. 3 ist der Linearantrieb 45 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt. In Fig. 1 ist das Gehäuse 12 auf seiner Vorderseite aufgeschnitten dargestellt, um die Lage der Türe 35 in deren geöffnetem Zustand zu zeigen.

Fig. 12 zeigt raumbildlich die Ausgestaltung eines Chuck 15. Diese hat, wie auch in Fig. 6 in der Draufsicht dargestellt, einen durch radiale Speichen 50 gehaltenen Trägerring 51, auf dessen vier nach oben ragenden Zapfen 52 das Substrat 16 durch senkrechte Stifte

53 zentriert und durch Vakuum mittels Sauglöchern

54 festgehalten wird. Zwischen den Speichen 50 ergeben sich große Durchbrüche 55, durch die das Substrat 16 bei Bedarf auch von unten her bearbeitet werden kann. Naturgemäß ist der Chuck 15 nach Fig. 6 nur eine von vielen Möglichkeiten. In der Halbleiterindustrie

sind eine Vielzahl von Ausführungsformen derartiger Chucks bekannt. Der Chuck 15 gemäß Fig. 6 hat jedoch einen sehr vorteilhaften Aufbau; sie ist speziell für große Substrate ausgebildet, z.B. des Formats 5x5 Zoll. Für kleinere Substrate werden entsprechend kleinere Chucks verwendet, wie das der Fachmann weiß.

Wie Fig. 5 nur schematisch zeigt, ist der Chuck 15 auf der Welle 57 des Elektromotors 17 befestigt. Letzterer, ein kollektorloser Gleichstrommotor, befindet sich innerhalb eines eigenen Schutzgehäuses 58 in Form eines Rohres aus Polypropylen, das durch einen Ringspalt 59 von einem Rohr 62 aus Polypropylen getrennt ist, welch letzteres an der Innenseite des kreisringförmigen Teils 22 befestigt ist und mit seinem oberen Rand 62' über dieses hinausragt, wie das Fig. 5 klar zeigt. Das kreisringförmige Teil 22 ist zweckmäßig durch Kunststoffschweißen sowohl mit der Wand 21' des Prozeßtopfs 21 wie mit dem Rohr 62 dicht verschweißt, wie in Fig. 5 dargestellt.

Das Rohr 58 (für den Motor 17) ist durch radiale Zapfen 64 mit dem Rohr 62 fest verbunden und in diesem gehaltert. Es ist unten durch einen Boden 65 dicht verschlossen, ebenso auf seiner Oberseite durch einen Deckel 66 mit einem seitlich das Rohr 58 überkragenden Flansch 67. Am Deckel 66 ist seinerseits der wellenseitige Flansch 68 des Motors 17 (in nicht dargestellter Weise) befestigt.

Da im Betrieb Prozeßflüssigkeit aus der Prozeßkammer 11 in den Motor 17 eindringen könnte, wird dann das Rohr 58 über eine Anschlußöffnung 70 und eine Leitung 71 (Fig. 12) mit reinem Stickstoff geflutet, der über eine Anschlußöffnung 72 wieder abgeführt wird. Da dieser Stickstoff mit Überdruck zugeführt wird, tritt er ggf. über die Lager des Motors 17 nach oben aus und flutet auch den Prozeßtopf 21.

Das Rohr 62 ist unten schräg ausgebildet, d.h. es ist unter einem Winkel alpha von z.B. 10° abgeschnitten, so daß der Ringspalt 59 in Fig. 5 auf der rechten Seite kürzer ist als auf der linken Seite und dazwischen kontinuierlich zunimmt. Dementsprechend ist dort der Strömungswiderstand rechts gering und nimmt nach links zu. Derselbe Effekt wäre auch dadurch zu erreichen, daß das Rohr 58 exzentrisch im Rohr 62 angeordnet wird. Der Grund für diese Maßnahme liegt darin, daß der Absaugstutzen 42 des geschlossenen Gehäuses in diesem eine unsymmetrische Strömung erzwingt, wie das in Fig. 12 klar dargestellt ist. Dadurch, daß der Ringspalt 59 auf der Seite des Absaugstutzens 42, welcher in Fig. 5 weiter links zu denken ist, länger ist als auf der rechten Seite, wird diese unsymmetrische Strömung wieder etwas kompensiert, und man erreicht in der Prozeßkammer 11 eine weitgehend gleichmäßige, laminare und wirbelfreie Luftströmung.

Der Deckel 66 ist in seinem Mittelbereich mit einem nach oben ragenden Kragen 74 versehen, innerhalb dessen sich der entsprechende Flanschabschnitt des Chucks 15 befindet. Auf die Außenseite dieses Kragens 74 ist ein rohrförmiger Abschnitt 75 eines Teils 76 aufgeschoben, das sich von diesem Abschnitt 75 ausgehend nach Art eines Runddachs oder einer Haube mit leichter Neigung radial nach außen und nach unten erstreckt und an seinem äußeren Rand mit einem nach unten ragenden Abschnitt 77 versehen ist, der in die Ringnut 23 ragt, aber einen Mindestabstand von deren Boden einhält.

Wie aus Fig. 5 klar ersichtlich und anhand von zwei Strömungsfäden 80 und 80' dargestellt, gelangt ein Flüssigkeitsnebel aus der Prozeßkammer 11 längs der Außenseite des Teils 76 in die Rinne 23 und durchströmt diese, wobei der Flüssigkeitsnebel um fast 180° umgelenkt wird und ca. 90 % seiner Feuchtigkeit abgibt, die

dann über die Leitung 25 wie beschrieben entsorgt wird. Der Rest gelangt weiter über den Rand 62' in den Ringspalt 59 und aus diesem in den geschlossenen Behälter 12, von wo er über die Absaugöffnung 42 (Fig. 12) abgesaugt wird, z.B. über die Betriebsabsaugung der betreffenden Fabrik.

Wie Fig. 12 klar zeigt, befinden sich in der Absaugöffnung 42 mehrere Umlenkkörper 82, und diese bewirken dort eine weitere Abscheidung von Flüssigkeit, die über einen nicht dargestellten Ablauf abgeleitet wird.

Dies gilt auch für Flüssigkeit, die sich am Boden des geschlossenen Behälters 12 ansammelt.

Auf der Oberseite des Teils 76 können Düsen 84 befestigt sein, von denen in Fig. 5 nur eine dargestellt ist und die dazu dienen, die Rückseite des Substrats 16 zu behandeln. (In Fig. 5 ist das Substrat 16 nicht dargestellt.)

