DE69919094T2 - Gasdetektor mit Referenzzelle - Google Patents

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Description

  • Diese Erfindung betrifft Gaserkennungsgeräte, insbesondere Gaserkennungsgeräte, die Wellenlängenmodulations-Spektroskopie zum Erkennen von Gasen verwenden.
  • Wellenlängenmodulations-Spektroskopie, wie sie zum Beispiel im US-Patent Nr. 5,637,872 und den darin genannten Dokumenten zum Stand der Technik beschrieben ist, erfordert eine Referenzgas-Absorptionszelle. Die Zelle hat den doppelten Zweck, nämlich einen Absorptionswellenlängen-Referenzwert und einen Absorptionsstärke-Referenzwert zur Verfügung zu stellen. Die Referenzzelle wird gewöhnlich periodisch in den Strahlengang eingebracht. Das Wellenlängenspektrometer misst die Absorption, während die Wellenlänge des Lasers die Gasabsorptionslinie abtastet und die mittlere Wellenlänge des Lasers wird derart festgelegt, dass die Absorption in einem geeigneten Teil des Abtastbereichs erfolgt. Das Maximum der Gasabsorption kann zum Beispiel auf dem Abtastbereich zentriert sein oder kann in den Randbereichen des Abtastbereichs liegen, wenn eine benachbarte Atmosphärenabsorption die Gasabsorption stört. Der einstellbare Laser ist üblicherweise ein Halbleiterdiodenlaser, der entweder durch Verwendung von Ruhestrom oder Betriebstemperatur eingestellt werden kann. Da die elektronische Empfindlichkeit, zum Beispiel durch elektronische Drift und Offset, sich ändert, kann die Referenz- und Offsetgaszelle zum Kalibrieren des Spektrometers jedes Mal eingesetzt werden, wenn die Zelle in den Strahlengang eingebracht wird. Dabei wird die maximale Absorption der Referenzzelle aufgezeichnet und abgespeichert. Dann wird eine externe unbekannte Absorption mit der aufgezeichneten Referenzabsorption verglichen und die externe Absorption wird eher ratiometrisch als durch die Verwendung eines elektronischen Signalpegels erhalten.
  • Gemäß dem Stand der Technik bestehen die Gasabsorptionszellen gewöhnlich aus länglichen Röhren, die an den Enden mit dünnen Fenstern verschlossen sind. In der Wellenlängen-absorptionsspektroskopie sind Etalonstörungen bekannt, so dass die Referenzzellenfenster sorgfältig ausgelegt werden müssen. Bei einem Verfahren, das in dem oben erwähnten Patent beschrieben wird, weisen die Fenster eine Keilform mit einem definierten Winkel auf, so dass Etalonstörungen bei einer Frequenz außerhalb der Empfindlichkeit des Spektrometers auftreten. Bei einem anderen Verfahren, das ein HF-Gas verwendet, können Glasfenster nicht verwendet werden, da dieses Gas mit den Fenstern reagiert. Gasabsorptionszellen nach dem Stand der Technik, die zum Beispiel dazu verwendet werden, HF oder HCl aufzunehmen, wurden aus goldplatiertem InconelTM-Metall mit dünnen Saphirfenstern hergestellt, die an das Rohr durch Verwendung fluoridierter O-Ringdichtungen angeklebt wurden. Selbst wenn die Verfahren zum Entfernen von Fett und eingeschlossenem Wasser sorgfältig durchgeführt werden, müssen diese Zellen regelmäßig nachgefüllt werden und, da die Gaskonzentration in der Zelle, üblicherweise auf eine unvorhersehbare Weise, mit der Zeit sinkt, können diese Zellen zur ratiometrischen Kalibrierung nicht verwendet werden. Wie in 3 dargestellt, werden üblicherweise sehr dünne Glasfenster 50, 52 an ein Referenzzellenrohr 48 unter einem Winkel gegenüber der Rohrachse 58 geklebt. Es sind auch ein Füllanschluss 54 und ein Evakuierungsanschluss 56 zum Füllen des Rohres 48 mit Gas 60 und zum Evakuieren des Rohrs 48 vorgesehen. Typisch sind ein Winkel von 10° und eine Fensterdicke von 0,5 mm. Gasreferenzzellen nach dem Stand der Technik sind wegen der Notwendigkeit der Einkapselung von reaktiven Gasen wie Fluorwasserstoff schwierig herzustellen. Dieses Gas ist hoch toxisch und korrodierend und wird bei Aluminiumhüttenwerken, Raffinerien und anderen Industrieverfahren verwendet.
