DE8631087U1 - Probenhalter - Google Patents

Probenhalter

Info

Publication number
DE8631087U1
DE8631087U1 DE19868631087 DE8631087U DE8631087U1 DE 8631087 U1 DE8631087 U1 DE 8631087U1 DE 19868631087 DE19868631087 DE 19868631087 DE 8631087 U DE8631087 U DE 8631087U DE 8631087 U1 DE8631087 U1 DE 8631087U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sample holder
sample
longitudinal hole
igr
insert bodies
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19868631087
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tata Steel Ijmuiden BV
Original Assignee
Hoogovens Groep BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hoogovens Groep BV filed Critical Hoogovens Groep BV
Publication of DE8631087U1 publication Critical patent/DE8631087U1/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27Work carriers
    • B24B37/30Work carriers for single side lapping of plane surfaces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32Polishing; Etching

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

• · I
• ·
Beschreibung: Hoogovens Groep B.V., NL - 1970 CA Ijmuiden Probenha Lter Die Erfindung bezieht sich auf einen Probenhalter für Meta I Lproben, die einer Oberflächenbehandlung auf einer
Schleif- oder Poliermaschine zu unterziehen sind, mit folgenden Merkmalen:
(a) der Probenhalter hat die Form einer Kreisscheibe;
Cb) die Kreisscheibe hat Ausnehmungen zur Aufnahme der zu behandelnden Metallprobe;
(c) der Probenhalter ist lösbar an einer drehbaren Welle befest i gbar.
Solche Probenhalter werden in der Stahlindustrie, aber auch in anderen Industriezweigen benutzt, um beispielsweise die Oberfläche von gerollten Stahlproben für eine nachfolgende mikroskopische Prüfung zu präparieren. Bei den derzeit lieferbaren Probenhaltern werden die Proben in den Ausnehmungen beispielsweise mit Zement befestigt. Nach dieser Befestigung wird der Probenhalter gegen eine rotierende Schleif- oder Polierscheibe gepreßt. Beim Schleifen von dünnen Proben, beispielsweise mit einer Dicke von 0,25 mm oder weniger, kann sich die Probe aufgrund der bei dem SchleifVorgang entstehenden Hitze auf Temperaturen erwärmen, die oberhalb einer bestimmten Grenze Liegt. Dies ist unerwünscht und kann zu einer falschen Interpretation bei
• · I (
• * I
• · I ·
• ti
■ · m *
der späteren Mikroskopprüfung führen. Auch können die Proben aus dem Probenhalter herausfallen, was zu unerwünschten Verbiegungen und Faltungen führt, was ebenfalls nachteilig ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Probenhalter der eingangs genannten Art 7&ugr; schaffen; an dem die Proben leicht befestigt und wieder entfernt werden können und keiner überhitzung unterliegen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Probenhalter mit folgenden Merkmalen gelöst:
(d) der Probenhalter hat eine Anzahl von zylindrischen Einsatzkörpern;
Ce) die Einsatzkörper sind in der Scheibe eingeklemmt;
(f) durch die Einsatzkörper geht jeweils ein Längsloch;
(g) an einem Ende sind um das Längsloch eine Anzahl von Radialnuten und eine Anzahl von konzentrischen Nuten innerhalb eines von der Oberfläche vorstehenden Dichtrings angeordnet;
(h) am anderen Ende des Längslochs ist eine Vakuumverbindung vorgesehen, um die dünne Metallprobe mittels Saugkraft fest gegen die genutete Oberfläche der Einsatzkörper zu halten.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Es zeigen:
Figur (1)
eine Draufsicht auf einen Probenhalter in
verkleinertem Maßstab;
Figur (2) eine Seitenansicht des ProbenhaLters gemäß Figur (1);