Oberhalb des Chucks 15 sind an der Wand 21' drei Auflageelemente 85 festgeschweißt, von denen Fig. 5 nur zwei zeigt. Auf diese ist eine Blende 86 aufgelegt, deren Form aus Fig. 5 hervorgeht und die verhindert, daß Flüssigkeit durch den Chuck 15 und das Substrat 16 nach oben geschleudert wird. Etwa in dieser Höhe befindet sich auch eine seitliche Prozeßöffnung 88, die gewöhnlich durch einen - nicht dargestellten Deckel verschlossen ist und durch welche Zusatzgeräte in die Prozeßkammer 11 eingeführt werden können. Die Blende 86 hat, falls diese öffnung 88 vorgesehen wird, im Bereich dieser öffnung 88 eine Unterbrechung.

Oberhalb der Blende 86 befinden sich ferner Gehäuse bzw. Aufnahmeglieder 90 für Düsen 94. Alle Gehäuse 90 sind gleich hoch angeordnet. Wie Fig. 4 zeigt, können z.B. vier solche Gehäuse 90 vorgesehen werden, die alle radial und nach unten gerichtet angeordnet sind.

Fig. 10 zeigt ein solches Gehäuse 90, das in ein Loch der Wand 91 der Prozeßkammer 11 oberhalb der Arbeitsplatte 40 eingeschweißt ist, vgl. die Schweißnähte

89. Das Gehäuse 90 besteht, wie die Wand 91, aus einem geeigneten Kunststoff, bevorzugt natürlichem Polypropylen. Es ist in seiner Grundform zylindrisch und hat auf der Seite der Prozeßkammer 11 eine kegelige Innenfläche 92, die sich zur Prozeßkammer 11 hin verjüngt und als Anlage für einen kugeligen Abschnitt 93 einer Düse 94 dient, die bevorzugt aus Titan hergestellt ist. Die Düse 94 ist gewöhnlich eine Einstoffdüse und wird z.B. zum Einspritzen von organischen Lösungsmitteln, z.B. von Alkoholen oder Ketonen, verwendet, doch ist auch eine Mehrstoffdüse möglich. Ihr eigentlicher Düsenteil ist mit einer Spritzdüse 95 versehen, deren Breitstrahl - wie aus Fig. 10 klar ersichtlich in weiten Grenzen durch Drehung der Kugel 93 im Gehäuse 90 verstellt werden kann. Andere mögliche Lagen der Düse 94 sind in Fig. 10 mit strichpunktierten Linien angedeutet.

An den kegeligen Abschnitt 92 schließt sich - nach außen hin - ein zylindrischer Abschnitt 96 an, dessen Innendurchmesser etwa dem Durchmesser des kugeligen Abschnitts 93 entspricht. In ihn ist ein rohrartiges Anpreßglied 97 eingesetzt, das an beiden Enden kegelförmige Abschnitte 97' bzw. 97¹' hat. Der Abschnitt 97' liegt gegen den kugeligen Abschnitt 93 an und dient dazu, diesen durch Anpressung zu arretieren. Der Abschnitt 97'' ermöglicht - wie dargestellt - die radiale Auslenkung eines zylindrischen Abschnitts 98 der Düse 94, an den im Betrieb eine Anschlußleitung 100 angeschlossen wird.

Das vom kugeligen Abschnitt 93 abgewandte Ende des Anpreßglieds 97 ragt aus dem Gehäuse 90 heraus und liegt an gegen einen Anpreßring 102, der in der dargestellten Weise mittels Schrauben 103, die in entsprechende

Gewinde des Gehäuses 90 eingeschraubt sind, gegen das Anpreßglied 97 gepreßt werden können. Löst man also die Schrauben 103, von denen in Fig. 10 nur eine dargestellt ist, so kann man die Düse 94 frei einstellen und sie danach durch Anziehen der Schrauben 103 in der gewünschten räumlichen Winkelstellung fixieren. In der Praxis hat sich dies als außerordentlich vorteilhaft erwiesen. Da das Substrat 16 im Betrieb durch den Motor 17 gedreht wird, genügen z.B. vier Düsen, die auf verschiedene Stellen des Substrats 16 gerichtet sind. Wird die Vorrichtung 10 auf eine andere Substratgröße eingestellt, z.B. indem man von Substraten der Größe 5x5 Zoll auf solche der Größe 3x3 Zoll übergeht, so können die Düsen 94 leicht nachgestellt werden.

Oberhalb der Gehäuse 90 für die Düsen 94 befindet sich ein horizontaler Schlitz 106, der gemäß Fig. 4 z.B. eine Winkelerstreckung von ca. 120° hat und der einen schmalen Abschnitt 106' von ca. 75° Länge und einen breiteren Abschnitt 106'' von ca. 45° Länge aufweist, vgl. speziell Fig. 9. Dieser Schlitz 106 dient als Prozeßöffnung für eine Sonderausstattung der Vorrichtung 10. Wird diese Sonderausstattung nicht benötigt, so wird auch der Schlitz 106 nicht benötigt und kann dann weggelassen werden, d. h. die Wand 91 ist dann durchgehend. Wie Fig. 4 zeigt, erstreckt sich der Schlitz 106 im Uhrzeigersinn bis etwa zur Mitte der Prozeßöffnung 88, oder in Uhrzeiten ausgedrückt, und bezogen auf Fig. 4, von der 10-Uhr-Stellung bis zur Stellung 14.30 Uhr, wobei sich der schmalere Schlitz 106' etwa von der 10-Uhr-Stellung bis zur 13-Uhr-Stellung erstreckt.

Noch etwas höher als der Schlitz 106 befindet sich eine kreisrunde Prozeßöffnung 108, und zwar, bezogen auf Fig. 4, in der 15-Uhr-Stellung. Die Prozeßöffnung 108 dient gemäß Fig. 11 zur Einführung einer Vorrichtung 110 zur Abgabe von Säure, die hier als Beispiel für

eine Sonderausstattung dargestellt ist und nicht zur Grundausstattung der Vorrichtung gehört, d.h. die bei bestimmten Anwendungen auch entfallen kann.

Die Vorrichtung 110 hat ein waagerecht verlaufendes Rohr 112, das auf einem Schlitten 113 befestigt ist, welcher mittels eines (nicht dargestellten) pneumatischen Zylinders auf einer Schlittenbahn 114 linear verschoben werden kann.

Am linken Ende des Rohres 112 befindet sich - in der Prozeßkammer 11 - eine nach unten ragende Säuresprühvorrichtung 115, an der sich z.B. drei Düsen befinden können, eine für HNO3, eine für H2O2, und eine für H2SO4.

Diesen drei Düsen werden über das Rohr 112 und eine flexible Leitung 116 diese drei Stoffe je nach Steuerbefehl über separate Zufuhrleitungen und über entsprechende Mikrofilter zugeführt, und zwar aus Vorratsflaschen, die sich im Inneren der Vorrichtung 10 befinden.

