DE888896C - Elektrisch heizbarer Objekttraeger fuer Elektronenstrahlgeraete - Google Patents

Description

• Elektrisch heizbarer Objektträger für Elektronenstrahlgeräte Für Elektronenstrahlgeräte, beispielsweise Elektronenmikroskope oder Elektronenbeugungsapparate, ist es schon vorgeschlagen worden., einen elektrisch heizbaren, vom Strom durchflossenen Objektträger anzuwenden. Man. kann hierbei das Heizsystem sehr einfach ausgestalten, mit- geringer Temperaturträgheit ausführen und die gesamte Heizeinrichtung sehr klein gestalten. Bei der vorgeschlagenen Anordnung ist beispielsweise ein bandförmiger Objektträger angewendet, der unmittelbar vomStrom durchflossen wird. Dieser Objektträger ist an den seitlich aus dem Elektronenmikroskop herausnehmbaren Polschuhobjektiveinsatz eingefügt, so daß hier ein Objektwechsel dadurch möglich ist, daß das Polschuhsystem jedesmal mit entfernt wird. Die elektrischen Anschlußleitungen des stromdurchflossenen Objektträgers sind bei der vorgeschlagenen Anordnung beide isoliert nach außen. geführt.
• Die Erfindung zielt darauf ab, eine Objekterhitzungseinriehtung zu schaffen, die möglichst wenig Raumbedarf hat und leicht so ausgestaltet werden kann, daß man sie ohne wesentliche konstruktive Abänderungen bei normalen Elektronenmikroskopen zur Anwendung bringen kann, bei denen zum Objektwechsel eine Objektpatrone aus dem Vakuumraum ausgeschleust wird, ohne das dabei gleichzeitig wesentliche Teile des Objektivs, also beispielsweise die Polschuhe des Objektivs, mit entfernt werden müssen. Erfindungsgemäß ist der als Stromleiter ausgebildete Halter des vorzugsweise bandförmigen Objektträgers mit dem einen Ende des Objektträgers leitend verbunden und liegt, in der Betriebsstellung an einem von den metallischen Teilen des Mikroskops isolierten Kontakt, der mit dem Objektiv (bei Anwendung eines mit Polschuhen versehenen magnetischen Objektivs mit dem oberen Polschuh) fest verbunden ist und dem der Heizstrom durch eine isolierte Leitung zugeführt wird, während das andere Ende des Objektträgers mit der metallischen Objektpatrone leitend verbunden ist, der der Strom über das Mikroskopgehäuse zugeführt wird. Mit dieser Konstruktion gelingt es, mit einer einzigen isolierten Stromzuführungsleitung auszukommen, da die andere Stromzuführung durch das Mikroskopgehäuse selbst gebildet wird. Infolgedessen: läßt sich der Raumbedarf für die elektrische Heizeinrichtung des Objektträgers so klein halten, daß .praktisch keine baulichen Veränderungen erforderlich sind, wenn man die Erfindung bei an sich bekannten, mit ein-und ausschleusbaren Objektpatronen arbeitenden Elektronenmikroskopen; anwendet.
• Der Halter des bandförmigen Objektträgers kann beispielsweise an dem. Patronenkopf unter Zwischenschaltung einer Isolierscheibe befestigt sein. An der der Objektpatrone zugekehrten Seite des Objektivs kann beispielsweise ein ringförmiger isolierter Kontakt festgemacht sein, an dem das ihm zugekehrte Ende des Objektträgerhalters derart anliegt, daß die so gebildeten Kontaktflächen beliebige Querbewegungen: des Objektes gegenüber dem Objektiv zulassen. Man hat auf diese Weise einen elektrisch beheizbaren Objektpatronenkopf, den man mit Hilfe der normalen Antriebseinrichtungen; in; der Achsrichtung bis an die Anlagefläche des Objektivs vorschieben kann, so daß bei den Untersuchungen äußere Erschütterungen keine Störungen der Aufnahmen zur Folge haben können, da das Objekt selbst infolge dieser unmittelbaren Anlage des Objektträgerhalters an einem Teil des Objektivs keine Relativbewegungen gegenüber dem wirksamen Linsenbereich bei äußeren Erschütterungen machen kann. Da die Anlageflächen in der erwähnten Weise beliebige Querbewegungen zulassen, hat man auch eine einfache Möglichkeit, durch solche Querbewegungen die durchstrahlte Objektfläche in allen Einzelheiten. abzusuchen. Eine besonders einfache Konstruktion ergibt sich, wenn man den bandförmigen, elektrisch beheizbaren Objektträger mit zwei Elektroden haltert, von denen die eine leitend in den Halter eingesetzt ist, während die andere durch Verwendung von Isolierstücken an diesem Halter abgestützt und leitend: am Patronenkopf befestigt ist.
