DE69909403T2 - Verfahren und vorrichtung zum elektrochemischen bearbeiten von werkstücken - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum elektrochemischen bearbeiten von werkstücken Download PDF

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H3/00Electrochemical machining, i.e. removing metal by passing current between an electrode and a workpiece in the presence of an electrolyte
    • B23H3/02Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstücks mit Hilfe einer Elektrode, mit den Schritten
    • – In-Kontakt-Bringen des Werkstücks mit der Elektrode,
    • – Einstellen eines Arbeitsabstandes zwischen der Elektrode und dem Werkstück, wobei die Lücke zwischen dem Werkstück und der Elektrode mit einem Elektrolyt gefüllt gehalten wird, und
    • – Leiten eines Betriebsstroms über die Elektrode und das Werkstück durch den Elektrolyt in der Lücke, um das Werkstück zu bearbeiten.
  • Die Erfindung betrifft weiter eine Anordnung zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstücks mit Hilfe einer Elektrode, wobei zwischen der Elektrode und dem Werkstück ein Arbeitsabstand eingestellt wird, während die Lücke zwischen dem Werkstück und der Elektrode mit einem Elektrolyt gefüllt ist, und wobei das Werkstück durch Leiten eines Betriebsstroms über die Elektrode und das Werkstück durch den Elektrolyt in der Lücke bearbeitet wird, welche Anordnung enthält
    • – eine Basis zum Positionieren eines Werkstücks,
    • – einen Halter zum Positionieren einer Elektrode,
    • – einen Aktuator zum Bewegen des Halters und der Basis relativ zueinander,
    • – eine Detektionseinrichtung zum Detektieren eines Kontakts zwischen der Elektrode und dem Werkstück und
    • - eine Steuerungseinheit zum Steuern des Aktuators.
  • Außerdem bezieht sich die Erfindung auf eine Steuerungseinheit zum Steuern eines Aktuators in einer Anordnung zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstücks mit Hilfe einer Elektrode.
  • Ein solches Verfahren ist aus der Veröffentlichung "Modelling and Monitoring Interelectrode Gap In Puls Electrochemical Machining", in Annals of the CIRP, Bd. 44/1/1995, bekannt. Bei dem bekannten Verfahren wird ein Werkstück mit Hilfe einer Elektrode in einem Elektrolyt bearbeitet, der aus einer 15%igen Lösung von NaCl in Was ser besteht. Diese Veröffentlichung sagt, dass die Bearbeitungsgenauigkeit höher ist, wenn ein kleiner Arbeitsabstand zwischen der Elektrode und dem Werkstück vorgesehen ist. In einem Testbetrieb ist ein Arbeitsabstand von zumindest 0,1 mm eingestellt worden, woraufhin ein Betriebsstrom durch den Elektrolyt in der Lücke zwischen dem Werkstück und der Elektrode geleitet wird. Gemäß der Veröffentlichung wird dieser Arbeitsabstand üblicherweise eingestellt, indem die Elektrode und das Werkstück miteinander in Kontakt gebracht werden und anschließend die Elektrode in einem gewünschten Abstand zum Werkstück plaziert wird. Ein Nachteil dieses Verfahrens ist, dass es für den Fall, dass ein kleiner Arbeitsabstand eingestellt ist, nicht unwahrscheinlich ist, dass beim Zuführen des Betriebsstroms zwischen der Elektrode und dem Werkstück ein Funkenüberschlag oder ein Kurzschluss auftritt, wodurch die Elektrode und/oder das Werkstück durch die von dem Betriebsstrom am Ort des Funkenüberschlags oder des Kurzschlusses erzeugte Wärme beschädigt wird.
  • Der Erfindung liegt als Aufgabe zugrunde, die Wahrscheinlichkeit eines Funkenüberschlags oder Kurzschlusses zu reduzieren. Hierzu ist das erfindungsgemäße Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass der Arbeitsabstand eingestellt wird durch
    • – Vergrößern des Abstandes zwischen der Elektrode und dem Werkstück um einen ersten Abstand, ausgehend vom Vorliegen eines Kontakts zwischen der Elektrode und dem Werkstück, gefolgt von
    • – Detektieren, ob der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück unterbrochen ist und
    • – Vergrößern des Abstandes zwischen dem Werkstück und der Elektrode um einen zweiten Abstand, wenn die Detektion anzeigt, dass der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück unterbrochen worden ist.
  • Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass ein Bewegen der Elektrode und des Werkstückes voneinander weg über einen gewünschten Abstand, nachdem sie miteinander in Kontakt gebracht worden sind, nicht immer dazu führt, dass der gewünschte Arbeitsabstand eingestellt wird. Infolge eines elastischen Elementes kann der resultierende Arbeitsabstand kleiner als der gewünschte Arbeitsabstand sein und ist es sogar möglich, dass ein elektrischer Kontakt erhalten bleibt. Die Wahrscheinlichkeit hierfür ist erheblich, wenn der gewünschte Arbeitsabstand in der Größenordnung von Mikrometern liegt. Das genannte elastische Element kann Teil der Anordnung sein, die zum Positionieren der Elektrode in Bezug auf das Werkstück verwendet wird, und/oder kann durch einen Grat oder eine Verunreinigung in der Lücke gebildet werden. Wenn der Arbeitsabstand kleiner ist als gewünscht, ist die Stromdichte höher als gedacht und besteht ein großes Risiko von Ausgasen in der Lücke. Daher besteht ein großes Risiko eines Funkenüberschlages. Wenn der elektrische Kontakt erhalten bleibt, nachdem der Arbeitsabstand eingestellt worden ist, wird die Stromdichte am Ort dieses elektrischen Kontaktes infolge des Betriebsstroms so hoch sein, dass die Elektrode und/oder das Werkstück beschädigt werden können. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen sorgen dafür, dass die tatsächliche Lücke zumindest die Größenordnung des zweiten Abstandes hat. Dies verhindert Kurzschließen oder die Bildung eines Funkenüberschlages. Infolge dieser Maßnahmen ist das Risiko der Beschädigung des Werkstückes und/oder der Elektrode wesentlich geringer und kann ein Arbeitsabstand in der Größenordnung einiger Mikrometer in zuverlässiger Weise eingestellt werden.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 2 hat den Vorteil, dass die Unsicherheit hinsichtlich der Größe des eingestellten Arbeitsabstandes in Bezug auf die mittlere Größe des eingestellten Arbeitsabstandes klein ist. Dies führt zu einer gleichmäßigen Auflösungsgeschwindigkeit und einer genauen Reproduktion der Elektrode.
  • Die Maßnahmen nach Anspruch 3 haben den Vorteil, dass, wenn der elektrische Kontakt durch das Vorhandensein eines Grats oder einer Verunreinigung nicht unterbrochen wird, der Grat oder die Verunreinigung durch Vergrößen des Abstandes zwischen der Elektrode und dem Werkstück losgelöst werden kann und beispielsweise mit dem Elektrolyt zusammen weggespült werden kann. Der optimale Wert für den dritten Abstand hängt von der Geometrie ab und wird in der Praxis ungefähr 0,1 mm betragen.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 4 hat den Vorteil, dass es möglich ist, eine Drift im Arbeitsabstand periodisch zu korrigieren und dass bei einer Vergrößerung der Lücke der Elektrolyt besser durchfließen kann und daher besser erneuert werden kann.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 5 hat den Vorteil, dass die Größe des Arbeitsabstandes während des Auflösens des Werkstücks nahezu konstant bleibt.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 6 ist ein einfaches Verfahren zum Schätzen der Auflösungsgeschwindigkeit.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 7 hat den Vorteil, dass das Vorhandensein eines Kontaktes zwischen der Elektrode und dem Werkstück mit einfachen Mitteln detektiert werden kann.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 8 hat den Vorteil, dass einerseits die Spannung hoch genug ist, um Rauschen und Batterieeffekte zwischen dem Werkstück und der Elektrode zu minimieren, und andererseits die Spannung niedrig genug ist, um ein Auflösen der Elektrode oder des Werkstückes zu verhindern.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 9 hat den Vorteil, dass sich das Werkstück mit hoher Geschwindigkeit auflöst, wenn die Stromdichte hoch ist, und sich mit niedriger Geschwindigkeit auflöst, wenn die Stromdichte niedrig ist. Da die Stromdichte abnimmt, wenn der Abstand zwischen der Elektrode und dem Werkstück zunimmt, sorgt die Maßnahme dafür, dass die so genannte laterale Auflösung begrenzt bleibt und die bearbeitete Oberfläche des Werkstückes ungefähr ein Negativ der Elektrodenoberfläche ist.
