DE8109173U1 - Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten - Google Patents

Description

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CASCH/KRI 4. März 1981

BATTELLE - INSTITUT E.V., Frankfurt/Main LEYBOLD - HERAEUS GMBH, Hanau

Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten, die im wesentlichen aus einem Ultraschall-Anregungssystem und einem mit Ultraschallfrequenzen schwingenden Biegeresonator sowie Einrichtungen für die Flüssigkeitszuführung iii den Schnelleknotenbereich des Biegeresonators besteht.

Bei konventionellen Ultraschall-Kapillarwellenzerstäubern erfolgt die Vernebelung durch Tropfenabschnürung aus einem stehenden Kapillarwellengitter mit schachbrettartig angeordneten Knotenlinien, das sich auf einem dünnen, von einer schwingenden Festkörperfläche angeregten Flüssigkeitsfilm an der flüssig/ gasförmigen Phasengrenze ausbildet. Die Zerstäubung erfordert eine von der Frequenz und verschiedenen Flüssigkeitsparametern abhängige Anregungsamplitude der schwingenden Festkörperfläche und einer geeigneten Dicke des Flüssigkeitsfilms. Bei zu dünnem Film können sich keine Tröpfchen bilden, bei zu dickem Film werden durch Dämpfung in der Flüssigkeit keine effektiven Kapillarwelien angeregt.

Um den optimalen flächenspezifischen Zerstäubungsdurchsatz von 3S einigen Litern pro Stunde und cm bei niederviskosen Flüssigkei-

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ten zu erreichen, muß die Flüssigkeit kontinuierlich so auf die Zerstäuberfläche aufgebracht werden, daß eine möglichst optimale Filmdicke auf einem möglichst großen Bereich der seinsingenden Fläche aufrechterhalten wird. 5

Bei der üblichen Flüssigkeitsversorgung durch eine axiale Bohrung des Ultraschallzerstäubers ist dies nur bis zu relativ kleinen Durchsätzen unter 5 l/h erreichbar. Bei einer solchen inneren Flüssigkeitszuführung treten jedoch insbesondere bei größerem Durchsatz Kavitationsspratzer auf, die das Tropfen-Spektrum in unzulässiger Weise verschlechtern. Dieser Effekt kann durch eine äußere Flussigkeits zuführung über mehrere Röhrchen ausgeschaltet werden. Eine solche Ausführungsform kann bei großen Durchsätzen unter Umständen unwirtschaftlich und nicht optimal sein. Hinzu kommt, daß mit den bekannten Vorrichtungen, z.B. bei der Pulverherstellung, eine Separation nach der Teilchengröße nicht erfolgen kann.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben, mit der die Nachteile bekannter Vorrichtungen vermieden werden können. Die Erfindung sollte eine Zerstäubung einer größeren Flüssigkeitsmenge pro Zeiteinheit mit einem optimalen Wirkungsgrad ermöglichen. Die Flüssigkeitszuführung sollte kavitacionsfrei erfolgen und der Leistungs· bedarf möglichst gering sein.

Es hat sich gezeigt, daß sich diese Aufgabe lösen läßt_s wenn der Biegeresonator mindestens eine in Bezug auf die Achse des Anregungssystems geneigte Fläche aufweist und daß die Länge des Anregungssystems etwa (2n+1) &lgr;/4 beträgt, wobei n-0 oder eine ganze Zahl ist. Die vorteilhaften Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind in den Unteransprüchen 2 bis 15 beschrieben.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung besteht aus einem üblichen

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UltfaSGhall^AmplitUdentjfansfoJfmator Und eineirt damit mechanisch Verbundenen Biege resonator¹ der" gleiehen Res"önänzfr:eq"Uenii < Sie Verbindung der beiden Teile känii so aUsgefuhjft Wefdeil, daß der Biegeresöftätör· als gifte selbständige Eiiiheit ausgewechselt Wer= S den käiini Im eiri£äGhsten Fäll ist der ßiö|ef"eäöfiätöf ein fädiälsymmetfJsGher Höhlkönus«

Me BiegesGhwingung des Resonators wird durch ein axiaies An= regurigssystem bewirkt. Das Anregungssystem ist vorzugsweise iö ein piezoelektrisch angeregter Verbundschwingef_} der als Stufentransformator öder mit konischer_} expönentieller ödef ähnlicher Kontur ausgeführt sein kann»

