DE69825428T2

DE69825428T2 - Verfahren zur steuerung einer lichtempfindlichen vorrichtung mit schwacher remanenz und lichtempfindliche vorrichtung zur durchführung des verfahrens

Info

Publication number: DE69825428T2
Application number: DE69825428T
Authority: DE
Inventors: Thierry Ducourant; Christophe Chaussat
Original assignee: Thales Electron Devices SA
Current assignee: Thales Electron Devices SA
Priority date: 1997-03-07
Filing date: 1998-03-06
Publication date: 2005-09-08
Anticipated expiration: 2018-03-07
Also published as: DE69825428D1; US6686959B1; FR2760585A1; FR2760585B1; WO1998041010A1; EP0965224B1; EP0965224A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Steuerung lichtempfindlicher Vorrichtungen mit einer Matrix aus lichtempfindlichen Punkten von der Art, die insbesondere durch Techniken der Beschichtung mit Halbleitermaterialien hergestellt werden, und sie hat zum Ziel, eine Remanenzwirkung, die in Höhe der lichtempfindlichen Punkte erzeugt wird, zu verringern oder sogar zu unterdrücken. Die Erfindung betrifft insbesondere (aber nicht ausschließlich) die Steuerung von Vorrichtungen, die zur Erfassung von Röntgenbildern verwendet werden. Sie betrifft auch eine lichtempfindliche Vorrichtung, die die Anwendung dieses Verfahrens ermöglicht.
Die Techniken des Aufbringens von Halbleitermaterialien, wie zum Beispiel wasserstoffhaltiges, amorphes Silicium (aSiH), in dünnen Schichten auf isolierende Träger, zum Beispiel aus Glas, ermöglichen es, Matrizen von lichtempfindlichen Punkten herzustellen, die ausgehend von einer sichtbaren Strahlung oder nahezu sichtbaren Strahlung ein Bild erzeugen können. Um diese Matrizen zur Erfassung von Röntgenbildern zu verwenden, genügt es, zwischen die Röntgenstrahlung und die Matrix einen Szintillatorschirm zu bringen, um die Röntgenstrahlung in eine Lichtstrahlung in dem Wellenlängenbereich umzuwandeln, für den die lichtempfindlichen Punkte empfindlich sind.
Die diese Matrizen bildenden lichtempfindlichen Punkte enthalten im allgemeinen ein lichtempfindliches Element, das einem Element zugeordnet ist, welches eine Schalterfunktion erfüllt.
Das lichtempfindliche Element besteht üblicherweise aus einer Diode, die in Reihe mit dem Schaltelement angeordnet ist. Das Schaltelement kann zum Beispiel eine sogenannte Schaltdiode sein, deren "geschlossener" oder "leitender" Zustand der Vorspannung entspricht, die sie in den leitenden Zustand versetzt, und deren "offener" oder "gesperrter" Zustand ihrer Sperr-Vorspannung entspricht. Die beiden Dioden sind mit entgegengesetzten Leitrichtungen in einer sogenannten "Kopf-bei-Fuß"-Konfiguration geschaltet. Eine solche Anordnung ist bekannt, zum Beispiel durch die französische Patentanmeldung 86 14058 (Veröffentlichungsnummer 2 605 166), in der eine Matrix von lichtempfindlichen Punkten von der Art mit zwei Dioden in "Kopf-bei-Fuß"-Konfiguration, ein Verfahren zum Lesen der lichtempfindlichen Punkte und eine Art, eine solche lichtempfindliche Vorrichtung herzustellen, beschrieben sind.
1 stellt ein vereinfachtes Schema einer lichtempfindlichen Vorrichtung 1 dar, die eine Matrix 2 aufweist, die in klassischer Weise aufgebaut ist. Die Matrix 2 weist lichtempfindliche Punkte P1 bis P9 auf, die je von einer lichtempfindlichen Diode Dp und einer Schaltdiode Dc gebildet werden, die in einer Kopf-bei-Fuß-Konfiguration in Reihe geschaltet sind. Die Matrix weist Zeilenleiter Y1 bis Y3 auf, die sich mit Spaltenleitern X1 bis X3 kreuzen, mit einem lichtempfindlichen Punkt an jeder Kreuzung, der zwischen einem Zeilenleiter und einem Spaltenleiter verbunden ist. Die lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 sind so gemäß Zeilen L1 bis L3 und Spalten CL1 bis CL3 angeordnet.
Im Beispiel der 1 sind nur 3 Zeilen und 3 Spalten dargestellt, die 9 lichtempfindliche Punkte definieren, aber eine solche Matrix kann eine wesentlich größere Kapazität haben, die bis zu einigen Millionen Punkte gehen kann. Es ist zum Beispiel üblich, solche Matrizen mit lichtempfindlichen Punkten herzustellen, die gemäß 2000 Zeilen und 2000 Spalten angeordnet sind (in einer Fläche in der Größenordnung von 40 cm × 40 cm), oder auch gemäß einer einzigen Zeile und mehreren Spalten angeordnet sind, um eine Erfassungsleiste zu bilden, oder auch gemäß einer einzigen Zeile und einer einzigen Spalte angeordnet sind, um einen einzigen lichtempfindlichen Punkt zu bilden.
Die lichtempfindliche Vorrichtung weist eine Zeilensteuerschaltung 3 auf, deren Ausgänge SY1, SY2, SY3 mit den Zeilenleitern Y1, Y2 bzw. Y3 verbunden sind. Die Zeilensteuerschaltung 3 weist verschiedene Elemente (nicht dargestellt), wie zum Beispiel eine Taktgeberschaltung, Schaltkreise, Schieberegister, auf, die es ihr ermöglichen, eine sequentielle Adressierung der Zeilenleiter Y1 bis Y3 durchzuführen. Die lichtempfindliche Vorrichtung weist weiter eine Spannungsquelle 4 auf, die an die Zeilensteuerschaltung 3 eine Spannung VP liefert, die dazu dient, die Amplitude von Impulsen zu definieren, die an die Zeilenleiter angelegt werden.