Figur (3) eine Ansicht des Probenhalters gemäß den Figuren (1) und (2) von unten;
Figur (4) einen Querschnitt durch einen der Einsatzkörper in vergrößertem Maßstab;
Figur (5) einen noch weiter vergrößerten Querschnitt der Vakuumführung des Probenhalters nach den Figuren (1) bis (4).
Die in den Figuren (1), (2) und (3) dargestellte Kreisscheibe (1) besteht aus rostfreiem Stahl und ist mit sechs zylindrischen Einsatzkörpern (2) aus Messing versehen. Um diese Einsatzkörper (2) in der Kreisscheibe (1) festklemmen zu können, sind eingesägte Einschnitt"» (3) und Klemmschrauben (4) vorgesehen.
Auf der Oberseite jedes Einsatzkörpers (2) sind Verbindungsnippel (5) angeordnet, die über eine Schlauchoder Rohrverbindung (6) mit einem Ooppelnippel (7) verbunden sind, das Teil eines auf einer Grundplatte (8) befestigten Vakuumführungsblocks (9) ist. An diesem Vakuumführungsblock (9) ist ein Vakuumrohr (10) befestigt.
Der Vakuumführungsblock (9) dient gleichzeitig auch als Lösbare Befestigung des gesamten Probenhalters an einer hier nicht näher dargestellten drehbaren Welle einer Schleif- und Poliermaschine. Hierfür ist er mit einem
Schnappverschlußkopf (11) ausgestattet. An seiner Oberfläche sind drei Kupplungs löcher (12) vorgesehen, in die hinein sich hier nicht näher dargestellte Trägerbolzen der vorgenannten Maschine erstrecken.
Die Grundplatte (8) ist an der Kreisscheibe (1) mittels Fixierschrauben (13) befestigt.
Figur (4) zeigt einen der Einsatzkörper (2) in einem Querschnitt in vergrößertem Maßstab. Er weist ein Längsloch (14) auf, dessen oberes Ende mit einem Verbindungsnippel (5) versehen ist. Auf der Unterseite weist der Einsatzkörper (2) beispielsweise vier Radialnuten (15) und zehn konzentrische Nuten (16) auf. Diese werden von einem Gummidichtring (17) umgeben, der in einer tiefen Nut liegt und diese praktisch vollständig ausfüllt und dabei beispielsweise eine Breite von 1,6 mm und eine Tiefe von 3,8 mm hat. Figur (4) zeigt, daß eine dünne, scheibenförmige Probe (18) aus Walzstahl am Gummidichtring (17) mit dem durch das Stanzen entstandenen Grat anliegt.
Damit gesichert ist, daß der Saugeffekt des über das Vakuumrohr (10) aufgeprägten Vakuums auf die sechs Proben (18) wirkt, während der gesamte Probenhalter gedreht wird, ist ein integraler Vakuumführungsblock (9) vorgesehen, wie er in vergrößertem Maßstab in Figur (5) dargestelIt ist.
Mit dem Vakuumrohr (9) ist ein Laufring (19) verbunden, der ebenso wie das Vakuumrohr (10) stationär ist. Der Laufring (19) hat an einer Innenseite eine Ringnut (19A), die über eine Anzahl von Radialbohrungen (26) mit einer Zentralbohrung (27) im unteren Teil (9B) des
I · I I I I
t f ■
VakuumfuhrungsbLocks (9) verbunden ist. Die ZentraLbohrung (27) ist voLLständig Luftdicht an ihrer Unterseite durch einen Stopfen (24) verschLossen. Auf drei Seiten sind RadiaLbohrungen (25) mit den DoppeLnippeLn (7) verbunden, die am unteren TeiL (9b) angeschraubt sind.
In diesem unteren TeiL sind des weiteren drei BLindLöcher (22) vorgesehen, durch die das Kuppeln zur Grundplatte (8) bewirkt wird. Der obere TeiL (9A) des VakuumfuhrungsbLocks (9) ist mit dem unteren TeiL (9B) verschraubt, so daß die beiden Teile frei um den Laufring (19) drehen können, wobei eine Sicherungsschraube (23) verhindert, daß sich die beiden Teile (9A, 9B) unabhängig voneinander verdrehen.
Im Laufring (19) sind zwei O-Ringe (20) vorgesehen, die beide Teile des VakuumfuhrungsbLocks (9) abdichten. Ferner sind an den Ober- und Unterflächen des Laufring (19) konzentrische Labyrinthnuten (21) für den gleichen Zweck eingeformt.