Fig. 11 zeigt die Säuresprühvorrichtung 115 in zwei verschiedenen Stellungen, nämlich einmal - mit durchgehenden Linien gezeichnet - über dem Substrat 16, und zum anderen, gestrichelt gezeichnet, in ihrer Parkstellung am Innenrand der Prozeßkammer 11, also dicht bei der Wand 91. Ebenso sind der Schlitten 113, die Leitung 116 etc. in diesen beiden verschiedenen Stellungen dargestellt. Diese beiden Endstellungen werden durch entsprechende Endschalter 114', 114" (Fig. 17) überwacht, die in Fig. 11 nicht dargestellt sind. Durch eine Verriegelung wird erreicht, daß der Säuresprühvorrichtung 115 Säure nur zugeführt werden kann, wenn sich diese über dem Substrat 16 befindet und der entsprechende Endschalter das anzeigt. Auch kann immer nur eine der Säuren gewählt werden, und für die Einschaltung dieser Säure ist ferner Voraussetzung, daß die Türe 35 geschlossen ist und daß der Abflußschieber 26 (Fig. 13) mit dem Ausgang B (für Säuren) verbunden ist. Auch wird bei Säurezufuhr die Drehzahl des Motors

17 automatisch begrenzt, z.B. auf maximal 150 U/min. Nach Beendigung der Säurezufuhr wird automatisch mit Wasser über Düsen 124 gespült, die nachfolgend beschrieben werden, wobei die Stellung des Abflußschiebers 26 nicht verändert werden kann. Erst danach kann die Türe 37 geöffnet werden. Bei Öffnung der Türe 35 ist also alle Säure aus der Prozeßkammer 11 weggespült, und das Bedienungspersonal kann folglich nicht durch Säure geschädigt werden.

Wie die Figuren 5, 7 und 8 zeigen, ist oberhalb der Prozeßöffnung 108 eine Blende 120 an der Wand 91 festgeschweißt. Diese Blende 120 erstreckt sich gemäß Fig. 8 bis zur Öffnung 30, also über etwa 210°, da die Öffnung 30 einen Winkel beta von etwa 90° einnimmt. Die Blende 120 erstreckt sich von ihrer Befestigung an der Wand 91 schräg nach innen und nach oben, z.B. wie dargestellt unter einem Winkel von etwa 30° zur Waagerechten. Wie die Fig. 5 und 7 zeigen, hat die Blende 120 ein Gefälle mit einem Winkel gamma von z.B. 2°, wobei die höchste Stelle, die in Fig. 7 durch das Maß d gekennzeichnet ist, bezogen auf Fig. 4 z.B. in der 12-Uhr-Stellung liegen kann und die tiefsten Stellen an den beiden Enden 120* und 12O¹¹ der Blende 120 liegen. (In Fig. 9 ist die Blende 120 nicht eingezeichnet.) Tropft Flüssigkeit von oben auf die Blende 120, so wird diese von ihr gesammelt und zu den Stellen 120' und 12O¹¹ geleitet und fließt dort längs der Wand 91 der Prozeßkammer 11 senkrecht nach unten und gelangt schließlich zur Rinne 23 und über die Leitung 25 zum Abflußschieber 26.

Oberhalb der Blende 120 sind die bereits kurz erwähnten Düsen 124 angeordnet, die dazu dienen, nach jedem Prozeßschritt die Prozeßkammer 11 mit deionisiertem Wasser (im folgenden: Di-Wasser) zu spülen. Wie Fig. 8 schematisch zeigt, werden bevorzugt sechs Düsen 124, gleichmäßig verteilt, im Bereich des oberen Rands der Prozeßkammer 11 angeordnet. Hierzu sind

in der Wand 91 entsprechende Befestigung^ - und Anschlußbohrungen 125 vorgesehen, die zu einem Ringkanal 126 in einem Flansch 127 führen, welcher mit zwei Anschlüssen 128 zur Zufuhr von Di-Wasser versehen ist. Der Flansch 127 erstreckt sich auch etwa über 270° bis zur öffnung 30, vgl. Fig. 8.

Wegen der Übersichtlichkeit ist nur in Fig. 7 eine der Düsen 124 dargestellt, die bevorzugt einstellbar ist und radial nach innen und nach unten sprüht.

Ihr Düsenmundstück 124' liegt - wie in Fig. 7 klar dargestellt - radial weiter außen als der innere Rand 120' der Blende 120, so daß Wassertropfen 130, die nach dem Abschalten der Düsen 124 aus diesen heraustropfen, auf die Blende 120 fallen und von dieser abgeleitet werden. Dies ist eine sehr vorteilhafte Lösung und verhindert, daß diese Tropfen 130 direkt in den Prozeßtopf 21 fallen und dort Unheil anrichten.

Die Prozeßkammer 11 kann im Bereich ihrer öffnung 30 noch mit seitlichen Stützwänden 132, 133 versehen sein, vgl. Fig. 9, die sich vom Flansch 127 schräg nach unten bis zur Arbeitsplatte 40 erstrecken. Diese sind nur in den Fig. 1, 2, 4, 9 und 12 eingezeichnet.

Auf der Arbeitsplatte 40 ist eine Abflußrinne vorgesehen, die etwa C-förmig die Prozeßkammer umgibt und zu einer öffnung 136 führt, über die gesammelte Flüssigkeit in das Innere des geschlossenen Gehäuses 12 strömen kann. Im Bereich der öffnung 136 kann auch ein Zusatzgerät (Option) befestigt werden.

Der Abflußschieber 26 gemäß den Figuren 13 bis ist mit den anderen Funktionen der Vorrichtung verriegelt und hat zu diesem Zweck einen Mikroschalter 140, der mittels einer Abtastrolle 141 einen Nocken 142 abtastet, der auf einer Betätigungswelle 143 des Abflußschiebers 26 angeordnet ist. (In Fig. ist der Mikroschalter 140 nicht dargestellt.) Die

Welle 143 wird ihrerseits von einem Getriebemotor 144 angetrieben, der diese Welle bevorzugt nur in der Drehrichtung 188 (Fig. 13) antreiben kann. Der Getriebemotor 144 ist an einer Trageplatte 145 befestigt, die über Stehbolzen 146 an einer Grundplatte 148 des Abflußschiebers 26 befestigt ist. Die Welle geht durch eine Mittelausnehmung 149 dieser Grundplatte 148 hindurch und zu einem verdrehbaren, hohlen Teil 150, an dessen radialer öffnung 152 ein um ca. 90° gekrümmtes Rohr 153 so befestigt ist, daß seine öffnung nach unten zeigt. Das hohle Teil 150 hat ferner an seiner Oberseite eine axiale öffnung 154, die sich nach oben in Form eines Trichters 155 erweitert, und diese axiale öffnung 154 ist über eine Krümmung 156 mit der radialen öffnung 152 und dann über das Rohr 153 mit dessen nach unten ragender öffnung verbunden. Von der axialen öffnung 154 zur öffnung 158 ergibt sich also ein S-förmiger, stromungsgünstiger Kanal, in dem sich keine Verunreinigungen festsetzen können und der bei Bedarf extrem leicht gereinigt werden kann.

