DE69925524T2 - Subträgerbaugruppe und damit verknüpfte Modulpackung - Google Patents

Subträgerbaugruppe und damit verknüpfte Modulpackung Download PDF

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Description

  • Die Erfindung betrifft allgemein eine Hilfsträgerbaugruppe und das zugehörige Einbauverfahren. Sie betrifft insbesondere eine Mikrolaser-Hilfsträgerbaugruppe und das zugehörige Verfahren zum Einbauen des Mikrolasers in ein Gehäuse.
  • Moderne elektro-optische Systeme werden immer stärker verkleinert, so dass zahlreiche elektro-optische Komponenten gemeinsam auf der gleichen Plattform montiert werden. Die Plattform enthält in aller Regel einen Hilfsträger, der auf einer Wärmesinke montiert sein kann, beispielsweise einer Wärmepumpe oder einer ähnlichen Vorrichtung. Damit wird der Hilfsträger stets aus einem Wärme leitenden Material hergestellt, beispielsweise einem Metall oder einem Halbleiter, so dass ein Weg mit relativ geringem Wärmewiderstand von den verschiedenen auf dem Hilfsträger montierten elektro-optischen Komponenten zur darunter liegenden Wärmesinke bereitgestellt wird.
  • Die verschiedenen Komponenten des elektro-optischen Systems müssen – damit sie korrekt funktionieren – präzise ausgerichtet sein. Beispielsweise erfordert ein elektrooptisches System, das eine Pumpdiode und einen zugehörigen Laserkristall oder ein aktives Verstärkungsmedium enthält, dass die Pumpdiode mit dem Laserkristall und auch mit den verschiedenen anderen optischen Komponenten, z. B. Linsen, Spiegel usw., exakt ausgerichtet ist. Diese Ausrichtung stellt stets eine gewisse Herausforderung dar. Da die verschiedenen Komponenten der elektro-optischen Systeme immer kleiner werden, ist die Ausrichtung der verschiedenen Komponenten eines elektro-optischen Systems zunehmend kritischer und schwieriger geworden.
  • Nach der korrekten Montage der verschiedenen elektro-optischen Elemente auf dem Hilfsträger wird die Hilfsträgerbaugruppe einschließlich des Hilfsträgers und sämtlicher darunter liegender Wärmesinken normalerweise in einem geeigneten Gehäuse montiert, beispielsweise einem TO-3- oder TO-8-Gehäuse. Fachleuten ist bekannt, dass elektro-optische Gehäuse, beispielsweise TO-3- oder TO-8-Gehäuse, eine Anzahl leitender Stifte umfassen, die elektrisch mit den zugehörigen Anschlüssen der Hilfsträgerbaugruppe verbunden werden müssen, damit dem elektro-optischen System die benötigte elektrische Energie geliefert wird. Selbst bei korrekter Montage der verschiedenen elektro-optischen Komponenten auf dem Hilfsträger kann die Befestigung der Hilfsträgerbaugruppe im Gehäuse und das Herstellen der elektrischen Verbindungen zwischen den leitenden Stiften des Gehäuses und den zugehörigen Anschlüssen der Hilfsträgerbaugruppe die Leistungsfähigkeit des elektro-optischen Systems nachteilig beeinflussen. Im Einzelnen erfordert die Montage der Hilfsträgerbaugruppe in einem Gehäuse generell Manipulationen an der Hilfsträgerbaugruppe, die die Hilfsträgerbaugruppe und insbesondere die verschiedenen elektro-optischen Komponenten statischer Elektrizität oder anderen schädlichen Einflüssen aussetzen können. Zusätzlich können herkömmliche Montagetechniken im Gehäuse zusammen mit dem Aufbau geeigneter elektrischer Verbindungen zwischen den leitenden Stiften eines Gehäuses und den jeweiligen Anschlüssen der Hilfsträgerbaugruppe die verschiedenen elektro-optischen Komponenten nachteilig erwärmen.
  • Es sind verschiedene miniaturisierte elektro-optische Systeme entwickelt worden, die Hilfsträger und zugehörige Wärmesinken enthalten, die eine Wärmeabfuhr für die diversen elektro-optischen Komponenten bieten. Es besteht jedoch nach wie vor Bedarf an verbesserten Techniken zum Ausrichten der verschiedenen elektro-optischen Komponenten eines miniaturisierten elektro-optischen Systems. Zudem besteht nach wie vor Bedarf an verbesserten Gehäuseeinbautechniken, damit man elektro-optische Systeme geeignet in Gehäuse einbauen kann, ohne die elektro-optischen Komponenten nachteilig zu beeinflussen.
  • EP-A-294167 offenbart eine Baugruppe, die einen Hilfsträger enthält, der aus einem elektrisch isolierenden Material hergestellt ist. EP-A-331331 offenbart einen Hilfsträger, der Vertiefungen und Nuten zum Ausrichten von Komponenten enthält.
  • Es ist daher erwünscht, eine verbesserte Hilfsträgerbaugruppe bereitzustellen, die einen Hilfsträger enthält, der dem Ausrichten der entsprechenden Komponenten eines elektro-optischen Systems dient.
  • Es ist auch erwünscht, eine verbesserte Hilfsträgerbaugruppe bereitzustellen, die einen Hilfsträger enthält, der nicht nur die Wärme leitet, sondern auch elektrisch isoliert, damit er dadurch die verschiedenen elektro-optischen Komponenten isoliert, die auf dem Hilfsträger montiert sind.
  • Weiterhin ist erwünscht, ein verbessertes Verfahren für den Einbau eines elektrooptischen Systems in ein Gehäuse bereitzustellen, wobei mindestens einige der elektrooptischen Komponenten erst nachträglich auf dem Hilfsträger montiert werden, d. h. nach dem Anordnen der Hilfsträgerbaugruppe in dem Gehäuse und dem Herstellen von geeigneten elektrischen Verbindungen zwischen den leitenden Stiften des Gehäuses und entsprechenden Anschlüssen der Hilfsträgerbaugruppe, um Handhabungsvorgänge an der Hilfsträgerbaugruppe nach dem Montieren der verschiedenen elektro-optischen Komponenten auf dem Hilfsträger zu verringern.