Claims (1)

  1. &igr;» t a &igr; > &igr;
    Il 111
    Anspruch:
    Hoogovens Groep B.V., NL- 1970 CA Ijmuiden
    Probenha Lter
    Probenhalter für Metallproben, die einer Oberflächenbehandlung auf einer Schleif- oder Poliermaschine zu unterziehen sind, mit folgenden Merkmalen :
    (a) der Probenhalter hat die Form einer Kreisscheibe;
    (b) die Krei^scheibe hat Ausnehmungen zur Aufnahme der zu behandelnden Metallprobe;
    (c) der Probenhalter ist lösbar an einer drehbaren Welle befest i gbar;
    gekennzeichnet durch folflende Merkmale:
    (d) der Probenhalter hat eine Anzahl von zylindrischen Einsat&zgr; körpern (2);
    (e) die Einsatzkörper (2) sind in der Scheibe (1) ei ngekIemmt;
    (f) durch die Einsatzkörper (2) geht jeweils ein Längsloch (14);
    (g) an einem Ende sind um das Längsloch (14) eine Anzahl von Radialnuten (15) und eine Anzahl von konzentrischen Nuten (16) innerhalb eines von der
    Oberfläche vorstehenden Dichtrings (17) angeordnet;
    (h) am anderen Ende des Längslochs (14) ist eine Vakuumverbindung vorgesehen, um die dünne Metallprobe (18) mittels Saugkraft fest gegen die genutete Oberfläche der Einsatzkörper (2) zu halten.
DE19868631087 1985-11-22 1986-11-20 Probenhalter Expired DE8631087U1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8503217A NL8503217A (nl) 1985-11-22 1985-11-22 Preparaathouder.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE8631087U1 true DE8631087U1 (de) 1987-03-05

Family

ID=19846905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19868631087 Expired DE8631087U1 (de) 1985-11-22 1986-11-20 Probenhalter

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE8631087U1 (de)
NL (1) NL8503217A (de)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0737546A2 (de) * 1995-04-10 1996-10-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Haltevorrichtung für ein Substrat und Verfahren und Vorrichtung zum Polieren eines Substrates
EP0747167A2 (de) * 1995-06-09 1996-12-11 Applied Materials, Inc. Vorrichtung zum Halten eines Halbleiters während dem Polieren
US5957751A (en) * 1997-05-23 1999-09-28 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate detection mechanism for a chemical mechanical polishing system
US5964653A (en) * 1997-07-11 1999-10-12 Applied Materials, Inc. Carrier head with a flexible membrane for a chemical mechanical polishing system
US5993302A (en) * 1997-12-31 1999-11-30 Applied Materials, Inc. Carrier head with a removable retaining ring for a chemical mechanical polishing apparatus
US6080050A (en) * 1997-12-31 2000-06-27 Applied Materials, Inc. Carrier head including a flexible membrane and a compliant backing member for a chemical mechanical polishing apparatus
US6146259A (en) * 1996-11-08 2000-11-14 Applied Materials, Inc. Carrier head with local pressure control for a chemical mechanical polishing apparatus
US6386947B2 (en) 2000-02-29 2002-05-14 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for detecting wafer slipouts
US6398621B1 (en) 1997-05-23 2002-06-04 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate sensor
US6722965B2 (en) 2000-07-11 2004-04-20 Applied Materials Inc. Carrier head with flexible membranes to provide controllable pressure and loading area
US6857945B1 (en) 2000-07-25 2005-02-22 Applied Materials, Inc. Multi-chamber carrier head with a flexible membrane
US6872122B2 (en) 1998-12-30 2005-03-29 Applied Materials, Inc. Apparatus and method of detecting a substrate in a carrier head
US7040971B2 (en) 1996-11-08 2006-05-09 Applied Materials Inc. Carrier head with a flexible membrane
US7198561B2 (en) 2000-07-25 2007-04-03 Applied Materials, Inc. Flexible membrane for multi-chamber carrier head
US7255771B2 (en) 2004-03-26 2007-08-14 Applied Materials, Inc. Multiple zone carrier head with flexible membrane

