DE7637762U1

DE7637762U1 - Meßspitzenhalter für ein elektrisches Meßinstrument

Info

Publication number: DE7637762U1
Application number: DE19767637762
Authority: DE
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1976-12-02
Filing date: 1976-12-02
Publication date: 1977-03-24

Description

"Meßspitzenhalter für ein elektrisches Meßinstrumentⁿ

Die !Teuerung betrifft einen Meßspitzenhalter für ein elektrisches Meßinstrument. Solche Geräte werden zum Beispiel gebraucht, um kleinflächige Kontakte zu überprüfen oder um das Potential sehr kleiner Flächen - etwa von elektronischen Bauelementen - zu messen. Hierbei werden mit einer sehr feinen metallischen Spitze, die leitend mit einem Meßinstrument verbunden ist, einzelne kleine Flächenbereiche abgetastet, deren Ausdehnung zuweilen nur im Bereich von unter 100 /um φ liegt. Um eine gültige Aussage über die Messung einer solchen kleinen Fläche zu erhalten, ist es erforderlich, daß die Meßspitze erschütterungsfrei geführt wird, während sie die zu messende Stelle berührt. Bekannte Ausführungen der Meßspitzen weisen den Nachteil auf, deS sie leicht von den zu messenden Flächen abrutschen, weil sich die Bewegungen der die Meßöpitzen führenden und nur schwer völlig ruhig zu haltenden Halterungsvorrichtungen, wie Mikromanipulatorea, auf die Meßspitze übertragen. In ähnlich ungünstiger Weise erschweren auch Bewegungen, die durch rasche Temperatursohwankungea ausgelöst werden, die Durchführung einer Messung.

Aufgabe der Feuerung ist ein Meßspitzenhalter, der ein sicheres Abtasten der au messenden Flächen gewährleistet und der verhin-

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dert, daß mechanische und/oder Wäxmebewegungen die ruhige Lage der Meßspitze während der Messung beeinträchtigen.

Diese Aufgabe wird bei einem Meßspitzenhalter für ein elektrisches Meßinstrument neuerungsgemäß gelöst durch einen stabförmigen elektrisch leitenden, an seinem vorderen Ende zu einer feinen Spitze 2 auslaufenden Meßfühler 1, der in einem Bereich mit einem ihn umhüllenden zylinderförmigen Teil 4 fest verbunden und zusammen mit diesem Teil 4 in einem Gehäuseteil 5 in Richtungseiner Längsachse beweglich angeordnet ist, wobei die Bewegung durch eine zwischen dem Teil 4 und dem zugleich als Halter für die Halterungsvorrichtung ausgebildeten Gehäuseteil 6 befindliche Feder 7 derart geregelt ist, daß unwillkürlich Bewegungen des von der Halterungsvorrichtung gehaltenen Gehäuseteils 6 nicht auf den Meßfühler 1 übertragen werden.

Αϊ« T?fid«-n 7 sind iibliche Stahlfedern pceeifcnet, deren Direktionskraft der Größedes Meßspitzenhalters und der Große der Bewegung angepaßt ist. Als Material für das bewegliche Teil 4 und die Gehäuseteile 5 und 6 wird vorteilhaft Polyamid verwendet, das zugleich die mechanischen Anforderungen und die Anforderungen an die elektrische Isolation erfüllt und überdies eine leichte Formgebung bei der Herstellung ermöglicht. TTm eine bequeme Handhabung zu gewährleisten, ist der obere Teil 8 des Gehäuses beispielsweise kugelförmig ausgebildet.

Die Figur zeigt eine mögliche Ausführungsform des Meßspitzenhalters gemäß der Feuerung in teilweise schemäfcischer Darstellung. Der elektrisch leitende Meßfühler 1 ist an seinem oberen Ende mit einem - in der Zeichnung nicht dargestellten - elektrischen Meßinstrument verbunden.

Die untere Spitze 2 dient der Abtastung der zu messenden Flächenbereiche. Die Halterung des Meßfühlers 1 mit einer Halte-

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rungsvorrichtung, etwa einem Mikromanipulator, wird während einer Messung mit Hilfe der Gehäuseteile 5, 6 und besonders des kugelförmigen Teils 8 vorgenommen, in denen der Meßfühler 1 in seiner Längsrichtung beweglich ist. Zur glatten Führung dieser Bewegung im Gehäuse dient ein mit dem Meßfühler 1 fest verbundenes Teil 4-, dessen äußerer Durchmesser dem inneren Durchmesser des Teils 5 so angepaßt ist, daß eine spielfreie Bewegung gewährleistet ist. Unwillkürliche und unerwünschte Bewegungen und Schwingungen der Gehäuseteile 5, 6 und 8 werden von einer Feder 7 aufgefangen, die zwischen dem Gehäuseteil 6 und dem Führungsglied 4- angeordnet ist, und werden daher nicht auf den Meßfühler 1 übertragen.

Claims

1. Meßspitzenhalter für ein elektrisches Meßinstrument, gekennzeichnet durch einen stabförmigen, elektrisch leitenden, an seinem vorderen Ende zu einer feinen Spitze (2) auslaufenden Meßfühler (1)_fder in einem Bereich (3) mit einem ihn umhüllenden zylinderfSrmigen Teil (4·) fest verbunden und zusammen mit diesem Teil (4) in einem Gehäuseteil (5) in Richtung seiner Längsachse beweglich angeordnet ist, wobei die Bewegung durch eine zwischen dem Teil (4) und dem zugleich als Halter für die Halterungsvorrichtung, etwa einem Mikromanipulator, ausgebildeten Gehäuseteil (6) befindliche Feder (7) derart geregelt ist, 4aß unwillkürlich Bewegungen des von der Halterungsvorrichtung gehaltenen Gehäuseteils (6) nicht auf den Meßfühler (1) übertragen werden.

2. Meßspitzenhalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Feder (7) eine Stahlfeder verwendet wird, deren Direkt ionskraft der Größe des Meßspitzenhalters uod das? Größe der Bewegung angepaßt ist.

3. Meßspitzenhalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Material für die Gehäuseteile (4, 5, 6, 8) Polyamid verwendet wird.

4. Meßspitzenhalter nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuseteil (8) kugelförmig ausgebildet ist.

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