DE69833422T2 - Dynamische gasdrucklagervorrichtung und diese verwendende abtastende optische ablenkvorrichtung - Google Patents

Dynamische gasdrucklagervorrichtung und diese verwendende abtastende optische ablenkvorrichtung Download PDF

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Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine hydrodynamische Gaslagerstruktur im allgemeinen, und speziell betrifft sie eine hydrodynamischen Gaslagerstruktur, die einen sich mit einer großen Geschwindigkeit drehenden Rotator trägt, sowie ein Verfahren zur deren Herstellung.
  • Hintergrund-Technik
  • In den letzten Jahren wird von einem Rotationsantriebselement gemeinsam mit einer hohen Rotationsgeschwindigkeit eine hohe Rotationsgenauigkeit gefordert, wie etwa bei einem optischen Ablenk-Scanner beispielsweise von einer Magnetaufzeichnungsvorrichtung oder eines Laserstrahldruckers. Um einen Präzisionsmotor, für den eine solche hohe Rotationsgeschwindigkeit und Rotationsgenauigkeit gefordert werden, mit einer höheren Geschwindigkeit zu drehen, wird der Einsatz eines Gaslagers (hydrodynamisches Gaslager) für das Rotationsantriebselement vorgeschlagen. In dem Rotationsantriebselement, welches dieses Gaslager einsetzt, wird Luft mit Druck in wenigstens einen Freiraum zwischen einem Radialgaslagerkörper und einem Rotator eingeführt, wenn der Rotator sich dreht. Auf diese Weise wird der Luftdruck im Zwischenraum erhöht, und der Rotator dreht sich durch das Gaslager mit einer großen Geschwindigkeit. Daher wird, indem das Gaslager eingesetzt wird, die Aufrechterhaltung der Rotationsgenauigkeit auch während der Hochgeschwindigkeitsdrehung erwartet.
  • Im zuvor erwähnten Radialgaslager wird ein Spaltabstand durch Exzentrizität eines Wellenkörpers im Lagerkörper ausgebildet, wie z.B. in Gas Bearing" von Shinichi Tohgo, Kyoritsu Shuppan (1984) gezeigt. Druck wird erzeugt, wenn Luft durch diesen Spaltabstand hindurch tritt, da die Luft zusammengedrückt wird. So wird es möglich, den Wellenkörper und den Lagerkörper in einer berührungsfreien Weise zu tragen.
  • Gemäß „About Whirl of Gas Bearing" von Atsunobu Mori, Seiten 481 bis 488, „Lubrication" Vol. 20, Nr. 7 (1975) wird jedoch in einem zylindrischen Achslager ein instabiles Phänomen, das „Whirl (Wirbelung)" (H/W) genannt wird, beobachtet, wenn es in einem unbelasteten Zustand eingesetzt wird, wie etwa im Fall des Tragens einer vertikalen Welle oder dergleichen. Dieses Phänomen ist derart, dass die Welle durch die Zentrifugalkraft gegen die Lageroberfläche gepresst wird und innerhalb des Lagers wirbelt. Im zylindrischen Achslager weichen das Lagerzentrum und das Rotationszentrum durch eine statische Belastung voneinander ab, wodurch Druck in einem Teil erzeugt wird und eine stabile Drehung bewirkt wird. Im Fall des Einsatzes des zylindrischen Achslagers für eine vertikale Struktur, d.h. eine Struktur, die eine vertikale Welle oder dergleichen trägt, wird jedoch das Lager in einem unbelasteten Zustand eingesetzt, und folglich ändert sich ein druckerzeugender Punkt durch Störungen und die Drehung wird instabil.
  • Im Fall der Anwendung des zuvor erwähnten hydrodynamischen Gases, das an einem Rotation antreibenden Teil einer Magnetaufzeichnungsvorrichtung, wie einem Festplattenantrieb oder einem Laserdrucker, muss der zuvor erwähnte instabile Faktor beseitigt werden, da die Positionsgenauigkeit des Rotators als wichtig angesehen wird.
  • Dementsprechend wird in der japanischen Patent-Publikation Nr. 4-21844 (entspricht der japanischen Patent-Offenlegung Nr. 58-224324) und äquivalent dazu in der US-A-4512626 vorgeschlagen, das der erzeugte Druck zunimmt, indem flache Nuten hauptsächlich auf einer Seite eines als Rotator dienenden Wellenkörpers ausgebildet werden, in welchem Gas durch Rotation in der Umfangsrichtung gleichverteilt strömt, wodurch die Wirbelstabilität bei der Hochgeschwindigkeitsdrehung verbessert wird, d.h. um ein Wirbelphänomen zu verhindern. Es werden in Umfangsrichtung asymmetrische Nuten offenbart, welche die Rotationsrichtung beschränken.
  • Weiterhin wird in der japanischen Patent-Offenlegung Nr. 8-312639 ein Mittel zur Formung von mindestens drei Nuten, die sich in der axialen Richtung auf einem Wellenkörper und in der Umfangsrichtung gleichmäßige verteilt erstrecken, zur Steuerung der Nutform vorgeschlagen, wodurch die Wirbelstabilität bei der Hochgeschwindigkeitsrotation verbessert und ein Wirbelphänomen verhindert wird.
  • In Experimenten ist durch die Erfinder jedoch nachgewiesen worden, dass es die folgenden Probleme gibt, wenn die Nuten auf einem Wellenkörper nach den zuvor erwähnten Vorschlägen geformt werden, obwohl ein Wirbelphänomen bei der Hochgeschwindigkeitsrotation unterdrückt werden kann:
  • 11 ist eine Querschnittsansicht eines Wellenkörpers. Wie in 11 gezeigt, werden drei Abschnitte von Nuten 13 auf der Außenumfangsfläche des Wellenkörpers 1 ausgebildet. In diesem Fall hat die Form der Nuten 13 in der Umfangsrichtung des Wellenkörpers 1 eine seitlich symmetrische Form. Die Außenumfangsfläche des Wellenkörpers 1 hat Abschnitte, die mit einem Kreis umschrieben werden, der einen Durchmesser Daußen hat und mit einem Kreis eingeschrieben werden, der einen Durchmesser Dinnen hat. Der durchschnittliche Durchmesser des Wellenkörpers 1 wird als Dm angegeben.