  • Gemäß einer Ausführungsform eines ersten Aspekts der Erfindung, die im Anspruch 1 bestimmt ist, wird eine Hilfsträgerbaugruppe bereitgestellt, umfassend:
    eine Wärmesinke;
    einen Hilfsträger, der auf der Wärmesinke montiert ist und gegenüberliegende erste und zweite Oberflächen aufweist, wobei der Hilfsträger aus einem Wärme leitenden und elektrisch isolierenden Material besteht, und ein innerer Abschnitt der ersten Oberfläche des Hilfsträgers mindestens ein Positioniermerkmal bestimmt, das dem Ausrichten der jeweiligen Komponenten dient; und
    erste und zweite Metallisierungsschichten, die auf unterschiedlichen Abschnitten des Hilfsträgers angeordnet sind und dadurch eine Kathode bzw. eine Anode bilden, wobei:
    die erste Oberfläche des Hilfsträgers eine obere Platte und eine untere Platte enthält, und das Positioniermerkmal eine emporstehende Wand umfasst, die sich zwischen der oberen Platte und der unteren Platte erstreckt.
  • Damit kann eine Hilfsträgerbaugruppe, die die Erfindung ausführt, die verschiedenen Komponenten eines elektro-optischen Systems wirksam ausrichten.
  • Gemäß einer Ausführungsform eines zweiten Aspekts der Erfindung wird ein Verfahren zum Einbauen eines elektrooptischen Systems in ein Gehäuse bereitgestellt, umfassend die Schritte:
    Montieren einer Hilfsträgerbaugruppe wie in Anspruch 1 bestimmt, die den Hilfsträger enthält, auf einer Trägerfläche eines Gehäuses, wobei das Gehäuse zahlreiche leitende Stifte enthält, die die Trägerfläche umgeben;
    Herstellen elektrischer Verbindungen zwischen den leitenden Stiften des Gehäuses und entsprechenden Zuleitungen der Hilfsträgerbaugruppe; und
    Montieren einer Komponente auf dem Hilfsträger ausgerichtet mit dem Positioniermerkmal, das auf der ersten Oberfläche des Hilfsträgers bestimmt ist, und zwar nach den Schritten des Montierens der Hilfsträgerbaugruppe im Gehäuse und des Herstellens der elektrischen Verbindungen damit.
  • Es wird nun beispielhaft Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen genommen.
  • Es zeigt:
  • 1 eine perspektivische Ansicht einer ersten Hilfsträgerbaugruppe;
  • 2 eine perspektivische Ansicht der Hilfsträgerbaugruppe in 1 montiert in einem elektro-optischen Gehäuse;
  • 3 eine perspektivische Ansicht einer zweiten Hilfsträgerbaugruppe;
  • 4 eine perspektivische Ansicht einer dritten Hilfsträgerbaugruppe;
  • 5 eine perspektivische Explosionsdarstellung einer vierten Hilfsträgerbaugruppe;
  • 6 eine perspektivische Ansicht der Hilfsträgerbaugruppe in 5 in zusammengebauten Zustand;
  • 7 eine perspektivische Explosionsdarstellung einer Hilfsträgerbaugruppe, die die Erfindung ausführt;
  • 8 eine perspektivische Ansicht der Hilfsträgerbaugruppe in 7 in zusammengebauten Zustand;
  • 9 eine perspektivische Ansicht einer fünften Hilfsträgerbaugruppe, die einen segmentierten Hilfsträger enthält; und
  • 10A-10C eine Reihe aufeinander folgender Ansichten, die ein Verfahren zum Einbauen eines elektro-optischen Systems in ein Gehäuse erläutern, wobei das elektrooptische System die Erfindung nicht ausführt, und 10A eine Seitenansicht ist, die die Montage einer Wärmesinke und danach eines Hilfsträgers auf der Trägerfläche eines elektro-optischen Gehäuses darstellt, 10B eine Draufsicht des elektro-optischen Gehäuses einschließlich eines Teils der Hilfsträgerbaugruppe darstellt und das Herstellen geeigneter elektrischer Verbindungen zwischen den leitenden Stiften des Gehäuses und den entsprechenden Zuleitungen der Hilfsträgerbaugruppe erläutert, und 10C eine Seitenansicht des entstandenen Gehäuses nach der Montage der elektro-optischen Komponenten auf dem Hilfsträger ist.
  • Die Erfindung wird im Weiteren ausführlicher anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung dargestellt ist. Die Erfindung kann jedoch in zahlreichen unterschiedlichen Formen ausgeführt werden und sollte nicht als auf die hier angegebenen Ausführungsformen eingeschränkt angesehen werden. Gleiche Bezugszeichen beziehen sich durchwegs auf gleiche Elemente.
  • 1 bis 6, 9 und 10 zeigen jeweils Skizzen von Hilfsträgerbaugruppen, die die Erfindung nicht ausführen, die jedoch im Weiteren beschrieben werden, um das Verständnis der Erfindung zu unterstützen.
  • Anhand von 1 wird eine erste Hilfsträgerbaugruppe 10 erläutert. Die Hilfsträgerbaugruppe kann beliebig unterschiedliche elektro-optische Systeme tragen. Die Hilfsträgerbaugruppe ist jedoch besonders vorteilhaft für das Tragen und Ausrichten eines Mikrolasersystems, bei dem eine präzise Ausrichtung zwischen einer Laserdiode 12 und einem Laserkristall oder einem anderen aktiven Verstärkungsmedium 14 erforderlich ist. Deshalb wird die Hilfsträgerbaugruppe im Folgenden zusammen mit einem Mikrolasersystem beschrieben.
  • Die Hilfsträgerbaugruppe 10 umfasst wie dargestellt eine Wärmesinke 16 und einen Hilfsträger 18, der auf der Wärmesinke montiert ist. Fachleuten ist geläufig, dass ein Element oder eine Komponente, das bzw. die als "auf" oder "montiert auf" dem darunter liegenden Element beschrieben ist, entweder direkt auf dem darunter liegenden Element befestigt sein kann oder einfach über dem anderen Element liegen kann, wobei sich eine oder mehrere Zwischenschichten oder Elemente zwischen den Elementen befinden können. Die Wärmesinke kann eine passive Wärmesinke sein, die aus Wärme leitendem Material ausgebildet ist, beispielsweise eine Basis aus Silber, die mit einer Legierung aus Gold und Nickel überzogen ist. Die Wärmesinke kann auch eine aktive Wärmesinke sein oder eine Wärmepumpe, beispielsweise eine Peltierwärmepumpe oder ein anderer thermoelektrischer Kühler. Der Begriff "Wärmesinke" bezeichnet also so, wie er hier gebraucht wird, nicht nur Wärmesinken, die eine Komponente durch die Aufnahme von Verlustwärme kühlen, sondern auch Wärmepumpen, die zusätzliche Wärme zum Heizen einer Komponente erzeugen.