  • Die Maßnahme nach Anspruch 10 hat den Vorteil, dass die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Genauigkeit wesentlich höher sind als bei den nach dem Stand der Technik verwendeten Größen für die Arbeitsabstände. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen ermöglichen somit das Herstellen eines kleinen Arbeitsabstandes in zuverlässiger Weise, sodass die genannten Vorteile ohne erhöhtes Risiko einer Beschädigung des Werkstückes und/oder der Elektrode erhalten werden können. Es hat sich gezeigt, dass die Maßnahmen nach Anspruch 11 besonders zufriedenstellende Ergebnisse liefern. Der optimale Wert des ersten Abstandes hängt von den Bewegungstoleranzen ab und der Elastizität der Anordnung und wird vorzugsweise empirisch bestimmt. Der optimale Wert des zweiten Abstandes hängt insbesondere von der Geometrie der Elektroden ab und wird auch vorzugsweise empirisch bestimmt.
  • Die Anordnung und die Steuerungseinheit gemäß der Erfindung sind dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinheit ausgebildet ist,
    • – um einen ersten Abstand zwischen der Elektrode und dem Werkstück einzustellen,
    • – um zu detektieren, ob der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück unterbrochen ist, und
    • – um den Abstand zwischen dem Werkstück und der Elektrode um einen zweiten Abstand zu vergrößern.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 schematisch eine Anordnung 1 für die elektrochemische Bearbeitung eines Werkstückes 2 mit Hilfe einer Elektrode 3,
  • 2 schematisch die Größe der Lücke 4 zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 und die Spannung U als Funktionen der Zeit während des Ausführens des erfindungsgemäßen Verfahrens,
  • 3 schematisch den Abstand d zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 und die Spannung U als Funktionen der Zeit während des Ausführens des erfindungsgemäßen Verfahrens für den Fall, dass sich gezeigt hat, dass der Kontakt nicht unterbrochen ist, nachdem der Abstand zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 um den ersten Abstand d erhöht worden ist und
  • 4 eine graphische Darstellung, die die Auflösungsgeschwindigkeit Vf als Funktion des Arbeitsabstandes dw für verschiedene Betriebsspannungen U1 und U2 darstellt.
  • 1 ist eine schematische Darstellung einer Anordnung 1 zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstücks 2 mit Hilfe einer Elektrode 3. Die Anordnung 1 umfasst eine Basis 6 zum Positionieren eines Werkstücks 2, einen Halter 7 zum Positionieren einer Elektrode 3 und einen Aktuator 8 zum Bewegen des Halters 7 und der Basis 6 relativ zueinander. Die Basis 6 und der Aktuator 8 sind auf einem starr konstruierten Chassis 9 montiert, um es zu ermöglichen, einen Arbeitsabstand dw zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 mit hoher Genauigkeit einzustellen. Die Anordnung umfasst weiterhin ein Reservoir 10, das so mit einem Elektrolyt 5 gefüllt ist, dass die infolge des Arbeitsabstandes dw zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 gebildete Lücke 4 mit dem Elektrolyt 5 gefüllt wird. Im vorliegenden Fall umfasst der Elektrolyt NaNO3, das in Wasser gelöst ist. Als Alternative ist es möglich, einen anderen Elektrolyt zu verwenden, wie beispielsweise Natriumchlorat oder eine Kombination aus NaNO3 und einer Säure. Der Elektrolyt 5 wird mit Hilfe einer nicht abgebildeten Anlage durch die Lücke 4 gepumpt. Mit Hilfe der Anordnung 1 kann das Werkstück 2 bearbeitet werden, indem ein Betriebsstrom I von einer Stromversorgung 40 aus durch den Elektrolyt 5 über die Elektrode 3 und das Werkstück 2 in die Lücke 4 geleitet wird. Bei richtiger Polarität des Betriebsstroms I führt dies dazu, dass Material des Werkstücks 2 am Ort eines kleinen Abstandes zwischen der Elektrode und dem Werkstück in dem Elektrolyt 5 aufgelöst wird. Dadurch wird die Form der Elektrode 3 in dem Werkstück 2 kopiert. Die Anordnung 1 umfasst weiter eine Detektionseinrichtung 20 zum Detektieren eines Kontaktes zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 und eine Steuerungseinheit 30 zum Steuern des Aktuators 8. Die Detektionseinrichtung 20 umfasst eine strombegrenzte Spannungsquelle 21, die im vorliegenden Fall eine Spannung Um von ungefähr 2 V liefert, solange der Strombegrenzer nicht aktiviert ist, und einen Monitor 22 zum Überwachen der Spannungsdifferenz U zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2. Die Steuerungseinheit 30 ist zum Ausführen des erfindungsgemäßen Verfahrens ausgebildet, wie anhand von 2 beschrieben wird.