In jedem lichtempfindlichen Punkt P1 bis P9 sind die beiden Dioden Dp, Dc entweder über ihre Anode oder über ihre Kathode miteinander verbunden, wie im dargestellten Beispiel. Die Anode der Fotodiode Dp ist mit einem Spaltenleiter X1 bis X3 verbunden, und die Anode der Schaltdiode Dc ist mit einem Zeilenleiter Y1 bis Y3 verbunden.
In der Bilderfassungsphase oder der Bildaufnahmephase, d.h. dem Belichten der Matrix 2 mit einem sogenannten "Nutz"-Lichtsignal, sind die beiden Dioden Dp, Dc jedes lichtempfindlichen Punkts P1 bis P9 in Sperrrichtung vorgespannt, und in diesem Zustand bilden sie je einen Kondensator. Es ist anzumerken, dass die beiden Dioden Dp, Dc allgemein so gestaltet sind, dass der von der Fotodiode Dp dargestellte Kondensator der stärkere ist (zum Beispiel 50 mal stärker).
Wenn die Fotodiode Dp einem Nutz-Lichtsignal ausgesetzt wird, werden durch das Belichten des lichtempfindlichen Punkts P1 bis P9, zu dem sie gehört, Ladungen in ihr erzeugt. Diese Ladungen, deren Menge von der Belichtungsstärke abhängt, akkumulieren sich in einem Punkt "A" in dem am Verbindungspunkt der beiden Dioden Dp, Dc gebildeten (schwimmenden) Knoten. Das Lesen der lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 erfolgt Zeile für Zeile, gleichzeitig für alle lichtempfindlichen Punkte, die mit dem gleichen Zeilenleiter Y1 bis Y3 verbunden sind. Zu diesem Zweck legt die Zeilensteuerschaltung 3 an jeden adressierten Zeilenleiter Y1 bis Y3 einen sogenannten Leseimpuls einer gegebenen Amplitude an; die nicht adressierten Zeilenleiter werden auf einer Bezugsvorspannung Vr oder Ruhevorspannung gehalten, die zum Beispiel die Masse ist, und die die gleiche Vorspannung sein kann wie diejenige, die an die Spaltenleiter X1 bis X3 angelegt wird.
Die mögliche Akkumulierung von Ladungen im Punkt "A" eines lichtempfindlichen Punkts P1 bis P9 führt an diesem Punkt zu einer Verringerung der Spannung, d.h. zu einer Verringerung der Sperr-Vorspannung der Fotodiode Dp. Bei manchen Betriebsarten hat das Anlegen des Leseimpulses an einen Zeilenleiter Y1 bis Y3 zur Wirkung, den Vorspannungspegel, den dieser Zeilenleiter vor der Belichtung mit dem Nutz-Lichtsignal hatte, auf die Vorspannung des Punkts "A" aller mit diesem Zeilenleiter verbundenen lichtempfindlichen Punkte zurückzusetzen; daraus folgt ein Fluss eines Stroms proportional zu den im entsprechenden Punkt "A" akkumulierten Ladungen in jedem der Spaltenleiter X1 bis X3.
Die Spaltenleiter X1 bis X3 sind mit einer Leseschaltung CL verbunden, die im Beispiel eine Integrierschaltung 5 und eine Multiplexerschaltung 6 aufweist, die zum Beispiel aus einem Schieberegister mit parallelgeschalteten Eingängen und in Reihe geschaltetem Ausgang besteht, das vom Typ C.C.D sein kann (aus dem Englischen "Charge Coupled Device").
Jeder Spaltenleiter ist mit einem negativen Eingang "-" eines Verstärkers G1 bis G3 verbunden, der als Integrator montiert ist. Ein Integrationskondensator C1 bis C3 ist zwischen den negativen Eingang "-" und einen Ausgang S1 bis S3 jedes Verstärkers montiert. Der zweite Eingang "+" jedes Verstärkers G1 bis G3 ist mit einer Vorspannung verbunden, die im Beispiel die Bezugsvorspannung Vr ist, Vorspannung, die anschließend allen Spaltenleitern X1 bis X3 aufgezwungen wird. Jeder Verstärker weist ein Nullrückstellungs-Schaltelement I1 bis I3 auf (das zum Beispiel aus einem MOS-Transistor besteht), das mit jedem Integrationskondensator C1 bis C3 parallelgeschaltet ist.
Die Ausgänge S1 bis S3 der Verstärker sind mit den Eingängen E1 bis E3 des Multiplexers 6 verbunden. Diese klassische Anordnung ermöglicht es, "in Reihe" und zeilenweise (L1 bis L3) am Ausgang SM des Multiplexers 6 Signale zu liefern, die den in den Punkten "A" aller lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 akkumulierten Ladungen entsprechen.
Es ist anzumerken, dass es auch bekannt ist, um die Schaltfunktion zu erfüllen, die im Beispiel der 1 von der Schaltdiode Dc erfüllt wird, einen Transistor zu verwenden; dieser letztere weist im Vergleich mit der Diode eine größere Verbindungskomplexität auf, aber er bietet Vorteile in der Qualität seines "leitenden" Zustands, Vorteile, die im weiteren Verlauf der Beschreibung erläutert werden.
2 stellt schematisch eine lichtempfindliche Vorrichtung 1' dar, die sich von derjenigen der 1 hauptsächlich dadurch unterscheidet, dass sie eine Matrix 20 aufweist, in der die Schaltdioden Dc durch Transistoren T ersetzt sind, die ebenfalls durch Dünnschichttechniken (TFT) erhalten werden.
Im in 2 als Beispiel gezeigten Schema ist in jedem lichtempfindlichen Punkt P1 bis P9 der Transistor T über seine Source S mit der Kathode der Fotodiode Dp verbunden, d.h. mit dem Punkt "A", sein Gate G ist mit dem Zeilenleiter Y1 bis Y3 verbunden, zu dem der lichtempfindliche Punkt gehört, und sein Drain D ist mit dem Spaltenleiter X1 bis X3 verbunden, zu dem der lichtempfindliche Punkt gehört. Die Anoden aller Fotodioden Dp sind zusammengefasst und mit einem Ausgang SP4 der Zeilensteuerschaltung 3 verbunden. Der Ausgang SP4 liefert eine sogenannte Vorspannung VpL, negativ in Bezug auf die Bezugsvorspannung VR oder Masse, in der Größenordnung von zum Beispiel –5 Volt, die dazu dient, die Sperr-Vorspannung der Fotodioden Dp zu bilden; die Zeilensteuerschaltung 3 empfängt zum Beispiel diese Vorspannung von einer Speisequelle 4'.
