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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren und Vorrichtungen
zum Erfassen von Lecks durch Ansaugung der Gase an einem Ansaugungseingang
und durch Erfassung eines Gastracers, z.B. Helium, mittels eines
Detektors, z.B. ein Massenspektrometer, der zusammenwirkt mit einer Primär- und einer
Sekundärpumpe.
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Bei
diesen bekannten Verfahren und Vorrichtungen wird ein Massenspektrometer
an die Ansaugung einer Sekundärpumpe
angeschlossen, deren Förderung
an die Ansaugung einer Primärpumpe
angeschlossen ist, die durch eine Drehantriebsvorrichtung angetrieben
wird. Die Gase werden durch einen Detektoreingang angesaugt, der
selektiv mittels Steuerventilen entweder an die Ansaugung der Sekundärpumpe oder
an die Förderung
oder in einem Zwischenbereich der Sekundärpumpe anschließbar ist.
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Das
Dokument
US 5.561.240 beschreibt
ein Verfahren zum Erfassen von Lecks mit Helium, bei dem die zu
analysierenden Gase auf verschiedenen Stufen der Sekundärpumpe mittels
Ventilen eingeführt
werden, die automatisch durch einen Druckmesser gesteuert werden.
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Außerdem schlägt das Dokument
FR-2 666 490 eine Vorrichtung
vor zur Leckerfassung durch Ansaugung der Gase mit einer Sekundärpumpe mit hoher
Drehzahl, die an Sekundärpumpen
mit geringerer Geschwindigkeit angeschlossen ist, welche als Filter
verwendet werden.
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In
einem derartigen Leckdetektor mit Massenspektrometer kann man drei
Basis-Testmodi einsetzen:
- a. den Test durch vollständigen Gegenstrom, bei dem
der Ansaugungseingang des Detektors an die Förderung der Sekundärpumpe angeschlossen
ist, und somit an die Ansaugung der Primärpumpe: das Massenspektrometer
erfasst also den Anteil eines Gastracers, z.B. Helium, der die Sekundärpumpe gegen
den Strom aufsteigt;
- b. den Direkttest, bei dem die Ansaugöffnung des Detektors an die
Ansaugung der Sekundärpumpe angeschlossen
ist, d.h. an den Eingang des Massenspektrometers: das Massenspektrometer
erfasst dann direkt den Gastracer, z.B. Helium, der vom Eingang
des Detektors herkommt;
- c. den Semidirekttest, oder Teil-Gegenstrom-Test, bei dem der
Ansaugeingang des Detektors an einen Zwischenbereich zwischen der
Ansaugung und der Förderung
der Sekundärpumpe
angeschlossen ist: das Massenspektrometer erfasst dann den Gastracer,
z.B. Helium, das im Gegenstrom den Pumpenanteil aufsteigt, der zwischen dem
Anschlussbereich des Ansaugeingangs des Detektors und der Ansaugung
der Sekundärpumpe
liegt.
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In
der Praxis wird im Verlauf eines ersten Vorevakuierungsschrittes
der Eingang des Detektors im Allgemeinen an die Ansaugung der Primärpumpe angeschlossen,
die die Gase ansaugt, bis eine Zwischendruckschwelle erreicht ist,
die den Test durch vollständigen
Gegenstrom ermöglicht.
Diese Zwischenschwelle hängt
von der Sekundärpumpe
ab, liegt aber im Allgemeinen in der Größenordnung von 10–1 bis
10 hPa.
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Wenn
die Druckschwelle an der Ansaugung der Primärpumpe erreicht ist, kann die
Sekundärpumpe
korrekt arbeiten. Man schließt
dann ihre Förderung
an die Ansaugung der Primärpumpe
an durch Öffnen
eines Verbindungsventils an und man kann einen Schritt Test durch
vollständigen
Gegenstrom durchführen.
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Später, wenn
der Druck am Eingang des Detektors eine ausreichend niedrige untere
Druckschwelle erreicht hat, im Allgemeinen unter 10–2 hPa, kann
man in den Direkttestmodus übergehen,
indem man den Eingang des Detektors direkt an die Ansaugung der
Sekundärpumpe
anschließt
und deren Verbindung mit der Ansaugung der Primärpumpe trennt.
