DE69727945T2 - Testhalter für eine Halbleitervorrichtung - Google Patents

Testhalter für eine Halbleitervorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE69727945T2
DE69727945T2 DE69727945T DE69727945T DE69727945T2 DE 69727945 T2 DE69727945 T2 DE 69727945T2 DE 69727945 T DE69727945 T DE 69727945T DE 69727945 T DE69727945 T DE 69727945T DE 69727945 T2 DE69727945 T2 DE 69727945T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
socket
circuit board
semiconductor device
testing
contacting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69727945T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69727945D1 (de
Inventor
Kouichi Matsumoto-shi Yamazaki
Hiroto Omiya-shi Komatsu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd, Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority claimed from EP97121732A external-priority patent/EP0922964B1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69727945D1 publication Critical patent/DE69727945D1/de
Publication of DE69727945T2 publication Critical patent/DE69727945T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Sockel zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung oder genauer gesagt auf einen Sockel zur Prüfung von insbesondere einem oberflächenmontierbaren Halbleitergehäuse mit einer Mehrzahl von Anschlüssen an den Seitenoberflächen, wie beispielsweise QFPs (quad flat packages = quadratische Flachgehäuse), SOPs (small outline packages = Kleinprofilgehäuse), PLCCs (plastic leaded chip carriers = Plastchip-Träger mit Anschlüssen) und LCCs (Chip-Träger ohne Anschlüsse).
  • Beim Durchführen eines Einbrenntests eines Halbleitergehäuses ist es herkömmlich, einen IC-Sockel zur elektrischen Verbindung zwischen den Elektrodenklemmen des Halbleitergehäuses und den Elektrodenklemmen der Prüfleiterplatte zu benutzen; (für eine bekannte Art eines Sockels, siehe JP-A-09 298 257). Ein IC-Sockel für einen derartigen Zweck einer anderen Art umfasst einen Sockelkörper, der mit einem Montagesitz, an dem ein Halbleitergehäuse montierbar ist, einer Mehrzahl von Anschlüssen oder Stiften, die an dem Montagesitz befestigt sind, von denen die Elektrodenklemmen an den Seitenoberflächen und Bodenoberflächen des Sockelkörpers mit Anschlussdrähten verbunden sind, und einem Abdeckelement, das schwenkbar nach oben und nach unten drehbar ist, um die obere Öffnung des Montagesitzes zu öffnen oder zu schließen, versehen ist.
  • Obwohl das oben erwähnte Abdeckelement dient, wenn das Abdeckelement in Position gebracht wird, die obere Öffnung des Montagesitzes zu schließen, um das in dem Montagesitz angebrachte Halbleitergehäuse nach unten zu drücken, um die Elektrodenklemmen des Halbleitergehäuses und die Anschlüsse oder Stifte des Sockels, die in dem Montagesitz erscheinen, in einen Druckkontaktzustand zu bringen, ist es üblich, dass das Abdeckelement an seiner unteren Oberfläche mit einem nachgiebigen federnden Element ausgestaltet ist, das einen Kautschukpuffer oder eine Feder benutzt, um die Gleichmäßigkeit des Kontaktdruckes zwischen den oben erwähnten Kontaktpunkten sicherzustellen. Der IC-Sockel dieser Art wird an einer Leiterplatte durch Löten der Anschlüsse an die Elektrodenklemmen der Leiterplatte, wenn die Anschlüsse an den Seitenoberflächen des Sockelkörpers vorgesehen sind, oder durch Einführen der Stifte durch die Durchgangslöcher in der Leiterplatte, wenn die Stifte an der Bodenoberfläche des Sockelkörpers vorgesehen sind, angebracht.