  • Wenn eine hydrodynamische Gaslagerstruktur mit dem Wellenkörper 1 ausgebildet wird, der einen solchen Querschnitt hat, ist es möglich, ein Wirbelphänomen bei der Hochge schwindigkeitsrotation zu unterdrücken. Jedoch ergibt sich eine Dispersion in der Rotationsfrequenz zu der Zeit des Rotierens/Startens des Wellenkörpers 1, um sich von solch einem Zustand, bei dem der Wellenkörper und ein Lagerkörper in einem berührungsfreien Zustand miteinander sind, hin zu einem Kontaktzustand zu verschieben, oder in der Rotationsfrequenz, wenn der Wellenkörper und der Lagerkörper von einem berührungsfreien Zustand hin zu einem Kontaktzustand hin verschoben werden, wenn sich die Rotationsgeschwindigkeit von einem Zustand der stationären Drehung mit einer großen Geschwindigkeit verringert, um die Drehung zu stoppen, d.h. eine „gleitende Rotationszahl". Insbesondere hat sich ein solches Problem ergeben, dass sich diese Gleit-Rotationsfrequenz extrem erhöhen kann. So hat es ein derartiges Problem gegeben, dass es unmöglich ist, den Wellenkörper und den Lagerkörper bei einer niedrigen Rotationsfrequenz vom Kontaktzustand zu dem berührungsfreien Zustand hin zu verschieben, sondern der Wellenkörper und der Lagerkörper sind bei einer verhältnismäßig hohen Rotationsfrequenz beim Starten oder Stoppen der Drehung ununterbrochen miteinander in Kontakt, wodurch Abriebsstaub erzeugt wird. Zusätzlich hat es auch ein solches Problem gegeben, dass ein Abrieb zwischen dem Wellenkörper und dem Lagerkörper durch den Abriebsstaub verursacht wird.
  • Es ist nachgewiesen worden, dass die zuvor erwähnte Dispersion der Gleit-Rotationsfrequenz mit der Tatsache korreliert ist, dass die äußere Randform des Wellenkörpers von einer vollständigen Rundheit abweicht, wie in 11 gezeigt. Es ist nämlich nachgewiesen worden, dass die zuvor erwähnte Dispersion der Gleit-Rotationsfrequenz groß ist, wenn die Unrundheit (= (Radius des umschreibenden Kreises: Daußen/2) – (eingeschriebener Kreisradius: Dinnen/2)) des äußeren Randbereichs des Wellenkörpers 1 außerhalb der Nut groß ist. In der Herstellung des Wellenkörpers hat es ein derartiges Problem gegeben, dass eine Wahrscheinlichkeit zunimmt, einen Wellenkörper herzustellen, dessen Gleit-Rotationsfrequenz hoch ist, und die Herstellungsausbeute infolgedessen absinkt.
  • Dementsprechend ist ein Gegenstand der vorliegenden Erfindung, eine hydrodynamische Gaslagerstruktur zur Verfügung zu stellen, die wirkungsvoll ein Wirbelphänomen unterdrückt, und dazu geeignet ist, ein Verschleißphänomen bei Beginn oder beim Beenden der Rotation zu verhindern, und einen optischen Ablenkscanner bereitzustellen, der die Lagerstruktur umfasst.
  • Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist, eine hydrodynamische Gaslagerstruktur zur Verfügung zu stellen, die geeignet ist, die Dispersion einer Gleit-Rotationsfrequenz bei Beginn oder beim Beenden der Rotation zu unterdrücken, und einen optischen Ablenkscanner bereitzustellen, der die Lagerstruktur umfasst.
  • Zusätzlich ist noch ein anderer Gegenstand der vorliegenden Erfindung, die Herstellungsausbeute eines Wellenkörpers in einer hydrodynamischen Gaslagerstruktur zu verbessern.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die Erfindung stellt eine hydrodynamische Gaslagerstruktur zur Verfügung, wie in Anspruch 1 dargelegt. Die Erfindung betrifft auch die Verwendung einer hydrodynamischen Gaslagerstruktur, wie in Anspruch 4 dargelegt.
  • Erfindungsgemäß wird ein hohler zylindrischer Lagerkörper gegenüber einem säulenförmigen Wellenkörper angeordnet, wobei ein Zwischenraum in der radialen Richtung eingehalten wird. Wenn der Wellenkörper und der Lagerkörper so angeordnet sind, dass die jeweiligen Mittelachsen miteinander übereinstimmen, wird ein im Wesentlichen zylindrischer Zwischenraum durch die Außenumfangsfläche des Wellenkörpers und die Innenumfangsfläche des Lagerkörpers gebildet. Der Wellenkörper hat eine Nut, die in der axialen Richtung an der Außenumfangsfläche verläuft. Dabei bedeutet die Nut, dass es eine deutliche Abweichung der Außenumfangsfläche des Wellenkörpers von einer vollständig runden Form in zentraler Richtung gibt, und dass die Umrisslinie der Außenumfangsfläche nach der Nutausbildung nicht notwendig von konkaver Form ist.
  • Hinsichtlich der konkaven Teile, wie etwa Schleif-Markierungen von feiner Breite in einem konkaven Bereich auf einem nutbildenden Abschnitt der vorliegenden Erfindung, wird angenommen, dass keine davon als die Nut enthalten ist. Solch ein konkaver Bereich mit einer feinen Breite wird in einer auslassenden Weise auch in den Zeichnungen gezeigt, die im folgenden beschrieben werden. Es schließt nämlich ein konkaver Bereich, der in der vorliegenden Erfindung als die Nut angesehen wird, keinen konkaven Bereich von einer feinen Breite ein, der durch ein Oberflächenrauheitsmessinstrument ermittelt wird, schließt aber die Welligkeit ein, die mit einem Unrundheitsmesser nachweisbar ist, und der grobe Wert der Breite des konkaven Bereichs, der in der vorliegenden Erfindung als die Nut angesehen wird, übersteigt das Maß von 30 μm.
  • Die Nut hat eine in Umfangsrichtung asymmetrische Form, so dass der Umfangsabstand a zwischen dem Schnittpunkt von einer Linie, die den tiefsten Punkt der Nut und die Mitte des Wellenkörpers verbindet, mit der äußeren Umfangslinie des Wellenkörpers, und zwar bevor die Nut gebildet wird und wobei eine Kante der Nut stromabwärts eines Luftstroms positioniert wird, der erzeugt wird, wenn entweder der Wellenkörper oder der Lagerkörper sich in Bezug auf den Schnittpunkt dreht, größer wird als der Umfangsabstand b zwischen dem Schnittpunkt und der anderen Kante der Nut, der in Bezug auf den Schnittpunkt stromaufwärts des Luftstroms in einem Querschnitt senkrecht zur Achse positioniert ist.
