DE838176C - Magnetisches Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

Aus der Lichtoptik ist bekannt, daß bei festem Abstand eines Bildes von dem das Bild darstellenden Gegenstand die Vergrößerung um so größer wird, je kleiner die Brennweite der zui der der Vergroßerung benutzten Linse ist. Dasselbe gilt auch für die in Elektronenmikroskopen verwendeten magnetischen Linsen, welche aber gegenüber den lichtoptischen Glaslinsen den Vorteil aufweisen, daß ihre Brennweite durch Verstärkung ihres Magnetfeldes verkleinert werden kann. Diese Verkleinerung der Brennweite wird dadurch begrenzt, daß daibei das Objekt immer näher an die Linse herangerückt werden muß und dadurch Teile des Magnetfeldes für die Linse unwirksam werden. Die Folge davon ist, daß bei einer gewissen minimalen Brennweite das Bild auch bei weiterer Annäherung an die Linsenmitte trotz Steigerung des Magnetfeldes nicht weiter vergrößert wird.

Immerhin ist es geilungen, bei entsprechender magnetischer Feldstärke und zweckmäßiger Ausbildung des magnetischen Kreises von Elektronenlinsen sehr (kleine Brennweiten von 1 bis 2 mm zu erzielen. Daraus ergibt sich andererseits der Nachteil, daß bei bekannten Linsen dieser Art, deren Polschuhe aus mindestens zwei Teilen, beispielsweise aus einer oberen und einer unteren Hälfte, bestehen, die Objekte in die Polschuhlbohrung hineingebracht werden müssen, um in die minimale Brennweite eingestellt werden zu können. Dies bereitet alber erhebliche Schwierigkeiten, weil die räumliche Ausdehnung der zur Einbringung der Objekte in den Strahlengang der Elektronenmikroskope dienenden Apparateteile, die sog. Objektschleusen, die notwendige Annäherung der Objekte.

an die minimale Brennweite nicht ohne weiteres zulassen.

Um diesen Mangel zu beseitigen, ist gemäß der Erfindung die Stärke der oberen Polschuhhälfte in der Achsrichtung der Elektronenlinse. in der unmittelbaren Umgebung der Bohrung so bemessen, daß der Brennpunkt des Objektivs bei minimal eingestellter Brennweite aus der Polschuhbohrung herausverlegt ist. Dabei geht man zweckmäßig nur so weit, daß das Objekt gerade dann in die minimale Brennweite eingestellt ist, wenn es auf den Polschuhen aufliegt.

In der Zeichnung ist als Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes ein Schnitt durch die Polschuhe einer magnetischen Elektronenlinse dargestellt.

Im einzelnen veranschaulicht daibei ι ejnen Spulenmantel, in dem sich eine Wicklung 2 befindet. Von den an den Spulenmantel 1 angesetzten PoI-schiuhen ist der obere Teil mit 3 und der untere Teil mit 4 bezeichnet. Im Spulenmantel 1 und -55 zwischen den Polschuhteilen 3 und 4 befindet sich ein magnetisch isolierendes Zwischenstück 5bzw. 5'. Da, wie durch Versuche ermittelt wurde, die minimal ausnutzbare Brennweite bei auf dem Polschuhteil 3 aufsitzendem Präparat um so näher bei der minimalen Brennweite liegt, je geringer der Eisenquerschnitt des Polschuhteils 3 ist, ist der Querschnitt des Polschuhteils 3 an der Stelle3' so bemessen, daß bei hier aufliegendem Präparat 6 die Gegenstandsebene gerade in die minimale Brennweite zu liegen kommt. Bei einem für ein ausgeführtes Elektronenmikroskop gebauten Objektiv betrug die Stärke des Polschuhteils 3' in der Umgebung der Polschuhbohrung 0,7 mm, sie ist demnach über einen größeren Flächenbereich kleiner als der Polschuhdurchmesser, der beispielsweise 2 mm betragen kann.

Der Vorteil einer derartigen Ausbildung der Polschuhe besteht darin, daß dabei ein auf den PoI-sdhulhen aufsitzendes Präparat dhne weiteres in die minimale Brennweite des Objektivs eingestellt ist, daß diese Einstellung mit üblichen Objektschleusen vorgenommen werden kann und daß sich dadurch die Ausnutzung des größtmöglichen Auflösungsvermögens von selbst ergibt.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE:

   i. Magnetisches Elektronenmikroskop

   mit

   einem Objektiv, dessen Polschuhe aus mindestens zwei Teilen bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke des oberen Polschuhteils in der Achsrichtung der Linse in der unmittelbaren Umgebung der Bohrung so bemessen ist, daß der Brennpunkt des Objektivs bei minimaler Brennweite außerhalb der Polschuhbohrung liegt.
2. 2. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der obere Polschuhteil des Objektivs über einen größeren Flächenbereich eine Dicke aufweist, die kleiner ist als der Polschuhdurchmesser.
3. 3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1 und 2, gekennzeichnet durch eine derartige Ausbildung der Palschuhe, daß ein auf den Polschuhen aufliegendes Objekt in die minimale Brennweite des Objektivs zu liegen kommt.