In dieser Konfiguration liefert die Zeilensteuerschaltung 3 an ihren Ausgängen SY1 bis SY3 Signale oder Impulse mit der gleichen Synchronisierung wie im Fall der 1, Signale, die gleichzeitig alle Transistoren T der gleichen Zeile L1 bis L3 in den "leitenden" Zustand versetzen. Das Versetzen eines Transistors T in den "leitenden" Zustand bewirkt in jedem lichtempfindlichen Punkt das Anlegen der Bezugsspannung VR an die Kathode der Fotodiode Dp: Daraus folgt in an sich bekannter Weise entweder eine ursprüngliche Sperr-Vorspannung der Fotodiode (in Vorausplanung einer Phase der Bildaufnahme), oder das Rückstellen auf den ursprünglichen Sperr-Vorspannungspegel (bei einer Lesephase), mit Fließen eines Stroms in den Spaltenleitern X1 bis X3, der die Menge der in den zur adressierten Zeile L1 bis L3 gehörenden lichtempfindlichen Punkten P1 bis P9 akkumulierten Ladungen darstellt. Der restliche Betrieb ist gleich dem bereits beschriebenen.
Die Proportionalität zwischen dem am Ausgang des Multiplexers 6 gelieferten Wert und der Stärke des Nutz-Lichtsignals, das von einem lichtempfindlichen Punkt aufgefangen wird, kann durch verschiedene Ursachen verändert werden, von denen die Remanenzphänomene besonders schädlich sind, insbesondere weil sie beim Messen der Belichtung eines lichtempfindlichen Punkts nach einer Bildaufnahme einen Zusammmenhang mit der Belichtung dieses gleichen lichtempfindlichen Punkts bei einer vorhergehenden Bildaufnahme herstellen können.
Die wichtigste Remanenzursache im Fall der Matrizen, deren lichtempfindliche Punkte ausgehend von Halbleitermaterialien hergestellt werden, und noch spezieller im Fall von amorphem Silicium (aSi), liegt hauptsächlich in einer starken Dichte von tiefen Zuständen im verbotenen Band des Materials: Zum Beispiel beim amorphen Silicium erzeugt die Abwesenheit eines kristallinen Gitters Fallen, die bei einer Bildaufnahme erzeugte Ladungen zurückhalten können. Unter diesen Umständen kann das Halbleitermaterial in gewisser Weise ein Bild "speichern", das einer gegebenen Belichtung entspricht, und während des Lesens des folgenden Bilds, oder sogar mehrerer folgender Bilder, ein Bild betreffende Ladungen wiederherstellen.
Um den oben angegebenen Remanenzfehler zu verringern oder sogar zu beseitigen, schlägt die Erfindung vor, einen Strom zu erzeugen, der es ermöglicht, die in der Struktur des Halbleitermaterials vorhandenen Fallen (oder tiefen Zustände) zu füllen oder zu sättigen, damit diese Fallen sich dann mit einer Statistik leeren, die mit dem vorhergehenden Bild nichts mehr gemein hat, was zu einer vollständigen Abwesenheit eines Zusammenhangs und somit zur Abwesenheit einer Remanenz führt.
Die Erfindung betrifft also ein Verfahren zur Steuerung einer lichtempfindlichen Vorrichtung, die eine Matrix von lichtempfindlichen Punkten aufweist, wobei die lichtempfindlichen Punkte in mindestens einer Zeile und mindestens einer Spalte angeordnet sind und je ein Schaltelement in Reihe mit einer Fotodiode mit einem gemeinsamen Punkt aufweisen, wobei das Verfahren einerseits darin besteht, die Matrix während einer Bildaufnahmephase, während der in jedem lichtempfindlichen Punkt in Abhängigkeit von seiner Belichtung erzeugte Ladungen eine Vorspannung der Fotodiode verändern, einem Nutz-Lichtsignal auszusetzen, und andererseits darin besteht, die lichtempfindlichen Punkte in einer Lesephase zu lesen, die nach der Bildaufnahmephase auftritt, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren außerdem mindestens einmal vor der Bildaufnahmephase darin besteht, zunächst die lichtempfindlichen Punkte der Matrix einem Löschungs-Lichtstrom einer solchen Stärke und einer solchen Dauer auszusetzen, dass die von ihm erzeugten Ladungen die Spannung der gemeinsamen Punkte so weit verändern, bis sie den Spannungsknick der Fotodioden erreicht, um diese in Durchlassrichtung leitend zu machen, und dann alle Fotodioden in Sperrrichtung vorzuspannen, damit die lichtempfindlichen Punkte die Ladungen während der Bildaufnahmephase erzeugen und akkumulieren können.
Es ist anzumerken, dass das erfindungsgemäße Verfahren es außerdem auf einfache Weise erlaubt, die Wirksamkeit des Lesens der lichtempfindlichen Punkte zu verbessern, insbesondere wenn die dort akkumulierten Ladungen einen geringen Wert haben. Eine Lösung für dieses Problem ist aus einer französischen Patentanmeldung Nr. 88 12126, veröffentlicht unter der Nummer 2 636 800, bekannt. Diese Lösung betrifft den Fall, in dem die lichtempfindlichen Punkte je aus einer Fotodiode bestehen, die in Reihe mit einer Diode geschaltet ist, die als Schaltelement dient, und die beiden in einer Kopf-bei-Fuß-Konfiguration angeordnet sind, wie im Beispiel der 1.
Diese Patentanmeldung schlägt vor, durch eine zusätzliche Belichtung sogenannte Antriebsladungen zu erzeugen, die in jedem lichtempfindlichen Punkt den "Signal"-Ladungen hinzugefügt werden, die durch eine Belichtung mit dem Nutz-Lichtsignal erzeugt werden. Diese zusätzliche Belichtung kann durch verschiedene Arten von Lichtquellen erhalten werden, zum Beispiel durch eine Lichttafel oder durch ein Netz von Elektrolumineszenzdioden, wie es in der französischen Patentanmeldung Nr. 2 598 250 beschrieben ist.