  • Die Nut, die wie oben beschrieben definiert ist, wird konkret wie folgt mit Bezug auf 1 beschrieben. Wie in 1 gezeigt, ist ein Schnittpunkt 15 der Schnittpunkt von einer Linie C, die den tiefsten Punkt 14 der Nut und die Mitte O eines Wellenkörpers verbindet, mit der äußeren Umfangslinie Q in einem Querschnitt senkrecht zu der Achse. Es wird angenommen, dass ein Luftstrom in der Richtung erzeugt wird, die durch den Pfeil P angegeben ist, wenn sich entweder der Wellenkörper oder ein Lagerkörper dreht. Ein Abstand a (In der vorliegenden Erfindung wird ein Umfangsabstand durch die Größe eines zentralen Winkels ausgedrückt, der dem Abstand entspricht, wie in 1 gezeigt. Nämlich ein Winkel γa in 1) ist der Umfangsabstand zwischen dem Schnittpunkt 15 und einer Kante 16 der Nut, der in Bezug auf den Schnittpunkt 15 stromabwärts des Luftstroms P positioniert ist. Ein Abstand b (entsprechend ein Winkel γb, der in 1 gezeigt ist), ist der Umfangsabstand zwischen dem Schnittpunkt 15 und der anderen Kante 17 der Nut, der in Bezug auf den Schnittpunkt 15 stromaufwärts des Luftstroms P positioniert ist. Die Nut 11 hat im Umfangsabstand eine asymmetrische Form, so dass der Abstand a im Querschnitt senkrecht zur Achse, d.h. dem Querschnitt, der in 1 gezeigt ist, größer wird als der Abstand b.
  • Hier zeigen die Positionen der beiden Ränder 16 und 17 der Nut 11 Punkte, in denen die Profillinie S der Nut 11 im Querschnitt, der in 1 gezeigt wird, sich mit der Äußeren Umfangslinie Q schneidet. Weiterhin definiert die vorliegende Erfindung die Form einer tatsächlichen Nut in einer Umrisszeichnung, die den Ort einer Tiefe von der Außenumfangsfläche des Wellenkörpers angibt, von einem Querschnittsprofil der Nut aus abgelesen, dem mit einem Unrundheitsmesser in der Umfangsrichtung gefolgt wird. In einem solchen Profil der Nut ist im Falle des Bearbeitens der Nut, um seine Grundlinie zu bilden, eine feine Umfangswellenform enthaften. In einem konkaven Teil der Nut, die in der vorliegenden Erfindung definiert wird, ist ein konkaver Teil entlang solch einer feiner Umfangswellenform nicht enthalten. Z. B. ist ein konkaver Teil einer feinen Breite, wie oben beschrieben, nicht in der Nut der vorliegenden Erfindung enthalten.
  • Vorzugsweise besteht die Nut aus mindestens zwei konkaven Teilen, deren Tiefen sich wesentlichen voneinander unterscheiden, und die nacheinander in der Umfangsrichtung des Wellenkörpers ausgebildet sind.
  • Gemäß der erfindungsgemäßen hydrodynamischen Gaslagerstruktur, die oben beschrieben ist, können die folgenden grundlegenden Effekte erzielt werden:
    • (i) Verhinderung eines Verschleißphänomens, bei Beginn oder beim Beenden der Rotation.
    • (ii) Unterdrückung der Dispersion einer Gleit-Rotationsfrequenz bei Beginn oder beim Beenden der Rotation.
    • (iii) Verbesserung der Herstellungsausbeute des Wellenkörpers in der hydrodynamischen Gaslagerstruktur.
  • Weiterhin zeigt ein optische Ablenkscanner, der die hydrodynamische Gaslagerstruktur gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst, die zuvor genannten Funktionen/Effekte.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Teil-Querschnittsansicht, welche die Schnittform der Nut in einer hydrodynamischen Gaslagerstruktur zeigt, die eine Ausführungsform der vorliegende Erfindung darstellt.
  • 2 ist eine Darstellung, die einen schematischen Querschnitt einer hydrodynamischen Gaslagerstruktur zeigt, die Nuten mit seitlich symmetrischen Schnittformen hat, um die Ursache der Dispersion einer Gleit-Rotationsfrequenz zu veranschaulichen.
  • 3 ist eine Querschnittsansicht, welche die hydrodynamische Gaslagerstruktur zeigt, welches eine Ausführungsform der vorliegende Erfindung darstellt.
  • 4 ist eine schematische Darstellung, die ein Rotationsantriebsteil eines optischen Ablenkscanners zeigt, der die hydrodynamische Gaslagerstruktur umfasst, welche die Ausführungsform der vorliegende Erfindung darstellt.
  • 5 ist eine schematische Darstellung, die eine Ausführungsform einer Laserdruckervorrichtung zeigt, die den optischen Ablenkscanner einsetzt, der die hydrodynamische Gaslagerstruktur umfasst, welche die Ausführungsform der vorliegende Erfindung darstellt.
  • 6A und 6B sind schematische Teil-Längsschnittansichten, die zum Definieren einer effektiven Länge des Lagers in der hydrodynamischen Gaslagerstruktur eingesetzt werden, welche eine Ausführungsform der vorliegende Erfindung darstellt.
  • 7 ist eine Teil-Schnittansicht, welche die Form einer Nut zeigt, die in einer Probe A von Beispiel 1 ausgebildet ist.
  • 8 ist eine Querschnittsansicht eines herkömmlichen Wellenkörpers.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Wenn die Struktur einer hydrodynamische Gaslagerstruktur ausgebildet wird, wobei eine Nut geformt wird, die sich seitlich in der axialen Richtung erstreckt, und die eine in der Umfangsrichtung auf der Außenumfangsfläche eines Wellenkörpers seitlich symmetrische Form hat, ist ein Wirbelphänomen bei der Hochgeschwindigkeitsrotation verschwunden, weil die Interaktion zwischen dem Strom der Luft und der Nut bei der langsamen Rotation so erzeugt werden kann, dass der Wellenkörper und ein Lagerkörper in Kontakt miteinander kommen, um ein Verschleißphänomen bei der Rotation mit einer verhältnismäßig hohen Geschwindigkeit zu verursachen, selbst wenn feine Unregelmäßigkeiten eines Teils ohne die Nut auf der Außenumfangsfläche des Wellenkörpers bestehen, d.h., selbst wenn die Unrundheit des Wellenkörpers verhältnismäßig klein ist. Dieses kann ein Problem verursachen, das zu Verschleiß führt.