  • Der oben beschriebene herkömmliche IC-Sockel umfasst Nachteile, da eine Mehrzahl von Elektrodenklemmen an dem Montagesitz des Sockelkörpers und eine Mehrzahl von Anschlüssen oder Stiften an der Außenoberfläche des Sockelkörpers bereitgestellt werden müssen, wobei die Anzahl von notwendigen Teilen dermaßen groß und die Montagearbeit demgemäss sehr aufwändig ist.
  • Herkömmliche IC-Sockel dieser Art weisen Probleme auf, dass das Löten immer bei der Montagearbeit an einer Leiterplatte beteiligt ist, so dass die Anzahl von Verarbeitungsschritten dermaßen viel erhöht wird, und insbesondere, wenn Stifte bereitzustellen sind, Durchgangslöcher in der Leiterplatte ausgebildet werden müssen, so dass die Ausgestaltung der Leiterplatte dementsprechend kompliziert ist.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung umfasst eine Aufgabe mit Blick auf die oben beschriebenen Probleme bei Sockeln des Stands der Technik, einen verbesserten Sockel zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen mit einer einfachen Struktur, der aus einer relativ kleinen Anzahl von Teilen zusammenzubauen ist, sowie auch mit ausgezeichneten Hochfrequenzcharakteristika bereitzustellen, und der geeignet ist, der Ausgestaltung von Leiterplatten eine große Freiheit zu geben.
  • Somit liefert die vorliegende Erfindung einen Sockel zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung oder insbesondere zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung mit Anschlüssen oder Elektrodenklemmen an der äußeren Oberfläche des Körpers der Vorrichtung durch elektrisches Verbinden der Anschlüsse mit den Elektrodenklemmen einer Leiterplatte, der umfasst:
    • (a) einen Sockelkörper, der an der Leiterplatte durch Positionieren auf eine frei demontierbare Art und Weise montierbar ist, mit einem Montagesitz für den Körper der Haltevorrichtung;
    • (b) einen Anschlusskammstreifen, der zwischen dem Sockelkörper und der Leiterplatte liegt, mit Kontaktierungsschuhen, die sich aus der der Leiterplatte gegenüberliegenden Oberfläche in dem Montagesitz des Sockelkörpers erstrecken, wobei die Kontaktierungsschuhe mit den Anschlüssen oder Elektrodenklemmen der Halbleitervorrichtung in Kontakt gebracht werden, wenn die Halbleitervorrichtung auf dem Montagesitz angebracht wird; und
    • (c) eine anisotrop elektrisch leitende, elastische Anschlussschicht, die zwischen dem Anschlusskammstreifen und der Leiterplatte angeordnet ist, um mit den Elektrodenklemmen der Leiterplatte an einer Oberfläche und mit den Kontaktpunkten der Kontaktierungsschuhe des Anschlusskammstreifens an der anderen Oberfläche in elektrisch leitendem Kontakt zu sein.
  • Insbesondere ist die oben erwähnte anisotrop elektroleitende elastische Anschlussschicht ein Schichtkörper, der aus einer Matrix einer kautschukartigen Elastomerschicht und einer Vielfachheit von elektroleitenden faserartigen Körpern besteht, die zueinander in der Matrixschicht parallel eingebettet sind und diese von einer Oberfläche zu der anderen durchdringen. Vorzugsweise weist der kautschukartige Elastomer eine Härte von 20°H bis 60°H gemäß JIS K 6301 für die Kautschukhärte des Typs A auf, und die Metallfaser umfasst einen spezifischen Volumenwiderstand, der 10–1 Ω·cm nicht überschreitet, und einen Durchmesser in dem Bereich von 20 bis 90 μm. Diese metallischen Fasern sind in der isolierenden Matrixschicht eingebettet, wobei ein Abstand von 10 bis 125 μm von den benachbarten beibehalten wird und jede Faser die Matrixschicht in einer geneigten Richtung mit einem Versatz innerhalb der Ebene der Schicht durchdringt, der eine Hälfte der Dicke der Matrixschicht nicht überschreitet.