Der erfindürtgsgemäße Ultraschallzerstäuber kann insbesondere in Luftbefeuchtern bei Klimaanlagen, ölbrennern* als Metailzerstäuber zur Pülvergewinnung aus zerstäubten Schmelzen, als Zerstäuber von Lösungen, Suspensionen und Emulsionen zur Pulvergewinnung durch Abdampfen der flüssigen Komponenten verwendet werden* Er kann auch in Prözeßkammern bei vermindertem oder erhöhtem Gasdruck, bei niedriger öder höher Temperatur, inerter oder reaktiver Gasatmosphäre eingesetzt Werden, so daß infolge des hohen, mit minimalem Leistungsaufwand erzielbarem Durch^ satz viele verfahrenstechnische Anwendungen im industriellen Maßstab denkbar sind. Bei der letzteren Anwendung wird insbesondere eine Be- oder Entgasung von Flüssigkeiten durch Diffusion erzielt. Hierbei kann durch Einstellung der Neigung der Zerstäubungsfläche eine lange Flugbahn der Flüssigkeitsteilchen ermöglicht und damit das gesamte Volumen des Prozeßraums optimal ausgenutzt werden.

Die durch die Erfindung erzielten Vorteile sind ini Wesentlichen darin zu sehen, daß große Flussigkeitsmengen über eine zentrale Zuführung unter optimalen Bedingungen auf die Zerstäuberfläche gefördert werden können. Ferner wird die Kavitation an den Zuführungssteilen trotz anfänglich großer lokaler Flüssigkeits-

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vermieden, ßufeh die päräbelförmige Nebelühäräkte" ristik Wäehst der" Abätäiid dar Tröpfchen untereinander stetig, so daß sich die übliche Neigung didhtef Nebel ZUf Koagulation stäik Vf-Jrfinger'ti DUifch die Zünähmes des FlUgbahndUiohjneSsefs itiit dent Quadrat des¹ TiföpfendUfGlimöäsers ist eine Teileftensoperation bei der Pulverhersteüung mögliGh* Die Sdhtägsteliung der Zerstäubeffiäche beWifkt, daß eine überkritische Bedämpfung der Zefstäuberschwingung verhindert wird* Die übersdhüssige Flüssigkeit läuft über den Rand des Zerstäubers ab _j öhiie dessen 1Ö Funktion zu beeinträchtigen»

Mit einem konischen Biegewellenzerstäuber mit SO mm Durchmesser lassen sich z<B* bei einer Arbeitsfrequenz von 20 kHz bei einer HF^LeistungSaufnahme von weniger als 10 Watt etwa 15Ö l/h Wasser in Tröpfen von etwa 40 /um zerstäubet Bei größerer Konusflache läßt sich der Durchsatz, der durch Verringerung der Flüssigkeitszufuhr ohne Änderung des Tröpfendürchmessers bis auf Null reduziert werden kann, erheblich steigern* Ferner ist die erfindungsgemäße Vorrichtung ohne Schwierigkeiten bei Frequenzen bis etwa 100 kHz einsetzbar. Entsprechend werden bei fast glei-

2 chen flächenspezifischen Durchsätzen Von einigen l/h und cm die mittleren Tropfendurchmesser kleiner.

Die Erfindung wird anhand beiliegender Zeichnungen näher erläutert* Es zeigen in schematischer Vereinfachung

Figur 1 die Gesamtansicht einer Ausfuhrungsform des erfindungsgemäßen Zerstäubers mit einem Hohlkonus als Biegeresonator;
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Figur 2a) Und b) in Aufsicht und Längsschnitt den konischen Biegeresonator;

Figur 3 im Längsschnitt den erfindungsgemäßen konischen Biegeresonator mit vertikaler Flüssigkeitszuführung;

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figur 4 eine Ausfühftingsform mit horizontaler Flüsäigkeitszuführung;

Figur Sä) bis e) einige Ausführiffigsformen für den Biegeresönätöl^ 5

Figur 6 eiiie weiteife AusführUngsform, bei der der konische BiegereSönätöf mit dem AnregungSäystem derart Verbunden ist j daß die Gesamtlänge des Systems &lgr;/4 beträgt;
10

Fagur 7 eine Befestigungsmb'giichkeit der in Figur 6 därge^ stellten Vorrichtung;

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Figur Öa) und b) einige Varianten der Flüssigkeitszuführung bei einer Vorrichtung mit umgedrehtem Konus;

Figur 9 lineare Anordnung von mehreren Zerstäubern mit umgedrehtem Hohlkonus als Biegeresonatof;

Figur 10 eine kaskadenartige Verbindung mehrerer konischer Biegeresonatöfen mit einem gemeinsamen Anregungssystem;

Figur 11 einen Zerstäuber mit konischem Biegeresonato-i*, der eine axiale Flüssigkeitszuführung von hinten aufweist;

Figur 12 eine Ausführungsform mit Heizung und Kühlung, die sich zur Zerstäubung von Metallschmelzen eignet.