  • Bei der hydrodynamischen Gaslagerstruktur, welche die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt, wird andererseits eine Nut gebildet, die eine in Umfangsrichtung asymmetrische Schnittform hat. Diese Nut hat nämlich eine solche asymmetrische Form, dass das Verhältnis von a/b in 1 die Zahl 1 übersteigt, wie in 1 gezeigt und wie bereits beschrieben. Weiterhin hat diese Nut mindestens zwei konkave Teile, die im allgemeinen nacheinander in der Umfangsrichtung des Wellenkörpers gebildet werden, deren Tiefen sich wesentlichen voneinander unterscheiden. In diesem Fall wird eine hydrodynamische Gaslagerstruktur, weiche Gas hydrodynamisch erzeugt, ausgebildet, indem der tiefe konkave Teil auf einer Seite angeordnet wird, in die Gas durch Rotation strömt, d.h. auf einer Seite stromaufwärts eines Luftstroms, der durch Rotation erzeugt wird. Deshalb kann das Auftreten von Wirbelung unterdrückt werden und die Gleit-Rotationsfrequenz kann gesenkt werden, auch im Fall, wenn die Anordnung in seiner Rotationsrichtung mit einer verhältnismäßig langsamen Geschwindigkeit gedreht wird. Folglich wird es möglich, die Dispersion der Gleit-Rotationsfrequenz zu unterdrücken, und eine Verbesserung der Herstellungsausbeute für den Wellenkörper kann auch dann erreicht werden, wenn die Unrundheit des Wellenkörpermaterials verhältnismäßig groß ist. Wenn die Rotationsrichtung umgekehrt wird, erhöht sich die Gleit-Rotationsfrequenz. 2 ist eine Querschnittsansicht, die schematisch eine hydrodynamische Gaslagerstruktur zeigt, die Nuten mit einer seitlich symmetrischen Schnittform hat. In Bezug auf 2 wird angenommen, dass ein Wellenkörper 1 nicht-zentriert innerhalb eines Wellenkörpers 2 angeordnet ist und sich schnell dreht. Die Nuten 13, die eine seitlich symmetrische Form in der Umfangsrichtung haben, werden auf der Außenumfangsfläche des Wellenkörpers 1 ausgebildet. Der Lagerkörper 2 dreht sich in eine Richtung, die durch den Pfeil R angegeben ist. In diesem Moment wird die Mitte (Markierung O) des Lagerkörpers 2 aus der Mitte (Markierung X) des Wellenkörpers 1 in einer Richtung, die durch den Pfeil D angegeben ist, versetzt. Zu dieser Zeit ist eine Richtung, die durch auf Grund von durch Rotation erzeugter Hydrodynamik verursacht wird, durch Pfeil F angegeben. Der Winkel θ zwischen der Versetzungsrichtung D und der Richtung F, die durch die Hydrodynamik verursacht wird, wird als ein Exzenterwinkel definiert. Das Auftreten von Wirbeln, das die Ursache der Zunahme der Gleit-Rotationsfrequenz bei Beginn der Rotation oder beim Beenden der Rotation ist, hängt hauptsächlich von der Größe des Exzenterwinkels in der stabilen Rotation ab. Während es in der japanischen Patent-Publikation Nr. 4-21844 beschrieben wird, dass die Wirbelungs-Stabilität (hauptsächlich bei der Hochgeschwindigkeitsrotation) sich verbessert, wenn die erzeugte Hydrodynamik hoch ist, gehen die Erfinder eher davon aus, dass die Wirbelungs-Stabilität mehr durch den Exzenterwinkel beeinflusst wird, und dass Wirbelung leicht auftritt, wenn eine Kraft vor der Versetzungsrichtung erzeugt wird.
  • Dieser Exzenterwinkel übt einen großen Einfluss auf die Wirbelungs-Stabilität aus, selbst wenn derselbe sich etwas ändert. Ein Unterschied von z.B. 1° des Exzenterwinkels θ hat eine Bedeutung für das Vorhandensein/Nicht-Vorhandensein des Auftretens von Wirbelung. Nämlich selbst wenn eine Änderung des Exzenterwinkels θ im Falle der Ausbildung von Nuten, die eine in Umfangsrichtung asymmetrische Schnittform haben, geringfügig ist, hat es als Ergebnis einen Effekt des Unterdrückens von Wirbelung.
  • Die Dispersion der Gleit-Rotationsfrequenz, die aus einer Abweichung von einer vollständigen Rundheit eines anderen Teils als der Nut resultiert, wird auch durch die Zunahme oder die Dispersion des zuvor erwähnten Exzenterwinkels θ verursacht. Indem eine Nut gebildet wird, die eine in Umfangsrichtung asymmetrische Form hat, kann folglich die Dispersion der Gleit-Rotationsfrequenz, die aus der Abweichung von einer vollständigen Rundheit resultiert, infolgedessen auch unterdrückt werden.
  • Andererseits gibt es ein derartiges Problem, dass die Starrheit des Wellenkörpers wegen des Luftstroms entlang der Nut absinkt. Die Nut, die eine in Umfangsrichtung asymmetrische Schnittform hat, ist in der Wirkung der Unterdrückung eines Wirbelphänomens besser als eine Nut, die eine in Umfangsrichtung symmetrische Schnittform hat, wenn diese die gleiche Schnittfläche hat wie die Nut, welche die in Umfangsrichtung symmetrische Schnittform hat. Folglich kann ein erwünschter Effekt erzielt werden, indem eine verhältnismäßig flache Nut ausgebildet wird. Infolgedessen kann die Starrheit des Wellenkörpers verbessert werden.
  • 3 ist eine Querschnittsansicht, die schematisch eine hydrodynamische Gaslagerstruktur zeigt, welche die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Nuten 11 sind auf der Außenumfangsfläche eines Wellenkörpers 1 ausgebildet. Ein hohler zylindrischer Lagerkörper 2 wird dem Wellenkörper 1 gegenüber angeordnet, wobei ein Zwischenraum in der Radialrichtung eingehalten wird. Der Lagerkörper 2 wird so angeordnet, dass er sich in eine Richtung dreht, die durch den Pfeil R gezeigt ist.