  • Das HF-Gas in einer Standard-Gasabsorptionszelle wird durch die Zelle sehr schnell verbraucht. Das Gas reagiert mit dem Wasserdampf, der von den Zellenwänden freigesetzt wird, und mit dem Werkstoff der Zellenwände. Wenn ein Laserinterferometer mit einer Gasreferenzzelle in einer Industrieanlage installiert ist, erfordert die Instandhaltung einen Kundendienstbesuch eines geschulten Technikers, der die Zelle nachfüllen und das Gerät mit einer externen Zelle nacheichen wird, um die vorschriftsgemäßen Forderungen zu erfüllen. Eine derartige externe Kalibrierungszelle für reaktive Gase erfordert ein "Durchfluss"-System, bei dem Gase, die eine niedrige Konzentration von z. B. HF enthalten, durch die Zelle hindurchströmen, bis ein Gleichgewicht erreicht ist. Ein Freisetzen toxischer Gase, wie HF, in einen geschlossenen Raum, wie ein Gebäude, ist selbstverständlich normalerweise nicht möglich, was die Kalibrierung an Ort und Stelle erschwert.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird eine Gasreferenzzelle offenbart, die kein Nachfüllen mit toxischem Gas erfordert, so dass sie keine komplizierte vorschriftsmäßige Nacheichung auf regelmäßiger Basis erfordert. Die Gasreferenzzelle kann auch für die Laserwellenlängenregelung, die beim Stand der Technik als "Linienzentrierung" bekannt ist, und für die ratiometrische Kalibrierung des Laserspektrometers verwendet werden.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird daher ein Gaserkennungsgerät vorgeschlagen, das aufweist: einen Lasersender, einen Laserempfänger, eine Gasreferenzzelle, die durch eine ein Innenvolumen bestimmende, dieses dicht umschließende Wandung gebildet ist, eine Flüssigkeit, die teilweise die Gasreferenzzelle füllt, ein Referenzgas, das in der Flüssigkeit gelöst ist und das einen Dampf im Innenvolumen bildet, wobei mindestens ein Teil der dicht umschließenden Wandung für die vom Lasersender ausgestrahlte elektromagnetische Strahlung durchlässig ist, um zu ermöglichen, dass die elektromagnetische Strahlung in die Gasreferenzzelle eintritt, einen Weg im Dampf durchläuft und aus der Gasreferenzzelle austritt; und wobei der Lasersender, der Laserempfänger und die Gasreferenzzelle mittels Lichtleitelemente gekoppelt sind, um Lichtpfade zu bilden, die vom Lasersender zum Laserempfänger durch die Gasreferenzzelle und vom Lasersender zum Laserempfänger durch einen Zielbereich verlaufen.
  • Die umschließende Wand besteht vorzugsweise aus einer Grundplatte sowie einer damit integral ausgeführten Seitenwand. Die Seitenwand ist vorzugsweise lichtdurchlässig. Die umschließende Wand weist vorzugsweise eine gegenüber der Grundplatte angeordnete Verschlusskappe auf. Um Etaloneffekte zu verhindern, kann die Gasreferenzzelle derart angeordnet werden, dass sie sich um eine mit der Seitenwand parallel verlaufende zentrale Achse dreht. Das Gaserkennungsgerät ist für Verwendungen besonders geeignet, bei denen das Referenzgas HF ist, das insbesondere in einer wässrigen Lösung der Fluorwasserstoffsäure gelöst ist.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der Erfindung wird auch ein Verfahren zum Erkennen eines Zielgases vorgeschlagen, das die folgenden Schritte umfasst:
    Senden des Laserlichts von einem Lasersender zu einem Laserempfänger durch einen Zielbereich und durch eine Gasreferenzzelle, die eine Probe des Zielgases enthält, wobei die Gasreferenzzelle eine Flüssigkeit, in der das Zielgas teilweise gelöst ist, und einen Dampf des genannten Zielgases enthält.
    Detektieren des Lichts vom Lasersender, das den Zielbereich durchlaufen hat, und Detektieren des Lichts vom Lasersender, das den genannten Dampf in der Gasreferenzzelle durchlaufen hat; und
    Analysieren des detektierten Lichts auf die Anwesenheit des Zielgases im Zielbereich.