  • Der Hilfsträger 18 ist aus einem Wärme leitenden Material ausgebildet, damit er einen Pfad mit geringem Wärmewiderstand zur Wärmesinke 16 bereitstellt. Dieses Material ist auch elektrisch isolierend, damit es die verschiedenen elektro-optischen Komponenten elektrisch isoliert, die auf dem Hilfsträger montiert sind. Beispielsweise isoliert der Hilfsträger wie im Weiteren beschrieben die Laserdiode 12 und das aktive Verstärkungsmedium 14 wirksam gegeneinander. Man kann den Hilfsträger aus unterschiedlichen Materialien herstellen, die Wärme leiten und elektrisch isolieren. Man bildet ihn jedoch bevorzugt aus Berilliumoxid, Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid aus, die sowohl Wärme leiten als auch elektrisch isolieren.
  • Der Hilfsträger 18 besitzt gegenüberliegende erste und zweite Oberflächen 18a, 18b, wobei die erste Oberfläche des Hilfsträgers mindestens ein Positioniermerkmal 20 bestimmt, das dem Ausrichten der verschiedenen elektro-optischen Komponenten dient, die der Hilfsträger trägt. Die erste Oberfläche des Hilfsträgers kann wie im Folgenden beschrieben eine Anzahl Positioniermerkmale bestimmen. Der Hilfsträger in einem Beispiel bestimmt jedoch nur ein Merkmal, d. h. im Einzelnen mehrere Vertiefungen oder Schlitze, die entsprechende Komponenten des elektro-optischen Systems aufnehmen, die der Hilfsträger trägt.
  • In der ersten Hilfsträgerbaugruppe 10, die in 1 abgebildet ist, bestimmt die erste Oberfläche 18a des Hilfsträgers 18 eine schlitzartige Vertiefung 20, die eine relativ flache Unterseite und gegenüberliegende nach oben verlaufende Seitenwände hat und eine oder mehrere elektro-optische Komponenten aufnimmt, und einen Mikroresonatorhohlraum 22, der darin angeordnet ist und sich in der Nähe eines Endes des Schlitzes befindet.
  • Der Mikroresonatorhohlraum 22 enthält bevorzugt ein aktives Verstärkungsmedium 14 und einen sättigbaren Absorber 24, der zwischen zwei Spiegeln liegt, die den Resonanzhohlraum bestimmen. Ein Beispiel eines geeigneten Mikroresonatorhohlraums ist im US-Patent 5,394,413 (John J. Zayhowski), veröffentlicht am 28 Feb. 1995, beschrieben. Die Inhalte dieses Patents sind hiermit vollständig aufgenommen. Der Mikroresonatorhohlraum enthält ein aktives Verstärkungsmedium, das aus einem mit Neodym dotierten Yttrium-Aluminium-Granat (YAG) hergestellt ist. Der sättigbare Absorber ist aus einem YAG hergestellt, der mit vierwertigem Chrom dotiert ist. Das aktive Verstärkungsmedium ist mit ungefähr 1,6 Atomprozent Neodym dotiert. Das aktive Verstärkungsmedium und der sättigbare Absorber können jedoch unterschiedliche prozentuale Dotierungen enthalten. Der Mikroresonatorhohlraum dieser Ausführungsform sendet Laserimpulse mit einer Wellenlänge von 1,06 Nanometer aus. Fachleuten ist jedoch bekannt, dass man das aktive Verstärkungsmedium 14 und den sättigbaren Absorber 24 aus anderen Materialien herstellen kann, damit Laser-Ausgangssignale bereitgestellt werden, die andere Eigenschaften haben, beispielsweise andere Wellenlängen.
  • Die Hilfsträgerbaugruppe 10 in 1 enthält auch eine Laserdiode 12, die auf der ersten Oberfläche 18a des Hilfsträgers 18 ausgerichtet mit dem Mikroresonatorhohlraum 22 montiert ist, und zwar insbesondere mit dem aktiven Verstärkungsmedium 16 des Mikroresonatorhohlraums. Damit pumpt das Ausgangssignal der Laserdiode das aktive Verstärkungsmedium, wodurch der Mikroresonatorhohlraum eine Folge von Laserimpulsen aussendet. Im Weiteren wird beschrieben, dass die Laserdiode bevorzugt einen gewissen Abstand, z. B. 20 ± 5 Mikron, vom Mikroresonatorhohlraum hat. Die Hilfsträgerbaugruppe kann unterschiedliche Laserdioden enthalten; die Laserdiode ist jedoch bevorzugt aus Galliumarsenid hergestellt und liefert 1,2 Watt Pumpleistung.
  • Die Laserdiode 12, siehe 1, kann auf einem Wärmeverteiler 25 montiert sein, der aus Wärme leitendem Material ausgebildet ist. Dieser ist auf der ersten Oberfläche 18a des Hilfsträgers 18 montiert. Der Wärmeverteiler kann beispielsweise aus goldbeschichtetem Diamant hergestellt sein. Dabei ist der Diamant normalerweise ein synthetischer Diamant, der durch einen chemischen Dampfabscheidevorgang erzeugt wird. Nach dem Wachsen wird der Diamant normalerweise poliert, und es wird durch Bedampfen eine Goldbeschichtung auf dem Diamanten abgeschieden. Der Wärmeverteiler hat in der Regel auch eine größere Aufstandsfläche als die Laserdiode, damit die Wärme, die die Laserdiode erzeugt, wirksam auf die breitere Fläche des Hilfsträgers verteilt wird.
  • Die Hilfsträgerbaugruppe 10 kann auch zahlreiche andere elektro-optische Komponenten enthalten, die dem Mikroresonatorhohlraum 22 nachgeschaltet sind, damit die Laserimpulse geeignet verarbeitet werden, die der Mikroresonatorhohlraum abgibt. In der ersten Hilfsträgerbaugruppe in 1 enthält die Hilfsträgerbaugruppe beispielsweise einen Frequenzverdopplungskristall 26, der normalerweise aus KTiOPO4 besteht, d. h. KTP. Zusätzlich kann die Hilfsträgerbaugruppe in 1 ein antireflektierend beschichtetes Umlenkprisma 28 und ein silberbeschichtetes rechtwinkliges Prisma 30 enthalten, die das Ausgangssignal des Mikroresonatorhohlraums umlenken und anschließend das Ausgangssignal des Mikroresonatorhohlraums in eine Richtung leiten, die im Allgemeinen senkrecht zum Hilfsträger 18 ist. Ist der Hilfsträger in waagrechter Position angeordnet, so kann das Ausgangssignal des elektro-optisches Systems also senkrecht gerichtet sein, siehe 1. Im Einzelnen umfasst eine Hilfsträgerbaugruppe einen Mikroresonatorhohlraum, der ein aktives Verstärkungsmedium 14 aufweist, das aus einem mit Neodym dotierten YAG ausgebildet ist, sowie einen sättigbaren Absorber 24, der aus mit vierwertigem Chrom dotierten YAG ausgebildet ist, und der Laserimpulse mit einer Wellenlänge von 1,06 Nanometer abgibt. Damit erzeugt die in 1 dargestellte erste Hilfsträgerbaugruppe linear polarisierte Impulse mit einer Wellenlänge von 532 Nanometer.