  • Die Details eines Rotationsantriebsteils (Antriebsteil für einen Polygonspiegel), welches die oben beschriebene hydrodynamische Gaslagerstruktur umfasst, sind in 4 gezeigt. Der in 4 gezeigte Rotationsantriebsteil wird in eine Laserdruckervorrichtung eingebaut, die in 5 gezeigt ist.
  • Auf 4 Bezug nehmend ist eine feste Welle 1 an ein Gehäuse 3 eines Antriebsmotors 500 als ein Wellenkörper (Welle) befestigt, der aus Keramikmaterial besteht. Eine Rotationshülle 2 ist drehbar mit der festen Welle 1 als ein Lagerkörper (Hülle) verbunden, der aus Keramikmaterial besteht. In 3 gezeigte Nuten, in 1 im Detail, sind auf der äußeren Umfangsoberfläche der festen Welle (Welle) 1 in einer Vielzahl von Bereichen ausgebildet und angeordnet. Ein Flansch 4, der aus Aluminium, Messing oder ähnlichem besteht ist am äußeren Rand der Rotationshülle 2 durch Schrumpfanpassung oder ähnliches befestigt. Ein Antriebsmagnet 5 ist an dem äußeren Rand dieses Flansches 4 durch Anhaften oder ähnliches befestigt. Weiterhin ist ein Substrat 6 an dem Gehäuse 3 befestigt. Ein Stator 7 ist auf dem Substrat angeordnet, so dass er gegenüber dem Antriebsmagneten 5 liegt, wodurch der Antriebsmotor 500, der die Rotationshülle 2 dreht, aufgebaut ist.
  • Am unteren Ende der Rotationshülle 2 ist andererseits ein zweiter Permanentmagnet so befestigt, dass die selbe Art von Magnetpol wie von einem ersten Permanentmagnet 8, welcher auf der festen Welle angeordnet ist, sich in der vertikalen Richtung gegenüber liegen. Auf einem Bereich des Gehäuses 3 ist in der Nähe der Rotationshülle 2 ein dritter Permanentmagnet 10 so angeordnet, dass eine abstoßende Kraft in eine Richtung wirkt, so dass der zweite Permanentmagnet 9, der am unteren Ende der Rotationshülle 2 befestigt ist, gegen den ersten Permanentmagnet 8, der auf der festen Welle vorgesehen ist, gedrückt wird.
  • Weiterhin ist ein Deckel 109, der die feste Welle 1 bedeckt, am oberen Ende der Rotationshülle 2 vorgesehen. Dadurch wird ein Luftreservoir 20 zwischen der Rotationshülle 2 und der festen Welle 1 gebildet. Ein Lüftungsloch 32 ist in diesem Deckel 109 vorgesehen, um den Zusammenbau der Rotationshülle 2 und der festen Welle 1 zu vereinfachen. Ein Dichtungselement 33 wird befestigt, um das Lüftungsloch 32 nach dem Zusammenbau zu versiegeln.
  • Ein rotierender Polygonspiegel 101 ist an dem Flansch 4 durch Blattfedern 102 oder ähnliches befestigt. Der so aufgebaute Antriebsmotor 500 wird in die optische Box 104 des optischen Ablenkscanners wie in 5 gezeigt eingebaut. Der rotierende Polygonspiegel 101 wird durch den Antriebsmotor 500 gedreht. Auf 5 Bezug nehmend ist eine Lasereinheit 105 auf der optischen Box 104 angeordnet. Ein Laserstrahl LB, der durch diese Lasereinheit ausgestrahlt wird, wird durch die Linsen 106 und 107 gesammelt, um ein Ablenkscannen in Bezug auf einen Photorezeptor 108, welcher ein Aufzeichnungsmedium ist, bei der Drehung des rotierenden Polygonspiegels durch den Antriebsmotor 500 durchzuführen.
  • Beispiel
  • Ein Wellenkörper, der aus einem aus Siliziumnitrid (der Hauptbestandteil ist Si3N4) gesinterten Körper besteht, dessen Durchmesser 8 mm ist, wurde bereitgestellt. Ein Lagerkörper wurde so bereitgestellt, dass der Mittelwert der Dicke eines Zwischenraums zwischen dem Wellenkörper und dem Lagerkörper 2,8 μm war. Das Gesamtgewicht eines Rotators einschließlich des Lagerkörpers, der aus dem gesinterten Körper aus Siliziumnitrid bestand, war 50 g. Die Effektivlänge L des Lagers (siehe 6A und 6B) einer so wie in 3 gezeigt ausgebildeten hydrodynamischen Gaslagerstruktur war 20 mm. Hier ist die Effektivlänge eines Lagerkörpers die Länge eines Lagerkörperteils, der wie in 6A und 6B gezeigt gegenüber dem Wellenkörper angeordnet ist, bis zu der Erzeugung von hydrodynamischen Effekten erwartet werden kann. Vertikale Nuten, die später beschrieben werden, wurden dreifach auf dem Wellenkörper in der Umfangsrichtung in regelmäßigen Abständen ausgebildet, um das Rotationsverhalten zu untersuchen. Hinsichtlich der Bearbeitungsgenauigkeit (Unrundheit) der Teile, welche die Lagerstruktur bilden, war die des Wellenkörpers ungefähr 0,17 μm, und die des Lagerkörpers war ungefähr 0,45 μm. Der Lagerkörper wurde in Bezug auf den Wellenkörper gedreht. Der Lagerkörper wurde mit einem Dauermagneten hinsichtlich der Schubrichtung flotiert. 50 Proben des Wellenkörpers und des Lagerkörpers einer solchen Kombination wurden für jede Form der entsprechenden Nut vorbereitet.
  • Konkret wurden Proben A bis D bereitgestellt, wie in Tabelle 1 gezeigt.
  • In der Probe A wurde eine Nut, wie die in 7 gezeigte, auf einem Wellenkörper mit 8 mm Durchmesser ausgebildet, indem die folgende Bearbeitung durchführt wurde: Zuerst wurde die Nut auf dem Wellenkörper ausgebildet, indem einmal Schleifen mit einem Schleifstein, der eine flache Schleifoberfläche hat, in einer zur Achse parallelen Richtung mit einer Schnitttiefe von 5 μm durchführt wurde, danach sukzessives Schleifen einmal mit einer Schnitttiefe von 5 μm, wobei der Wellenkörper um 4° in der Umfangsrichtung gedreht wurde, einmal mit einer Schnitttiefe von 2,5 μm, wobei der Wellenkörper um 4° in der Umfangsrichtung gedreht wurde, und einmal Schleifen mit einer Schnitttiefe von 2,5 μm, wobei letztmalig der Wellenkörper um 4° in der Umfangsrichtung gedreht wurde. Wie in der Spalte der Anmerkungen in der Tabelle 1 beschrieben, ist die Nutausbildung in diesem Fall durch die numerischen Werte der Tiefen der sukzessive geschnittenen konkaven Teile angegeben, worauf als Nutausbildung mit 5-5-2,5-2,5 μm Bezug genommen wird. Die ausgearbeiteten Formen der Nuten können hiernach durch einen solchen Ausdruck angegeben werden.