In der in Figur 1 dargestellten Ausführungsform weist der erfindungsgemäße Ultraschallzerstäuber einen mittels zweier Piezo-Kerämikscheiben 1 angeregten Koppelschwinger 2 auf, der . als ein im Schnelleknoten 3 abgestufter Amplitudentransformator ausgebildet ist. Solche Koppelschwinger sind z.B. in der DE-OS 29 06 823 beschrieben. Der Biegeresonator 4 ist in diesem

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Beispiel in Pöfiii eines HdhlkönUs ausgebildet Und befindet sieh äii dem der" Stufe 3 gegenüberliegenden finde des sehlärikeft, zy« iindrlschen Teils § des AnreigUngs syst ems , EirfindUngi'g'eittäß kann

J die Gesamtlänge eines solchen AnregüiigSsySteffis (2&eegr;+&Iacgr;) &lgr;/4 be-

'&zgr; 5 tfägeri, Wobei ii-Ö öder" eine änderte gäiize Zähl ist* Bei der in

^i Figur 1 dargestellten AusfuhfUrigsform ist die Länge 3&lgr;/4, wobei

der Abstand zwischen dei Stufung 3 üiid def Spitze des Biegefe = sonätörs 4, d.h* die Länge des zylindrischen, schmäleren teils &Lgr;/2 ist, so daß sich im Bereich der Koriusspitze eiii Söhneileknoten befindet* Die Abmessungen des Biegefesöriatofs 4, d»h< die Dicke, der Durchmesser und det Könuswinkel werden so ge= wählt, daß sich bei der gewünschten Arbeitsfrequenz Biegeresöaanzen mit mehr oder weniger vielen Knotenradien und/öder Knötenkfeisen ergeben. Vorzugsweise wird eine Eigenresonänz gewählt, bei der der Biegeresonator 4 mit Knötenrädien und mit einer vom Zentrum, d.h. Konusspitze, zur Peripherie zunehmenden Amplitude schwingt, so daß die auf die Konusspitze geleitete Flüssigkeit sich zürn peripheren Bereich hin mit abnehmen-¹ der Filmdicke ausbreiten kann.

In Figur 2a) werden die Knotenradien in Aufsicht gezeigt. Figur 2b) macht die Biegeschwingung des Hohlkonus-Resonators 4 deutlich.

Aus Figur 3 geht hervor, daß die zu vernebelnde Flüssigkeit 6 axial auf die Spitze des Biegeresonators 4 als ein relativ dicker Strahl von oben zugeführt werden kann. Da sich im Bereich der Spitze des Hohlkonus 4 ein Schnelleknoten befindet, findet dort keine Anregung von Kapillarwellen statt. Es kam* auch keine Schwingungskavitation auftreten, wie dies bei den zur Zerstäubung erforderlichen Amplituden bei größerer Flüssigkeitsfilmdicke der i?ali wäre. Die Flüssigkeit läuft demzufolge ungestört über die Konusfläche ab, wobei sich mit zunehmendem Abstand zum Zentrum die Filmdicke bei gleichseitig zunehmender SehneHeamplitude des Zerstäubers stetig verringert- Auf diese

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Weise stellt sich automatisch eine für die Zerstäubung optimale Filmdicke ein. Die Zerstäubung erfolgt dann in herkömmlicher Weise durch Abschnürung von Tröpfchen aus dem Kapillarwellengitter. Durch die Neigung der Konusfläche werden die Tröpfchen axialsymmetrisch vom Zerstäuber weggeschleudert, wobei sich annähernd parabelförmige Flugbahnen ergeben, deren Abstand vom Zentrum etwa proportional zur Schnelleamplitude V des Wandlers zur Dichte Sder zerstäubten Flüssigkeit und zum Quadrat des Tröpfchendurchmessers d ist. Der mittlere Tröpfchendurchmesser d_Jn folgt in bekannter Weise aus der Kapillarwellenformel

mit G> = Oberflächenspannung
^K= Kapillarwellenlänge
f = Frequenz

Das Tröpfchenspektrum wird durch eine relativ schmale loga- ⁱ rithmische Normalverteilung beschrieben. «,