  • Die Hilfsträgerbaugruppe 10 umfasst auch eine erste und eine zweite Metallisierungsschicht 32, 34, die auf unterschiedlichen Abschnitten des Hilfsträgers 18 angeordnet sind, damit sie eine Kathode bzw. eine Anode bilden. Die Metallisierungsschichten können aus unterschiedlichen elektrisch leitenden Materialien hergestellt werden. Die erste und die zweite Metallisierungsschicht werden jedoch aus Diffusionskontaktierungs-Kupfer hergestellt. Die erste und die zweite Metallisierungsschicht können, wie ebenfalls in 1 dargestellt ist, innerhalb entsprechender Vertiefungen 20 angeordnet werden, die durch die erste Oberfläche 18a des Hilfsträgers bestimmt sind.
  • Nach der Montage der Laserdiode 12 auf dem Hilfsträger 18 kann man geeignete elektrische Anschlüsse zwischen der Kathode, der Anode und der Laserdiode herstellen. Dies wird im Zusammenhang mit dem Herstellungsverfahren ausführlicher beschrieben. Die Laserdiode 12 und insbesondere der Wärmeverteiler 25, auf dem die Laserdiode in der ersten Hilfsträgerbaugruppe montiert ist, können auf einer der Metallisierungsschichten 32, 34 angeordnet sein. Da der Wärmeverteiler metallisiert ist, stellt die Montage des Wärmeverteilers auf der Metallisierungsschicht eine elektrische Verbindung zwischen der unten liegenden Metallisierungsschicht und der Laserdiode her. Zwischen einer Oberseite der Laserdiode und der anderen Metallisierungsschicht können auch eine oder mehrere Draht- oder Nadelkopfkontaktierungen hergestellt werden, siehe 1. Durch das Anlegen einer geeigneten Spannung und eines geeigneten Stroms an die Anode und Kathode liefert das elektro-optische System, das die erste Hilfsträgerbaugruppe 10 trägt, das gewünschte Laserausgangssignal.
  • Die erste Hilfsträgerbaugruppe 10, siehe beispielsweise 2, ist generell in einem elektro-optischen Gehäuse 36 montiert, z. B. einem TO-3- oder TO-8-Gehäuse; dies wird im Weiteren ausführlicher beschrieben. Das Gehäuse umfasst in der Regel eine Anzahl leitender Stifte 38, siehe 2, die das elektro-optische System umgeben. Stellt man geeignete elektrische Verbindungen zwischen den leitenden Stiften des Gehäuses und den entsprechenden Anschlüssen der ersten Hilfsträgerbaugruppe einschließlich der Anode, der Kathode und sämtlichen elektrischen Anschlüssen her, die zur primären Wärmesinke 16 gehören, kann man das elektro-optische System betreiben, indem man die leitenden Stifte des elektro-optischen Gehäuses passend ansteuert.
  • Ein Hilfsträger 18 kann unterschiedliche elektro-optische Systeme tragen, siehe 3-6 (die sich auf zweite, dritte und vierte Hilfsträgerbaugruppen beziehen, die die Erfindung nicht ausführen) und 7-8 (die sich auf eine Hilfsträgerbaugruppe beziehen, die die Erfindung ausführt). 3 (die eine zweite Hilfsträgerbaugruppe darstellt) zeigt beispielhaft, dass das elektro-optische System einen Generator 40 für vierte Harmonische enthalten kann, der normalerweise aus BBO hergestellt wird, und der dem Frequenzverdopplungskristall 26 nachgeschaltet ist, damit ein Ausgangssignal vierter Ordnung erzeugt wird. Eine Hilfsträgerbaugruppe 10, die einen Mikroresonatorhohlraum 22 enthält, der ein aktives Verstärkungsmedium 14 aufweist, das aus mit Neodym dotiertem YAG ausgebildet ist, und einen sättigbaren Absorber 24, der aus mit vierwertigem Chrom dotiertem YAG ausgebildet ist, sendet Laserimpulse mit einer Wellenlänge von 1,06 Mikrometer aus. Die in 3 dargestellte Hilfsträgerbaugruppe erzeugt somit linear polarisierte Impulse mit einer Wellenlänge von 266 Nanometer.
  • Zusätzlich kann das elektro-optische System einen Energiebeobachter 42 enthalten, der dem Generator 40 für vierte Harmonische nachgeschaltet ist und die Energie des Laserausgangssignals misst (siehe 3). Das elektro-optische System umfasst auch einen Strahlteiler 44, der dem Generator für vierte Harmonische nachgeschaltet ist und dem Energiebeobachter einen Bruchteil des Laserausgangssignals liefert und den Rest des Laserausgangssignals in eine Richtung lenkt, die im Allgemeinen senkrecht auf dem Hilfsträger 18 steht. Die zweite Hilfsträgerbaugruppe 10, siehe ebenfalls 3, kann auch einen Temperatursensor 46 enthalten, der auf der ersten Oberfläche 18a des Hilfsträgers montiert ist und die Temperatur des Hilfsträgers überwacht. Der Temperatursensor ist elektrisch mit dem thermoelektrischen Kühler 16 verbunden. Dadurch kann man den Umfang der Kühlung, die die Wärmepumpe liefert, abhängig von der Temperatur des Hilfsträgers einstellen. Der Temperatursensor und der thermoelektrische Kühler sind bevorzugt so entworfen, dass die Wärmepumpe den Hilfsträger auf einer relativ konstanten Temperatur hält.