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Es
versteht sich, dass die Kennzeichen der Primärpumpe, die am Leckdetektor
eingesetzt wird, unmittelbar die Leistungen des Detektors beeinflussen.
Die Pumpgeschwindigkeit der Primärpumpe
bestimmt nämlich
die Dauer der Vorevakuierungsphase oder Wartedauer bevor der Test
beginnen kann. Die Pumpgeschwindigkeit der Primärpumpe bestimmt auch den maximal
vom Detektor zulässigen
Durchfluss, damit das Massenspektrometer effizient den Gastracer
im vollständigen
Gegenstrom erfassen kann. Die Ansauggeschwindigkeit der Primärpumpe bestimmt
ebenfalls die Ansprechempfindlichkeit und die Ansprechzeit des Detektors,
wenn er im Testmodus durch vollständigen Gegenstrom verwendet
wird. Schließlich
weist die Primärpumpe
im Allgemeinen eine begrenzte Kapazität zum Evakuieren des Gastracers
unterhalb der Sekundärpumpe
auf, und daraus resultiert ein Störsignal am Massenspektrometer, das
aus dem Aufsteigen von Gastracer gegen den Strom durch die Sekundärpumpe bei
dem direkten oder semidirekten Testmodus resultiert.
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Ein
erstes Problem, das die vorliegende Erfindung angeht, besteht darin,
die Vorevakuierungsdauer zu senken, um den Test möglichst
rasch zu beginnen, mit ein und derselben Primärpumpe.
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Ein
weiteres Problem, das die Erfindung anspricht, ist es, dem Leckdetektor
die Möglichkeit
zu geben, größere Lecks
zu erfassen oder eine umfangreiche Entgasung zu kompensieren, mit
ein und derselben Primärpumpe.
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Ein
weiteres Problem, das die Erfindung aufwirft, ist die Anpassung
der Empfindlichkeit des Leckdetektors in Abhängigkeit von den Kennzeichen
des zu testenden Lecks, ausgehend von ein und derselben Primärpumpe.
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Ein
weiteres Problem, das von der vorliegenden Erfindung angegangen
wird, ist die Unterdrückung
des Helium-Grundrauschens, das von der Primärpumpe herkommt, durch Beseitigung
des Störsignals,
das bei einem Test im direkten Modus aus dem Aufsteigen von Gastracer,
z.B. Helium, im Gegenstrom in der Sekundärpumpe resultiert.
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Zur
Erreichung dieser Ziele sowie weiterer Zielsetzungen sieht die Erfindung
ein Verfahren zur Leckerfassung durch Ansaugung der Gase an einem Ansaugungseingang
und durch Erfassung eines Gastracers mittels eines Detektors, beispielsweise ein
Massenspektrometer, das mit einer Primär- und einer Sekundärpumpe zusammenwirkt,
vor, wobei das Verfahren mindestens einen ersten Ansaugschritt enthält, im Verlauf
dessen die Primärpumpe gemäß einem
ersten Drehzahlbereich in der Umdrehung angetrieben wird, und einen
zweiten Ansaugschritt, in dessen Verlauf die Primärpumpe gemäß einer
zweiter Geschwindigkeit, die vom ersten Drehzahlbereich verschieden
ist, in der Umdrehung angetrieben wird.
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Gemäß einer
ersten Ausführungsart
ist die zweite Geschwindigkeit die Nenngeschwindigkeit der Primärpumpe,
und die Geschwindigkeiten des ersten Drehzahlbereichs sind höher als
die Nenngeschwindigkeit der Primärpumpe.
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Bei
einer ersten Anwendung wird der erste Drehzahlbereich während einer
begrenzten Dauer des ersten Vorevakuierungsschrittes verwendet,
in dessen Verlauf der Ansaugeingang direkt an die Ansaugung der
Primärpumpe
angeschlossen wird.
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Bei
einer zweiten Anwendung wird der erste Drehzahlbereich im Verlauf
eines Schrittes Test durch vollständigen Gegenstrom verwendet,
um eine umfangreiche Entgasung zu kompensieren oder größere Lecks
zu erfassen.
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Gemäß einer
zweiten Ausführungsart
sind die Geschwindigkeiten des ersten Drehzahlbereichs kleiner als
die Nenndrehzahl der Primärpumpe,
und der erste Drehzahlbereich wird im Verlauf eines Schrittes Test
durch vollständigen
Gegenstrom dazu verwendet, die Pumpgeschwindigkeit zu senken und somit
die Empfindlichkeit der Erfassung zu erhöhen.