  • Das Analysieren des detektierten Lichts umfasst vorzugsweise das Kompensieren der temperaturabhängigen Änderung der Konzentration des Zielgases in der Gasreferenzzelle. Es sind zwei Verfahren zum Kompensieren der temperaturabhängigen Änderung vorgesehen. Bei dem ersten Verfahren repräsentieren Daten, die im Analysator gespeichert sind, Änderungen des Lichtabsorptionssignals der Gasreferenzzelle, wenn sich die Temperatur ändert. Bei dem zweiten Verfahren repräsentieren Daten, die im Analysator gespeichert sind, das Lichtabsorptionssignal der Gasreferenzzelle für eine bestimmte und bekannte Temperatur. In jedem Fall kann das tatsächliche Lichtabsorptionssignal der Gasreferenzzelle unter Bezugnahme auf diese Daten eingestellt werden. Die Erfindung weist eine besondere Verwendbarkeit auf toxische Gase auf, die in einer wässrigen Lösung lösbar sind.
  • Vorteilhafte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.
  • Nachfolgend werden vorteilhafte Ausführungsbeispiele der Erfindung im Zusammenhang mit den Zeichnungen lediglich zur Erläuterung und nicht mit der Absicht beschrieben, den Umfang der Erfindung einzuschränken, bei denen glei che Bezugszeichen gleiche Elemente bezeichnen, und in denen:
  • 1 eine perspektivische Darstellung einer Gasreferenzzelle gemäß der Erfindung zeigt;
  • 2 eine schematische Darstellung ist, die ein Wellenlängenmodulationssspektrometer mit offenem Pfad zeigt, bei dem eine Gasreferenzzelle gemäß der Erfindung verwendet wird,
  • 3 eine Referenzzelle gemäß dem Stand der Technik zeigt, und
  • 4 eine Ausführung einer Verschlusskappe für eine Gasreferenzzelle gemäß der Erfindung zeigt.
  • Der in diesem Patentdokument verwendete Begriff "Licht" bedeutet elektromagnetische Strahlungen mit allen Frequenzen, die für die Erkennung von Gasen geeignet sind.
  • Die hier beschriebene Gasreferenzzelle ist für die Verwendung bei einem Gaserkennungsgerät vorgesehen, das, wie in 1 dargestellt ist, einen Lasersender 10 und einen Laserempfänger 16 aufweist. Der Laserempfänger 16 weist einen Fotodetektor 18 und einen Analysator 20 auf, der das Signal des Fotodetektors 18 auf die Anwesenheit des Zielgases im Zielbereich analysiert. Der allgemeine Aufbau des Lasersenders 10 und des Laserempfängers 16 sowie das Verfahren zur Wellenlängenmodulationsspektro-skopie sind im Stand der Technik bekannt. Der Lasersender 10 und der Laserempfänger 16 sind durch zwei Lichtpfade verbunden, die in einem Strahlenteiler 12 geteilt und im Fotodetektor 18 im Empfänger 16 wieder zusammengeführt werden. Ein offener Pfad 30 verläuft vom Strahlenteiler 16 durch einen Zielbereich, der das Zielgas enthalten kann, zu einem Spiegel 14 und dann zum Fotodetektor 18. Ein zweiter Pfad 28 verläuft vom Strahlenteiler 16 zu einem Spiegel 24 und dann durch die Gasreferenzzelle 26 zum Fotodetektor 18. Das zur Gasreferenzzelle 26 gelangende Licht kann durch Verwendung eines Blendenverschlusses 22 wahlweise unterbrochen werden. Die Lichtpfade 28 und 30 können durch andere Lichtleitelemente oder Lichtleiter, wie zusätzliche Spiegel und/oder Linsen, gebildet werden. Die Gasreferenzzelle 26 kann in einer Gabel 42 auf einem Drehteller 44 angeordnet sein, damit die Gasreferenzzelle 26 um ihre zentrale Achse gedreht werden kann.
  • Das in 1 gezeigte Gaserkennungsgerät funktioniert wie folgt: Das Laserlicht vom Lasersender 10 gelangt zum Laserempfänger 16 durch einen Zielbereich und durch die Gasreferenzzelle 26, die eine Probe des Zielgases zusammen mit der Flüssigkeit enthält, in der das Zielgas teilweise gelöst ist. Das Laserlicht, das beiden Pfaden gefolgt ist, wird im Laserempfänger detektiert und im Empfänger auf die Anwesenheit des Zielgases im Zielbereich analysiert. Das allgemeine Verfahren der Wellenlängenmodulationsspektroskopie ist im Stand der Technik bekannt und braucht nachfolgend nicht weiter beschrieben zu werden. Ein Beispiel des Verfahrens ist im US-Patent Nr. 5,637,872 beschrieben.