  • 2 stellt schematisch den Abstand d zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 und die Spannung U als Funktionen der Zeit beim Ausführen des erfindungsgemäßen Verfahrens da. In einer ersten Phase I wird gemäß diesem Verfahren der Schalter 23 (siehe 1) geschlossen und der Abstand d zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode verkleinert, bis das Werkstück 2 und die Elektrode miteinander in Kontakt gelangen. Infolge dieses Kontaktes wird der Strombegrenzer aktiviert und die Spannung U nimmt auf ungefähr 0 V ab (Phase II). Anschließend wird ein Arbeitsabstand dw zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 eingestellt, ausgehend vom Vorliegen eines Kontaktes zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 durch Vergrößen des Abstandes d zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 um einen ersten Abstand d1 (Phase III), gefolgt durch eine Detektion, durch Überwachen der Spannung U, ob der Kontakt zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 unterbrochen ist (Phase IV), und Vergrößen des Abstandes d zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 um einen zweiten Abstand d2 (Phase V), wenn die Detektion zeigt, dass die Spannung U wieder ungefähr 2 V ist, als Angabe, dass der Kontakt zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 unterbrochen ist. Vorzugsweise ist der Arbeitsabstand dw kleiner als 50 μm. Zusätzlich wird die Streuung im tatsächlichen Arbeitsabstand dw begrenzt, indem ein zuvor bestimmter Wert für den ersten Abstand d1 gewählt wird und indem der erste Abstand d1 in Bezug auf den zweiten Abstand d2 relativ klein gewählt wird. Gute Ergebnisse sind mit d1 zwischen 2 und 10 μm und d2 zwischen 5 und 30 μm erhalten worden.
  • Vorzugsweise wird die Detektion, durch Überwachen der Spannung U (Phase IV), ob der Kontakt zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 unterbrochen ist, einige Zeit später ausgeführt, nachdem der erste Abstand d1 eingestellt worden ist (Phase III). Es hat sich nämlich gezeigt, dass in Phase III die Spannung langsam auf den ursprünglichen Pegel Um zurückkehrt. Dies wird durch einen Batterieeffekt in dem Elektrolyt 5 verursacht. Die Detektion, durch Überwachen der Spannung U (Phase IV), ob der Kontakt zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 unterbrochen ist, wird vorzugsweise ausgeführt, indem bestimmt wird, ob die Spannung U größer als beispielsweise 0,5 Um ist, um den Einfluss von Batterieeffekten und anderen Rausch- oder Störquellen auf die Detektion zu minimieren.
  • Nachdem der Arbeitsabstand gemäß dem beschriebenen Verfahren eingestellt worden ist, wird ein Betriebsstrom I von der Stromversorgung 40 aus während einer Phase VI durch Schließen des Schalters 43 beim Arbeitsabstand dw durch den Elektrolyt 5 geleitet. Vorzugsweise liefert die Stromversorgung 40 eine gepulste Spannung UP, weil es sich gezeigt hat, dass dies zu einer gleichmäßigeren Auflösung des Werkstückes 2 führt als in dem Fall einer kontinuierlichen Spannung. Anschließend wird in einer Phase VII der Abstand zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 um einen Abstand d3 erhöht, sodass der Elektrolyt 5 beim Arbeitsabstand dw in einfacher Weise erneuert werden kann. Bei einem Arbeitsabstand dw von einigen 10 Mikrometern ist der Elektrolyt schnell gesättigt, weil die Strömungsgeschwindigkeit des Elektrolyts über einen solchen Arbeitsabstand nicht ausreichend ist. Nachdem der Abstand d erhöht worden ist, wird der Arbeitsabstand dw vorzugsweise wieder gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren eingestellt, sodass das In-Kontakt-Bringen des Werkstücks 2 mit der Elektrode 3 und das Einstellen eines Arbeitsabstandes dw zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 periodisch wiederholt werden.