Aus Figur 3 geht ferner hervor, daß der Biegeresonator 4 über \ ein Ankopplungsteil 7 an dem Anregungssystem befestigt wird. \

I , Die Flüssigkeitszuführung kann in Variation der in Figur 3 \ .

gezeigten Anordnung auch horizontal erfolgen, wie es in \

Figur 4 dargestellt wird. Es ist auch möglich, die Flüssigkeit j

durch eine» axiale Bohrung im Anregungssystem auf die Konus- | !

spitze zu leiten. \ '■

; I Bei einör Schwingung des Bidgerösonators 4 mit mehreren Knotöttkröisen könnte erfindungsgemUß auch erforderlich sein, daß Flüssigkeitszuführungen nicht nur zentral auf die Konusspitze, \ sondern auch in den Bereich der Knotenkreise gerichtet sind. , «;

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In den Figuren 5a) bis e) wird eine Auswahl möglicher Ausführungsformen für den Biegeresonator gezeigt. Wesentlich ist, daß mindestens eine geneigte bzw. gekrümmte Zerstäubungsfläche vorhanden ist und daß die Flüssigkeit auf den Bereich eines Schnelleknotens bzw. einer Schnelleknotenlinie zugeführt wird. Im Fall der in Figur 5b) dargestellten Ausführungsform kann die Flüssigkeit entlang der gesamten Schnittkante beider Flächen z.B. durch eine spaltförmige öffnung eingeleitet werden.

In Figur 6 wird eine gedrungene Ausführungsform des iu Figur 1 gezeigten Zerstäubers mit konischem Biegeresonator 4 dargestellt. In diesem Fall beträgt die Gesamtlänge des Anregungssystems &Lgr;/4 (n=0), so daß sich an der Spitze des Biegeresonators 4 ein Schnelleknoten befindet. Diese Ausführungsform wird bevorzugt, da sie relativ einfach durch einen Einstich in das zylindrische Anregungssystem herstellbar ist. Um eine Abstrahlung von Luftschall auf der Rückseite des Biegeresonators 4 zu vermeiden (sie würde unnötig Leistung verbrauchen) sollte die Breite des Einstichs, d.h. der Abstand zwischen dem peripheren Ende des Konus 4 und dem Anregungsteil 2 etwa &Lgr;,. f_t-\/4 betragen.

Die in Figur 6 dargestellte Ausführungsform kann in einfacher Weise an einer Halterungseinrichtung 8 befestigt werden. Hierzu wird, wie in Figur 7 gezeigt, die Konusspitze mit einer Bohrung versehen, durch die ein Halterungselement 9, z.B. ein Stift, Röhrchen, Draht oder dergleichen, geführt ist. Die Flüssigkeitszuführung 10 kann in diesem Fall das Halterungselement konzentrisch umgeben. Auch andere Variationen des erfindungsgemäßen Zerstäubers können in analoger Weise fixiert werden. Die feste Unterlage 8 kann auch eine Flüssigkeitsleitung sein, aus der die Flüssigkeit durch Kanal 10 in den Bereich der Konusspitze geführt wird.

Bei der in Figur 8a) bzw. b) gezeigten Vorrichtung wird ein

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konischer Biegeresonator 4 mit der_tSpitze bzw. mit dem Ankoppelteil 7 an dem Anregungssystemß2 befestigt, so daß diese Ankopplung eine Umkehrung der eingangs erwähnten Ausführungs- , formen darstellt. Die Flussigkeits Zuführung erfolgt gemäß · Figur 8a) über eine Ringdüse 11, di#-um das Ankopplupgsteil des Biegeresonators, d.h. in der Übergangs zone zwischen dem Biegeresonator 4 UiId₁ dem Anregungssystem 2, angebracht ist. Die Flüssigkeit kann, aber auch in beliebig anderer Weise in den Bereich des Schnelleknotens gingeleitet werden,z.B. durch eine axiale Bohrung 12 im Anrjs-gungssystem mit seitli-

&bull; chen Austrittsöffnungen am Konusman£el, d.h. in der Obergangs- ; zone zum Biegeresonator 4, wie es;-i^ Figur 8b) dargestellt ist.