Das obere Ende des hohlen Teils 150 ist geführt in einer Ausnehmung 161 eines Deckels 160, dessen Form klar aus Fig. 14 hervorgeht. An diesem Deckel 160 ist um die Ausnehmung 161 herum eine Dichtung 162 befestigt, z.B. aus Silikonkautschuk, und in die Mittelöffnung dieser Dichtung kann das freie Ende 163 des Abflußrohres 25 einfach - und leicht lösbar eingesteckt werden, und zwar etwa bis in die gestrichelt gezeichnete Lage 163', in der sich dieses Ende 163 innerhalb des Trichters 155, aber mit Abstand von diesem befindet, um eine freie Drehung des hohlen Teils 150 zu ermöglichen.

Die Grundplatte 148 hat ebenfalls drei trichterförmige Ausnehmungen 165, 166 und 167, die mit Abständen von 120° gleichmäßig verteilt in der Grundplatte 148 angeordnet sind. Fig. 15 zeigt besonders klar

die Form des Trichters 166' der Ausnehmung 166. An jede der Ausnehmungen 165 bis 167 ist unten eine Leitung angeschlossen, und zwar ist an die Ausnehmung 165 unten eine Leitung 170 angeschlossen (typisch durch Schweißen), die zum Anschluß B (für Säuren) führt. An die Ausnehmung 166 ist eine Leitung 171 angeschlossen, die zum Anschluß A (für Di-Wasser) führt. Und an die Ausnehmung 167, die in Fig. 13 nicht dargestellt ist, ist eine Leitung 172 angeschlossen, die zum Anschluß C (für organische Lösungsmittel) führt.

Wie Fig. 14 zeigt, ist im Betrieb das freie Ende 158 des gekrümmten Rohres 153 mit Abstand von der jeweiligen öffnung angeordnet, in die es entleert, wobei der Trichter, z.B. der Trichter 166' in Fig. 15, die aus der öffnung 158 austretende Flüssigkeit sammelt und aufnimmt und zum betreffenden Ausgang A, B oder C weiterleitet.

Die Ausnehmungen 165, 166 und 167 liegen am Boden einer kreisringförmigen Ausnehmung 175 der stationären Platte 148. Diese kreisringförmige Ausnehmung 175 hat außen eine senkrechte Wand 176 und innen eine schräge Wand 177, die in einen ebenen Abschnitt übergeht, in dem eine Dichtung 179 in einer Ausnehmung 180 angeordnet ist. Die Dichtung 179 dient zur Abdichtung gegen die ihr gegenüberliegende Unterseite des hohlen Teils 150, vgl. Fig. 14.

Der Boden der Ausnehmung 175 ist gemäß Fig. 15 ausgebildet, d.h. von der Ausnehmung 166 ausgehend steigt er nach beiden Seiten bis zu einer höchsten Stelle 184 bzw. 185 an und fällt dann wieder ab, und zwar von der höchsten Stelle 185 ausgehend bis zur Ausnehmung 167, von dort aus (im Uhrzeigersinn, bezogen auf Fig. 16) wieder ansteigend bis zu einer nächsten höchsten Stelle 186, von dort wieder abfallend bis zur Ausnehmung 165, und von dort wieder ansteigend

bis zur höchsten Stelle 184. Die Stellen 184, 185 und 186 können z.B. gleich hoch sein. Sie stellen jeweils eine Wasserscheide dar, d.h. die Stelle ist eine Wasserscheide zwischen den Ausnehmungen 165 und 166, die Stelle 185 ist eine Wasserscheide zwischen den Ausnehmungen 166 und 167, und die Stelle 186 ist eine Wasserscheide zwischen den Ausnehmungen 167 und 165. "Wasserscheide" wird dabei generisch gebraucht , gilt also genauso für Säuren oder organische Lösungsmittel, d.h. wenn sich das bewegliche Rohr 153 in Richtung des Pfeiles 188 der Fig. 13 z.B. von der Ausnehmung 165 zur Ausnehmung 166 bewegt, fließt die aus ihm austretende Flüssigkeit bis zum Erreichen der höchsten Stelle 184 noch zur Ausnehmung 165, nach überschreiten der höchsten Stelle 184 dagegen zur Ausnehmung 166. Man vermeidet so, daß sich im Abflußschieber 26 irgendwo Flüssigkeit ansammelt.

Der erfindungsgemäße Abflußschieber 26 kann naturgemäß auch für eine andere Zahl von Abflüssen ausgelegt werden, z.B. für nur zwei Abflüsse, oder für 4 oder 5 Abflüsse. Er kann sehr leicht zerlegt und gesäubert werden, wenn sich die Notwendigkeit hierfür ergibt, und erspart die bislang übliche Vielzahl von Ventilen und Leitungen bei derartigen Vorrichtungen. Er ist ganz aus Kunststoff hergestellt, z.B. aus natürlichem Polypropylen.

Fig. 17 zeigt einen bevorzugten Aufbau einer Mikroprozessorsteuerung für die Vorrichtung 11. Diese Steuerung hat einen Mikroprozessor 190, dem ein Festwertspeicher ROM 192 zugeordnet ist, welcher die bereits erwähnten "festverdrahteten" Programmschritte enthält, ferner einen Speicher RAM 193 zur Aufnahme der Programme und eine Eingabevorrichtung 194, z.B. eine Tastatur, ein Diskettenlaufwerk oder dgl., sowie nicht dargestellte Anzeigevorrichtungen (Displays etc.), wie sie bei derartigen Steuerungen üblich sind.

Über ein Eingabe/Ausgabe-Interface 195 ist der Mikroprozessor 190 mit den zu steuernden Geräten verbunden und bewirkt, soweit im ROM 192 gespeichert, deren automatische Verriegelung, Drehzahlbegrenzung, Einstellung etc, wie vorstehend und in der nachfolgenden Beschreibung der Arbeitsweise angegeben.

Angeschlossen sind, wie dargestellt, der Abflußschieber 26 (in Form seines Motors 144), und der Mikroschalter 140 dieses Schiebers 26, ferner der Motor 17 und dessen Tachogenerator 196, ferner die Steuerung für das Vakuum im Chuck 15, und der Drucksensor für dieses Vakuum. Ferner ist angeschlossen der Antrieb der Pumpe 204 für das Di-Wasser, das den Düsen 124 zugeführt wird, und der Strömungswächter 205, der überwacht, ob Wasser zu den Düsen 124 strömt. Auch sind angeschlossen die Betätigung des Schlittens 114 für die Säuresprühvorrichtung 115 und die beiden Endschalter 114', 114'' dieses Schlittens 114.

Ebenso sind angeschlossen die Antriebe für die drei Säurepumpen 210, 211 und 212 (für verschiedene Säuren) und deren zugeordnete Strömungswächter 213, 214 bzw. 215. Die Pumpen 210 bis 212 sind, wie bereits beschrieben, Membranpumpen.