  • Wenn die Form dieser Nut nach dem Schleifen mit einem Unrundheitsmesser bestätigt wurde, ist eine Nut erzielt worden, die eine in Umfangsrichtung asymmetrische Schnittform hat, wie in 7 gezeigt. Weil die Bearbeitung in der Umfangsrichtung in Einheiten von 4° durchgeführt wurde, war ein Teil zwischen den jeweiligen bearbeiteten Nuten leicht flach. Die maximale Tiefe dmax eines Teils einer durchschnittlichen Probe, der mit der Schnitttiefe von 5 μm geschliffen wurde, war 5,2 μm, und die maximale Tiefe des Teils, der mit der Schnitttiefe von 2,5 μm geschliffen wurde, war 2,7 μm. Während der tiefste Punkt des Teils, der mit der Schnitttiefe von 5 μm geschliffen wurde, in 7 entweder (1) oder (2) war, waren die Umfangsabstände a und b (d.h. die Zentralwinkel, die diesen Abständen entsprechen) von diesem Punkt zur rechten Kante und zur linken Kante der Nut 11° bzw. 9°, und unter der Annahme, dass (2) der tiefste Punkt war, war das Verhältnis von a/b gleich 1,22. Andererseits waren unter der Annahme, dass (1) der tiefste Punkt war, gleichermaßen die Abstände a und b gleich 15° bzw. 5°, und das Verhältnis von a/b war 3. Das Verhältnis von a/b überstieg 1 ob (1) oder (2) als tiefster Punkt angenommen wurde, und so wurde die Erfüllung der Bedingungen für die Nut in der hydrodynamischen Gaslagerbasisstruktur gemäß der vorliegenden Erfindung erreicht. Hier bedeutet die Tiefe der Nut eine Abweichung des Wellenkörpers von einer vollständig runden Form in Zentralrichtung. Dadurch war es möglich, einen Wellenkörper zu erhalten, auf dem Nuten in Umfangsrichtung in drei Bereichen mit gleichmäßiger Verteilung ausgebildet waren.
  • Ähnlich zu Probe A wurde dann bei der Probe B eine Nutung mit 10-10-5-2,5-2,5 μm durchgeführt. Als die Nutform ähnlich zu Probe A bestätigt war, war die maximale Tiefe einer durchschnittlichen Probe 10,2 μm; Winkel, die den Umfangsabständen a und b von dem tiefsten Punkt zu beiden Kanten der Nut entsprechen, waren unter der Annahme, dass ein zweiter konkaver Bereich von links aus der tiefste Punkt war, 14° bzw. 10°, und das Verhältnis von a/b war 1,4. Dadurch war es möglich einen Wellenkörper zu erhalten, in dem Nuten in drei Bereichen gleichverteilt ausgebildet waren.
  • Als Vergleichsbeispiel wurde Proben C und D durch Ausführen von Verfahren, die den oben genannten ähnlich sind, vorbereitet. Nutung von 6-6-6 μm wurde in der Probe C durchgeführt, und eine Ausbildung von Nuten wurde in der Probe D nicht durchgeführt. Messergebnisse der zuvor genannten Formen sind in Tabelle 1 aufgeführt.
  • Dann wurden als Rotationsverhalten das Vorhandensein/Nicht-Vorhandensein des Auftretens von Wirbelung (H/W) bei der Hochgeschwindigkeitsrotation (Rotationsfrequenz: 25000 U/min) und die Rotationsfrequenzen (Gleit-Rotationsfrequenzen) gemessen, bei denen die Lagerkörper und die Wellenkörper in Kontakt mit einander kamen, wenn sich die Rotationsfrequenzen von der Hochgeschwindigkeitsrotation (auf natürliche Weise) allmählich verringern, jeweils in Bezug auf die Drehung im Uhrzeigersinn und auf die Drehung entgegen dem Uhrzeigersinn. Für die Gleit-Rotationsfrequenzen wurden die Mittelwerte und die Maximalwerte in der Gesamtheit der vorbereiteten Proben berechnet. Tabelle 2 zeigt diese Ergebnisse.
  • In der Probe C, die mit Nuten ausgebildet war, welche in Umfangsrichtung symmetrische Schnittflächen haben, war es möglich, das Auftreten von Wirbelung bei der Hochgeschwindigkeitsrotation zu unterdrücken, wobei die Probe keine Rotationsanisotropie bei Absenken der Rotationsfrequenz zeigte, sowohl der Maximalwert als auch der Mittelwert waren in einer vorgegebenen Drehrichtung (d.h. in diesem Fall die Drehrichtung im Uhrzeigersinn) groß, und deren Dispersion war ebenfalls groß.
  • Bei den Proben A und B, die mit Nuten ausgebildet waren, welche in Umfangsrichtung asymmetrische Schnittformen haben, war es auf der anderen Seite nicht nur möglich, das Auftreten von Wirbelung bei der Hochgeschwindigkeitsreaktion zu unterdrücken, sondern es waren auch sowohl der Mittelwert und der Maximalwert der Gleit-Rotationsfrequenz in einer vorgegebenen Richtung (Drehung im Uhrzeigersinn) klein, und deren Dispersion war ebenfalls klein.
  • Industrielle Verfügbarkeit
  • Gemäß der oben beschriebenen hydrodynamischen Gaslagerstruktur, kann ein Wirbel-Phänomen wirkungsvoll verhindert werden, es wird möglich, die Dispersion einer Gleit-Rotationsfrequenz bei Beginn oder beim Beenden der Rotation zu unterdrücken, und ein Verschleißphänomen kann effektiv verhindert werden, während die Herstellungsausbeute des Wellenkörpers bei der Herstellung der hydrodynamischen Gaslagerstruktur verbessert werden kann. Deshalb ist die beschriebene hydrodynamische Gaslagerstruktur zum Einsatz für ein Rotationsantriebsteil eines optischen Ablenkscanners geeignet.