  • Die Gasreferenzzelle 26 enthält eine flüssige Lösung 40, in der das reaktive Gas gelöst ist. Im Fall von HF ist die Flüssigkeit vorzugsweise eine Lösung von Fluorwasserstoffsäure im Wasser. Das reaktive Gas bildet über der Lösung einen Dampf 38, der im Gleichgewicht mit der Flüssigkeit bleibt. Viele reaktive Gase, wie Säuren und Ammoniak, bilden flüchtige Lösungen und wären für diese Erfindung geeignet. Die Referenzzelle 26 ist eine integrale Konstruktion aus einem lichtdurchlässigen, korrosionsbeständigen Material, das eine abgedichtete umschließende Wand 32 bildet, und weist vorzugsweise keine Fenster auf. Die abgedichtete umschließende Wand 32 bildet ein Innenvolumen. Die Zelle 26 kann mit einem O-Ring abgedichtet werden oder mit einer Druckdichtung, wenn sie eine Kunststoffzelle ist. Der Laserstrahl verläuft durch die wand 32 der Zelle 26 und durch den Dampf 38 über der enthaltenen flüssigen Lösung 40, die teilweise das Innenvolumen füllt.
  • Es gehört zum bekannten Stand der Technik, dass die Fenster, die bei Wellenlängenmodulationsspektrometern verwendet werden, sehr sorgfältig ausgelegt werden müssen, um Etalonstöreffekte zu verhindern. Deshalb bestehen die Referenzzellenfenster normalerweise aus sehr dünnem Glas, das unter einem Winkel zur optischen Achse angeordnet wird. Die Wände eines lichtdurchlässigen Gefäßes sind zwangsläufig nicht dünn oder unter einem bestimmten Winkel zur optischen Achse angeordnet, da sie normalerweise geformt oder formgepresst und optisch sehr grob sind. Ein lichtdurchlässiges Gefäß, wenn es im Strahl eines Wellenlängenmodulationsspektrometers angeordnet ist, verursacht somit unzulässige Störungen und die Referenzgasabsorptionsreaktion ist stark gestört und wahrscheinlich nicht brauchbar. Wenn sich jedoch eine integrale Gasreferenzzelle um ihre Achse dreht, die zur optischen Achse um 90° gekippt angeordnet ist, kann eine Position gefunden werden, die Etalonstörungen auf ein sehr niedriges Signalniveau reduziert. Dieses Phänomen, das als "Nullabgleich" bezeichnet wird, tritt auf, weil das Etalongeräusch, das durch eine Oberfläche der Zelle verursacht wird, durch das Geräusch von der zweiten Oberfläche gelöscht wird. Das Verfahren zum Einstellen einer integralen Gasreferenzzelle erfordert somit ganz einfach, dass die Zelle 26 in das Gerät angeordnet wird, wobei das Gerät das Referenzsignal aufzeichnet. Die Referenzzelle 26 wird dann gedreht, zum Beispiel durch einen Drehteller 44, so dass das aufgezeichnete Signal durch die Zellenwände 32 nicht mehr gestört wird. Die Zelle 26 kann mit der Hand gedreht werden, die Verwendung eines Drehtellers 44 ermöglicht aber einen automatischen Betrieb. Dieses Verfahren führt normalerweise dazu, dass die Energie, die auf den Lichtdetektor 18 trifft, erheblich geändert wird.
  • Wellenlängenmodulationsspektrometer mit offenem Pfad werden jedoch so konstruiert, dass die erfassten Änderungen des Helligkeitsniveaus, die durch optische Verschlechterungen oder atmosphärische Einflüsse verursacht werden, in den Schaltkreisen des Empfängers berücksichtigt werden und die Messwerterfassung des Gerätes nicht beeinflussen. Infolge dessen sind Änderungen des Helligkeitsniveaus, die durch den Nullabgleich der Störung durch die integrale Gasabsorptionszelle verursacht werden, nicht wichtig.