Cited By (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0737546A3 (de) * 1995-04-10 1997-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Haltevorrichtung für ein Substrat und Verfahren und Vorrichtung zum Polieren eines Substrates
EP0737546A2 (de) * 1995-04-10 1996-10-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Haltevorrichtung für ein Substrat und Verfahren und Vorrichtung zum Polieren eines Substrates
EP0747167A3 (de) * 1995-06-09 1997-01-29 Applied Materials Inc Vorrichtung zum Halten eines Halbleiters während dem Polieren
US6290577B1 (en) 1995-06-09 2001-09-18 Applied Materials, Inc. Fluid pressure regulated wafer polishing head
US7101261B2 (en) 1995-06-09 2006-09-05 Applied Materials, Inc. Fluid-pressure regulated wafer polishing head
EP0747167A2 (de) * 1995-06-09 1996-12-11 Applied Materials, Inc. Vorrichtung zum Halten eines Halbleiters während dem Polieren
US6024630A (en) * 1995-06-09 2000-02-15 Applied Materials, Inc. Fluid-pressure regulated wafer polishing head
US6652368B2 (en) 1995-06-09 2003-11-25 Applied Materials, Inc. Chemical mechanical polishing carrier head
US6443824B2 (en) 1995-06-09 2002-09-03 Applied Materials, Inc. Fluid-pressure regulated wafer polishing head
US7040971B2 (en) 1996-11-08 2006-05-09 Applied Materials Inc. Carrier head with a flexible membrane
US6511367B2 (en) 1996-11-08 2003-01-28 Applied Materials, Inc. Carrier head with local pressure control for a chemical mechanical polishing apparatus
US6146259A (en) * 1996-11-08 2000-11-14 Applied Materials, Inc. Carrier head with local pressure control for a chemical mechanical polishing apparatus
US6368191B1 (en) 1996-11-08 2002-04-09 Applied Materials, Inc. Carrier head with local pressure control for a chemical mechanical polishing apparatus
US6705924B2 (en) * 1997-05-23 2004-03-16 Applied Materials Inc. Carrier head with a substrate detection mechanism for a chemical mechanical polishing system
US6517415B2 (en) 1997-05-23 2003-02-11 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate detection mechanism for a chemical mechanical polishing system
US5957751A (en) * 1997-05-23 1999-09-28 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate detection mechanism for a chemical mechanical polishing system
US6343973B1 (en) * 1997-05-23 2002-02-05 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate detection mechanism for a chemical mechanical polishing system
US6244932B1 (en) 1997-05-23 2001-06-12 Applied Materials, Inc. Method for detecting the presence of a substrate in a carrier head
US6547641B2 (en) 1997-05-23 2003-04-15 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate sensor
US6398621B1 (en) 1997-05-23 2002-06-04 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate sensor
US6093082A (en) * 1997-05-23 2000-07-25 Applied Materials, Inc. Carrier head with a substrate detection mechanism for a chemical mechanical polishing system
US6506104B2 (en) 1997-07-11 2003-01-14 Applied Materials, Inc. Carrier head with a flexible membrane
US6106378A (en) * 1997-07-11 2000-08-22 Applied Materials, Inc. Carrier head with a flexible membrane for a chemical mechanical polishing system
US6896584B2 (en) 1997-07-11 2005-05-24 Applied Materials, Inc. Method of controlling carrier head with multiple chambers
US5964653A (en) * 1997-07-11 1999-10-12 Applied Materials, Inc. Carrier head with a flexible membrane for a chemical mechanical polishing system
US6648740B2 (en) 1997-07-11 2003-11-18 Applied Materials, Inc. Carrier head with a flexible membrane to form multiple chambers
US6277010B1 (en) 1997-07-11 2001-08-21 Applied Materials, Inc. Carrier head with a flexible membrane for a chemical mechanical polishing system
US6080050A (en) * 1997-12-31 2000-06-27 Applied Materials, Inc. Carrier head including a flexible membrane and a compliant backing member for a chemical mechanical polishing apparatus
US5993302A (en) * 1997-12-31 1999-11-30 Applied Materials, Inc. Carrier head with a removable retaining ring for a chemical mechanical polishing apparatus
US6277009B1 (en) 1997-12-31 2001-08-21 Applied Materials, Inc. Carrier head including a flexible membrane and a compliant backing member for a chemical mechanical polishing apparatus
US6872122B2 (en) 1998-12-30 2005-03-29 Applied Materials, Inc. Apparatus and method of detecting a substrate in a carrier head
US6386947B2 (en) 2000-02-29 2002-05-14 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for detecting wafer slipouts
US6722965B2 (en) 2000-07-11 2004-04-20 Applied Materials Inc. Carrier head with flexible membranes to provide controllable pressure and loading area
US6979250B2 (en) 2000-07-11 2005-12-27 Applied Materials, Inc. Carrier head with flexible membrane to provide controllable pressure and loading area
US6857945B1 (en) 2000-07-25 2005-02-22 Applied Materials, Inc. Multi-chamber carrier head with a flexible membrane
US7198561B2 (en) 2000-07-25 2007-04-03 Applied Materials, Inc. Flexible membrane for multi-chamber carrier head
US7255771B2 (en) 2004-03-26 2007-08-14 Applied Materials, Inc. Multiple zone carrier head with flexible membrane
US7842158B2 (en) 2004-03-26 2010-11-30 Applied Materials, Inc. Multiple zone carrier head with flexible membrane
US8088299B2 (en) 2004-03-26 2012-01-03 Applied Materials, Inc. Multiple zone carrier head with flexible membrane