Angeschlossen sind ferner, wie dargestellt, der Motor 47 des Türantriebs 45, sowie die beiden Endschalter 220 und 221 der Türe 35, welche erfasssen, ob die Türe 35 in ihrer oberen oder unteren Endstellung ist.

Schließlich ist auch angeschlossen das Ventil 223, mit Hilfe dessen dem Motor 17 (über die Leitung 71 der Fig. 12) Stickstoff zugeführt wird, und ebenfalls angeschlossen ist der Druckwächter 224, mit Hilfe dessen der Druck dieses Stickstoffs überwacht wird.

Die drei Düsen 94 (und ggf. auch 84) sind jeweils"" über ein zugeordnetes Steuerventil 226, 227 bzw. 228 an drei unter Druck stehende Behälter (nicht dargestellt) mit den Lösungsmitteln Sl, S2 bzw. S3 angeschlossen. Die Ventile 226 bis 228 sind, wie dargestellt, über entsprechende Steuerleitungen an das Interface 195 angeschlossen.

Auf die gleiche Weise können weitere Geräte angeschlossen werden, wenn sich die Notwendigkeit hierfür ergibt, und die Anschlüsse hierfür am Interface 195 können bereits vorgesehen werden, um spätere Erweiterungen zu ermöglichen. Bei einer Erweiterung muß ggf. das ROM 192 gegen eine andere Version ausgetauscht werden.

Die Fig. 18 - 21 zeigen ein Zusatzgerät in Form eines Hochdruck-Spritzgeräts 240, das auf der Ausnehmung 136 (Fig. 4) befestigt wird.

Das Spritzgerät 240 hat einen starren Spritzarm mit einem ersten Rohr 241, das über ein Winkelrohr mit einem zweiten Rohr 24 3 verbunden ist, an dessem freien Ende sich eine Spritzdüse 244 befindet, die wegen der verwendeten hohen Drücke von z.B. 200 bar aus Saphir ausgebildet ist.

Das Rohr 241 ist drehbar in zwei Lagern 246, 247 eines Stativs 248 gelagert, und es kann mittels eines Pneumatikzylinders 250 um seine Längsachse verdreht werden. Diese Längsachse verläuft horizontal.

Das Stativ 248 weist eine feststehende Basis 253 auf, in der ein Getriebemotor 254 angeordnet ist, der zum Antrieb eines oberen, verdrehbaren Teils 255 des Stativs 248 dient, und zwar zur Verdrehung um eine vertikale Achse. Auf diesem verdrehbaren Teil 255 sind die beiden Lager 246 und 247 starr befestigt, so daß sie bei einer Betätigung des Getriebemotors 254 zusammen mit dem Teil 255 um diese vertikale Drehachse verdreht werden.

Das Rohr 241 ist über einen Schlauch 257 mit einer Hochdruckpumpe 25 9 verbunden, die Di-Wasser aus einem Vorratsbehälter 260 ansaugt. Die Pumpe 259 wird durch den Mikroprozessor 190 gesteuert, vgl. Fig. 17.

Die Betätigung des Hochdruck-Sprühgeräts 240 ergibt sich direkt aus den Figuren 19 bis 21: Im Ruhezustand befinden sich die Rohre 241, 242, 243 in einer etwa horizontalen Lage, da sie durch den pneumatischen Arbeitszylinder 250 in diese Lage verdreht worden sind. Die Düse 244 ragt dabei durch den Spalt 106 (vgl. die Fig. 5 und 9) nur wenig in das Innere der Vorrichtung 11, und zwar speziell durch den breiten Abschnitt 106'' dieses Spalts, dessen Breite an den Durchmesser dieser Düse 244 angepaßt ist.

Gemäß Fig. 19 wird nun bei einem ersten Schritt durch den Getriebemotor 254 das Teil 255 und mit ihm die Rohre 241, 242 und 243 im Uhrzeigersinn um etwa 90° verschwenkt, wodurch diese Rohre zum größten Teil in das Innere der Prozeßkammer 11 gelangen.

Gemäß Fig. 20 wird anschließend in einem zweiten Schritt mittels des pneumatischen Arbeitszylinders 250 das Rohr 241 um ca. 90° um seine Längsachse verdreht, so daß die Düse 244 nun im wesentlichen senkrecht nach unten gerichtet ist.

Schließlich wird die Hochdruckpumpe 259 (Fig. 21) eingeschaltet, so daß Di-Wasser mit sehr hohem Druck aus der Düse 244 austritt, und diese Düse wird nun in oszillierenden Bewegungen (Pfeil 3 in Fig. 21) über das rotierende Substrat 16 geführt und reinigt dieses dabei. Die oszillierende Bewegung wird durch den Getriebemotor 254 erzeugt, der ein Schrittmotor ist und dessen Steuerimpulse vom Mikroprozessor 190 erzeugt werden. Man kann die Umkehrstellen der oszillierenden Bewegung (Pfeil 3 in Fig. 21) als Arbeitsränder bezeichnen.

Ein Arbeitszyklus besteht dann aus der Bewegung vom Arbeitsrand 1 zum Arbeitsrand 2 und wieder zurück zum Arbeitsrand 1, und er ist durchlaufen, wenn dieser Arbeitsrand 1 wieder erreicht worden ist.

Nach Ablauf der im Speicher 193 eingespeicherten Arbeitszyklen wird die Hochdruckpumpe 259 (Fig. 20) durch den Mikroprozessor 190 wieder ausgeschaltet. Das Hochdruck-Sprühgerät 240 wird genau umgekehrt wie anhand der Fig. 19 bis 21 beschrieben wieder aus der Prozeßkammer 11 herausgefahren und fährt wieder in seine waagerechte Grundstellung gemäß Fig. 18, in der es die Vorgänge innerhalb der Prozeßkammer 11 nicht behindert.

Die Drehzahl des Schrittmotors 254 ist programmierbar, so daß die Oszillationszykluszeit vom Benutzer eingestellt werden kann.

An dem verdrehbaren Teil 255 sind zwei Mikroschalter 262, 263 (Fig. 17) vorgesehen welche verhindern, daß das Rohr 243 gegen die Wand der Prozeßkammer 11 stößt.

Die Drehzahl des Motors 17 kann während der Hochdruckreinigung entsprechend den Bedürfnissen des Benutzers eingestellt werden.

Das Hochdruck-Reinigungsgerät 240 und die Säure-Reinigungsvorrichtung 110 (Fig. 11) sind gegeneinander verriegelt, d.h. die eine Vorrichtung kann immer nur eingeschaltet werden, wenn sich die andere im Ruhezustand befindet. Eine gleichzeitige Betätigung, auch durch ein Programm, ist unmöglich.