  • Ein Vorteil der Verwendung einer Grenzschicht zwischen einer flüssigen Lösung und einem Gas als Gasquelle besteht darin, dass Gasverluste, die aus einer Reaktion mit dem Material der Zelle 26 oder aus einer Gasabsorption in das Material der Zelle 26 resultieren, durch das Gleichgewicht zwischen dem Gas 38 und der Lösung 40 konstant nachgefüllt werden. Weiterhin kann die Gaskonzentration einfach durch Änderungen der Konzentration des aktiven Materials in der Lösung 40 mühelos auf einen geeigneten Wert eingestellt werden. Ein Nachteil der Verwendung einer Gas-Lösung-Grenzschicht besteht darin, dass der Dampfdruck des Gases oberhalb der Lösung sich mit der Temperatur ändert. Es wird zum Beispiel verlangt, dass ein mit HF arbeitendes Erkennungsgerät bei Umgebungstemperaturen zwischen –40° und +65° betrieben werden kann, was eine sehr große Änderung des Gasdampfdruckes verursacht. Der Dampfdruck kann einfach durch die Verwendung des Wellenlängenmodulationsspektrometers zum Messen der Gaskonzentration in der Zelle bestimmt werden, was zu einer Methode zur Temperaturkorrektur führt. Das Gerät wird bei 20°C kalibriert, wobei die Gaskonzentration in der Referenzzelle bei dieser Temperatur bestimmt werden kann. Eine Erhöhung oder Senkung der Umgebungstemperatur resultiert in einer messbaren Änderung der Gaskonzentration in der Gaszelle, so dass ein Diagramm der Gaszellentemperatur in Abhängigkeit von der Konzentration ermittelt werden kann. Dieses Diagramm wird zur Bildung einer auslesbaren Computertabelle benutzt, die zum Korrigieren der Messwerte des Gerätes verwendet wird, die mit dem Gerät bei einer höheren oder niedrigeren Temperatur aufgenommen werden. Die auslesbare Computertabelle ist in einem Speicher abgelegt, der einen Teil von herrkömmlichen Analysatoren bildet. Zum Beispiel: Bei einer höheren Temperatur wird die Gaszellenkonzentration erhöht. Somit wird sich ein ratiometrischer Vergleich zwischen dem Gaszellensignal und einer externen unbekannten Gaskonzentration ändern. Ein für 20°C-Betrieb kalibriertes Gerät würde somit die Konzentration des externen Gases zu niedrig veranschlagen, wenn keine Korrektur durchgeführt würde. Eine solche Korrektur wird durch die im Analysator gespeicherte auslesbare Tabelle durchgeführt.
  • Ein zweites, alternatives Temperaturkompensationsverfahren erfordert, dass das absolute Referenzzellensignal periodisch aufgezeichnet wird und mit einem computergespeicherten Referenzsignal verglichen wird, das dem 20°C-Betrieb entspricht. Jede Änderung ergibt ein Verhältnis dieser beiden Signale, das nicht gleich Eins ist. Dieses Verhältnis kann dann zum Korrigieren von externen, unbekannten Gasabsorptionssignalen verwendet werden. Wenn zum Beispiel das Referenzzellensignal durch eine Temperaturerhöhung steigt, wird ein Verhältnis aufgezeichnet, das größer als Eins ist. Wie vorhin beschrieben wurde, resultiert dies in einem zu niedrigen Veranschlagen der Konzentration des externen unbekannten Gases, wenn keine Korrektur durchgeführt wird. In diesem Fall wird die Korrektur einfach durch Multiplizieren des externen Signals mit dem Referenzsignalverhältnis durchgeführt. Das zweite Verfahren hat die Vorteile, dass kein Temperaturgleichgewicht erforderlich ist und dass es auch ein elektronisches Verfahren für die Überprüfung des Zustands der Absorptionszelle bezüglich eines möglichen Fehlers bereitstellt, was für eine vorschriftsmäßige Qualitätssicherung erforderlich ist. Messungen mit einer bekannten externen Gaszelle für ein Gerät, dessen Temperatur sich über den ganzen erlaubten Umgebungsbereich ändert, zeigten, dass das zweite Verfahren über den ganzen erlaubten Betriebs-Umgebungstemperaturbereich eine Kalibrierungsvariation von weniger als 5% ergibt. Das zweite Verfahren hat den Nachteil, dass es bis zu einem gewissen Grad von der Elektronik des Analysators abhängt, die im Laufe der Zeit möglicherweise kein konstantes Betriebsverhalten aufweist.