  • In 2 geben die Buchstaben FF eine Ausführungsform an, in der während des Leitens des Betriebsstroms I durch den Elektrolyt 5 die Elektrode 3 und das Werkstück 2 zueinander gemäß einer Schätzung der Geschwindigkeit Vf bewegt werden, mit der das Material aufgelöst wird. Diese Auflösungsgeschwindigkeit Vf kann beispielsweise auf Basis der relativen Verlagerung d4 der Elektrode d3 und des Werkstücks 2 zwischen zwei Kontaktierungsphasen geschätzt werden.
  • 3 zeigt schematisch den Abstand d zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 und die Spannung U als Funktionen der Zeit während des Ausführens des erfindungsgemäßen Verfahrens für den Fall, dass sich zeigt, dass der Kontakt nicht unterbrochen ist, nachdem der Abstand d zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 3 um den ersten Abstand d1 erhöht worden ist (Phase IV). In diesem Fall wird, ähnlich wie in Phase VII in 2, der Abstand zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode um einen dritten Abstand d3 erhöht, woraufhin die Schritte folgen, wie sie anhand von 2 skizziert worden sind.
  • 4 ist eine graphische Darstellung der Auflösungsgeschwindigkeit Vf als Funktion des Arbeitsabstandes dw für verschiedene Betriebsspannungen U1 und U2, für die gilt U2 > U1. Diese graphische Darstellung zeigt, dass die Auflösungsgeschwindigkeit Vf im Wesentlichen mit abnehmendem Arbeitsabstand dw zunimmt. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen ermöglichen, viel kleinere Arbeitsabstände einzustellen als in der zuvor erwähnten Veröffentlichung angegeben werden, ohne erhöhtes Risiko einer Beschädigung des Werkstückes 2 oder der Elektrode 3 infolge von Kurzschluss oder Funkenüberschlag. Daher wird eine höhere Auflösungsgeschwindigkeit Vf erreicht. Gleichzeitig wird eine höhere Genauigkeit erhalten, indem Auflösung in lateraler Richtung schnell zu einem Abstand d führt, der zu einer verhältnismäßig niedrigen Auflösungsgeschwindigkeit Vf führt (siehe 4), sodass eine bearbeitete Oberfläche des Werkstückes 2 ungefähr eine negative Kopie der entsprechenden Oberfläche der Elektrode 3 ist.
  • Es sei bemerkt, dass die Erfindung nicht auf die verschiedenen dargestellten Varianten begrenzt ist. Mehrere andere Varianten sind möglich, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen, der ausschließlich durch die beigefügten Ansprüche definiert wird. So ist es möglich, den Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück in anderer Weise zu detektieren, beispielsweise mit Hilfe einer gepulsten Stromquelle oder Spannungsquelle oder mit Hilfe eines Druckwandlers, der die auf das Werkstück von der Elektrode ausgeübte Kraft misst. Die Detektion, ob der Kontakt unterbrochen ist, nachdem der Abstand zwischen der Elektrode 3 und dem Werkstück 2 um den ersten Abstand erhöht worden ist, kann auch mit Hilfe eines komplexen Kriteriums ausgeführt werden, wie der Mittelwert der Spannung U, eventuell in Kombination mit der Streuung der Spannung U während der Phase IV. Außerdem ist es möglich, durch eine geeignete Geometrie des Elektrolyts ein gutes Erneuern des Elektrolyts in der Lücke zu erhalten, wodurch die periodische Vergrößerung der Lücke entfallen kann.