    Figure 00130001

Claims (4)

  1. Hydrodynamische Gaslagerstruktur, die einen säulenförmigen Wellenkörper (1) und einen hohlen zylindrischen Lagerkörper (2) umfasst, der diesem Wellenkörper (1) gegenüber liegt, wobei ein Zwischenraum in der radialen Richtung eingehalten wird, so dass ein im Wesentlichen zylindrischer Zwischenraum durch die Außenumfangsfläche des Wellenkörpers (1) und die Innenumfangsfläche des Lagerkörpers (2) gebildet wird, wenn der Wellenkörper (1) und der Lagerkörper (2) so angeordnet sind, dass die Mittelachsen derselben miteinander übereinstimmen, wobei der Wellenkörper (1) eine Nut (11) hat, die in der axialen Richtung an der Außenumfangsfläche verläuft, die Nut (11) eine in einem Schnitt senkrecht zu der Achse in Umfangsrichtung asymmetrische Form (11) hat, so dass der Umfangsabstand a zwischen einem Schnittpunkt (15) einer Linie (C), die den tiefsten Punkt (14) der Nut (11) und die Mitte (O) des Wellenkörpers verbindet, und der Außenumfangslinie (Q) des Wellenkörpers (1), bevor die Nut (11) ausgebildet wird, und einer Kante (16) der Nut (11) größer ist als der Umfangsabstand b zwischen dem Schnittpunkt (15) und der anderen Kante (17) der Nut (11), und die Struktur einen Antriebsmotor (500) enthält, der so eingerichtet ist, dass er in Funktion entweder den Wellenkörper (1) oder den Lagerkörper (2) nur in einer Richtung dreht, in der ein Luftstrom (P) in einer vorgegebenen Richtung relativ zu dem Schnittpunkt (15) erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, dass in der Richtung des Luftstroms die eine Kante (16) hinter dem Schnittpunkt (15) angeordnet ist und die andere Kante vor dem Schnittpunkt (15) angeordnet ist.
  2. Hydrodynamische Gaslagerstruktur nach Anspruch 1, wobei die Nut (11) aus wenigstens zwei konkaven Teilen besteht, deren Tiefen sich im Wesentlichen voneinander unterscheiden und die in der Umfangsrichtung des Wellenkörpers (1) in Reihe ausgebildet sind.
  3. Optischer Ablenkscanner, der die hydrodynamische Gaslagerstruktur nach Anspruch 1 oder 2 umfasst.
  4. Einsatz einer hydrodynamischen Gaslagerstruktur, die einen säulenförmigen Wellenkörper (1) und einen hohlen zylindrischen Lagerkörper (2) umfasst, der diesem Wellenkörper (1) gegenüberliegt, wobei ein Zwischenraum in der radialen Richtung eingehalten wird, so dass ein im Wesentlichen zylindrischer Zwischenraum durch die Außenumfangsfläche des Wellenkörpers (1) und die Innenumfangsfläche des Lagerkörpers (2) gebildet wird, wenn der Wellenkörper (1) und der Lagerkörper (2) so angeordnet sind, dass die Mittelachsen derselben miteinander übereinstimmen, der Wellenkörper (1) eine Nut (11) hat, die in der axialen Richtung an der Außenumfangsfläche verläuft, wobei die Nut (11) eine in einem Schnitt senkrecht zu der Achse in Umfangsrichtung asymmetrische Form hat, so dass der Umfangsabstand a zwischen einem Schnittpunkt (15) einer Linie (C), die den tiefsten Punkt (14) der Nut (11) und die Mitte (O) des Wellenkörpers verbindet, und der Außenumfangslinie (Q) des Wellenkörpers (1), bevor die Nut (11) ausgebildet wird, und einer Kante (16) der Nut (11) größer ist als der Umfangsabstand b zwischen dem Schnittpunkt (15) und der anderen Kante (17) der Nut (11), wobei die Struktur betrieben wird, um einen Luftstrom (P) in einer vorgegebenen Richtung relativ zu dem Schnittpunkt (15) zu erzeugen, wenn sich entweder der Wellenkörper (1) oder der Lagerkörper (2) so dreht, dass in der Richtung des Luftstroms eine Kante (16) hinter dem Schnittpunkt (15) angeordnet ist und die andere Kante vor dem Schnittpunkt (15) angeordnet ist.
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US (2) US6082900A (de)
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DE (4) DE69835383T2 (de)
WO (2) WO1998038434A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015201251A1 (de) * 2015-01-26 2016-07-28 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Gleitlageranordnung für eine mit einer umlaufenden Radialkraft belasteten Welle

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2325030B (en) * 1997-05-08 2000-11-22 Westwind Air Bearings Ltd An improved air bearing
JP2000002233A (ja) * 1998-06-12 2000-01-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 動圧気体軸受およびその製造方法
JP2000087958A (ja) * 1998-09-10 2000-03-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 動圧気体軸受構造
US6402385B1 (en) * 1999-08-06 2002-06-11 Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. Dynamic pressure bearing apparatus
JPWO2004070219A1 (ja) 2003-02-04 2006-05-25 日本発条株式会社 動圧軸受用の軸、動圧軸受、およびこの軸の製造方法
JP4507642B2 (ja) * 2004-03-05 2010-07-21 日産自動車株式会社 低摩擦摺動装置の軸、クランクシャフト、カムシャフト、およびエンジン
US7637663B2 (en) * 2006-06-15 2009-12-29 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Fluid bearing with a variable depth groove
US7663278B2 (en) * 2006-06-15 2010-02-16 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Fluid bearing with a variable width groove
WO2008011171A1 (en) * 2006-07-19 2008-01-24 Roller Bearing Company Of America, Inc. Spherical plain bearing with contoured lubrication grooves