• Die Figur zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Querschnitt durch einen elektrisch beheizbaren Objektträger, der an einer ein- und ausschleusbaren Objektpatrone befestigt und bei einem mit Polschuhlinsen arbeitenden: Elektronen, mikroskop angewendet ist. Mit i ist der obere Polschuh des Objektivs bezeichnet. In diesem. Polschuh ist ein Isolierring z eingepaßt, -der einen aus stromleitendem Material bestehenden Ring 3 aufnimmt. An. diesen Ring 3 ist mit Hilfe eines isolierten Drahtes q. die eine Stromzuführungsleitung für die elektrische Beheizung des Objektträgers angeschlossen. Der Stromzuführungsdraht q. wird über eine in der Figur nicht dargestellte isolierende Vakuumdichtung durch die ebenfalls nicht dargestellte Elektronenmikroskopwand nach außen geführt. Der elektrisch beheizbare Objektträger bestehtäus;einem Glühband 5, das aus Wolfram, Platin odh dgl. hergestellt sein kann. Dieses Band wird von: zwei Elektroden 6, 7 gehalten. Die Elektrode 6 ist unmittelbar leitend in einen Halter B eingesetzt, während die Elektrode 7 unter Verwendung der Isolierscheiben 9 und io am Kopfteil i i der im übrigen nicht dargestellten Objektpatrone verschraubt ist. Die Isolierringe a, 9 und io können beispielsweise aus Speckstein bestehen, während die übrigen Teile der dargestellten. Anordnung elektrisch leitend sein können. Durch die Elektrode 7 erfolgt die Zuleitung des Stromes zum rechten Ende des Bandes 5. Der Kopfteil i i, mit dem die Elektrode 7 unmittelbar leitend verbunden ist, ist nämlich in die ebenfalls stromleitende Patrone eingeschraubt, und die Stromzufuhr erfolgt hier über das leitend mit der Patrone verbundene Gehäuse des Mikroskops. Durch die Elektrode 7 wird aber gleichzeitig auch der mechanische Zusammenhalt des dargestellten Patronenkopfes gewährleistet, dessen einzelne: Teile fest zusammengepaßt sind. Die Stromzufuhr zum linken Teil des Bandes 5 erfolgt über den isolierten Draht q., den. Ring 3, den Halter 8 und die Elektrode 6.
• Der Halter 8 sitzt mit seinem unteren Ende 1a auf der Gleitfläche 13 des leitenden Ringes 3 auf, so daß bei Wahrung einer guten Anlage zwischen; Objektpatronenkopf und Objektiv die üblichen: Querbewegungen des Objektpatronenkopfes und damit des Objektes :gegenüber dem wirksamen .Linsenbereich des Objektivs zur Einstellung des zu untersuchenden Objektausschnittes möglich sind.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Elektrisch heizbarer, ein- und ausschleusbarer, vom Strom durchflossener Objektträger für Elektronenstrahlgeräte, dadurch gekennzeichnet, daß der als Stromleiter ausgebildete Halter des vorzugsweise bandförmigen Objektträgers mit dem einen Ende des Objektträgers leitend verbunden ist und in der Betriebsstellung an einem von den metallischen Teilen des Mikroskops isolierten Kontakt anliegt, der mit dem Objektiv (vorzugsweise mit dem oberen Polschuh) fest verbunden ist und dem der Heizstrom durch eine isblierte Leitung! zugeführt wird, während das andere Ende des Objektträgers mit der metallischen Objektpatrone leitend verbunden, ist, der .der Strom über das Mikroskopgehäuse zugeführt wird.
2. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter des bandförmigen Objektträgers unten am Patronenkopf unter Zwischenschaltung einer Isolierscheibe befestigt ist.
3. 3. Anordnung nach Anspruch i oder z, dadurch gekennzeichnet, daß, an der der Objektpatrone zugekehrten. Seite des Objektivs ein ringförmig.;.r isolierter Kontakt festgemacht ist, an dem das ihm zukehrte Ende des Objektträgerhalters derart anliegt, daß die so gebildeten Kontaktflächen beliebige Querbewegungen des Objektes gegenüber dem Objektiv zulassen. q.. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der bandförmige, elektrisch beheizbare Objektträger von zwei Elektroden gehalten: wird, von denen die eine leitend in den Halter eingesetzt ist, während die andere durch Verwendung von Isolierstücken in diesem Halter abgestützt und leitend an dem Patronenkopf befestigt, beispielsweise verschraubt ist.