Wieder unter Bezugnahme auf 1 kann, wenn die Matrix 2 auf einem lichtdurchlässigen Isoliersubstrat 7 (in durchgezogenen Strichen dargestellt) aus Glas oder Quarz, wie zum Beispiel in der oben erwähnten Anmeldung Nr. 2.605.166 beschrieben, hergestellt wird, eine zusätzliche Lichtquelle SL (gestrichelt gezeichnet) auf das Substrat 7 entgegengesetzt zur Matrix 2 aufgelegt werden, um keinen Schirm für das Nutz-Lichtsignal zu bilden. Wenn man zum Beispiel annimmt, dass das Substrat 7 sich in der Ebene der Figur befindet, ist die Lichtquelle SL in einer tieferen Ebene als die der Figur angeordnet. Natürlich kann die Vorrichtung der 2 auch eine solche zusätzliche Lichtquelle (in 2 nicht dargestellt) aufweisen.
Die Antriebsladungen, die zu den vom Nutz-Lichtsignal erzeugten Ladungen hinzugefügt werden, ermöglichen es, die schädliche Wirkung (bei den sehr geringen Werten) zu minimieren, die von den mittelmäßigen Qualitäten erzeugt wird, die eine Schaltdiode aufweist, die als Schalter im "geschlossenen" Zustand, d.h. im "leitenden" Zustand verwendet wird. Dies beruht insbesondere auf einer Nicht-Linearität in der Strom-Spannungskennlinie der Dioden, in ihrem Leitmodus in Durchlassrichtung. Diese Lösung, die einen Lichtblitz verwendet, um die Antriebsladungen zu erzeugen, hat aber den Nachteil, auch ein lautes Geräusch zu verursachen (zum optischen Blitz gehörend).
Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, es auf einfache Weise zu ermöglichen, Antriebsladungen hinzuzufügen, mit dem gleichen Ziel, wie es von der Patentanmeldung Nr. 2 605 166 verfolgt wird, aber mit einem elektrischen Verfahren, das ein wesentlich schwächeres Geräusch erzeugt als ein optisches Verfahren.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung hervor, die als nicht einschränkendes Beispiel dient und sich auf die beiliegenden Zeichnungen bezieht, in denen:
die 1 und 2 lichtempfindliche Vorrichtungen darstellen, auf die das erfindungsgemäße Verfahren angewandt werden kann;
die 3a bis 3e ein Steuerungsdiagramm bilden, das den Betrieb der Vorrichtungen der 1 und 2 unter der Steuerung des erfindungsgemäßen Verfahrens darstellt.
Indem man die lichtempfindliche Vorrichtung der 1 als Beispiel nimmt, bei der jeder lichtempfindliche Punkt P1 bis P9 eine Schaltdiode Dc aufweist, um die Schalterfunktion zu erfüllen, stellt 3a Signale dar, die an einen Zeilenleiter Y1 bis Y3 angelegt werden, zum Beispiel an den ersten Leiter Y1; und 3d stellt die Veränderungen einer Spannung VA im Punkt "A" mit Schwimmpotential der lichtempfindlichen Punkte dar, zum Beispiel des ersten lichtempfindlichen Punkts P1.
Im nicht einschränkend zu verstehenden, beschriebenen Beispiel liegt ein Betriebszyklusanfang nach einem Zeitpunkt t1, der das Ende eines Leseimpulses IL kennzeichnet, der an den ersten Zeilenleiter Y1 angelegt wurde. Dieser Leseimpuls IL hat in einem Zeitpunkt t0 des Beginns einer Lesephase PHL eines vorhergehenden Betriebszyklus begonnen, und er hat es ermöglicht, die lichtempfindlichen Punkte P1 bis P3 zu lesen, die während einer Bildaufnahmephase dieses vorhergehenden Zyklus belichtet wurden.
Unter Berücksichtigung der Durchlassrichtungen der Dioden Dc, Dp jedes lichtempfindlichen Punkts P1 bis P9 des in 1 gezeigten Beispiels hat der Leseimpuls IL ein positives Vorzeichen in Bezug auf die Bezugsspannung VR, und eine Amplitude VP2. Er versetzt die Schaltdiode Dc in den Leitzustand in Durchlassrichtung, und diese letztere lädt den von der Fotodiode Dp gebildeten Kondensator derart, dass die Spannung VA im Punkt "A" zuerst auf einen Wert VA1 übergeht, der der Knickspannung der Schaltdiode Dc entspricht, und dann bis auf einen Wert VA2 im wesentlichen gleich VP2 abzüglich des Werts der Knickspannung der Schaltdiode Dc ansteigt. Die Ladung des von der Fotodiode Dp gebildeten Kondensators bewirkt beim Spaltenleiter X1 den Fluss eines Stroms, der den im Punkt "A" akkumulierten Ladungen entspricht.
Im Zeitpunkt t1, in dem der Leseimpuls IL endet und in dem die Spannung auf dem Zeilenleiter Y1 zum Ruhewert zurückkehrt, d.h. zur Bezugsspannung Vr, wird die Schaltdiode Dc in Sperrrichtung vorgespannt und bildet einen Kondensator: Die Spannung VA im Punkt "A" verringert sich durch kapazitive Teilung auf einen Wert VA3.
Natürlich empfangen alle Zeilenleiter Y1 bis Y3 nacheinander einen Leseimpuls IL während dieser Lesephase PHL, die in einem Zeitpunkt t1' endet, und die Entwicklung des Stroms VA im Punkt "A" der lichtempfindlichen Punkte aller Zeilen L1 bis L3 der Matrix 1 ist gleich der oben beschriebenen.
Gemäß einem Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ein "Löschungs-Lichtstrom" genannter Lichtstrom FE, der in 3c dargestellt ist, vor jeder Durchführung einer Bildaufnahme an alle lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 der Matrix 2 angelegt.
Der Löschungs-Lichtstrom FE wird an alle lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 in einem Zeitpunkt t2 angelegt, der auf den Zeitpunkt t1' des Endes der Lesephase des vorhergehenden Zyklus folgt. Dieser Löschungs-Lichtstrom muss eine ausreichende Stärke und Dauer haben, damit die von ihm erzeugten Ladungen, die in den Punkten "A" mit Schwimmpotential akkumuliert werden, die Spannung VA an diesen Punkten "A" (und somit die Vorspannung der Fotodioden Dp) ändern, bis die Fotodioden Dp in ihren Leitzustand in Durchlassrichtung versetzt werden.