Arbeitsweise

Vor Beginn irgendeines Arbeitsschrittes muß ein Substrat 16, das irgendeinem Prozeß unterworfen werden soll,

z.B. einer Reinigung, auf dem Chuck 15 aufgebracht.; werden. Das Substrat 16 wird dort durch Vakuum (an den öffnungen 54) festgehalten, wenn ein Prozeß abläuft.

Beim Start eines Prozesses wird deshalb stets am Mikroprozessor 190 der Ausgang "Vakuum Chuck" gesetzt, d.h. das Ventil 200 wird eingeschaltet. Zur Überwachung des Vakuums ist der Vakuumschalter 201 vorgesehen. Kommt von diesem z.B. innerhalb von 5 Sekunden keine Rückmeldung, daß ein Vakuum vorhanden ist, so wird der Prozeß abgebrochen, und der Fehler wird gemeldet. Dies stellt ein wichtiges Sicherheitsmerkmal dar.

Falls ein Prozeß mit Not-Aus unterbrochen wird, werden die Ventile normalerweise stromlos gemacht, und der Motor 17 wird abgeschaltet. Da jedoch der Motor auch in diesem Zustand durch die in ihm gespeicherte mechanische Energie noch einige Zeit weiterläuft, muß das Vakuum am Chuck 15 während dieser Zeit aufrechterhalten werden, damit nicht das Substrat 16 vom Chuck 15 weggeschleudert wird. Aus diesem Grunde wird bei einem plötzlichen Prozeßstop das Vakuum am Chuck 15 durch entsprechende Maßnahmen aufrechterhalten, wie sie dem Fachmann geläufig sind. - Das Vakuum kann auch manuell eingeschaltet werden. Es kann jedoch während eines Prozesses nicht manuell oder durch Programmschritte ausgeschaltet werden, solange der Motor 17 läuft.

Die einzelnen Prozeßschritte bei der Bearbeitung eines Substrats 16 hängen naturgemäß von dessen Beschaffenheit ab, wie bereits eingangs ausführlich beschrieben, ferner von den durchzuführenden Arbeiten, und schließlich von den verschiedenen möglichen Sonderausstattungen der Vorrichtung 10, so daß insgesamt eine große Variabilität gegeben ist.

Normalerweise laufen alle Verfahrensschritte gesteuert durch das Programm ab, das in den Speichern 192 und

193 gespeichert ist, und im Speicher 193 können .hierzu verschiedene Programme gespeichert werden, entsprechend den individuellen Bedürfnissen des Benutzers. Diese Programme können teils programmiert, teils durch sogenanntes Teach-In eingegeben werden.

Gemeinsam ist jedoch allen Programmen, daß durch interne "hartverdrahtete" Programmschritte (im ROM 192) bestimmte Programmvarianten ausgeschlossen sind, wie bereits für einige Fälle beschrieben. So kann z.B. während eines Prozesses das Vakuum am Chuck

15 nicht durch einen Programmschritt abgeschaltet werden, und auch nach Ende des Prozesses erst bei Stillstand des Motors 17. Diese hartverdrahteten Programmschritte stellen beim vorliegenden Gerät sehr wichtige, erfinderische Merkmale dar, denn sie bilden eine Schutzbarriere gegen unsachgemäße Bedienung.

Die Arbeitsweise der Säureaufspritzvorrichtung 115 gemäß Fig. 11 wurde bereits teilweise beschrieben.

Wichtig ist, daß nach Beendigung der Säurereinigung mittels der Düsen 124 (Fig. 7) zwangsweise die Prozeßkammer 11 mit Di-Wasser von oben her gespült wird, indem diese Düsen 124 z.B. 15 Sekunden lang aktiviert werden, wobei, wie bereits erläutert, die Stellung des Abflußschiebers 26 (Säure) nicht verändert werden kann.

Wird der Prozeß der Säurereinigung eines Substrats

16 aus irgendeinem Grund abgebrochen, so findet ebenfalls automatisch ein Spülvorgang mit Di-Wasser über die Düsen 124 statt. Erst nach diesem Spülvorgang kann die Türe 35 geöffnet werden.

Die Säurereinigung mittels der Vorrichtung 115 dient, wie bereits eingangs beschrieben, zum Reinigen von Chrommasken, Chromoxidmasken und Eisenoxidmasken.

Die Säure kann vor dem Aufsprühen mit großem Vorteil erwärmt werden, weil sich dann eine bessere Reinigungswirkung ergibt. Sie wird mittels einer der drei Membranpumpen

210, 211 oder 212 (Fig. 17) gepumpt. Auf der Innenseite der Prozeßkammer 11 wird das Rohr 112 mit großem Vorteil von einem - nicht dargestellten - Faltenbalg umgeben, z.B. einem solchen aus PTFE, der dann auch die Prozeßöffnung 108 der Prozeßkammer 11 von innen her sicher verschließt. Wichtig erscheint hierbei, daß das Rohr 108 zwei Funktionen hat, nämlich einmal das Halten und Bewegen der Düse 115, und zum anderen die Zuführung der verschiedenen Säuren.

Lösungsmittelreinigung

Zur Resistentschichtung wird wenigstens eine der Düsen 84 und/oder 94 verwendet. Bei Verwendung eines organischen Lösungsmittels wird das resistspezifische Lösungsmittel, z.B. Aceton aus einer der Düsen 94 und ggf. einer der Düsen 84 ununterbrochen auf das Substrat 16 aufgesprüht, das sich hierbei z.B. mit 300 U/min dreht.

Zum Entschichten von Resists der Typen AZ 1350, AZ 1450, S 1400 und PPS wird 5 bis 7 %-ige NaOH oder KOH aus einer der Düsen 94 (und ggf. einer der Düsen 84) auf das Substrat 16 aufgesprüht, und zwar mit Intervallen von 10 Sekunden Sprühen - 20 Sekunden Pause, 10 Sekunden Sprühen, etc., bei einer Drehung des Substrats 16 mit z.B. 80 U/min. Die alkalische Lösung sollte vor dem Aufsprühen auf ca. 60° erwärmt werden, um einen besseren Reinigungseffekt zu erhalten.

Die Mikroprozessorsteuerung 190, 193 hat, wie in Fig. 17 dargestellt, drei Ausgänge für die Reinigung, einen für organische Lösungsmittel, einen für alkalische Lösungsmittel, und einen für Di-Wasser, das ebenfalls aus einer der Düsen 94 (und gg. auch einer der Düsen 84) auf das Substrat 16 aufgespritzt werden kann. Diese Ausgänge sind nur dann aktiv, wenn sich die Säuresprühvorrichtung 115 in ihrer Parkstellung befindet und dies durch den zugehörigen Endschalter gemeldet worden ist, wie bereits beschrieben. Die Ausgänge

des Interface 195 steuern, wie bereits beschrieben, die Ventile 226, 227 und 228.