  • Die Vorteile der Verwendung der beschriebenen Gasreferenzzelle gegenüber Absorptionszellen nach dem Stand der Technik sind somit wie folgt: Im Laufe der Zeit treten keine Verschlechterungen der Gasabsorption auf, so dass teuere Nachfüll- und Nacheichungsvorgänge vor Ort nicht notwendig sind. Die integrale Gasabsorptionszelle ist sehr einfach und preiswert, da keine speziellen Fenster oder Abdichtungsmaßnahmen erforderlich sind. Die integrale Gasabsorptionszelle kann im Gegensatz zu Gasreferenzellen nach dem Stand der Technik sowohl für Laserlinienzentrierung als auch für die ratiometrische Bestimmung der Konzentration des externen Gases verwendet werden. Eine Temperatureichung der Gasreferenzzelle ist nicht erforderlich, wenn das Gaserkennungsgerät in einem Konstanttemperaturofen verwendet wird; eine derartige Einrichtung ist jedoch teuer und schwierig zu betreiben, so dass sie vorzugsweise nicht verwendet wird.
  • Ein Beispiel einer integralen Absorptionszelle 26, die für ein HF-Wellenlängenmodulationsspektrometer geeignet ist, ist in 2 und 4 dargestellt. Diese Zelle besteht aus einem TEFLONTM-Rohr mit einem Durchmesser von 1 cm, das an einem Ende verschlossen ist und am anderen Ende eine Verschlusskappe 36 aufweist. Die Verschlusskappe 36 kann zum Beispiel eine Quetschkunststoffdichtung 41 sein, die in einem Gewinde im oberen Teil der umschließenden Wand 32 der Gasreferenzzelle 26 eingeschraubt ist. Das HF-Gas und die Fluorwasserstoffsäure reagieren beide mit Glas, so dass ein Kunststoff, vorzugsweise TEFLONTM-Kunststoff, erforderlich ist. Bei der Absorptionswellenlänge von 1321 nm ist TEFLONTM ausreichend durchlässig, um für eine Absorptionszelle geeignet zu sein. Die in 2 dargestellte Art von Zelle 26 wird bei zentrifugalen Analysen verwendet, so dass die Konstruktion ausreichend widerstandsfähig ist, um ihre Integrität unter industriellen Umgebungsbedingungen beizubehalten. Geeignet wäre auch ein Rohr mit quadratischem oder rechteckigem Querschnitt und größerem oder kleinerem Absorptionspfad. Zur Absorptionszelle 26 werden ca. 0,5 cm3 (cl.) Fluorwasserstoffsäure hinzugefügt und der Strahl läuft durch die Zelle 26 über der Säure 40. Ein weiterer Vorteil von TEFLONTM besteht darin, dass unter sich ändernden Temperaturbedingungen keine Wasserkondensation an den Rohrwänden 32 auftritt und dass Tropfen der Säure, die während der Bewegung des Gerätes auf die Wände 32 spritzen, in die Säure zurückfließen. Somit tritt ein zufälliges Hindernis für den Referenzstrahl, das durch die Kondensation und Tropfen verursacht werden könnte, nicht auf. Die HF-Konzentration oberhalb der Säure 40 kann durch Änderungen der Säurekonzentration geändert werden, so dass Pfadlängen unterschiedlicher Größe einer für das Gerät geeigne ten optischen Absorption angepasst werden können. Für eine Pfadlänge von 1 cm ist eine 35%-ige Lösung der Fluorwasserstoffsäure optimal. Es wird eine Lebensdauer von mehreren Jahren erwartet. Andere Beispiele toxischer Gase, von denen es angenommen wird, dass die Referenzzelle damit arbeiten kann, sind HCl, HCl, HBr und NH3, wobei das Gas in einer wässrigen Lösung (z. B. Chlorwasserstoffsäure, Zyanwasserstoffsäure usw.) gelöst ist.
  • Die Zelle 26 braucht nicht zylindrisch zu sein oder noch nicht einmal eine sonstige einfache Form aufzuweisen. Zum Beispiel kann die Flüssigkeit 40 in einem ersten vergrößerten Teil eines Behälters mit einem schmalen Hals sein, der den ersten vergrößerten Teil mit einem zweiten vergrößerten Teil verbindet. Es ist nicht notwendig, dass die gesamte Wand 32 lichtdurchlässig ist; aber wenn sie es ist, wird dadurch die Konstruktion vereinfacht. Ein Rohr, das durch eine Seitenwand und damit integral ausgeführte Grundplatte gebildet ist und das an dem der Grundplatte gegenüberliegenden Ende eine Gewindeverschlusskappe aufweist, ist einfach herzustellen.