Diese Wirkung des Anlegens des Löschungs-Lichtstroms FE ist in 3d zu sehen, in der man sieht, dass die Spannung VA ausgehend vom Zeitpunkt t2 (in Richtung einer Verringerung) bis zu einem Zeitpunkt t3 variiert, in dem sie die Bezugsspannung Vr erreicht, und wo sie das Vorzeichen ändert, um wieder bis auf einen Wert VcP anzusteigen (im dargestellten Beispiel negativ), der der Knickspannung der lichtempfindlichen Diode Dp entspricht. Ausgehend von einem Zeitpunkt t4, in dem der Wert VcP entsprechend der Knickspannung der Fotodiode Dp erreicht ist, führt diese letztere einen Strom in ihrer Durchlassrichtung. Ab dem Zeitpunkt t4 behält dann die Spannung VA am Punkt "A" bis zu einem Zeitpunkt t5, in dem das Anlegen des Löschungs-Lichtstroms FE endet und in dem auch der Strom in der Fotodiode Dp aufhört zu fließen, im Wesentlichen den gleichen Wert bei.
Der Strom, der dem Leitendwerden der Diode Dp in Durchlassrichtung entspricht, hat die Tendenz, wie oben erklärt wurde, die "Fallen" zu sättigen, die im Halbleitermaterial (zum Beispiel aSiH) vorhanden sind, und neigt so dazu, die Spuren einer vorhergehenden Bildaufnahme zu "löschen" und jeden Zusammenhang zwischen dieser vorhergehenden Bildaufnahme und einer künftigen Bildaufnahme zu vermeiden.
Die die Erzeugung des Löschungs-Lichtstroms ermöglichende Lichtquelle ist selbst vom klassischen Typ. Sie kann zum Beispiel aus einer Lichtquelle wie zum Beispiel der oben erwähnten, zusätzlichen Lichtquelle SL bestehen, d.h. aus einer Lichttafel, oder aus einem Netz von Elektrolumineszenzdioden, und sie kann auch gegen das durchsichtige Substrat 7 (1) entgegengesetzt zur Matrix 2 angeordnet sein (es ist anzumerken, dass die Lichtquelle SL auch auf der Seite der Matrix 1 angeordnet sein könnte, unter der Voraussetzung, dass sie der guten Belichtung der Matrix 2 durch das Nutz-Lichtsignal bei einer Bildaufnahme nicht schadet). Die Steuerung der Lichtquelle SL kann in an sich klassischer Weise, zum Beispiel ausgehend von einem Signal, das von einem Ausgang Ssl der Zeilensteuerschaltung 3 (1) geliefert wird, durchgeführt werden. Natürlich kann die lichtempfindliche Vorrichtung der 2 auch eine Lichtquelle SL (nicht in 2 dargestellt) aufweisen, die unter den gleichen Bedingungen wie oben beschrieben angeordnet ist.
Wieder unter Bezugnahme auf die 3a bis 3e ist es notwendig, damit die lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 während einer Bildaufnahme Ladungen erzeugen und akkumulieren können, die Fotodioden Dp in den Zustand der Sperr-Vorspannung zu versetzen. Zu diesem Zweck besteht das erfindungsgemäße Verfahren darin, an alle Zeilenleiter Y1 bis Y3 einen Spannungsimpuls anzulegen, der Vorspannungsimpuls IP genannt wird (in 3a dargestellt) und eine Amplitude VP1 aufweist, der in Bezug auf die Bezugsspannung VR positiv ist, d.h. das gleiche Vorzeichen wie der Leseimpuls IL aufweist.
Ein Vorspannungsimpuls IP kann von der Zeilensteuerschaltung 3 an alle Zeilenleiter Y1 bis Y3 entweder gleichzeitig für alle Leiter oder Zeile für Zeile angelegt werden. Es ist dann aber notwendig, dass alle Zeilenleiter Y1 bis Y3 und somit alle lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 den Vorspannungsimpuls IP vor der Bildaufnahmephase empfangen.
In einem Zeitpunkt t6, in dem ein Vorspannungsimpuls IP beginnt (3a), der vom ersten Zeilenleiter Y1 empfangen wird, ändert die Spannung VA im Punkt "A" aller mit diesem Leiter verbundenen lichtempfindlichen Punkte ihr Vorzeichen und geht auf den Wert VA1 über, der die Knickspannung der Schaltdiode Dc ist. Diese letztere wird dann wieder in den Leitzustand in Durchlassrichtung versetzt, und da die Fotodiode Dp wieder in Sperrrichtung vorgespannt wurde, wird ihr Kondensator von der Schaltdiode Dc geladen: Folglich steigt die Spannung VA an, um in einem Zeitpunkt t7, in dem der Vorspannungsimpuls IP endet, einen Wert zu erreichen, der der Amplitude Vp1 dieses Vorspannungsimpulses minus des Werts der Knickspannung der Schaltdiode Dc entspricht, in einer Weise, die an sich derjenigen vergleichbar ist, die bereits für den Zeitintervall zwischen dem Zeitpunkt t0 und dem Zeitpunkt t1 beschrieben wurde.
Das erfindungsgemäße Verfahren bietet einen sehr wichtigen Vorteil, der in der Möglichkeit besteht, Antriebsladungen auf einfache Weise und mit großer Qualität (geringes Geräusch) zu erzeugen. Hierzu genügt es, den Vorspannungsimpulsen IP eine Amplitude VP1 zu verleihen, die unter der Amplitude VP2 der Leseimpulse IL liegt.
Indem man nämlich zum Beispiel einerseits annimmt, dass die Spannung VA im Punkt "A" kurz vor einer Bildaufnahmephase den Wert VA3 hat, der im Zeitpunkt t1 angezeigt wird (was der Fall wäre, wenn der Vorspannungsimpuls IP die gleiche Amplitude VP2 wie der Leseimpuls IL hätte), und andererseits annimmt, dass diese Bildaufnahme keine Belichtung des ersten lichtempfindlichen Punkts P1 liefert, und wenn man mögliche Driften und Dunkelströme ignoriert, hat die Spannung VA am Punkt "A" nach der Bildaufnahme den Wert VA3 beibehalten: Folglich erzeugt das spätere Anlegen eines Leseimpulses IL nicht die Ladung des von der Fotodiode gebildeten Kondensators (wenn sie in Sperrrichtung vorgespannt ist), und es wird keine Ladung zum entsprechenden Spaltenleiter, d.h. dem ersten Spaltenleiter X1, übertragen.