Falls Lösungsmittelreinigung gewählt worden ist, werden alle anderen Prozesse gesperrt, und der Abflußschieber 26 wird zwangsweise in seine definierte Stellung für den Lösungsmittelabfluß gebracht. Ferner wird die Drehzahl des Motors 17 z.B. auf maximal 150 U/min limitiert. Die Lösungsmittelreinigung erfolgt dann je nach verwendetem Lösungsmittel in der oben beschriebenen Weise.

Nach Beendigung der Lösungsmittelreinigung wird das Substrat 16 mindestens 60 Sekunden lang mit Di-Wasser aus einer der einstellbaren Düsen 94 (und ggf. einer der Düsen 84) abgespült. Wird das Di-Wasser auf ca. 70° C erwärmt, so läßt sich die Spülzeit um ca. 50 % verkürzen. Die Düse 84 dient für die Rückseitenspülung des Substrats 16 und stellt eine Sonderausstattung dar. Während dieser Spülung kann die Stellung des Abflußschiebers 26 ("Lösungsmittel") nicht verändert werden.

Wird die Lösungsmittelreinigung aus irgendeinem Grunde abgebrochen, so wird zuerst über die oberen Düsen 124 mit Di-Wasser gespült. Erst nach diesem Spülvorgang kann die Türe 35 geöffnet werden.

Die Türe 35 ist, wie bereits beschrieben, mit dem Sensor 221 für ihre Schließstellung (Fig. 2) und dem Sensor 220 für ihre Offenstellung (Fig. 1) versehen, z.B. mit geeigneten Endschaltern, oder mit berührungslosen Sensoren.

Wird der Start irgendeines Prozesses eingegeben, so fährt die Türe automatisch nach oben, bis der Sensor 221 für die Schließstellung erreicht wird. Erst dann kann der eigentliche Prozeß beginnen. Bei Prozeßende, also gewöhnlich nach dem Spülen mit Di-

Wasser aus den oberen Düsen 124, wird die Türe 3;5 ; durch die elektronische Steuerung automatisch nach unten gefahren.

Umschaltbarer Abflußschieber 26

Wie bereits beschrieben, hat dieser drei Stellungen, die über den Mikroschalter 140 (Fig. 14) gemeldet werden.

Um eine exakte Wiederholbarkeit der Positionierung zu erreichen, ist der Schieber 26 bevorzugt nur in Richtung des Pfeiles 188 (Fig. 13) verdrehbar, also nur in einer Drehrichtung. Die jeweilige Abflußstellung ist über das ROM 192 automatisch mit der Betätigung eines entsprechenden Prozesses in der Prozeßkammer 11 verriegelt, wie bereits ausführlich beschrieben, und es ist unmöglich, z.B. durch Programmierung eine andere Abflußstellung vorzugeben, als sie die jeweilige Behandlung erfordert.

überwachung der Spülung

Die Zwangsspülung mit Di-Wasser über die sechs oberen Düsen 124 wird durch den Strömungsmelder 205 überwacht.

Dieser spricht nur an, wenn auch tatsächlich Wasser zu diesen Düsen 124 strömt. Zeigt dieser Strömungsmelder 205 keinen Durchfluß an, so wird die Zwangsspülung abgebrochen und ein Alarm ausgelöst. Die Türe 35 kann dann nicht geöffnet werden.

Schutzbeflutung des Motors 17

Wie bereits beschrieben, werden der Motor 17 und die Prozeßkammer 11 über das Ventil 223 mit Stickstoff beflutet. Zur Kontrolle dient der Druckschalter 224.

Ist keine Schutzbeflutung, z.B. mit Stickstoff, vorhanden, so kann kein Prozeß gestartet werden bzw. dieser wird aus Sicherheitsgründen abgebrochen, und es wird Alarm gegeben.

Trocknen des Substrats 16

Zum Trocknen im Anschluß an eine Spülung oder Reinigung

mit Di-Wasser wird das Substrat 16 innerhalb von ^:

20 Sekunden rampenartig auf z.B. 4000 U/min beschleunigt.

Dabei wird die Feuchtigkeit vom Substrat 16 abgeschleudert.

Der Benutzer kann die Trocknung - bei Spotbeleuchtung des Substrats 16 - anhand der sich ausbildenden Interferenzerscheinunge verfolgen. Anschließend wird das Substrat während einer Zeit von 10 Sekunden rampenartig abgebremst.

Erst wenn es steht, kann die Türe 35 geöffnet werden.

Bei der Reinigung mittels der Hochdruck-Reinigungsvorrichtung 240 und Di-Wasser wird in der üblichen Weise ein Substrat 16 auf der Chuck 15 befestigt. Die Türe 35 wird geschlossen, und der Motor 17 wird eingeschaltet.

Anschließend wird durch den Mikroprozessor 190 der Schrittmotor 254 aktiviert, so daß er das verdrehbare Teil 255 im Uhrzeigersinn verdreht und das Rohr mit der Düse 244 waagerecht in die Prozeßkammer 11 hineinschwenkt (Pfeil 1 in Fig. 19). Nach Abschluß dieser Schwenkbewegung wird durch den pneumatischen Arbeitszylinder 250 das Rohr 241 um etwa 90° um seine Längsachse verdreht (Pfeil 2 in Fig. 20). Der Arm 243 hat nun eine etwa senkrechte Lage und befindet sich in seiner Arbeitsstellung, so daß die Hochdruckpumpe 259 (Fig. 17 und 20) durch den Mikroprozessor 190 eingeschaltet werden kann.

Gemäß Fig. 21 werden nun dem verdrehbaren Teil 255 durch den Schrittmotor 254 oszillierende Bewegungen erteilt (Doppelpfeil 3 in Fig. 21). Die Zahl der Oszillationen und ihre Amplitude kann programmiert werden, ebenso die Drehzahl des Motors 17 bei diesem Reinigungsvorgang. Während sich also das Substrat 16 dreht, bewegt sich die Düse 244 mit geringem Abstand über ihm hin und her und reinigt es durch einen Hochdruck-Wasserstrahl .

Nach der programmierten Zahl der Oszillationen (Pfeil 3 in Fig. 21) wird die Pumpe 259 wieder abgeschaltet.

Die Rohre 241 und 243 und die Düse 244 werden durch Umkehr des beschriebenen Bewegungsablaufs wieder aus der Prozeßkammer 11 herausbewegt. Das Substrat

16 kann anschließend bei hoher Drehzahl des Motors

17 getrocknet werden, wie bereits beschrieben. Nach Stillstand des Motors 17 wird die Türe 35 geöffnet, das Vakuum am Chuck 15 wird abgeschaltet, und das gereinigte Substrat 16 kann entnommen werden.

Der beschriebene Reinigungsvorgang mittels der Vorrichtung 240 kann sich z.B. an eine Reinigung mittels der Säurevorrichtung 110 der Fig. 11 anschließen. Die Betätigung der Vorrichtungen 110 und 240 ist gegeneinander verriegelt, wie bereits beschrieben.