US8926185B2 (en) 2006-07-19 2015-01-06 Roller Bearing Company Of America, Inc. Spherical plain bearing with lubrication groove
DE102007051774B4 (de) 2007-10-30 2018-08-02 Minebea Mitsumi Inc. Flüssigkeitslager mit verbesserten Abriebeigenschaften
JP2008133965A (ja) * 2008-02-22 2008-06-12 Seiko Instruments Inc 液体動圧軸受及びスピンドルモータ
JP5171953B2 (ja) 2008-06-23 2013-03-27 テルモ株式会社 血液ポンプ装置
EP2372160B1 (de) 2008-12-08 2014-07-30 Thoratec Corporation Zentrifugalpumpenvorrichtung
JP5378010B2 (ja) 2009-03-05 2013-12-25 ソラテック コーポレーション 遠心式ポンプ装置
US8770945B2 (en) 2009-03-06 2014-07-08 Thoratec Corporation Centrifugal pump apparatus
JP5443197B2 (ja) 2010-02-16 2014-03-19 ソラテック コーポレーション 遠心式ポンプ装置
WO2011118325A1 (ja) * 2010-03-26 2011-09-29 テルモ株式会社 遠心式血液ポンプ装置
JP5681403B2 (ja) 2010-07-12 2015-03-11 ソーラテック コーポレイション 遠心式ポンプ装置
JP5577506B2 (ja) 2010-09-14 2014-08-27 ソーラテック コーポレイション 遠心式ポンプ装置
JP5969979B2 (ja) 2011-03-28 2016-08-17 ソーラテック コーポレイション 回転駆動装置およびそれを用いた遠心式ポンプ装置
JP6083929B2 (ja) 2012-01-18 2017-02-22 ソーラテック コーポレイション 遠心式ポンプ装置
US9371826B2 (en) 2013-01-24 2016-06-21 Thoratec Corporation Impeller position compensation using field oriented control
US9556873B2 (en) 2013-02-27 2017-01-31 Tc1 Llc Startup sequence for centrifugal pump with levitated impeller
US9713663B2 (en) 2013-04-30 2017-07-25 Tc1 Llc Cardiac pump with speed adapted for ventricle unloading
US10052420B2 (en) 2013-04-30 2018-08-21 Tc1 Llc Heart beat identification and pump speed synchronization
EP2921725A1 (de) * 2014-03-18 2015-09-23 ThyssenKrupp Metalúrgica Campo Limpo Ltda. Reibungsminimierter Kurbelantrieb
US9562602B2 (en) 2014-07-07 2017-02-07 Solar Turbines Incorporated Tri-lobe bearing for a gearbox
US9623161B2 (en) 2014-08-26 2017-04-18 Tc1 Llc Blood pump and method of suction detection
WO2016130846A1 (en) 2015-02-11 2016-08-18 Thoratec Corporation Heart beat identification and pump speed synchronization
US10371152B2 (en) 2015-02-12 2019-08-06 Tc1 Llc Alternating pump gaps
WO2016130944A1 (en) 2015-02-12 2016-08-18 Thoratec Corporation System and method for controlling the position of a levitated rotor
EP3626277A1 (de) 2015-02-13 2020-03-25 Tc1 Llc Laufradaufhängungsmechanismus für herzpumpe
US10117983B2 (en) 2015-11-16 2018-11-06 Tc1 Llc Pressure/flow characteristic modification of a centrifugal pump in a ventricular assist device
US11020067B1 (en) * 2020-02-12 2021-06-01 GE Precision Healthcare LLC Hydrodynamic bearing system and method for manufacturing the hydrodynamic bearing system
CN111367071B (zh) * 2020-04-01 2023-07-14 重庆金樾光电科技有限公司 气动单轴扫描系统

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH351144A (fr) * 1959-06-04 1960-12-31 Annen Robert Palier massif à frottement fluide
FR1347907A (fr) * 1962-11-23 1964-01-04 Sagem Perfectionnements apportés aux paliers dynamiques à film fluide, notamment à ceux pour organes tournants soumis à des sollicitations transversales de direction variable
FR2036619A5 (de) * 1969-03-26 1970-12-24 Renault
US4220444A (en) * 1978-02-27 1980-09-02 John Zink Company Gas burner for flame adherence to tile surface
JPS54127044U (de) * 1978-02-27 1979-09-04
JPS58163818A (ja) * 1982-03-19 1983-09-28 Toshiba Corp 動圧気体軸受装置
JPS58224324A (ja) 1982-06-24 1983-12-26 Toshiba Corp 回転鏡光偏向器
JPS61201916A (ja) * 1985-03-06 1986-09-06 Nippon Fueroo Furuideikusu Kk 軸受装置
JPH0215726A (ja) * 1988-07-02 1990-01-19 Victor Co Of Japan Ltd 適応型差分pcm方式
JP2646120B2 (ja) * 1988-09-29 1997-08-25 京セラ株式会社 セラミック製回転軸
JPH0421844A (ja) 1990-05-16 1992-01-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画像形成装置
JPH051715A (ja) * 1991-06-26 1993-01-08 Sony Corp 軸受構造
JPH0511715A (ja) * 1991-07-01 1993-01-22 Ricoh Co Ltd 液晶表示装置
GB9311231D0 (en) * 1993-06-01 1993-07-21 Westwind Air Bearings Ltd An improved air bearing
JP3362593B2 (ja) * 1995-03-13 2003-01-07 住友電気工業株式会社 動圧気体軸受構造
JP3439292B2 (ja) * 1995-03-13 2003-08-25 住友電気工業株式会社 動圧気体軸受構造および光偏向走査装置
JP3578434B2 (ja) * 1995-09-19 2004-10-20 キヤノン株式会社 動圧気体軸受装置および光偏向走査装置
US5909966A (en) * 1995-12-20 1999-06-08 Ricoh Company, Ltd. Self-acting air bearing
JP3069039B2 (ja) * 1996-02-02 2000-07-24 日本電産コパル電子株式会社 動圧気体軸受
EP0837257B1 (de) * 1996-04-30 2004-10-27 Sumitomo Electric Industries, Ltd Dynamische gasdrucklagervorrichtung, verfahren zur herstellung dieser vorrichtung und verfahren zu seiner verwendung
US5863134A (en) * 1997-07-30 1999-01-26 Delta Electronics, Inc. Bearing without contacting fast spinning shaft

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015201251A1 (de) * 2015-01-26 2016-07-28 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Gleitlageranordnung für eine mit einer umlaufenden Radialkraft belasteten Welle

Also Published As

Publication number Publication date
EP0918170B1 (de) 2006-02-08
EP1489316B1 (de) 2007-10-03
DE69833422D1 (de) 2006-04-20
WO1998038433A1 (fr) 1998-09-03
EP1489316A1 (de) 2004-12-22
DE69835383T2 (de) 2007-02-22
EP0918170A1 (de) 1999-05-26
DE69830639D1 (de) 2005-07-28
DE69835383D1 (de) 2006-09-07
EP0918169A4 (de) 2002-04-24
DE69830639T2 (de) 2006-05-11
DE69838522D1 (de) 2007-11-15
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