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Gemäß einer
dritten Ausführungsart
und da die erste und die zweite Geschwindigkeit unterschiedlich
sind, registriert man die Geschwindigkeiten und die Signale, die
vom Detektor erzeugt werden, z.B. dem Massenspektrometer, im Verlauf
jeweils der beiden Ansaugschritte, und man berechnet ausgehend von
den registrierten Werten das Nutzsignal, welches resultiert aus
dem Gastracer, der vom Ansaugeingang herkommt, indem man das Störsignal
abschneidet, das vom Gastracer resultiert, der gegen den Strom durch
die Sekundärpumpe
aufsteigt.
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Gemäß einer
besonderen vorteilhaften Ausführung
dieser dritten Ausführungsart:
moduliert
man teilweise die Drehzahl der Primärpumpe mit einer alternativen
niederfrequenten Geschwindigkeitskomponente,
dissoziiert man
in dem vom Massenspektrometer herkommenden Gesamtsignal die modulierte
Komponente,
berechnet man ausgehend von der modulierten Komponente
und vom Umdrehungsgeschwindigkeitsmodulationswert der Primärpumpe das
Störsignal,
das mit der Umdrehungsgeschwindigkeit der Primärpumpe zusammenhängt, und
man schneidet es vom Gesamtsignal ab, um daraus in Echtzeit das Nutzsignal
abzuleiten.
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Eine
Leckdetektorvorrichtung gemäß der Erfindung,
die die Ausführung
dieses Verfahrens gestattet, beinhaltet einen Massenspektrometer,
der an die Ansaugung einer Primärpumpe
angeschlossen ist, die von einer Drehantriebsvorrichtung angetrieben
wird, mit einem Ansaugungseingang, der selektiv mittels Steuerventilen
entweder an die Ansaugung der Primärpumpe, oder an die Ansaugung
oder in einem Zwischenbereich der Sekundärpumpe angeschlossen werden
kann; die Drehantriebsvorrichtung der Primärpumpe ist geeignet, um die
Umdrehungsgeschwindigkeit der Primärpumpe zwischen mindestens
zwei voneinander verschiedenen Drehzahlen zu wechseln.
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Vorteilhafterweise
kann man eine Drehantriebsvorrichtung vorsehen, die geeignet ist,
die Umdrehungsgeschwindigkeit der Primärpumpe mit einer alternativen
niederfrequenten Geschwindigkeitskomponente zu modulieren.
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In
diesem Fall kann man günstigerweise
einen Geschwindigkeitssensor zum Messen der Drehzahl der Primärpumpe vorsehen,
Mittel zum Registrieren der zeitlichen Folge der Signale dieses
Geschwindigkeitssensors und der Signale, die vom Massenspektrometer
erzeugt werden, und Rechenmittel, um das Nutzsignal ausgehend von
den registrierten Signalen zu berechnen.
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Weitere
Gegenstände,
Kennzeichen und Vorteile der vorliegenden Erfindung sind aus der nachfolgenden
Beschreibung besonderer Ausführungsarten
zu ersehen, die im Zusammenhang mit der beigefügten Figur erfolgt, welche
schematisch die Struktur eines Leckdetektors gemäß der vorliegenden Erfindung
veranschaulicht.
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Bei
der auf der Figur illustrierten Ausführungsart enthält die Leckdetektorvorrichtung
gemäß der Erfindung
einen Detektor, z.B. ein Massenspektrometer 1, das an die
Ansaugung 2 einer Sekundärpumpe 3 angeschlossen
ist, deren Förderung 4 an die
Ansaugung 5 einer Primärpumpe 6 vermittels
einer Leitung angeschlossen ist, welche mit einem Großlecktestventil 7 ausgestattet
ist. Die Primärpumpe 6 fördert über ihre
Förderung 8 die
Gase in die Atmosphäre.
