DE720071C - Elektrische Geraete - Google Patents

Elektrische Geraete

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Publication number
DE720071C
DE720071C DEH150873D DEH0150873D DE720071C DE 720071 C DE720071 C DE 720071C DE H150873 D DEH150873 D DE H150873D DE H0150873 D DEH0150873 D DE H0150873D DE 720071 C DE720071 C DE 720071C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rhodium
coatings
ruthenium
vacuum
palladium
Prior art date
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Expired
Application number
DEH150873D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Max Auwaerter
Dr Konrad Ruthardt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WC Heraus GmbH and Co KG
Original Assignee
WC Heraus GmbH and Co KG
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Filing date
Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of DE720071C publication Critical patent/DE720071C/de
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/20Metallic material, boron or silicon on organic substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/18Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates

Description

  • Elektrische Geräte Es ist bekannt, dünne Oberflächenschichten aus Platin auf Nichtleitern bei der Herstellung elektrischer Geräte zu verwenden. Platinüberzüge, die durch physikalische Verfahren im Vakuum hergestellt werden, konnten jedoch keinen Eingang in die Praxis finden, da die so hergestellten Schichten auf der Unterlage nicht haften und deshalb beim Gebrauch sehr bald beschädigt werden. Man war deshalb gezwungen, Überzüge auf Nichtleitern unter Verwendung von Glanzmetalllösungen, wie Glanzplatin oder auch Glanzsilber und Glanzgold, herzustellen. Diese bei höherer Temperatur eingebrannten Schichten zeigen gegenüber den reinen Metallen einten erhöhten spezifischen Widerstand, da beidem Einbrennen des Metalls ein Flußmittel verwendet werden muß. Außerdem zeigen sie eine körnige Struktur, so daß sie einen je nach der Amplitude der Spannung veränderlichen Widerstand. (Kohärerwirkung) besitzen.
  • Es wurde nun gefunden, daß besondere Fortschritte erzielt werden, wenn in elektrischen Geräten die dünnen Oberflächenschichten von Metallen auf Nichtleitern aus einem leichten Metall der Platingruppe, insbesondere aus Rhodium oder Ruthenium, hergestellt sind, wobei diese MetaII-e durch physikalische Verfahren im Vakuum aufgebracht sind.
  • Die elektrischen Geräte lassen sich in der gewünschten Form aus leicht verarbeitbaren Nichtleitern herstellen und dann durch Kathodcnzcrstäubung oder durch Aufdampfen im Vakuum mit den Überzügen -aus Ruthen_i_um, Rhodium oder Palladium versehen.
  • Die Überzüge von Rhodium und Ruthenium, die auf-Nichtleitern durch Kathoden= zerstäubung.. oder durch Verdampfen im Vakuum aufgebracht sind, zeichnen sich gegenüber dünne.. Platinschichten, durch eine ungewöhnlich -goBe .Haftfestigkeit auf dielektrischen Materiälienx beispielsweise Specksteinprodukten, aus. Diese Eigenschaft sichert den neuen elektrischen Geräten auch .unter ungünstigen mechanischen, chemischen und thermischen Bedingungen eine hohe Lebensdauer.
  • Es hat sich weiterhin überraschenderweise herausgestellt, daB sich die Überzüge von Rhodium auf den in der Technik benutzten dielektrischen Materialien durch Löten mit anderen Metallteilen, beispielsweise Drähten, dauerhaft verbinden lassen.
  • Im Gegensatz zu den bisher in elektrischen Geräten benutzten eingebrannten Überzügen zeigen die Rhodium-, Ruthenium- oder Palladiumüberzüge, die durch physikalische Verfahren im Vakuum hergestellt sind, keine Kohärereffekte, und als Folge davon werden beispielsweise die in Radiogeräten auftretenden Rauscheffekte vermieden.
  • Mit Hilfe der dünnen Oberflächenschichten von Rhodium, Ruthenium oder Palladium, die durch physikalische Verfahren im Vakuum auf Nichtleitern aufgebracht sind, ist es außerdem möglich, die Werte für die dielektrischen Verluste in Kondensatoren in bemerkenswerter Weise herabzudrücken. Es lassen sich mit den neuen Kondensatoren so-,gar Werte von 5 # i o-5 bis zu 5 # 10-6 für tg d erreichen.
  • Überzüge aus Rhodium, Ruthenium oder Palladium, wie sie erfindungsgemäß angewandt werden, altern im Gegensatz zu den bisher verwandten Silberüberzügen nicht. Elektrische Widerstände aus diesen @tIaterialien. weisen also einen konstanten Wider standswert auf.
  • Die erfindungsgemäß angewandten Metallschichten zeichnen sich schließlich durch ein hohes spezifisches Leitvermögen aus. Sie zeigen auch bei geringer-_Schichtdicke eine ungewöhnliche chemische Widerstandsfähigkeit; die Rhodiumüberzüge haben sich sogar als tropenfest erwiesen. Die Überzüge aus Rhodium und Ruthenium, die durch Verdampfen im Vakuum auf Nichtleitern hergestellt werden, besitzen außerdem eine hohe Härte.
  • Erfindungsgemäß werden dünne Oberflächenschichten aus Ruthenium, Rhodium oder Palladium, die durch physikalische Verfahren im Vakuum auf Nichtleitern aufgebracht sind und vorzugsweise als besonders reine Metalle vorliegen, bei der Herstellung der verschiedensten elektrischen Geräte, beispielsweise von Kondensatoren, Widerständen jeder Größe, Kontakten, Schaltgeräten, Beleuchtungskörpern u. dgl.m. angewandt. Die Überzüge werden auf Nichtleitern, wie keramischen Massen, -Glas, Kunstharz oder Kunststoffen aller Art, aufgetragen.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Elektrische Geräte, enthaltend dünne Oberflächenschichten von Metallen der Platingruppe auf Nichtleitern, dadurch gekennzeichnet, daß diese Oberflächenschichten aus Ruthenium, Rhodium oder Palladium bestehen und durch Kathodenzerstäubung oder Aufdampfen im Vakuum ohne Anwendung von metallischen Zwischenschichten aufgebracht sind.
DEH150873D 1937-03-03 1937-03-03 Elektrische Geraete Expired DE720071C (de)

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