  • Ferner ist der oben erwähnte Anschlusskammstreifen eine flexible Leiterplatte, die aus einem Basisfilm eines Isolierharzes mit einer Strukturierung auf einer Oberfläche hergestellt wird.
  • Die oben erwähnten Kontaktierungsschuhe des Anschlusskammstreifens werden jeweils aus einem metallischen Material gebildet, das Nachgiebigkeit aufweist, wie beispielsweise Phosphorbronze und Berylliumkupfer, und das geeignet ist, nachgiebig in einer gebogener Konfiguration innerhalb des Montagesitzes gebogen zu werden.
  • Obwohl optional weist der Kontaktpunkt des Kontaktierungsschuhs des Anschlusskammstreifens eine aufgeraute Oberfläche oder geschärfte Spitzen auf, um im Stande zu sein, einen Oberflächenfilm auf der Kontaktoberfläche abzukratzen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht des erfinderischen Sockels zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen, wenn er in Teile zerlegt ist, wobei ein Halbleitergehäuse und eine Leiterplatte hinzugefügt sind.
  • 2 ist eine vertikale Querschnittsansicht des erfinderischen Sockels zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen, wenn er in Teile zerlegt ist.
  • 3 ist eine Draufsicht des Sockelkörpers.
  • 4 ist eine vergrößerte schematische Teilquerschnittsansicht des erfinderischen Sockels zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen.
  • 5 ist eine untere Teildraufsicht der Anschlusskammleiste des erfinderischen Sockels zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen.
  • 6A bis 6E sind jeweils eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht des Anschlusskammstreifens einer unterschiedlichen Ausführungsform bei dem erfinderischen Sockel zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen.
  • 7 ist eine schematische Teilquerschnittsansicht der elastischen Verbinderschicht in dem erfinderischen Sockel zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen.
  • 8A bis 8C sind jeweils eine schematische Teilquerschnittsansicht der elastischen Anschlussschicht einer unterschiedlichen Ausführungsform bei dem erfinderischen Sockel zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen.
  • 9 ist eine vergrößerte schematische Teilquerschnittsansicht einer modifizierten Ausführungsform des erfinderischen Sockels zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Wie es oben beschrieben ist, umfasst der von der Erfindung bereitgestellte Sockel zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen als die wesentlichen Teile einen Sockelkörper als das Element (a), einen Anschlusskammstreifen als das Element (b) und eine elastische Anschlussschicht als das Element (c), das zwischen den Elementen (a) und (b) liegt. Der erfinderische Sockel ist zur Prüfung verschiedener Arten von Halbleitergehäusen, wie beispielsweise insbesondere QFPs, SOPs, PLCCs und LCCs geeignet, die Anschlüsse oder Elektrodenklemmen an den Seitenoberflächen des Vorrichtungskörpers aufweisen.
  • In dem Folgenden wird jedes Element des erfinderischen Sockels ausführlich mit Bezug auf die begleitende Zeichnung, wo es notwendig ist, beschrieben.
  • Der Sockelkörper 30 dient dazu, eine Halbleitervorrichtung mit genauer Positionierung anzubringen, und wird durch wiederholtes Anbringen und Entfernen von Halbleitervorrichtungen 10 so oft benutzt, dass der Sockelkörper 30 eine hohe Haltbarkeit sowohl in dem Material als auch in der Ausgestaltung aufweisen sollte. Der Sockelkörper 30 ist aus einem synthetischen Harz mit einer guten Oberflächenlubrizität gebildet und im Stande, harten Arbeitsumgebungsbedingungen innerhalb eines Temperaturbereichs von –60 bis +150°C zu widerstehen, wie beispielsweise Epoxid-Harze, Acryl-Harze, Polyester-Harze, Polyphenylensulfid-Harze, Polyethersulfon-Harze und Polyetherimid-Harze. Der Sockelkörper kann durch Spritzgießen dieser Harze oder durch mechanische Bearbeitung eines Harz blockes geformt werden. Da der Sockelkörper 30 auf einer Leiterplatte mit genauer Positionierung angebracht wird, ist es vorzuziehen, dass der Sockelkörper 30 mit einem Positionierungsmittel, wie beispielsweise Positionierstifte 33, ausgestattet wird, mittels derer der Sockelkörper 30 frei auf der Leiterplatte 20 montierbar und von dieser demontierbar ist. Der Montagesitz 31 des Sockelkörpers 30 ist eine Durchbrucharbeit oder ein Hohlraum mit einer Form und Abmessungen, um das gegossene Teil oder das Montagesubstrat des Körpers 11 des Halbleitergehäuses 10, falls notwendig, mit einem Positioniermittel für das Halbleitergehäuse zu versehen.