  • 4 zeigt eine dritte Hilfsträgerbaugruppe 10. Wie dargestellt bestimmt der dortige Hilfsträger 18 einen Schlitz 20, in dem ein Mikroresonatorhohlraum 22 und ein elektro-optisch abgestimmter Wellenleiter oder ein oder mehrere nichtlineare optische Kristalle 48 angeordnet sind. Wie beschrieben enthält die dritte Hilfsträgerbaugruppe auch eine Laserdiode 12, die so ausgerichtet mit dem Mikroresonatorhohlraum montiert ist, dass das Ausgangssignal der Laserdiode den Mikroresonatorhohlraum und insbesondere das aktive Verstärkungsmedium 14 des Mikroresonatorhohlraums pumpt.
  • Der Hilfsträger 18, siehe 4, kann auf der passiven Wärmesinke 16 montiert sein, beispielsweise einer Basis aus Silber, die mit einer Legierung aus Gold und Nickel überzogen ist. Im Gegensatz zum eingebauten Entwurf in 2 kann der Hilfsträger innerhalb eines Gehäuses 50 angeordnet sein, das zahlreiche leitende Stifte aufweist. Stellt man geeignete elektrische Anschlüsse zwischen den leitenden Stiften und den jeweiligen Zuleitungen der dritten Hilfsträgerbaugruppe einschließlich der Anode und Kathode her, so kann man die Laserdiode passend ansteuern. In einem Beispiel für die dritte Hilfsträgerbaugruppe ist das Gehäuse aus sauerstofffreiem hoch leitfähigem Kupfer hergestellt, das dicht abschließend auf der darunter liegenden Wärmesinke montiert ist, und zwar mit Hilfe von Wärmeleitfett, Indiumfolie usw., damit der Wärmewiderstand der Dichtung zwischen dem Gehäuse und der Wärmesinke so gering wie möglich wird. Das Gehäuse enthält generell auch ein antireflektierend beschichtetes Fenster 52, das mit dem KTP-Wellenleiter ausgerichtet ist, durch den die linear polarisierten TEM00-Laserimpulse ausgesendet werden.
  • In 5 und 6 ist eine vierte Hilfsträgerbaugruppe 10 dargestellt. Die vierte Hilfsträgerbaugruppe umfasst wie dargestellt einen Hilfsträger 18, der eine erste Oberfläche 18a hat, die eine erste Nut 54 bestimmt. Die erste Nut öffnet sich in der ersten Oberfläche und hat eine Unterseite 54a und zwei gegenüberliegende Seitenwände 54b. Die vierte Hilfsträgerbaugruppe umfasst auch eine Laserdiode 12, die auf einer Seitenwand der ersten Nut befestigt ist. Dabei ist die Laserdiode generell auf einem Wärmeverteiler 25 montiert, der selbst an der Seitenwand der ersten Nut befestigt ist. Die Laserdiode ist so ausgerichtet, dass das Ausgangssignal der Laserdiode auf die Öffnung der ersten Nut in der ersten Oberfläche des Hilfsträgers gerichtet ist. In der vierten Hilfsträgerbaugruppe in 6 ist das Ausgangssignal der Laserdiode nach oben gerichtet.
  • Die vierte Hilfsträgerbaugruppe 10 enthält auch ein aktives Verstärkungsmedium 14 und in aller Regel einen Mikroresonatorhohlraum 22, der ein aktives Verstärkungsmedium und einen zugehörigen sättigbaren Absorber 24 enthält. Der Mikroresonatorhohlraum wird von der ersten Oberfläche 18a des Hilfsträgers 18 gehalten und überdeckt zumindest einen Abschnitt der ersten Nut 54, in der die Laserdiode 12 untergebracht ist. Damit pumpt das Ausgangssignal der Laserdiode das aktive Verstärkungsmedium, so dass eine Folge von Laserimpulsen erzeugt wird. Die erste Oberfläche des Hilfsträgers kann das aktive Verstärkungsmedium in mehreren unterschiedlichen Weisen tragen. In diesem Beispiel bestimmt die erste Oberfläche des Hilfsträgers bevorzugt eine Anzahl Leisten 55, die sich in die erste Nut öffnen. In diesem Fall können die Kantenabschnitte des Mikroresonatorhohlraums von den zahlreichen Leisten getragen werden, so dass er die erste Nut überbrückt und über der Laserdiode liegt. Bevorzugt bestimmt die erste Oberfläche des Hilfsträgers Leisten benachbart zu jeder der gegenüberliegenden Seitenwände 54b der ersten Nut, die die vier Ecken des Mikroresonatorhohlraums tragen, siehe 5 und 6.
  • Die vierte Hilfsträgerbaugruppe 10 ist bevorzugt so ausgebildet, dass die Laserdiode 12 einen passenden Abstand zum Mikroresonatorhohlraum 22 hat. Man kann unterschiedliche Abstände verwenden; generell hat die Laserdiode jedoch einen Abstand von 20 ± 5 Mikron vom Mikroresonatorhohlraum. Zum Bereitstellen des gewünschten Ab stands wird die Laserdiode bevorzugt auf dem Wärmeverteiler 25 in der Nähe eines seiner Enden montiert. Bemisst man den Wärmeverteiler annähernd angepasst an die Tiefe der ersten Nut 54, so kann die Laserdiode dadurch den richtigen Abstand zum Mikroresonatorhohlraum erhalten, dass man den Wärmeverteiler so an der Seitenwand der ersten Nut montiert, dass das Ende des Wärmeverteilers, das der Laserdiode gegenüberliegt, die Unterseite 54a der ersten Nut berührt.
  • Die erste Oberfläche 18a des Hilfsträgers 18, siehe 5 und 6, bestimmt auch bevorzugt eine zweite Nut 58, die sich zwischen einer Kante des Hilfsträgers und der ersten Nut 54 erstreckt. Die zweite Nut öffnet sich bevorzugt in die erste Nut, und zwar an einer Position, die im Allgemeinen mit der Laserdiode 12 ausgerichtet ist. Dadurch ist die Laserdiode über die zweite Nut frei zugänglich. Wie in 5 und 6 zu sehen ist, verlaufen die erste und die zweite Nut bevorzugt senkrecht zueinander. Damit vereinfacht die zweite Nut die Montage der Laserdiode auf der Seitenwand 54b der ersten Nut, da sie einen Zugang zur Seitenwand der ersten Nut in einer Richtung gestattet, die im Allgemeinen senkrecht zur Seitenwand ist. Die Querschnittsformen und Abmessungen der ersten und der zweiten Nut sind im Allgemeinen gleich; dies ist jedoch nicht unerlässlich.
