DE8302637U1 - Rechteckige Targetplatte für Kathodenzerstäubungsanlagen - Google Patents

Description

RECHTECKIGE TARGETPLATTE FUER KATHODENZERSTAEUBUNGSANLAGEN

Die Erfindung betrifft eine Targetplatte für Kathodenzerstäubung. Derartige Targetplatten bestehen aus dem Material, welches in einer Kathodenzerstäubungsanlage zerstäubt werden soll, um auf Substratflächen eine Schicht aus dem betreffenden Material oder bei Anwesenheit eines chemisch aktiven Restgases in der Zerstäubungsanlage eine chemische Verbindung des Targetmaterials mit dem aktiven Gas niederzuschlagen.

Bei Anlagen grösserer Leistung werden die Kathodenplatten infolge des Beschüsses mit Ionen oft einer sehr hohen thermischen Belastung ausgesetzt und müssen gekühlt werden, um die überschüssige Wärmeenergie abzuführen. Trotzdem ergibt sich bei hohen Leistungen das Problem, dass sich die Kathodenplatten, wenn sie, wie üblich, an ihrem Rand starr eingespannt gegen eine gekühlte Unterlage angepresst werden, infol ge thermischer Ausdehnung verwerfen und dann sich von der Unterlage abheben, wodurch die Kühlung unzureichend wird und das Targetmaterial

eine zu hohe Temperatur annimmt; es wird dann plastisch verformbar und kann schiiesslich u.U. sogar schmelzen. Um dies zu verhindern, wurde schon versucht, die Targetplatte auf ihrer Rückseite mit der gekühlten Unterlage zu verlöten oder zu verschweissen, doch muss eine solche Verbindung mit grosser Sorgfalt hergestellt werden, ansonsten sich die Targetplatte trotzdem von der Unterlage lösen kann; jedenfalls ist dieses Anlöten oder Schweissen aufwendig. Am besten bewährt hat sich bisher die Targetplatte an ihrem Umfang auf der gekühlten Unterlage festzuschrauben und auch in der Mitte der Platte eine Befestigung mittels Schrauben vorzusehen, um ein Abheben zu verhindern.

Die vorliegende Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, eine Targetplatte für Kathodenzerstäubung anzugeben, die grössere Betriebssicherheit gegen mangelhafte Kühlung bietet.

Diese erfindungsgemässe Targetplatte für Kathodenzerstäubungsanlagen, welche entlang einer den längeren Rechteckseiten parallelen Mittellinie der zu zerstäubenden Fläche mehrere Ausnehmungen für eine Befestigung aufweist,ist dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (5) im Boden einer auf der Seite der zu zerstäubenden Fläche entlang der Mittellinie angebrachten Nut (4) angeordnet sind.

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel anhand der anliegenden Zeichnung näher beschrieben. In dieser bedeutet 1 eine rechteckige Targetplatte, z.B. aus reinem Aluminium. Sie ist an ihrem Umfang mit einer Schulter 2 versehen, die eine Mehrzahl von Ausnehmungen 3 für den Durchgriff von Schrauben für die Befestigung auf einer gekühlten Unterlage in einer Kathodenzerstäubungsanlage aufweist. Entsprechend der Erfindung ist in der Platte 1, wie die Zeichnung zeigt, eine Nut 4 eingearbeitet, in deren Boden ebenfalls eine Reihe von Ausnehmungen 5 vorgesehen sind, sodass die Platte auch entlang einer Mittellinie mit der gekühlten Unterlage durch Schrauben fest verbunden werden kann und zwar unter Verwendung einer Schiene 6 mit zu den Ausnehmungen in der Nut korrespondierenden Ausnehmungen 7, durch welche die Befestigungsschrauben hindurchgreifen. Es ist zu empfehlen, die Nuttiefe so zu wählen, dass Schiene und Schrauben während der Kathodenzerstäubung nicht aus der zu zerstäubenden Fläche herausragen. Damit wird eine Abstäubung von Material von den genannten Befestigungselementen und damit eine etwaige Verunreinigung der aufzustäubenden Schichten mit Sicherheit vermieden.

Durch das Vorsehen einer Nut wurde ein überraschender Effekt erzielt, wie die Erfahrung gezeigt hat. Dank der geringen Dicke der Platte 1 im Bereich des Nutbodens, also gerade in der Mitte der Platte, wo bei bisherigen Anordnungen oft die höchste Temperatur während des Betriebes

auftrat, wird nunmehr eine besonders gute Kühlung erreicht und dadurch verhindert, dass das Material im Bereich der Mittelbefestigung fliessen kann. Die Befestigung an dieser Stelle mittels der Schiene ist mechanisch daher besonders fest und gewährleistet einen zuverlässigen thermischen Kontakt mit der Unterlage. Die bisher auch bei Targetplatten mit zentraler Schraubenbefestigung - aber ohne Verwendung einer Anpressschiene - aufgetretenen Schwierigkeiten konnten durch die neue Anordnung völlig ausgeschaltet werden.

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Claims (2)

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1. Rechteckige Targetplatte für Kathodenzerstäubungsanlagen, welche entlang einer den längeren Rechteckseiten parallelen Mittellinie der zu zerstäubenden Fläche mehrere Ausnehmungen für eine Befestigung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (5) im Boden einer auf der Seite der zu
zerstäubenden Fläche entlang der Mittellinie angebrachten Nut (4) angeordnet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch !gekennzeichnet durch eine solche Nuttiefe, dass eine für die Befestigung der Targetplatte (1) auf einer Unterlage verwendete, in die Nut (4) eingelegte Schiene (6) nicht über die Zerstäubungsebene herausragt.