  • Ein Fachmann könnte geringfügige Modifikationen an der in diesem Patentdokument beschriebenen Erfindung durchführen, ohne vom Wesen der Erfindung abzuweichen, die durch den Umfang der folgenden Ansprüche abgedeckt werden soll.

Claims (11)

  1. Gaserkennungsgerät mit: einem Lasersender (10), einem Laserempfänger (16); einer Gasreferenzzelle (26), die durch eine ein Innenvolumen bestimmende, dieses dicht umschließende Wandung (32) gebildet ist; einer Flüssigkeit (40), die teilweise die Gasreferenzzelle füllt; einem Referenzgas, das in der Flüssigkeit gelöst ist und das einen Dampf (38) im Innenvolumen bildet; wobei mindestens ein Teil der dicht umschließenden Wandung für die vom Lasersender ausgestrahlte elektromagnetische Strahlung durchlässig ist, um zu ermöglichen, dass die elektromagnetische Strahlung in die Gasreferenzzelle eintritt, einen Weg im Dampf durchläuft und aus der Gasreferenzzelle austritt; und wobei der Lasersender, der Laserempfänger und die Gasreferenzzelle mittels Lichtleitelemente gekoppelt sind, um Lichtpfade zu bilden, die vom Lasersender zum Laserempfänger durch die Gasreferenzzelle und vom Lasersender zum Laserempfänger durch einen Zielbereich verlaufen.
  2. Gaserkennungsgerät nach Anspruch 1, bei dem die umschließende Wandung aus einem Werkstoff besteht, der mit dem Referenzgas nicht reagiert.
  3. Gaserkennungsgerät nach Anspruch 2, bei dem die Gasreferenzzelle beweglich angeordnet ist, um den von der elektromagnetischen Strahlung im Innenvolumen zurückgelegten Weg zu verändern.
  4. Gaserkennungsgerät nach Anspruch 2, bei dem das Referenzgas HF ist.
  5. Gaserkennungsgerät nach Anspruch 4, bei dem die Flüssigkeit eine wässrige Lösung von Fluorwasserstoffsäure ist.
  6. Verfahren zum Erkennen eines Zielgases, das die folgenden Schritte umfasst: Senden des Laserlichts von einem Lasersender (10) zu einem Laserempfänger (16) durch einen Zielbereich und eine Gasreferenzzelle (26), die eine Probe des Zielgases enthält, wobei die Gasreferenzzelle eine Flüssigkeit (40), in der das Zielgas teilweise gelöst ist, und einen Dampf des genannten Zielgases enthält, Detektieren des Lichts vom Lasersender, das den Zielbereich durchlaufen hat, und Detektieren des Lichts vom Lasersender, das den genannten Dampf in der Gasreferenzzelle durchlaufen hat; und Analysieren des detektierten Lichts auf die Anwesenheit des Zielgases im Zielbereich.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem das Analysieren des detektierten Lichts das Kompensieren der temperaturabhängigen Änderung der Konzentration des Zielgases in der Gasreferenzzelle umfasst.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem das Kompensieren der temperaturabhängigen Änderung der Konzentration des Zielgases in der Gasreferenzzelle ein Speichern von Daten in einem Analysator (20) umfasst, die die mit der Änderung in der Temperatur des Dampfes in der Gasreferenzzelle hervorgerufene Änderung der Absorption des von der Gasreferenzzelle zu einem Fotodetektor (18) gelangenden Lichts repräsentieren.
  9. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem das Kompensieren der temperaturabhängigen Änderung der Konzentration des Zielgases in der Gasreferenzzelle ein Speichern von Daten in einem Analysator (20) umfasst, die die Absorption des Lichts repräsentieren, das von der Gasreferenzzelle zu einem Fotodetektor (18) bei einer festen Temperatur gelangt, und ein Anpassen der Daten umfasst, die von der Gasreferenzzelle bei einer anderen Temperatur durch Verwendung der erst genannten Daten erhalten werden.
  10. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem außerdem die Gasreferenzzelle bewegt wird, um die Störung durch Etaloneffekte zu reduzieren.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, bei dem die Bewegung der Gasreferenzzelle eine Drehung der Gasreferenzzelle um eine zentrale Achse umfasst.
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