  • 5 und 6 zeigen weiterhin, dass die vierte Hilfsträgerbaugruppe 10 auch generell eine erste und eine zweite Metallisierungsschicht 32, 34 enthält, die auf unterschiedlichen Abschnitten des Hilfsträgers 18 untergebracht sind. Man kann die erste und die zweite Metallisierungsschicht innerhalb der zugehörigen Vertiefungen 20 anordnen, die die erste Oberfläche 18a des Hilfsträgers wie im Zusammenhang mit der ersten Hilfsträgerbaugruppe in 1 beschrieben bestimmt. Die erste und die zweite Metallisierungsschicht der vierten Hilfsträgerbaugruppe werden jedoch auf gegenüberliegenden Seitenwänden 54b der ersten Nut 54 angebracht. Durch das Metallisieren des Wärmeverteilers 25, auf dem die Laserdiode 12 montiert ist, wird eine elektrische Verbindung zwischen der Laserdiode und der Metallisierungsschicht aufgebaut, die die Seitenwand bedeckt, auf der die Laserdiode befestigt ist. Wie dargestellt kann man Draht- oder Nadelkopfkontaktierungen zwischen der Laserdiode und der Metallisierungsschicht herstellen, die die andere Seitenwand der ersten Nut bedeckt. Durch das Anlegen einer geeigneten Spannung und eines geeigneten Stroms an die Metallisierungsschichten kann man die Laserdiode ansteuern, damit sie ein Ausgangssignal erzeugt, das den Mikroresonatorhohlraum 22 pumpt, der über der Laserdiode liegt.
  • Wie beschrieben kann man den Hilfsträger 18 in der vierten Hilfsträgerbaugruppe 10 auf einer Wärmesinke 16 montieren, beispielsweise einer Peltierpumpe oder einem anderen thermoelektrischen Kühler. Daher bildet man den Hilfsträger bevorzugt aus einem Wärme leitenden und elektrisch isolierenden Material aus, z. B. Berilliumoxid, Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid. Damit liefert der Hilfsträger einen Pfad mit geringem Wärmewiderstand von den elektro-optischen Komponenten zur Wärmesinke und isoliert zugleich die verschiedenen elektro-optischen Komponenten und auch die erste und die zweite Metallisierungsschicht wirksam elektrisch.
  • Die vierte Hilfsträgerbaugruppe 10 kann auch innerhalb eines geeigneten elektrooptischen Gehäuses 36 montiert werden, beispielsweise eines TO-3- oder TO-8-Gehäuses, siehe 2 und die folgende Beschreibung. Damit kann die vierte Hilfsträgerbaugruppe wie unten im Zusammenhang mit 10A-10C beschrieben in ein Gehäuse eingebaut werden, damit die verschiedenen auf dem Hilfsträger 18 angebrachten elektro-optischen Komponenten zusätzlich geschützt sind.
  • Die in 1-6 dargestellten und bereits beschriebenen ersten bis fünften Hilfsträgerbaugruppen 10 (die die Erfindung nicht ausführen) enthalten einen Hilfsträger 18, der eine erste Oberfläche 18a besitzt, die eine oder mehrere Vertiefungen 20 bestimmt, die jeweils elektro-optische Komponenten aufnehmen und ausrichten. Jede Hilfsträgerbaugruppe und insbesondere jeder Hilfsträger kann jedoch verschiedene andere Arten von Positioniermerkmalen zum Ausrichten der jeweiligen Komponenten bestimmen. 7 und 8 zeigen eine Hilfsträgerbaugruppe, die die Erfindung ausführt und einen Hilfsträger umfasst, der eine erste Oberfläche hat, die eine obere Platte 18c und eine untere Platte 18d enthält. Gemäß dieser Ausführungsform ist das Positioniermerkmal, das der Hilfsträger bestimmt, eine emporstehende Wand 18e, die sich zwischen der oberen und der unteren Platte erstreckt. Die elektro-optischen Komponenten können wie dargestellt exakt bezüglich der emporstehenden Wand angeordnet werden, so dass die Komponenten ausgerichtet sind.
  • Beispielsweise kann man den Mikroresonatorhohlraum 22 und ein rechtwinkliges Prisma 59 auf der unteren Platte 18d benachbart zur emporstehenden Wand 18e anbringen, und man kann eine Laserdiode 12 auf der oberen Platte 18c so ausgerichtet mit dem Mikroresonatorhohlraum befestigen, dass das Ausgangssignal der Laserdiode das aktive Verstärkungsmedium 14 des Mikroresonatorhohlraums pumpt. In der Regel hat die Laserdiode einen Abstand von 20 ± 5 Mikron zum Positioniermerkmal 20, d. h. zur emporstehenden Wand, damit der richtige Abstand zwischen der aussendenden Facette der Laserdiode und dem Mikroresonatorhohlraum vorhanden ist. Auf unterschiedlichen Abschnitten des Hilfsträgers 18 sind, siehe 7 und 8, eine erste und eine zweite Metallisierungsschicht 32, 34 angebracht. Die obere Platte des Hilfsträgers kann – dies ist nicht dargestellt – bei Bedarf jeweils Vertiefungen bestimmen, in denen die erste und die zweite Metallisierungsschicht untergebracht sind. Da der Hilfsträger nicht nur Wärme leitet sondern auch elektrisch isoliert, kann die Hilfsträgerbaugruppe 10 die verschiedenen elektro-optischen Komponenten und die erste und die zweite Metallisierungsschicht wirksam elektrisch isolieren.
  • Die Hilfsträgerbaugruppe 10 in 7 und 8 enthält auch eine Wärmesinke 16, beispielsweise einen thermoelektrischen Kühler. Herkömmliche thermoelektrische Kühler, siehe 7 und 8, enthalten ein oder mehrere Elemente, die normalerweise aus Wismuttellurid bestehen und zwischen zwei Wärme leitenden Platten liegen, beispielsweise Platten aus Aluminiumoxid. Wie in 1-6 im Zusammenhang mit der ersten bis vierten Hilfsträgerbaugruppe dargestellt ist, kann der Hilfsträger 18 in einer Ausführungsform der Erfindung auch als obere Platte des thermoelektrischen Kühlers dienen, so dass der Hilfsträger und die Wärmesinke 16 ein Bauteil an einem Stück bilden. Die Hilfsträgerbaugruppen in 1-6 (erste bis vierte Hilfsträgerbaugruppe) können bei Bedarf andere Arten von Wärmesinken (nicht dargestellt) einschließlich herkömmlicher thermoelektrischer Kühler enthalten. In ähnlicher Weise kann die Hilfsträgerbaugruppe in 7 und 8, die die Erfindung ausführt, auf Wunsch mit einem thermoelektrischen Kühler nach 1-6 integriert werden.