Wenn dagegen die Amplitude VP1 des Vorspannungsimpulses IP geringer ist als die Amplitude VP2 des Leseimpulses IL, verleiht sie im Zeitpunkt t7 der Spannung VA im Punkt "A" vor der Bildaufnahme einen Wert VA5, der niedriger ist als der Wert VA3, der vom Leseimpuls IL verliehen wird: Folglich erhält man mit dem Anlegen eines Leseimpulses IL einen Strom auf dem ersten Spaltenleiter X1, Strom, der eine sogenannte Antriebsladung darstellt, deren Stärke proportional zur Differenz VA3 – VA5 ist.
Diese Erklärungen zeigen, dass ein Vorspannungsimpuls IP mit einer Amplitude VP1 geringer als die Amplitude VP2 des Leseimpulses Antriebsladungen erzeugen kann, deren Wert von der Differenz zwischen den Amplituden VP1 und VP2 abhängt.
Die lichtempfindliche Vorrichtung 1 der 1 kann zur Erzeugung von Antriebsladungen eine zweite Spannungsquelle 13 aufweisen, die an die Zeilensteuerschaltung 3 eine Spannung liefert, die den Wert der Amplitude VP1 des Vorspannungsimpulses IP hat; die von der ersten Quelle 4 gelieferte Spannung hat zum Beispiel den Wert der Amplitude VP2 des Leseimpulses IL. Die Zeilensteuerschaltung 3 kann so in an sich bekannter Weise die eine oder die andere der beiden Spannungen wählen und sie zu den geeigneten Zeitpunkten in Form von Impulsen an die Zeilenleiter Y1 bis Y3 liefern.
Die Antriebsladungen können sich insbesondere in den Fällen geringer Belichtungswerte als nützlich erweisen, und dies insbesondere für lichtempfindliche Punkte, deren Schaltelement eine Diode ist, aufgrund der Nicht-Linearität in der Strom-Spannungskennlinie im Durchlassmodus, den eine Diode aufweist.
Wenn es nicht nützlich ist, Antriebsladungen zu verwenden, zum Beispiel bei sehr starken Lichtsignalen, und wenn das Schaltelement der lichtempfindlichen Punkte ein Transistor ist, wie im Fall der Matrix 20 der 2, genügt es, den Vorspannungs- und Leseimpulsen IP, IL die gleiche Amplitude zu verleihen, um die Erzeugung dieser Antriebsladungen zu vermeiden.
Aber selbst im Fall der Matrix 20, die Transistoren als Schaltelement verwendet, kann, wenn diese Antriebsladungen notwendig sind,' auch die lichtempfindliche Vorrichtung der 2 eine zweite Spannungsquelle 13' aufweisen, die an die Zeilensteuerschaltung 3 eine zweite Vorspannung VpP liefert, die niedriger ist als die erste Vorspannung VpL; die Zeilensteuerschaltung 3 kann so zwischen den beiden Spannungen VpL und VpP diejenige wählen, die über ihren Ausgang SP4 an die Anoden der Fotodioden Dp anzulegen ist, je nachdem, ob der "leitende" Zustand der Transistoren T zur Erzeugung einer ursprünglichen Vorspannung oder für eine Lesephase gesteuert wird.
Unter der Annahme (wiederum im Fall der lichtempfindlichen Vorrichtung der 1), dass der Vorspannungsimpuls IP die (schwächste) Amplitude VP1 hat, behält die Spannung VA im Punkt "A" den Wert VA5 zumindest bis zu einem Zeitpunkt t8 bei, in dem eine Bildaufnahmephase auftritt, die in 3b durch ein Rechteck Phi dargestellt ist. Wenn ausgehend vom Zeitpunkt t8 der lichtempfindliche Punkt P1 einer Belichtung durch ein "Nutz"-Lichtsignal ausgesetzt wird, bewirken die dann erzeugten und im Punkt "A" akkumulierten Ladungen (wie im in 3d dargestellten Beispiel) eine Verringerung der Spannung VA in diesem Punkt. Diese Verringerung ist kontinuierlich (wenn die Belichtung konstant ist), und sie endet in einem Zeitpunkt t9, der das Ende der Bildaufnahmephase kennzeichnet. Die Spannung VA im Punkt "A" besitzt zu diesem Zeitpunkt zum Beispiel einen Wert VA4, der bis zu einem Zeitpunkt t10 beibehalten wird.
Im Zeitpunkt t10 wird ein Leseimpuls IL an den ersten Zeitenleiter Y1 angelegt. Er kennzeichnet den Beginn einer Lesephase PHL, die dazu dient, die in der Bildaufnahmephase PHi erzeugten Ladungen zu lesen. Man findet im Punkt "A" eine Entwicklung der Spannung VA gleich derjenigen, die bereits für den Zeitintervall beschrieben wurde, der zwischen den Zeitpunkten t0 und t1 liegt: Die Spannung VA geht mit dem Anlegen des Leseimpulses IL auf den Wert VA1 über; wenn dann die Schaltdiode Dc im leitenden Zustand ist, lädt sie den von der Fotodiode Dp gebildeten Kondensator, was einen Strom im Spaltenleiter X1 bestimmt; die Spannung VA steigt dann bis auf ihren maximalen Wert VA2 an. In einem Zeitpunkt t11, in dem der Leseimpuls IL endet, geht die Spannung VA auf den Wert VA3 über (wie im Zeitpunkt t1).
Anschließend werden nacheinander während des Rests der Lesephase PHL, deren Ende in einem Zeitpunkt t12 auftritt, (nicht dargestellte) Leseimpulse an die Zeilenleiter Y2, Y3 angelegt.
