DE898045C - Elektronenmikroskop mit Einrichtungen zur wahlweisen Herstellung von mikroskopischenund Beugungsbildern eines Objektausschnittes - Google Patents

Description

• Die, Erfindlung bezieht sich tauf ein Elektronenmikroskop, mit Einrichtmgen zur "vahlweilse#rr Herstellung von, mikroskopischen und. Beugungsbill(dern eines Objektausschnittes. Hießbei -ist es! wesentlich" daß eine einfache, leicht zu (bedienende Anordnung vorhanden ist, mit der ein größerer Objektbereich nach allen Rilchtungen hin auf zu untersuichendLe, besonders interessierende Stellen 2ibgesucht werden kann. Zur Lösung dieser Aufgabe ist i-rn Strahlengang unmittelbar vo,r der ObjektbliendIe eine Fein#-,strahlblende angeordnet, wobeir Verstelllvorrichtungen voirgesehen siind, mit denen der Aufbreffpunkt ,des durch"die Fei#nstrafhhbl(endebiegre=ten S trählen-,bündels, anf dem durch die öffhung dar Objektblende begrenzten Objekbausis-chn(itt in beliebiger Richtung versichoben werden kann. Durch, das unmittelbare ÜllyeTeinianderoridinen, von. Feinstrahlblenden, und Objektblenden wird, erreicht, daß auich ein vor dem Objekt liegender Teiil des. Objektivfeldies, keine Querverschtiebung des. Feiinstrahlos mehr erzeugen ka:nn,. Bei! den biisher vorgeschlagenen Anordnungen ändert nämlich beim Übergnang von Feinstrafilbeugungsaufnahmen au(f mikroskopische Auf niahmen der Feinstrahl seine Laige auf dem Objekt, weil zw,#stchen der den Feinstrahl ausblendenden Blendt und der Objektblende schon ein Teil des Objektivfel#dies, liegt. Besonders störend wirkt sich dieser Umstand gerade dann aus, Wenn zur Erzielung hoher mikroskopischer Aufl, ösung mit der Minilmalbrennweite des( Objektirvis, gearbeitet ,wird. In diesem Fall ilstnämliieh ider vordlem. Objekt liegende Feldanteil noch -mrhäjltniisin#äß,iig groß. Es ließ sich daher bisher keine genaue Übereinstimmung zwischen dem mikroekopiisch aibz"ufbill(clendbn, Bereich und- den das Beugungisfelid hervorrufenden, Bereich erzielen. Diese Schwier#g-keiten können bei- Anwendung der Erfindung nicht auf treten, weii& hier die Feinstrahlblende im 'Strahlengang unmittelbar vor der Objektblende liegt. Man wiiiid- die Feinstrafilblende gemäß der weiteren Erfindung von außen unter Vakuum zentrierbar anordnen und die Anordnung so ausbildan, daß die Feinstrahlblende ebenso. wie #da-s Objekt ein- und ausigeschleuist werIcku kann. Man kann die Feinistrahlblenicle im StraWengang fesbsttehend ano,rdnen und, die Objektblende durch an sich bekannte, von, außen zu. betätigende Antriebe in bel-iiebiger Richtung quer zum Strahl verschiebb-ar anordnen. Diese Anordnung ist des# halb günstig, well man d-abei die Felnstrahlblende von, vornherein so festlegen kann, daß, bei allen Untersuchungen stets genan nüt dem mittleren Bereich der Linse gearbeitet wird, wo sich deren, Fehller -am wenigsten bemerkbar machen. Es ist auch möglich, sowohl der Feinstrahlblentde als.auch der Objektblende besendere, von außen zu, betätigende Antriebe zuzuordnen, durch welche jedia der Miden Blenden, unabhängig von der anderen, quer zur StrahlTichtung versc;hiehbar ist. Für diese Ausführungsform ist in der Zeichnung schemiatisch ein Ausführungsibeiispiel. gezeichnet. Mit i ist ider obere, mit 2 der -,untere Polisichuh. des. magginttischen Objektivs bezeichnet. Die Objektbleud0 3 ilst in einem Halter 4 eingesetzt, der so ausgeistatet sein kann, daß eT von der Seite her in das Elektronenmikroskop eingeführt werden kann. Im Strahlengang- unmittelbar vor der Blende 3 biegt die Feinstraflilblende 5. Die B,101'dcn 3 und 5 sind quer zur optischKn Achse relabiv zueinander in beliebiger Richtung verschiebbar, so daß dbr Auftreffpunkt ,&s -,durch die Feinstrahililylenide begrenzten engen Strahlenbündels auf dem durdb, die öffnung der Objektblende begrenzten größeren Objektausschnitit eingestellt werden kann. Die Feinstrahlblende ist mit Hilfe von Federn 6 im Halter, 4 hinsichtLich ihrer axiaJen Lage festgeklemmt. Mdt 7, und 8 stihd an sich bekannte, von außen zu betätigende Einstellstifte bezeichnet, durch- welche die Feinstrahilblende 5 quer zur optischen Achse vers-chobe-ii, werden kann. Mit 9 und iio sind Einstellvorrichtungen, für den Halter 4 (bezeiid- met.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. F-lektronenmikroslmp mit Einrichtungen ,zur Wahlweisen Hel'S!tO#lUng Von' Mli-I#--rOS!1-,Olpi'SChen und Beuigunig,5N.1"dem eines Objektausischnittes, diaidurch 6adeennzeid.hne, daß im Straihlengang unmittelbar vor der Objektblende eine Fein,-strahlblende angeordnet iGit und, daß Verstellvorrichtungen vorgesehen G-ind, mit denen der Auf treffpunkt des durch die Feinigtrahl-.blenide begrenzten StraMentbün-deIG auf dem durch die Öffnungg der Objektblenda begrenzten Objektausschnitt in beliebiger Richtung verschoben werden kann. :2. Anordnung nach Anspruch "ii, diaidurch ge--keTmzeii&niet, idaß die Feinstrählblende im Strahlengang feststehend angeordnet Üt und daß die Objektb,-lende -durch an sich bekannte, von außen zu betätigende Antriebe in bdiiebiger Rich:,tung quer zum Strahl verschiebbar angeordnet ist. #3. Ano-rdnung nach Anspruch i, daldürch. gekennzeichnet, daß sowoN der Feinstrahilblende als auch der ObjektIblendei besondere, von außen zu betätigende Antriebe zugeordnet eind, durch weilche jede der beiden Blenden, unabhängig von der enderen, quer zur S-traMrichtung verschieibbar ist.