Verfahren zur Herstellung von Sekundäremissionskathoden Es ist bekannt,
daß Metalle, welche mit dünnen Oberflächenschichten aus Erdalkalimetallen (2. Gruppe
des Periodischen Systems) oder aus Erdmetallen (3. Gruppe des Periodischen
Systems) überzogen sind, eine hohe Sekundäremissionsempfindlichkeit besitzen. Die
Größe,der Sekundäremissionsausbeute hängt, wie von verschiedenen Autoren festgestellt
wurde, von der Schichtdicke der aufgebrachten Oberflächenmetallschicht ab. Die Überwachung
der Schichtdicke ist deshalb bei der Herstellung von Selzundäremissionskathoden
von großer Bedeutung. Dies gilt insbesondere für Sekundäremissionsverstärker, bei
denen mehrere Sekundärenlissionsstufen hintereinandergeschaltet sind.Process for the production of secondary emission cathodes It is known that metals which are coated with thin surface layers of alkaline earth metals (2nd group of the Periodic Table) or of earth metals (3rd group of the Periodic Table) have a high sensitivity to secondary emissions. The size of the secondary emission yield depends, as has been established by various authors, on the layer thickness of the surface metal layer applied. The monitoring of the layer thickness is therefore of great importance in the manufacture of secondary emission cathodes. This applies in particular to secondary emission amplifiers in which several secondary emission stages are connected in series.
Um die geeignete Schichtdicke zu erzielen, soll, wie an sich bekannt,
die Herstellung der Oberflächenmetallschicht vor dem Zusammenbau der einzelnen Stufen
in einer besonderen Apparatur erfolgen. Zusätzlich werden während des Aufdampfens
des Metalls bzw. in der Zeit zwischen zwei aufeinanderfolgenden Auf dampfungen Primärelektronen
zur Prüfung der Empfindlichkeit auf die erzeugten Schichten zur Einwirkung gebracht.
Der Verdampfungvorgang wird dann bei Erreichen des Maximums abgebrochen. Die Herstellung
der Oberflächenschichten kann für jede einzelne Elektrode getrennt erfolgen. Es
ist aber auch möglich, die Apparatur so zu gestalten, daß gleichzeitig mehrere ;Stufen
mit der betreffenden Oberflächenmetallschicht versehen werden können.In order to achieve the appropriate layer thickness, as is known per se,
the production of the surface metal layer prior to the assembly of the individual stages
take place in a special apparatus. In addition, during the evaporation
of the metal or primary electrons in the time between two successive evaporations
brought into action to test the sensitivity of the layers produced.
The evaporation process is then interrupted when the maximum is reached. The production
the surface layers can be done separately for each individual electrode. It
but it is also possible to design the apparatus so that several stages
can be provided with the relevant surface metal layer.
Geht man nach dem genannten Verfahren bei der Herstellung der Sekundäremissionsschichten
vor, so erscheint der Umstand nachteilig, daß die hergestellten
Sekundärernissionselektroden
während des Zusammenbaues zum Verstärker mit der Luft, insbesondere dem Sauerstoff
der Luft, in Berührung kommen. Die hierbei mögliche Oxydation der Oberflächenschicht
wirkt sich nachteilig auf die Elektronenaustrittsarbeit aus, die wesentlich heraufgesetzt
wird.If the process mentioned is used for the production of the secondary emission layers
before, the fact that the manufactured
Secondary emission electrodes
during the assembly of the amplifier with the air, especially the oxygen
the air, come into contact. The possible oxidation of the surface layer
has a disadvantageous effect on the work function of the electrons, which is significantly increased
will.
Die Erfindung besteht in einem Verfahren zum Herstellen von Sekundäremissionskathoden,
bei denen eine Unterlageschicht, insbesondere ein Unterlagemetall, mit einer dünnen
Oberflächenschicht eines Erdalkalimetalls oder Erdmetalls überzogen wird und die
Herstellung der Oberflächenmetallschicht vor dem Zusammenbau der Elektroden'zum
Verstärker vorzugsweise in einer besonderen Apparatur erfolgt, und ist dadurch gekennzeichnet,
daß zum Zweck der Reduktion Ader an Luft oxydierten Oberflächenmetallschicht und
ihrer Sensibilisierung auf diese eine Glimmentladung in einem Edelgas oder einem
anderen chemisch inaktiven Gas vorgenommen wird und die Wirkung der Glimmentladung
in bestimmten Zeitabständen durch Messung der Sekundäremissionsempfindlichkeit verfolgt
wird.The invention consists in a method for producing secondary emission cathodes,
in which a backing layer, in particular a backing metal, with a thin
Surface layer of an alkaline earth metal or earth metal is coated and the
Production of the surface metal layer before the assembly of the electrodes
Amplifier is preferably carried out in a special apparatus, and is characterized by
that for the purpose of reduction vein in air oxidized surface metal layer and
their sensitization to this a glow discharge in a noble gas or a
another chemically inactive gas is made and the effect of the glow discharge
tracked at certain time intervals by measuring the secondary emission sensitivity
will.
An sich ist es bekannt, Sektmdäremissionselektroden einer Glimmentladung
zu unterwerfen, um das Maximum der Sekundäremission der Prallelektroden überprüfen
zu können.It is known per se, sectarian emission electrodes of a glow discharge
subject to check the maximum of the secondary emission of the impact electrodes
to be able to.
Durch die Glimmentladung wird die durch eine Berührung der Sekundärelektroden
mit dem Sauerstoff der Luft gebildete Oxydschicht reduziert und damit ein gegebenenfalls
eingetretenerEmpfindlichkeitsverlust wieder ausgeglichen. Die Glimmentladung hat
den weiteren Vorteil, daß sie auch ab-oder adsorbierte Gase befreit und damit die
Elektroden von der unkontrollierbaren Einwirkung solcher Gase unabhängig macht.
Die Glimmentladung hält man zweckmäßig so lange aufrecht, bis die durch die Berührung
mit der Luft entstandene Oxydschicht reduziert ist. Die hierzu notwendigen Bedingungen,
unter denen die Glimmentladung vorgenommen wird, insbesondere auch die erforderliche
Zeit, werden durch Versuche leicht festgestellt werden können. Man kann auch so
vorgehen, daß man in bestimmten Zeitabständen wiederum eine Kontrolle mit Primärelektronen
vornimmt.The glow discharge is caused by touching the secondary electrodes
Oxide layer formed with the oxygen in the air is reduced and thus a possibly
any loss of sensitivity compensated for. The glow discharge has
the further advantage that it also frees off or adsorbed gases and thus the
Makes electrodes independent of the uncontrollable effects of such gases.
The glow discharge is expediently kept upright until it is touched
Oxide layer formed with the air is reduced. The necessary conditions for this,
under which the glow discharge is carried out, in particular the required one
Time will be easily ascertained through experimentation. You can do that too
proceed that one in turn a control with primary electrons at certain time intervals
undertakes.
Durch die Erfindung erhält man ein für die serienmäßige Fabrikation
besonders wertvolles Verfahren mit einer hohen Sekundäremissionsausbeute der einzelnen
Elektroden.The invention provides one for series production
particularly valuable process with a high secondary emission yield of the individual
Electrodes.