Claims (13)

  1. Verfahren zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstücks (2) mit Hilfe einer Elektrode (3), mit den Schritten – In-Kontakt-Bringen des Werkstücks mit der Elektrode – Einstellen eines Arbeitsabstandes (dw) zwischen der Elektrode und dem Werkstück, wobei die Lücke (4) zwischen dem Werkstück und der Elektrode mit einem Elektrolyt (5) gefüllt gehalten wird, und – Leiten eines Betriebsstroms (I) über die Elektrode und das Werkstück durch den Elektrolyt in der Lücke, um das Werkstück zu bearbeiten, dadurch gekennzeichnet, dass der Arbeitsabstand (dw) eingestellt wird durch – Vergrößern des Abstandes (d) zwischen der Elektrode und dem Werkstück um einen ersten Abstand (d1), ausgehend vom Vorliegen eines Kontakts zwischen der Elektrode (3) und dem Werkstück (2), gefolgt von – Detektieren, ob der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück unterbrochen ist und – Vergrößern des Abstandes zwischen dem Werkstück und der Elektrode um einen zweiten Abstand (d2), wenn die Detektion anzeigt, dass der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück unterbrochen worden ist.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Abstand (d1) ein zuvor bestimmter Abstand ist und der erste Abstand in Bezug auf den zweiten Abstand (d2) verhältnismäßig klein ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (d) zwischen dem Werkstück (2) und der Elektrode (3) um einen dritten Abstand (d3) vergrößert wird, woraufhin der Elektrolyt (5) in der Lücke durch Spülen erneuert wird, woraufhin das Werkstück und die Elektrode wieder miteinander in Kontakt gebracht werden, wenn sich zeigt, dass der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück nach dem Einstellen des zuvor bestimmten Abstandes (d1) nicht unterbrochen worden ist.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schritte des In-Kontakt-Bringens des Werkstücks (2) mit der Elektrode (3) und des Einstellens des Arbeitsabstandes (dw) zwischen der Elektrode und dem Werkstück periodisch wiederholt werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – als Folge des Betriebsstroms (I) Material des Werkstücks (2) aufgelöst wird und – während des Leitens eines Betriebsstroms durch den Elektrolyt (5) die Elektrode (3) und das Werkstück gemäß einer Schätzung der Geschwindigkeit (Vf), mit der das Material aufgelöst wird, aufeinander zu (FF) bewegt werden.
  6. Verfahren nach Anspruchs 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflösungsgeschwindigkeit (Vf) auf Basis der relativen Verlagerung (d4) zwischen der Elektrode (3) und dem Werkstück (2) zwischen zwei Kontaktierungsphasen geschätzt wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Kontakt zwischen der Elektrode (3) und dem Werkstück (2) durch Anschließen einer strombegrenzten Spannungsquelle (21) zwischen der Elektrode und dem Werkstück und Überwachen der Spannungsdifferenz zwischen der Elektrode und dem Werkstück detektiert wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungsquelle (21) eine Spannung (Um) zwischen 1 und 3 V liefert.
  9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektrolyt NaNO3 umfasst.
  10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Arbeitsabstand (dw) eingestellt wird, der kleiner ist als 50 μm.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Abstand (d1) zwischen 2 und 10 μm und der zweite Abstand (d2) zwischen 5 und 30 μm liegt.
  12. Anordnung (1) zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstücks (2) mit Hilfe einer Elektrode (3), wobei zwischen der Elektrode und dem Werkstück ein Arbeitsabstand (dw) eingestellt wird, während die Lücke (4) zwischen dem Werkstück und der Elektrode mit einem Elektrolyt (5) gefüllt ist, und wobei das Werkstück durch Leiten eines Betriebsstroms (I) über die Elektrode und das Werkstück durch den Elektrolyt in der Lücke bearbeitet wird, welche Anordnung enthält – eine Basis (6) zum Positionieren eines Werkstücks, – einen Halter (7) zum Positionieren einer Elektrode, – einen Aktuator (8) zum Bewegen des Halters und der Basis relativ zueinander, – eine Detektionseinrichtung (20) zum Detektieren eines Kontakts zwischen der Elektrode und dem Werkstück und – eine Steuerungseinheit (30) zum Steuern des Aktuators, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinheit (30) ausgebildet ist, – um einen ersten Abstand (d1) zwischen der Elektrode und dem Werkstück einzustellen, – um zu detektieren, ob der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück unterbrochen ist, und – um den Abstand (d) zwischen dem Werkstück und der Elektrode um einen zweiten Abstand (d2) zu vergrößern.
  13. Steuerungseinheit (30) zum Steuern eines Aktuators in einer Anordnung (1) zur elektrochemischen Bearbeitung eines Werkstücks (2) mit Hilfe einer Elektrode (3), dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinheit (30) ausgebildet ist, – um einen ersten Abstand (d1) zwischen der Elektrode und dem Werkstück einzustellen, – um zu detektieren, ob der Kontakt zwischen der Elektrode und dem Werkstück unterbrochen ist, und – um den Abstand (d) zwischen dem Werkstück und der Elektrode um einen zweiten Abstand (d2) zu vergrößern.
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