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Ein
Ansaugeingang 9 der Leckdetektorvorrichtung wird an die
Ansaugung 5 der Primärpumpe 6 über eine
Vorevakuierungsleitung 10, die mit einem Vorevakuierungsventil 11 ausgerüstet ist,
angeschlossen. Der Ansaugeingang 9 wird ebenfalls an die
Ansaugung 2 der Sekundärpumpe 3 über eine
Direktleitung 12, die mit einem Direkttestventil 13 versehen
ist, angeschlossen, und/oder an einen Zwischenbereich 14 der
Sekundärpumpe 3 über eine
semidirekte Leitung 15, die mit einem semidirekten Testventil 16 versehen
ist.
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Ein
Lufteinlassventil 17 ermöglicht selektiv den Lufteinlass
in den Ansaugeingang 9. Ein Manometer 18 ermöglicht die
Messung des Drucks in der Vorevakuierungsleitung 10.
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Die
Primärpumpe 6 kann
eine Flügelpumpe sein,
die in der Lage ist, an ihrer Ansaugung 5 einen ausreichend
niedrigen Gasdruck herzustellen, beispielsweise in der Größenordnung
von 10–1 bis
10 hPa, um den Betrieb einer Sekundärpumpe 3 zu ermöglichen,
die selbst an ihrer Ansaugung 2 einen ausreichend niedrigen
Druck erzeugt, beispielsweise unter 10–4 Pa,
um mit dem Betrieb eines Massenspektrometers 1 kompatibel
zu sein.
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Gemäß der Erfindung
wird die Primärpumpe 6 durch
eine Drehantriebsvorrichtung in der Umdrehung angetrieben, die es
gestattet, die Drehzahl der Primärpumpe 6 zwischen
mindestens zwei voneinander verschiedenen Umdrehungsgeschwindigkeiten V1
und V2 zu wechseln. Beispielsweise kann man einen Drehstrommotor 19 verwenden,
der durch eine Stromversorgung 20 mit Einphasenwechselstrom versorgt
wird, was es ermöglicht,
eine modulierbare Umdrehungsgeschwindigkeit zu erzeugen, unabhängig von
der Frequenz und von der Spannung des Versorgungsnetzes.
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Ein
Geschwindigkeitssensor 21 misst die Drehzahl der Primärpumpe und
erzeugt ein Signal, das an eine Recheneinheit 22, beispielsweise
einen Mikroprozessor oder ein Mikrosteuergerät geschickt wird, der/das ebenfalls
die Messsignale empfängt, die
vom Detektor, z.B. dem Massenspektrometer 1, erzeugt werden,
und die Rechenergebnisse auf ein Eingabe-/Ausgabegerät 23,
z.B. einen Bildschirm oder einen Drucker liefert.
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Im
Laufe eines ersten Betriebsschrittes oder Vorevakuierungsschritt
werden die Primärpumpe 6 und
die Sekundärpumpe 3 in
der Umdrehung angetrieben, die Ventile für Direkttest 13 oder
Semidirekttest 16 sind geschlossen, das Ventil Großlecktest 7 ist
geschlossen, das Lufteinlassventil 17 ist geschlossen.
Man öffnet
dann das Vorevakuierungsventil 11, so dass die Primärpumpe 6 direkt
die Gase ansaugt, die von dem Ansaugungseingang 9 herkommen,
um sie in die Atmosphäre
zu fördern.
Infolge dieser Ansaugung nimmt der Druck der Gase am Ansaugungseingang 9 nach
und nach ab und dieser Druck wird durch das Manometer 18 gemessen.
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Die
Pumpgeschwindigkeit der Primärpumpe 6 steht
in direktem Zusammenhang mit ihrer Umdrehungsgeschwindigkeit, zumindest
in einem gewissen Bereich. So treibt man während dieser Vorevakuierungsphase
die Primärpumpe 6 in
der Umdrehung an gemäß einer
ersten Geschwindigkeit V1, die deutlich über ihrer Nenndrehzahl liegt.
Beispielsweise kann man bei einer primären Flügelpumpe 6 deren Drehzahl
verdoppeln, was in einem Verhältnis
2 die Zeit vermindert, die erforderlich ist, um den Druck der Gase
bis auf eine Zwischenschwelle in der Größenordnung von 10–1 bis
10 hPa zu senken, die den Beginn des Tests durch das Massenspektrometer 1 gestattet.