Durch die Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ergibt sich eine außerordentliche Betriebssicherheit der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Naturgemäß sind im Rahmen der Erfindung vielfältige Abweichungen und Modifikationen möglich. Z.B. ist es nicht notwendig, daß der Spalt 106 für die Einführung der Hochdruckvorrichtung 240 ständig offen ist. Stattdessen könnte auch eine öffnung verwendet werden, die verschlossen ist, wenn sie nicht benutzt wird. Jedoch kann eine ständig offene öffnung keinen Anlaß zu Betriebsstörungen geben. Die Rohre 241, 243 könnten auch einstückig und aus einem gebogenen Rohr hergestellt werden, und sie könnten auch in einer anderen als einer horizontalen

Ebene in die Prozeßkammer 11 eingeschwenkt werden,

um nur einige Beispiele zu nennen. Wesentlich erscheint, daß die Düse 244 dann, wenn sie nicht benötigt wird, aus der Prozeßkammer 11 mindestens teilweise herausbewegt wird, d.h. daß sie im nicht benutzten Zustand z.B.

nur wenig in die Prozeßkammer 11 hineinragt oder sich außerhalb von ihr befindet und dadurch die anderen

Prozesse in der Prozeßkammer 11 nicht behindert oder

stört.

Claims

Ansprüche

1. Vorrichtung für die Behandlung von Halbleitersubstraten, Masken für die Halbleiterherstellung, oder dergleichen, im folgenden Substrate (16) genannt, dadurch gekennzeichnet, daß zur Aufnahme des Substrats (16) eine Prozeßkammer (11) vorgesehen ist,

und daß zur Zuführung von unter Druck stehender Behandlungsflüssigkei' zur Prozeßkammer (11) eine Düse (244) vorgesehen ist, die in die Prozeßkammer (11) einschwenkbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßkammer (11) eine Öffnung (106) zum Einschwenken der Düse (244) aufweist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung in Form einer länglichen Öffnung

(106) ausgebildet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (106) im wesentlichen horizontal verläuft.

5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (106) in der Wand (91) eines oberen Abschnitts der Prozeßkammer (11) ausgebildet ist.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (106) ständig offen ausgebildet ist.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse an einer abgewinkelten Rohranordnung (241, 242, 243) angeordnet ist, welche zum Halten der Düse (244)

und zum Zuführen von Behandlungsflüssigkeit zu ihr" ausgebildet ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die abgewinkelte Rohranordnung (241 bis 243) zwei Rohrabschnitte (241 bzw. 243) aufweist, die etwa rechtwinklig zueinander verlaufen.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die abgewinkelte Rohranordnung auf einem verdrehbaren Teil (255) angeordnet ist, welches eine von der Horizontalen abweichende Drehachse aufweist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse des verdrehbaren Teils (255) etwa vertikal verläuft.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß das verdrehbare Teil (255) und die öffnung (106) der Prozeßkammer (11) so ausgebildet sind, daß die abgewinkelte Rohranordnung (241, 243) bei Drehung des verdrehbaren Teils (255) durch diese öffnung (106) in die Prozeßkammer (11) einschwenkbar ist.

12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das verdrehbare Teil (255) mit einer Lageranordnung (246, 247) versehen ist, welche einen Abschnitt (241) der abgewinkelten Rohranordnung (241 bis 243) in der Weise lagert, daß dieser Abschnitt (241) in dieser Lageranordnung (246, 247) um seine Längsachse oder eine hierzu parallele Achse verdrehbar ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Lageranordnung (246, 247) eine Drehvorrichtung

(250) zur Drehung des dort gelagerten Abschnitts (241) der Rohranordnung (241 bis 243) zugeordnet ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehvorrichtung einen auf dem verdrehbaren Teil (255) angeordneten Arbeitszylinder (250) aufweist.

15. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Düse (244) eine Antriebsvorrichtung (254) zugeordnet ist, welche nach dem Einschwenken in die Prozeßkammer (11) eine oszillierende Bewegung (Fig. 21: 3) der Düse (244) über dem Substrat (16) ermöglicht.

16. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (244) zur Zuführung von unter Hochdruck stehendem Di-Wasser ausgebildet ist.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Hochdruck in der Größenordnung von 200 bar liegt.

18. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in der Prozeßkammer ein Motor (17) vorgesehen ist, welcher eine Rotation des Substrats (16) unter der in die Prozeßkammer (11) eingeschwenkten Düse (244) ermöglicht.

19. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zum Abführen der durch die Düse (244) in die Prozeßkammer (11) eingebrachten Behandlungsflüssigkeit nach deren Einwirkung auf das Substrat (16), und des von der Behandlungsflüssigkeit gebildeten Nebels, im unteren Bereich der Prozeßkammer

(11) eine Rinne (23) mit einem Ablauf (24) vorgesehen ist, welcher Rinne (23) ein Umlenkelement (77) in der Weise zugeordnet ist, daß die Flüssigkeit und der Nebel aus der Prozeßkammer (11) durch diese Rinne

(23) hindurch umgeleitet und dabei die Flüssigkeit mindestens teilweise in der Rinne (23) abgeschieden wird.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Rinne (23) als Ringrinne ausgebildet ist, welche im Bereich ihrer tiefsten Stelle mit mindestens einem Ablauf (24) versehen ist.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Umlenkelement (76, 77) nach Art einer Haube oder eines Runddachs vom Bereich des Zentrums der Ringrinne (23) her zu dieser hin erstreckt.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das Umlenkelement (76, 77) im Bereich seines äußeren Randes einen nach unten ragenden Vorsprung

(77) aufweist, der in die Ringrinne (23) hineinragt.

23. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß radial innerhalb der Ringrinne (23) ein Gehäuse (58, 65, 66) für den zum Antrieb des Substrats (16) vorgesehenen Motor

(17) vorgesehen ist.

24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gehäuse (58, 65, 66) für den Motor

(17) und einem radial inneren Abschnitt (62) der

Ringrinne (23) ein Spalt (59) zum Absaugen des durch

die Ringrinne (23) strömenden Gas-Flüssigkeit-Gemischs vorgesehen ist.

25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungswiderstand des Spalts (59) an verschiedenen Stellen unterschiedlich ausgebildet ist.

26. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Ebene oberhalb der Rinne (23) eine Aufspannvorrichtung

(15) für das Substrat (16) vorgesehen ist, welche zur Drehung des Substrats (16) rotierend antreibbar ist.

27. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abschnitt der Rinne (23) in eine Wand (21' ) der Prozeßkammer (21) übergeht und sich von der Rinne (23) aus nach oben erstreckt.

28. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 20 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß oberhalb der Rinne (23) mindestens eine Blende (86) vorgesehen ist, welche als Schutz gegen Hochspritzen von vom Substrat (16) reflektierter Behandlungsflüssigkeit ausgebildet ist.