  • Der Sockelkörper 30 wird, falls notwendig, von einem Presselement 60 und einem Abdeckelement 70 begleitet. Das Presselement 60 umfasst eine solche Struktur, um das Halbleitergehäuse 10 oder dessen Anschlüsse in eine solche Richtung zu drücken und zwingen, um den Kontakt der Anschlüsse 12 und der Kontaktierungsschuhe 42 des Anschlusskammstreifens 40 mittels seines Körpergewichts an sich oder mittels getrennt bereitgestellte Feder- oder Kautschukelemente aufzubauen. Das Abdeckelement 70 weist eine solche Struktur auf, um schwenkbar um ein Scharnier entlang einer Seitenlinie des Sockelkörpers 30 drehbar und fest mit dem Sockelkörper 30 eingreifbar befestigt zu sein, oder, wenn das Abdeckelement 70 von dem Sockelkörper 30 trennbar ist, um mit dem Sockelkörper 30 mit Klauen fest eingreifbar zu sein. Das Abdeckelement 70 kann aus dem gleichen synthetischen Harz wie dasjenige für den Sockelkörper 30 geformt sein. Der Abdeckkörper 70 wird an dem Sockelkörper 30 mittels eines nachgiebigen Mittels, wie beispielsweise einer Feder, auf eine solche Art eingebaut, um im Stande zu sein, das Halbleitergehäuse 10 direkt hinunter zu drücken, um das Halbleitergehäuse 10 mittels einem an der unteren Oberfläche des Abdeckelements 70 gebondeten Kautschukpolsters indirekt hinunter zu drücken oder das Halbleitergehäuse von oberhalb des Abdeckelements 70 hinunter zu drücken, so dass die Anschlüsse 12 des Halbleitergehäuses 10 und die Kontaktierungsschuhe 42 der Anschlusskammleiste 40 in einen Kontaktierungszustand unter einer geeigneten Kontaktlast gebracht werden.
  • Der Anschlusskammstreifen 40 wird aus einer Basisschicht oder Platte 41 eines synthetischen Harzes gebildet, auf dessen einen Oberfläche eine Mehrzahl von Kontaktierungsschuhen 42 ausgebildet sind, um freigelegt zu sein. Die Kontaktierungsschuhe 42 werden in den Montagesitz 31 des Sockelkörpers 30 vorzugsweise in einer bogenartig gebogenen Form verlängert. Als eine besondere Ausführungsform kann der Anschlusskammstreifen 40 eine biegsame Platte mit Kontaktierungsschuhen 42 aus einem Metall mit guter elektrischer Leitfähigkeit sein, wie beispielsweise Kupfer, das einstückig auf einer Oberfläche der Basisschicht eines synthetischen Harzes strukturiert ist. Die Anschlusskammleiste 40 kann aus den gleichen synthetischen Harzen wie der Sockelkörper 30 geformt sein, da Anforderungen dafür mit denjenigen für den Sockelkörper 30 ungefähr identisch sind. Die Kontaktierungsschuhe 42 des Anschlusskammstreifens 40 weisen jeweils Abmessungen von beispielsweise einer Dicke von 0,15 mm und einer Breite von 0,2 mm auf und werden aus einem nachgiebigen metallischen Material, das für Federn geeignet ist, wie beispielsweise Phosphorbronze und Berylliumkupfer, geformt.