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Wenn
die passende Zwischenschwelle für den
Gasdruck am Ansaugeingang 9 und in der Vorevakuierungsleitung 10 erreicht
ist, kann der Test beginnen, denn das Massenspektrometer 1 wird
fähig, ein
Bildsignal von der Gastracermenge zu erzeugen, die an der Ansaugung
der Sekundärpumpe 3 vorhanden
ist. Dann öffnet
man das Ventil Großlecktest 7 und
das Massenspektrometer 1 erfasst den Gastracerfluss, z.B.
Helium, der gegen den Strom durch die Sekundärpumpe 3 aufsteigt.
Die Primärpumpe 6 kann
dann mit ihrer Nenndrehzahl V2 arbeiten.
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Im
Verlauf der Testphase mit vollständigem Gegenstrommodus
steht der maximal zulässige
Gasfluss im Ansaugungseingang 9 in direktem Zusammenhang
mit den Kennzeichen der Primärpumpe 6. Erforderlichenfalls
wird die Primärpumpe 6 gemäß einem
ersten Drehzahlbereich V1, der höher
ist als die Nenndrehzahl V2, in der Umdrehung angetrieben, so dass
die Primärpumpe 6 mehr
Gasfluss absorbiert und es somit ermöglicht, die Drücke zu erreichen,
die mit dem Betrieb des Detektors, z.B. das Massenspektrometer 1,
kompatibel sind.
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Alternativ
stellt man im Verlauf dieses Schritts Test mit vollständigem Gegenstrom
fest, dass die Empfindlichkeit der Leckdetektorvorrichtung in direktem
Zusammenhang steht mit der Gastracer-Pumpgeschwindigkeit der Primärpumpe 6.
In der Tat ist bei einem konstanten Tracergas-Kompressionsverhältnis der
Sekundärpumpe 3 der
Gastracer-Partialdruck vom Detektor, z.B. dem Massenspektrometer 1,
aus gesehen, proportional zum Gastracer-Partialdruck an der Ansaugung der Primärpumpe 6.
Außerdem
ist der Gastracer-Partialdruck an der Ansaugung der Primärpumpe 6 umgekehrt proportional
zu der Gastracer-Pumpgeschwindigkeit der
Primärpumpe 6,
die selbst proportional ist zu ihrer Drehzahl V. Wenn man die Umdrehungsgeschwindigkeit
V vermindert, vermindert man in gleichem Maße die Pumpgeschwindigkeit
und man erhöht
somit im gleichen Verhältnis
den Gastracer-Partialdruck gesehen
vom Detektor, z.B. dem Massenspektrometer 1, aus, und somit
die Empfindlichkeit der Leckdetektorvorrichtung. Auf diese Art und
Weise kann man die Empfindlichkeit der Vorrichtung erhöhen, indem man
die Umdrehungsgeschwindigkeit V der Primärpumpe 6 senkt. Die
Amplitude dieser Einstellung kann bei einer Flügelpumpe ein Verhältnis 5 oder mehr
erreichen, was hinsichtlich der Leistungen des Detektors sehr bedeutsam
ist.
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Wenn
man die Gasansaugung durch die Primärpumpe 6 fortsetzt,
kann man am Ansaugungseingang 9 und in der Vorevakuierungsleitung 10 eine
untere ausreichend niedrige Druckschwelle erreichen, im Allgemeinen
unter 10–4 hPa,
um den Direktbetrieb des Detektors, wie z.B. Massenspektrometer 1,
zu ermöglichen.
Man geht dann über
in eine Phase Direkttest, indem das Vorevakuierungsventil 11 geschlossen
wird und indem das Direkttestventil 13 geöffnet wird
(oder das Ventil Semidirekttest 16, bei einem Semidirekttest).
Beim Normalbetrieb wird die Primärpumpe 6 in
der Umdrehung mit ihrer Nenndrehzahl V2 angetrieben. Der Detektor,
z.B. das Massenspektrometer 1, erfasst dann den Gastracer,
der direkt vom Ansaugungseingang 9 herkommt. Jedoch wird
diese Messung gestört
durch ein Störaufsteigen von
Gastracer, z.B. Helium, das gegen den Strom ab der Primärpumpe 6 durch
die Sekundärpumpe 3 aufsteigt.
Am Ausgang des Massenspektrometers 1 resultiert daraus
ein Störsignal
oder Helium-Grundrauschen. Man erachtet, dass das Signal S am Ausgang des
Detektors, z.B. Massenspektrometer 1, die Summe aus einem
Nutzsignal Su und einem Störsignal Sp
ist.
