DE8806661U1

DE8806661U1 - Dichtvorrichtung für metallgedichtete Vakuumverbindungen

Info

Publication number: DE8806661U1
Application number: DE8806661U
Authority: DE
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1988-05-20
Filing date: 1988-05-20
Publication date: 1988-09-15

Description

88.010 GM

LEYBOLD AG
Köln-Bayenthal

Dichtvorrichtung für metallgedichtete Vakuumverbindungen

Die Erfindung bezieht sich auf eine Dichtvorrichtung für metallgedichtete Vakuumverbindungen mit einer Drahtdichtung und einer Maske, bei welchem Drahtdichtung und Maske zu einer als Ganzes handhabbaren Einheit zusammengefügt sind. Dichtsysteme dieser Art werden zwischen zwei Flanschen angeordnet, mit denen Gehäuse, Rohrleitungen and dgl. vakuumdicht miteinander verbunden werden sollen.

Bei Vakuumdichtungen dieser Art ist man zu deren leichterer Handhabung bestrebt, Drahtdichtung und Maske (bzw. Zentrierring) zu einer Einheit zusammenzufügen. Die Mittel, die dazu verwendet werrVen, müssen einerseits einen sicheren Zusammenhalt von Drahtdichtung und Maske gewährleisten, zum anderen dürfen sie die Dichtfunktion nicht beeinträchtigen.

Bei einer vielfach verwendeten Ausführungsform ist es bekannt, die aus Metall bestehende Maske an ihren Innenseiten mit nach innen ragenden Vorsprüngen auszurüsten, die abwechselnd aus der Ebene der Maske herausgebogen sind und die Drahtdichtung von beiden Seiten stützen sollen. Bei Vorsprüngen dieser Art besteht die Gefahr, daß «ie die empfindlichen Dichtflächen der miteinander zu verbindenden Flansche berühren und während des Zusammenpressen verletzen. Hochvakuum- und insbesondere Ultrahochvakuumbedingungen sind dann nicht mehr gewährleistet. Werden die Vorsprünge so klein bemessen, daß diese Gefahr nicht mehr besteht, dann ist die gegenseitige Halterung von Dichtring und Maske ni=ht mehr sichergestellt. Dieser Nachteil tritt insbeson-

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Dichtvorrichtung für eine Vakuumverbindung mit einer Drahtdichtung und einer Maske zu schaffen, bei dem ein Zusammenfügen mit einem sicheren gegenseitigen Halt möglich ist und bei dem die Gefahr, daß die dem Zusammenfügen dienenden Mittel die Dichtfunktion beeinträchtigen, nicht mehr besteht.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Drahtdichtung mit mindestens einem, vorzugsweise zwei nach außen gerichteten Drahtstiften ausgerüstet ist, denen Aussparungen in der Maske zugeordnet sind, und daß die Drahtstifte durch Verquetschen in ihren Aussparungen verklemmt sind. Dadurch wird eine nahezu unlösbare Verbindung zwischen Maske und Drahtdichtung hergestellt. Vorsprünge, die aus der Dichtebene seitlich hervorragen und die Dichtflächen der Flansche verletzen könnten, existieren nicht mehr.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden.

In allen Figuren sind die Bestandteile des rechteckförmigen Dichtsystemes 1 mit den Ziffern 2 (Drahtdichtung) und 3 (Maske bzw. Zentrierring) bezeichnet. Die Maske 3 weist nicht dargestellte Bohrungen auf, durch die Schrauben der ebenfalls nicht dargestellten Flansche hindurchgreifen. Der Durchmesser des Dichtdrahtes 2 ist größer als die Dicke der Maske 3, damit nur die Drahtdichtung 2 den Dichtflächen der miteinander zu verbindenden Flansche anlieqt.

Um Drahtdichtung 2 und Maske 3 zu einer Einheit zusammenfügen zu können, ist die Drahtdichtung 2 mit zwei nach außen gerichteten Drahtstiften 4, vorzugsweise aus dem gleichen Material wie der Dichtdraht 2 selbst (z. B. Silber), ausgerüstet. Bei den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 2 und 3 sind diese Drahtstifte 4 an den langen Seiten der rechteckförmigen Drahtdichtung 2

angelötet. Beim AuBfUhrungsbeispiel nach Figur 4 besteht die rechteckförmige Drahtdichtung 2 aus zwei L-förmigen, ebenfalls miteinander verlöteten Drahtabschnitten. Der jeweils die Schmalseiten der Drahtdichtung 2 bildende Abschnitt ist etwas langer gewählt, so daß überstehende Enden die nach außen gerichteten Drahtstifte 4 bilden.

Den Drahtstiften 4 ist in der Maske 3 jeweils eine Aussparung 5 zugeordnet, deren Breite nicht wesentlich größer ist als die Stärke des Dichtdrahtes. Dadurch ist es möglich, die Drahtstifte 4 in den Aussparungen 5 zu verklemmen, indem - wie in den Figuren 2 und 3 dargestellt - die Drahtstifte 4 z. B. mit einem Spezialwerkzeug an mehreren Stellen so verformt werden, daß infolge der Drahtverbreiterung durch Einkerben eine sichere Verbindung zwischen Maske 3 und Dichtdraht 2 in dessen Mittelebene erzielt wird. Die Gefahr der Verletzung der Flanschdichtfläche besteht nicht mehr.

Als Ausführungsbeispiel ist ein rechteckförmiges Dichtsystem 1 dargestellt. Von der Form ist die Erfindung jedoch unabhängig. Besonders geeignet ist die Anwendung der Erfindung bei metallgedichteten Hochvakuum- und Ultrahochvakuumverbindungen.

Claims

88.010 GH LEYBOLD AG Koln-Bayenthal Dichtvorrichtung für metallgedichtete Vakuumverbindungen ANSPRÜCHE

1. Dichtvorrichtung (1) für metallgedichtete Vakuumverbindungen mit einer Dr&htdichtung (2) und einer Ha,ske (3), bei welchem Drahtdichtung (2) und Maske (3) zu einer als Ganzes handhabbaren Einheit zusammengefügt sind, dadurch gekennzeichnet , daß die Drahtdichtung (2) mit mindestens einem, vorzugsweise zwei nach außen gerichteten Drahtstiften (4) ausgerüstet ist, denen Aussparungen (5) in der Maske (3) zugeordnet sind, und daß die Drahtstifte (4) in ihren Aussparungen (5) durch Verquetschen des Materials der Drahtstifte (4) verklemmt sind.

2. Dichtvorrichtung (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Drahtstifte (4) mit Kerben (6) versehen sind.

3. Dichtvorrichtung (1) nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß es rechteckförmig ist.

4. Dichtvorrichtung (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Drahtdichtung (2) aus zwei L-förmigen Abschnitten besteht und daß verlängerte Enden der beiden Abschnitte die Drahtstifte (4) bilden.