3e stellt den "offenen" und den "geschlossenen" Zustand der Nullrückstellungsschalter I1, I2, I3, dar, die nur dann den Integrationsvorgang durch die Verstärker G1, G2, G3 erlauben, wenn sie im "offenen" Zustand sind. 3e stellt den Zustand dar, dass diese Schalter I1 bis I3 nur während der Lesephasen PHL im "offenen" Zustand sind, und dass folglich nur die Ströme berücksichtigt werden, die während der Lesephasen in den Spaltenleitern X1 bis X3 fließen.
Die verschiedenen Zeitintervalle zwischen den Zeitpunkten t1' und t12 entsprechen verschiedenen Stufen einer vollständigen Betriebsfolge einer lichtempfindlichen Vorrichtung, die gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren gesteuert wird. Das Ende der Lesephase im Zeitpunkt t12 kennzeichnet den Beginn einer möglichen folgenden Betriebsfolge.
Es ist anzumerken, dass, wenn der Pegel der tolerierbaren Restremanenz sehr niedrig ist, es möglich ist, ihn noch zu verbessern, indem mehrere Löschvorgänge in einer gleichen Betriebsfolge durchgeführt werden, d.h. man kann zwischen den Zeitpunkten t2 und t7 die lichtempfindlichen Punkte P1 bis P9 der Matrix mehrere Male dem Löschungs-Lichtstrom FE aussetzen, wobei jedes Anlegen eines Löschungs-Lichtstroms vom Anlegen eines Vorspannungsimpulses IP gefolgt wird.
Die vorliegende Beschreibung des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgte unter Bezugnahme auf Matrizen 2, 20 mit lichtempfindlichen Punkten P1 bis P9, deren Schaltdioden Dc und Fotodioden Dp mit gegebenen Leitrichtungen montiert sind, wie sie in den 1 und 2 gezeigt sind. Das erfindungsgemäße Verfahren kann aber ebenso gut angewandt werden, wenn diese Dioden Dc, Dp mit entgegengesetzten Leitrichtungen zu denen montiert werden, die in diesen Figuren dargestellt sind. Hierzu genügt es, das Vorzeichen der Leseimpulse IL und der Vorspannungsimpulse IP sowie der Vorspannungen umzukehren.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist auch auf die Steuerung von lichtempfindlichen Vorrichtungen anwendbar, die zur Erfassung von Röntgenbildern verwendet werden. Diese lichtempfindlichen Vorrichtungen müssen dann einen Szintillator aufweisen, um eine einfallende Strahlung, insbesondere eine Röntgenstrahlung, in eine Lichtstrahlung in dem Wellenlängenbereich umzuwandeln, für den die Fotodioden Dp empfindlich sind. Wenn man als Beispiel die Vorrichtung 1 der 1 nimmt, kann ein solcher Szintillator aus einer Schicht 9 (in 1 durch ein gestricheltes Viereck symbolisch dargestellt) einer szintillierenden Substanz, zum Beispiel aus Cäsiumjodid (Csl) bestehen; diese szintillierende Schicht 9 wird über der Matrix 2 so aufgebracht, dass sie zwischen dieser und der einfallenden Röntgenstrahlung liegt. Die lichtempfindliche Vorrichtung 1' der 2 kann auch einen Szintillatorschirm 9 (nicht dargestellt) aufweisen, der in gleicher Weise wie derjenige der 1 angeordnet ist.
Es ist anzumerken, dass das erfindungsgemäße Verfahren in dem Fall in besonders interessanter Weise anwendbar ist, in dem der Szintillator 9 aus Cäsiumjodid (Csl) besteht, da diese szintillierende Substanz für ihre sehr schwache intrinsische Remanenz bekannt ist. Das Koppeln eines Szintillators aus Cäsiumjodid mit einer Matrix 2, 20, deren Fotodioden Dp aus wasserstoffhaltigem, amorphem Silicium (aSiH) bestehen, unter der Steuerung durch das erfindungsgemäße Verfahren, das die Eigenremanenz des wasserstoffhaltigen, amorphen Siliciums beseitigt, ermöglicht den Erhalt von Röntgenbildern sehr hoher Qualität.

Claims

Verfahren zur Steuerung einer lichtempfindlichen Vorrichtung (1, 1'), die eine Matrix (2, 20) von lichtempfindlichen Punkten (P1 bis P9) aufweist, wobei die lichtempfindlichen Punkte in mindestens einer Zeile (L1 bis L3) und mindestens einer Spalte (CL1 bis CL3) angeordnet sind und je ein Schaltelement (Cd, T) in Reihe mir einer Fotodiode (Dp) mit einem gemeinsamen Punkt aufweisen, wobei das Verfahren einerseits darin besteht, die Matrix (2, 20) während einer Bildaufnahmephase (Phi), während der in jedem lichtempfindlichen Punkt (P1 bis P9) in Abhängigkeit von seiner Belichtung erzeugte Ladungen eine Vorspannung (Va3, Va5) der Fotodiode (Dp) verändern, einem Nutz-Lichtsignal auszusetzen, und andererseits darin besteht, die lichtempfindlichen Punkte in einer Lesephase (PHL) zu lesen, die nach der Bildaufnahmephase (Phi) auftritt, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren außerdem mindestens einmal vor der Bildaufnahmephase (Phi) darin besteht, zunächst die lichtempfindlichen Punkte der Matrix (2, 20) einem Löschungs-Lichtstrom (FE) einer solchen Stärke und einer solchen Dauer auszusetzen, dass die von ihm erzeugten Ladungen die Spannung der gemeinsamen Punkte so weit verändern, bis sie den Spannungsknick der Fotodioden erreicht, um diese in Durchlassrichtung leitend zu machen, und dann alle Fotodioden (Dp) in Sperrrichtung vorzuspannen, damit die lichtempfindlichen Punkte die Ladungen während der Bildaufnahmephase erzeugen und akkumulieren können.
Steuerverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Schaltelement eine Schaltdiode (Dc) ist.
Steuerverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Zeile (L1 bis L3) ein Zeilenleiter (Y1 bis Y3) und jeder Spalte (CL1 bis CL3) ein Spaltenleiter (X1 bis X3) entspricht, und dass in den lichtempfindlichen Punkten (P1 bis P9) die Schaltdiode (Dc) und die Fotodiode (Dp) zwischen einem Zeilenleiter (Y1 bis Y3) und einem Spaltenleiter (CL1 bis CL3) mit einander entgegengesetzten Leitrichtungen angeordnet sind.
Steuerverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass es darin besteht, an jeden Zeilenleiter (Y1 bis Y3) einen Vorspannungsimpuls (IP) anzulegen, dessen Vorzeichen der Vorspannung der Fotodioden (Dp) in Sperrrichtung entspricht, und dessen Amplitude (VP1) den Wert der Vorspannung dieser Fotodioden in Sperrrichtung bestimmt, und dass es während der Lesephase (PHL) darin besteht, an jeden Zeilenleiter (Y1 bis Y3) einen Leseimpuls (IL) anzulegen, der eine gegebene Amplitude (VP2) und das gleiche Vorzeichen wie der Vorspannungsimpuls (IP) hat.
Steuerverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorspannungsimpuls (IP) die gleiche Amplitude wie diejenigen (VP2) des Leseimpulses (IL) aufweist.
Steuerverfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorspannungsimpuls (IP) eine Amplitude (VP1) aufweist, die geringer ist als die Amplitude (VP2) des Leseimpulses (IL).
Steuerverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Schaltelement ein Transistor (T) ist.
Steuerverfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Zeile (L1 bis L3) ein Zeilenleiter (Y1 bis Y3) und jeder Spalte (CL1 bis CL3) ein Spaltenleiter (X1 bis X3) entspricht, und dass in den lichtempfindlichen Punkten (P1 bis P9) der Transistor (T) über sein Gate (G) mit einem Zeilenleiter (Y1 bis Y3) und über seine Source (S) mit einem ersten Ende (Kathode oder Anode) der Fotodiode (Dp) und schließlich über seinen Drain (D) mit einem Spaltenleiter (X1 bis X3) verbunden ist, wobei die zweiten Enden (Anode oder Kathode) aller Fotodioden (Dp) eine Vorspannung (VpP, VpL) empfangen, die es ermöglicht, diese Fotodioden in Sperrrichtung vorzuspannen.
Steuerverfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Wert der Vorspannung (VpP, VpL) unterschiedlich ist, je nachdem, ob sie vor einer Bildaufnahmephase (Phi) oder für eine Lesephase (PHL) angelegt wird.
Steuerverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die Fotodioden (Dp) aus wasserstoffhaltigem amorphem Silicium (aSiH) hergestellt werden.
Steuerverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Matrix (2, 20) mittels Dünnschichttechniken hergestellt wird.
Steuerverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es darin besteht, die Matrix (2, 20) auf einem lichtdurchlässigen Substrat (7) auszubilden.
Steuerverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass es darin besteht, eine Lichtquelle (SL) auf einer Seite des Substrats (7) anzuordnen, die der die Matrix (2, 20) tragenden Seite entgegengesetzt ist.
Steuerverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es darin besteht, einen Szintillatorschirm (9) zwischen einer einfallende Strahlung und der Matrix (2, 20) anzuordnen.
Steuerverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die einfallende Strahlung eine Röntgenstrahlung ist.
Lichtempfindliche Vorrichtung, die das Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15 anwendet, mit einer Matrix (2, 20) von lichtempfindlichen Punkten (P1 bis P9), die in Zeilen (mindestens eine Zeile) und Spalten (mindestens eine Spalte) angeordnet sind, wobei jeder lichtempfindliche Punkt sich am Kreuzungspunkt einer Zeile (L1 bis L3) und einer Spalte (CL1 bis CL3) befindet und ein Schaltelement (Cd, T) in Reihe mit einer Fotodiode (Dp) enthält, wobei jede Fotodiode (Dp) während einer Bildaufnahmephase (Phi) in Sperrrichtung vorgespannt ist, wobei der Verbindungspunkt zwischen einer Fotodiode (Dp) und einem Schaltelement (Cd, T) einen gemeinsamen Punkt (A) mit Schwimmpotential bildet, wo von der Fotodiode (Dp) erzeugte Ladungen akkumuliert werden, wobei die lichtempfindliche Vorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass sie erste Mittel (SL), die es ermöglichen, die Matrix (2, 20) einem Löschungs-Lichtstrom (FE) einer solchen Stärke und einer solchen Dauer auszusetzen, dass die von ihm erzeugten Ladungen die Spannung der gemeinsamen Punkte verändern, bis sie die Knickspannung der Fotodioden erreicht, um diese in Durchlassrichtung leitend zu machen, und zweite Mittel (3, 13) aufweist, die es nach dem Anlegen des Löschungs- Lichtstroms (FE) und vor der Bildaufnahmephase ermöglichen, die Fotodioden (Dp) in Sperrrichtung vorzuspannen, damit die lichtempfindlichen Punkte die Ladungen während der Bildaufnahmephase erzeugen und akkumulieren können.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Mittel (3, 13) es ermöglichen, an jeden lichtempfindlichen Punkt (P1 bis P9) einen Vorspannungsimpuls anzulegen, der das gleiche Vorzeichen hat wie ein Leseimpuls (IL), der an die lichtempfindlichen Punkte (P1 bis P9) während einer Lesephase angelegt wird, die nach der Bildaufnahmephase auftritt.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorspannungsimpuls (IP) eine Amplitude (VP1) hat, die geringer als die Amplitude (VP2) des Leseimpulses (IL) ist.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorspannungsimpuls (IP) eine Amplitude (VP1) gleich derjenigen des Leseimpulses (IL) hat.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Schaltelement ein Transistor (T) ist.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Schaltelement eine Diode (Dc) ist.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die Fotodiode (Dp) aus wasserstoffhaltigem amorphem Silicium (aSiH) hergestellt ist.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass einerseits die Matrix (2, 20) auf einem durchsichtigen Substrat (7) hergestellt ist, und dass andererseits die Vorrichtung eine Lichtquelle (SL) aufweist, die auf einer Seite des Substrats entgegengesetzt zu der Seite angeordnet ist, die die Matrix trägt.
Lichtempfindliche Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Szintillatorschirm (9) aufweist, der eine Röntgenstrahlung in eine Lichtstrahlung in dem Wellenlängenbereich umwandelt, in dem die Fotodioden (DP) empfindlich sind.