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Man
konnte feststellen, dass dieses Störsignal Sp sich umgekehrt proportional
zur Umdrehungsgeschwindigkeit V der Primärpumpe 6 ändert, in
einem bestimmten Änderungsbereich
der Geschwindigkeit. Bei einer konstanten Drehzahl V2 der Primärpumpe 6,
die beispielsweise gleich ihrer Nenndrehzahl ist, ist das Signal
am Detektor, z.B. dem Massenspektrometer 1, konstant und
nimmt einen bestimmten Wert S2 an. Durch Abänderung der Drehzahl V der
Primärpumpe 6,
um ihr einen Wert V1 zu geben, findet man am Ausgang des Detektors,
z.B. Massenspektrometer 1, ein Signal S1 vor, das von S2 verschieden
ist.
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Durch
Nutzung dieser Beobachtung sieht die Erfindung vor, die Drehzahl
V der Primärpumpe 6 mit einem
bekannten Anteil K ihrer durchschnittlichen Geschwindigkeit zu verändern, beispielsweise
durch Verwendung von zwei aufeinander folgenden konstanten Geschwindigkeiten
V1 und V2, oder zum Beispiel durch Modulieren der Umdrehungsgeschwindigkeit
V mit einer alternativen niederfrequenten Geschwindigkeitskomponente.
Es kann eine sinusförmige
1 Hz-Komponente ins Auge gefasst werden. Der Detektor, z.B. das
Massenspektrometer 1, liefert ein Signal S, das sich zwischen
zwei Extremwerten S1 und S2 verändert.
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Für die Berechnung
des Störsignals
Sp, das vom Aufsteigen von Gastracer, z.B. Helium, gegen den Strom
durch die Sekundärpumpe 3 herrührt, setzt
man in erster Näherung
voraus, dass das Verhältnis
zwischen der Amplitude des modulierten Teils und der Durchschnittskomponente
des Signals das gleiche ist für
die Gastracermenge, die an der Ansaugung 5 der Primärpumpe 6 vorhanden
ist, und für
die Umdrehungsgeschwindigkeit der Primärpumpe 6.
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Man
nimmt an, dass die Menge Gastracer, die gegen den Strom die Sekundärpumpe hinaufsteigt,
proportional ist zur Menge an Gastracer, die an der Ansaugung der
Primärpumpe
vorhanden ist. Wenn man voraussetzt, dass die Änderung (S1 – S2) des
Signals S gleich der Änderung
des Störsignals Sp
ist, und dass die relative Änderung
des Störsignals
Sp in erster Näherung
etwa gleich der relativen Geschwindigkeitsänderung K = 2·(V1 – V2)/(V1
+ V2) der Primärpumpe 6 ist,
ist es folglich möglich,
die Durchschnittskomponente Sp = (S1 – S2)/K des Störsignals
zu berechnen und sie aus dem Gesamtsignal S herauszuziehen, das
vom Massenspektrometer gemessen wird, um die Nutzsignalkomponente
Su zu erhalten, die lediglich vom Gastracer herkommt, der vom Ansaugeingang 9 stammt.
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Weil
man die Durchschnittsgeschwindigkeit der Primärpumpe 6 kennt und
den Modulationswert ihrer Geschwindigkeit, und weil man die Modulationsamplitude
des Signals kennt, das vom Massenspektrometer 1 gegeben
wird, kann man so daraus den theoretischen Wert Sp des gesamten
Störsignals
ableiten, das man dann vom Gesamtsignal S abschneidet, um das Nutzsignal
Su zu erhalten, das resultiert aus der Erfassung allein des Gastracers,
der von dem Ansaugeingang 9 herkommt.
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Für die Durchführung dieses
Rechenverfahrens liefert der Geschwindigkeitssensor 21 der
Recheneinheit 22 ein Bildsignal von der Momentandrehzahl
V der Primärpumpe 6 und
das Massenspektrometer 1 liefert der Recheneinheit 22 die
zeitliche Folge der Signale S betreffend die Gastracermengenmessung.
Die Recheneinheit 22 registriert die zeitlichen Folgen
von Geschwindigkeitssignalen V und von Gasmessungssignalen S, und
leitet davon in Echtzeit das Nutzsignal Su ab, das an das Eingabe-/Ausgabegerät 23 geschickt
wird.