  • Die in 1-6 dargestellten ersten bis vierten Hilfsträgerbaugruppen 10 und die in 7-8 dargestellte Hilfsträgerbaugruppe, die die Erfindung ausführt, enthalten eine einzige Wärmesinke 16 bzw. genauer gesagt eine einzige Peltierwärmepumpe. Man kann die Hilfsträgerbaugruppe jedoch in Segmente unterteilen, so dass sie demgemäß mehrere Wärmesinken aufweist, wobei jeweils eine Wärmesinke zu jedem Hilfsträgersegment gehört. Der Hilfsträger 18 einer fünften Baugruppe, siehe 9, kann in zahlreiche Segmente unterteilt werden, die durch relativ dünne Luftspalte 19 getrennt sind. Im Einzelnen kann der Hilfsträger ein erstes Segment 18' enthalten, das die Laserdiode 12 trägt, ein zweites Segment 18'', das den Mikroresonatorhohlraum 22 trägt, und ein drittes Segment 18''', das die Komponenten trägt, die dem Mikroresonatorhohlraum nachgeschaltet sind, und zwar einschließlich des Frequenzverdopplungskristalls 26. Dementsprechend kann die fünfte Hilfsträgerbaugruppe drei Wärmepumpen oder besonders bevorzugt drei Peltierwärmepumpen enthalten, von denen jeweils eine zu jedem Segment des Hilfsträgers gehört.
  • Die fünfte Hilfsträgerbaugruppe 10, siehe 9, kann auch mehrere Temperatursensoren 46 enthalten, wobei jeweils ein Temperatursensor einem Segment des Hilfsträgers 18 zugeordnet ist und die Temperatur des jeweiligen Segments überwacht. Ein Controller, nicht dargestellt, kann Signale von den Temperatursensoren empfangen, die die Temperatur eines jeden Segments des Hilfsträgers darstellen. Der Controller kann daraufhin geeignete Spannungen an die Zuleitungen der Peltierwärmepumpen anlegen, damit die Temperatur eines jeden Segments des Hilfsträgers für sich geregelt wird.
  • Da die Laserdiode 12 generell mehr Wärme erzeugt als die anderen Komponenten, kann die Wärmepumpe 16', die zum ersten Hilfsträgersegment 18' gehört, auf dem die Laserdiode montiert ist, das erste Hilfsträgersegment stärker kühlen als das zweite und dritte Hilfsträgersegment. Damit die Wellenlänge des Signals, das die Laserdiode aussendet, im Mittenbereich des Pumpbands des aktiven Verstärkungsmediums 14 gehalten wird, wird das erste Hilfsträgersegment bevorzugt so gekühlt, dass die Temperatur der Laserdiode relativ konstant bleibt, da sich die Wellenlänge der Signale, die der Laser abgibt, verändert, falls die Temperatur der Laserdiode schwankt. Zusätzlich können die zu den zweiten und dritten Hilfsträgersegmenten gehörenden Wärmepumpen die jeweiligen Hilfsträgersegmente so kühlen oder erwärmen, dass der Mikroresonatorhohlraum 22 und die anderen Komponenten, beispielsweise der Frequenzverdopplungskristall 26, auf einer Temperatur gehalten werden, der ihren Betriebswirkungsgrad verbessert.
  • Ein Verfahren zum Einbau des elektro-optischen Systems, das die Erfindung nicht ausführt, wird nun im Zusammenhang mit der Ausführungsform der Hilfsträgerbaugruppe 10 beschrieben, die in 7 und 8 dargestellt ist. Bei diesem Verfahren wird die Hilfsträgerbaugruppe, die den Hilfsträger 18 enthält, zunächst auf einer Trägerfläche eines Gehäuses 36 montiert, z. B. eines TO-3- oder TO-8-Gehäuses. Die Wärmesinke 16, siehe 10A, beispielsweise eine Peltierwärmepumpe, kann zuerst auf der Trägerfläche des Gehäuses befestigt werden. Anschließend kann man den Hilfsträger auf der Wärmesinke anbringen. Obwohl die Laserdiode 12 und die Metallisierungsschichten 32, 34 generell auf dem Hilfsträger montiert werden, bevor dieser auf die Wärmesinke aufgesetzt wird, sind eine oder mehrere der elektro-optischen Komponenten einschließlich des Mikroresonatorhohlraums 22 zum Zeitpunkt der Montage des Hilfsträgers auf der Wärmesinke noch nicht auf diesem befestigt. Man kann die Hilfsträgerbaugruppe auf unterschiedliche Weisen montieren. Die Wärmesinke wird jedoch üblicherweise auf die Trägerfläche des Gehäuses geklebt, und die zweite Oberfläche 18b des Hilfsträgers wird normalerweise mit einem thermisch abgestimmten Epoxid auf die Wärmesinke geklebt. Dabei handelt es sich um ein Epoxid, das mit Aluminiumoxid oder Silber versetzt ist.
  • Das Gehäuse 36 enthält zahlreiche leitende Stifte 38, die durch den Boden 60 des Gehäuses verlaufen und die Trägerfläche des Gehäuses umgeben. Nach der Montage der Wärmesinke 16 und des Hilfsträgers 18 werden elektrische Verbindungen zwischen den leitenden Stiften des Gehäuses und entsprechenden Anschlüssen der Hilfsträgerbaugruppe 10 hergestellt, siehe 10B. Beispielsweise werden elektrische Verbindungen zwischen den leitenden Stiften des Gehäuses und der Anode, der Kathode und den jeweiligen Anschlüssen der thermoelektrischen Kühler hergestellt.