In Figur 9 wird gezeigt, daß mehrergi in Figur 8a) und 8b) . dargestellten Zerstäuber an einer gemeinsamen Flüssigkeitsversorgungsleitung befestigt werdene^nnen. Andere Arten von^ Anordnungen, &zgr;.&Bgr;&khgr; kreisförmige, sind ebenfalls möglich. Eine solche Ausführungs form ist insbesondre für größere Flüssigkeitsdurch«?ätze geeignet.

Die Biegeresonatoren können aber a^jph kaskadenförmig miteinander verbunden und gemeinsam angeregt werden. Diese Ausführungsform wird in Figur 10 schematisch verdeutlicht. Die Kaskadenelemente bestehen aus dimenjS&ldquor;ions- und materialmäßig gleichen konusförmigen Biegereson.atgjen 4 mit Ankoppelteilen c ■ 14. Die Gesamtlänge .eines Kaskadeijelements beträgt &Lgr;/2 und die Verbindung der Kaskadenelemente erfolgt jeweils in Schnellebäuchen z. B. durch Schrauben 15.aDie einzelnen Kaskadenelemente können auch durch Lötung miteinander befestigt Werden oder durch eine andere geeignete Maßnahme. Eine weitere Variante besteht in der Herstellung dertJKaskade an einem Stück. Das den Kaskadenelementen gemeinsam)?. Anregungssystem (hier nicht gezeigt) kann sich sowohl oberhalb als auch unterhalb der Kaskade befinden. Die Flüssigkefttszuführung kann in bereits

3S oben erläuterter Weise erfolgen, Hije,r werden die Ankoppel-

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teile 14 in der Übergangszone zur Konusspitze mit einem ringförmigen Rohr 16 versehen, welches Flüssigkeitsaustrittsöffnungen enthält.

] 5 Die in Figur 11 dargestellte &Lgr;/4-Ausführung mit konischem

I Biegeresonator, die in Figur 6 näher beschrieben wurde, eignet

^ sich wegen der Art der Flüssigkeitszuführung insbesondere für

f einen Einsatz bei ölbrennern. Das Anregungssystem 2 besitzt

j eine axiale Bohrung 17 bis zur Spitze des Resonators 4. Durch

&bull;i 10 diese Bohrung 17 wird ein auf Resonanz abgestimmtes Röhrchen

I geführt, das im Schnelleknotenbereich mit dem System, z.B.

% durch Verschrauben 19, fest verankert wird. Die Öffnung an

\ . der Spitze des Resonators ist etwas abgerundet, um eine opti-

I male Verteilung der durch das Röhrchen 18 geleiteten und an

H 15 der Spitze austretenden Flüssigkeit auf der Konus fläche zu hefe: wirken.

In Figur 12 wird eine Ausführungsform gezeigt, bei der der \. Biegeresonator 4 geheizt und die temperaturempfindlichen

20 Teile des Anregungssystems 2 gekühlt werden. Die Heizung erfolgt z.B. durch eine Induktionsspule 20, durch die die Metallschmelze 21 geleitet wird. Die Kühlung wird zwischen zwei benachbarten Schnelleknotenbereichen des schlanken Teils 5 ■' bewirkt. Hierfür kann dieser Bereich z.B. konzentrisch mit

25 einer Fltissigkeits- oder Gaskühlung 22 versehen sein. Die Kühlstrecke 22 wird vorzugsweise am unteren Bereich des schlanken Teils 5 angebracht. Die Kühlstrecke 22 und das Anregüngssystem 2 können ferner mit einer Ummantelung 23 versehen sein, wodurch jegliche Beeinträchtigung durch Überhitzung ausge-

30 Schlüssen ist.

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Bei einer Vorrichtung zur" Zerstäubung vöii Flüssigkeiten·, die aus einem Ültfäschäil--AnfegUngssystem Und einem mit Üitfäschäiifrectuenzen schwingenden Biegeresönätör' sowie Einrichtungen füif die Flüssigkeitszuführung iii den Schnelle* knöteribereich des Eiegeresönätöfs besteht, weist der Biege= resonator mindestens eine iii Bezug äUf die Achse des Aiiregurigssystems geneigte Fläche auf* Die Länge des Anfegüngs^ systems beträgt etwa (2ri+1)/l/4, wobei Ii=O öder eine ganze Zahl ist« Der Biegeresönator ist vorzugsweise in Form eines Hohikonus ausgebildet.