Also Published As

Publication number Publication date
NL8503217A (nl) 1987-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE8631087U1 (de) Probenhalter
DE19715460C2 (de) Haltevorrichtung und Halteringvorrichtung zum Polieren eines Werkstücks
DE2926462C2 (de) Bohrwerkzeug für metallische Werkstoffe u.dgl.
EP0825911B1 (de) Profilmesserkopf
DE4236964A1 (de) Scheibenförmiges Werkzeug für Winkelschleifer
DE2822379A1 (de) Bremsscheibe fuer scheibenbremsen, insbesondere fahrzeugbremsen
EP0147531A1 (de) Vorrichtung zum Einspannen von Werkstücken
DE10132721C1 (de) Schneidvorrichtung
DE102009049088A1 (de) Werkzeug zur spanenden Bearbeitung
EP0407907A1 (de) Drehräumwerkzeug
DE3737322C2 (de)
EP0286837A1 (de) Messereinsatz
DE3520417A1 (de) Vorrichtung zum loesbaren befestigen
DE2856881A1 (de) Bearbeitungsgeraet fuer zahnmodelle
DE9210363U1 (de) Messerkopf, insbesondere Profilmesserkopf
EP0144073B1 (de) Schneidwerkzeug
DE2112092A1 (de) Werkzeughalter
DE102011107753A1 (de) Vorrichtung zum Positionieren eines Teiles
DE7415364U (de) Vorrichtung fuer die entgratung von gussbadewannen
DE3340102C1 (de) Vorrichtung zur Befestigung einer Werkzeugaufnahmehuelse auf einem Muldenschlitten einer Werkzeugmaschine
DE102015014664B3 (de) Aufnahmevorrichtung für eine mittig gelagerte Gewindespindel mit einem diese umfassenden Bund im Grundkörper eines Zentrierspanners
DE2322825A1 (de) Schneidwerkzeug und verfahren zur anformung der schneidkanten desselben
DE2510653C2 (de) Fräswerkzeug mit in Kassetten angeordneten Wendeschneidplatten
DE7916592U1 (de) Transportables rohrbearbeitungsgeraet
DE19828734C1 (de) Vorrichtung zum Vermessen und/oder Einstellen von Schneidwerkzeugen