  • Ist die Hilfsträgerbaugruppe 10 auf der Trägerfläche des Gehäuses 36 montiert, und sind geeignete elektrische Verbindungen hergestellt, so können die verbleibenden elektro-optischen Komponenten einschließlich des Mikroresonatorhohlraums 22 auf dem Hilfsträger 18 ausgerichtet mit den Positioniermerkmalen 20, beispielsweise den Vertiefungen, die die erste Oberfläche 18a auf dem Hilfsträger bestimmt, montiert werden. Man montiert beispielsweise den Mikroresonatorhohlraum und das rechtwinklige Prisma 59 bevorzugt auf dem Hilfsträger, siehe die Beschreibung im Zusammenhang mit 7 und 8. Man kann die Komponenten auf unterschiedliche Weisen montieren. Man befestigt die elektro-optischen Komponenten auf dem Hilfsträger jedoch bevorzugt mit Hilfe einer Bestückungsmaschine, die die Teile mit Unterdruck aufnimmt, damit der Herstellungsvorgang wirksamer wird. Zum Einschließen der Hilfsträgerbaugruppe, siehe 10C, wird ein Deckel 62 am Boden des Gehäuses 36 befestigt. Der Deckel, siehe 2, enthält jedoch ein Fenster 64, damit das elektro-optische System, das der Hilfsträger trägt, durch das Fenster Laserimpulse abgeben kann, wenn man geeignete Spannungen an die leitenden Stifte 38 anlegt.
  • Da mindestens einige der Komponenten einschließlich des Mikroresonatorhohlraums 22 auf dem Hilfsträger 18 montiert werden, nachdem die Hilfsträgerbaugruppe 10 bereits auf der Trägerfläche des Gehäuses 36 angeordnet ist, bietet das beschriebene Verfahren zahlreiche Vorteile. Insbesondere können mit einem derartigen Fertigungsverfahren die Handhabungsvorgänge an den verschiedenen Komponenten verringert werden, wodurch die Komponenten in geringerem Umfang statischer Elektrizität und anderen schädlichen Umständen ausgesetzt werden. Zudem kann man mit dem beschriebenen Einbauverfahren die Erwärmung zahlreicher elektrooptischer Komponenten einschließlich des Mikroresonatorhohlraums begrenzen, da die Erwärmung den Betrieb und/oder die Lebensdauer der anderen elektro-optischen Komponenten beeinträchtigen könnte.
  • Eine Hilfsträgerbaugruppe 10, die die Erfindung ausführt, enthält wie beschrieben einen Hilfsträger 18 für die präzise Ausrichtung der verschiedenen Komponenten eines elektro-optischen Systems einschließlich einer Laserdiode 12 und eines zugehörigen Mikroresonatorhohlraums 22. Zusätzlich leitet der Hilfsträger nicht nur Wärme, sondern er isoliert auch elektrisch, damit die verschiedenen darauf montierten elektro-optischen Komponenten wirksam elektrisch isoliert sind.

Claims (8)

  1. Hilfsträgerbaugruppe (10), umfassend: eine Wärmesinke (16); einen Hilfsträger (18), der auf der Wärmesinke (16) montiert ist und gegenüberliegende erste und zweite Oberflächen (18a, 18b) aufweist, wobei der Hilfsträger (18) aus einem Wärme leitenden und elektrisch isolierendem Material besteht, und ein innerer Abschnitt der ersten Oberfläche (18a) des Hilfsträgers (18) mindestens ein Positioniermerkmal bestimmt, das dem Ausrichten der jeweiligen Komponenten dient; und erste und zweite Metallisierungsschichten (32, 34), die auf unterschiedlichen Abschnitten des Hilfsträgers (18) angeordnet sind und dadurch eine Kathode bzw. eine Anode bilden, wobei: die erste Oberfläche (18a) des Hilfsträgers (18) eine obere Platte (18c) und eine untere Platte (18d) enthält, und das Positioniermerkmal eine emporstehende Wand (18e) umfasst, die sich zwischen der oberen Platte (18c) und der unteren Platte (18d) erstreckt.
  2. Hilfsträgerbaugruppe (10) nach Anspruch 1, zudem umfassend: ein aktives Verstärkungsmedium (14), das auf der unteren Platte (18d) benachbart zur emporstehenden Wand (18e) angeordnet ist; und eine Laserdiode (12), die auf der oberen Platte (18c) ausgerichtet mit dem aktiven Verstärkungsmedium (14) so montiert ist, dass ein Ausgangssignal der Laserdiode (12) das aktive Verstärkungsmedium (14) pumpt.
  3. Hilfsträgerbaugruppe (10) nach Anspruch 1 oder 2, worin die erste und die zweite Metallisierungsschicht (32, 34) in jeweiligen Vertiefungen angeordnet sind, die von der ersten Oberfläche (18a) des Hilfsträgers (18) bestimmt sind.
  4. Hilfsträgerbaugruppe (10) nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, worin der Hilfsträger (18) aus einem Material besteht, das ausgewählt wird aus der Gruppe mit Berylliumoxid, Aluminiumoxid und Aluminiumnitrid.
  5. Hilfsträgerbaugruppe (10) nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, worin der Hilfsträger (18) zahlreiche Hilfsträgersegmente (18', 18'', 18''') umfasst, und worin die Wärmesinke (16) zahlreiche Wärmesinken (16', 16'', 16''') umfasst, die jeweils entsprechenden Hilfsträgersegmenten (18', 18'', 18''') zugeordnet sind.
  6. Verfahren zum Einbauen eines elektrooptischen Systems in ein Gehäuse, umfassend die Schritte: Montieren einer Hilfsträgerbaugruppe (10) nach Anspruch 1 auf einer Trägerfläche eines Gehäuses (36), wobei das Gehäuse (36) zahlreiche leitende Stifte (38) enthält, die die Trägerfläche umgeben; Herstellen elektrischer Verbindungen zwischen den leitenden Stiften (38) des Gehäuses (36) und entsprechenden Zuleitungen der Hilfsträgerbaugruppe (10); und Montieren einer Komponente auf dem Hilfsträger (18) ausgerichtet mit dem Positioniermerkmal, das auf der ersten Oberfläche (18a) des Hilfsträgers (18) bestimmt ist, und zwar nach den Schritten des Montierens der Hilfsträgerbaugruppe (10) im Gehäuse (36) und des Herstellens der elektrischen Verbindungen damit.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, worin der Montageschritt den Schritt des Anordnens eines aktiven Verstärkungsmediums (14) auf der unteren Platte (18d) benachbart zur emporstehenden Wand (18e) und ausgerichtet mit einer Laserdiode (12) umfasst, die auf der oberen Platte (18c) montiert ist, so dass ein Ausgangssignal der Laserdiode (12) das aktive Verstärkungsmedium (14) pumpt.
  8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, zudem umfassend den Schritt des Ausbildens erster und zweiter Metallisierungsschichten (32, 34) innerhalb entsprechender Vertiefungen, die durch die erste Oberfläche (18a) des Hilfsträgers (18) bestimmt sind, und zwar vor dem Montieren der Hilfsträgerbaugruppe (10) auf der Trägerfläche des Gehäuses (36).
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