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   1s Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten bestehend im wesentlichen aus einem Ultraschall-Anregungssystem Und einem mit Ultraschallfrequenzen schwingenden Biegeresonätof sowie Einrichtungen für die Flüssigkeitszuführung in deii Schneiieknotehbefeich des Biegeresonators ^ dadurch, gekennzeichnet j daß der Biegeresonator (4) mindestens eine in Bezug auf die Achse des Anregungssystems geneigte Fläche aufweist und daß die Länge des Anregungssystems etwa (2n+1) &Lgr;/4 beträgt» wobei n=0 oder eine ganze Zahl ist.

   2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet $ daß der Biegeresonator (4) in Form eines Hohlkonus ausgebildet ist.

   3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des Anregungssystems (2) &lgr;/4 beträgt und daß der Biegeresonator (4) durch einen schmalen Einstich in den zylindrischen dickeren Teil des Anregungssystems geformt ist.

   4* Vorrichtung nach Anspruch. 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des Einstichs (2n+1)At ft^ beträgt* wobei n=0 oder eine ganze Zahl bedeutet.

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   5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenilZeiehnet _? daß der Meger'eäöriätöf in Föfiii einei¹ Höhlpyifämide ausgebildet 'ist*

   &bgr;* VorfiehfUiig nach Anspruch Ij dadtirc-h gekennz.eiahnet _t daß der Biegeiesönätör zwei im Winkel zueinander stehende Flächen aufweist Und die Flüssigkeit entlang der Schnittkante dieser Flächen zufühfbäf ist.

   7i Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6_S dadurch gekennzeichnet , daß zur Zerstäubung von Schmelzen eine Heizung (20) für den Biegefesönätör (4)j Z₁B* eine Induktionsspule, vor^ handen ist und daß zwischen zwei benachbarten Schnelleknotenbereichen des zylindrischen j schlanken Teils (5) des axialen Anregungssystems (1,2,5) eine Kühlstrecke (22) vorgesehen ist*

   8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die zu zerstäubende Flüssigkeit axial in einem Strahl (ö) auf die Spitze des Biegeresonators (4) zuführbar ist,

   9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Flüssigkeitszuführung das Anregungssystem (Z) eine axiale Bohrung (17) besitzt, durch die ein auf Resonanz abgestimmtes Röhrchen (18) geführt und im Schnelleknoten-^ bereich mit dem Biegeresonatör (4) befestigt ist und die Spitze des Biegeresonators im Bereich der Öffnung abgerundet ist.

   10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Spitze des Biegeresönätors (4) mit einer Bohrung versehen und mittels eines Halterungselements (9) fixierbar ist und daß die Flüssigkeitszuführung (10) das Halterungselement (9) konzentrisch umgibt.

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   11* Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dädufgh gef, .kennzeichnej.j daß der Zylindrische, söhlärike Teil (5) des AnfegUrigs systems von äUßeii an die Spitze des Blögefesönäf töfs (4) ansetzt,

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   '· 12i Vorrichtung iläch Anspruch 1Ö, dadurch gekennzeichfiet, daß

   2Ur Fiüssigkeits^ufühfüng das AnfegUngssystem (2,5,7) eine I axiale Bohrung (12) beßitzt, die in der Übergängszone zuM

   |! Biegefesonator (4) mit FlüssigkeitsäUstfittsöffnungeii vef-

   1O sehen ist*

   ■_tj 13* Vorrichtung nach Anspruch 11, dadufch gekennzeichnet, daß &iacgr;, zur Flüssigkeitszuführung in der Übergangszone zwischen

   I dem Biegefesonator (4) und dem Anregungssystem (2,7) ein

   I 15 ringförmiges Rohr (11) vorgesehen ist, das mehrere Flüssige J keitsaustrittsöffnungen enthält.

   14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch ge-I kennzeichnet, daß mehrere Zerstäuber an einer gemeinsamen

   I 20 Flüssigkeitsvefsöfgungsieitung (13), z.B. in linearer öder &aacgr; kreisförmiger Anordnung, befestigt sind.

   '; 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch ge- \ kennzeichnet, daß mehrere gleiche Biegerescnatoren (4) mit

   &ngr; 25 einem gemeinsamen Anregungssystem kaskadenartig miteinander

   verbunden sind und daß die Kupplung (15) der Kaskadenelemente

   in den Schnellebäuchen erfolgt.

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