  • Obwohl optional wird eine elektroleitende Schicht 43 auf der Oberfläche der Basisschicht des Anschlusskammstreifens 40 entgegengesetzt zu den Kontaktierungsschuhen 42 ausgebildet, und die elektroleitende Schicht 43 wird geerdet, um eine Abschirmwirkung gegen externe elektromagnetische Wellen aufzuweisen. Ferner ist die elektroleitende Schicht 43 mit der Energiequellenleitung über einen Chipkondensator verbunden, um die Einflüsse durch die Fluktuation der Energiequellenspannung zu verringern und das Einstellen der Impedanz zu ermöglichen. Als eine besondere Ausführungsform wird die Impedanz des Anschlusskammstreifens 40 auf etwa 50 Ω bezüglich der Hochfrequenzsignale zur Prüfung eingestellt. Die Kontaktierungsschuhe 42 werden vorzugsweise mit einer Plattierungsschicht aus Gold oder Silber versehen. Beispielsweise wird eine Unterplattierungsschicht aus Nickel mit einer Dicke von 0,5 bis 3 μm zuerst auf den Kontaktierungsschuhen 42 gefolgt von einer Überplattierung aus Gold in einer Dicke von 0,05 bis 5 μm gebildet. Ferner wird die Kontaktoberfläche der Kontaktierungsschuhe 42 durch Sandstrahlen aufgeraut oder mit scharfen Vorsprüngen versehen, so dass der oxidierte Oberflächenfilm an den Anschlüssen 12 des Halbleitergehäuses 10 durch Kratzen mit diesem Oberflächenfilm-Brechmittel gebrochen werden kann.
  • Die anisotrop elektroleitende elastische Anschlussschicht 50 ist ein zusammengesetzter Körper, der aus einer Matrixschicht 51 eines polymeren Materials mit Elastizität besteht, wie beispielsweise Silikonkautschuke, elastische hitzehärtbare Harze, z. B. Epoxid-Harze, synthetische Kautschuke und thermoplastische Harze, z. B. Polyäthylen-Harze, Polyurethan-Harze, ABS-Harze und plastifizierte weiche Polyvinylchlorid-Harze und feine metallische Fasern 52, die jeweils parallel zu den anderen in der Matrixschicht 51 eingebettet sind und die die Matrixschicht 51 von einer Oberfläche zu der anderen durchdringen.
  • Die Matrixschicht 51 weist eine Dicke in dem Bereich von 0,3 bis 2,0 mm und einen Volumenwiderstand von mindestens 1012 Ω·cm auf. Der die Matrixschicht 51 des Verbinders 50 bildende elastische Polymer weist eine Härte vom Typ A in dem Bereich von 20 bis 60°H oder vorzugsweise von 30 bis 60°H auf, die in der JIS K 6301 spezifiziert ist. Der feine metallische Draht 52 weist einen Durchmesser in dem Bereich von 20 bis 90 μm oder vorzugsweise von 20 bis 70 μm auf, und das die Fasern 52 bildende metallische Material sollte einen Volumenwiderstand aufweisen, der 10–1 Ω·cm nicht übersteigt. Die Verteilungsdichte der in der Matrixschicht 51 parallel eingebetteten metallischen Fasern 52 liegt in dem Bereich von 70 bis 1000 Fasern oder vorzugsweise von 100 bis 1000 Fasern je mm2 der Oberfläche der Matrixschicht 51, die einen Abstand von 10 bis 125 μm jeweils von den benachbarten Fasern einhält. Die Endabschnitte jeder der metallischen Fasern 52 sollte aus der Oberfläche der Matrixschicht 51 um 5 bis 50 μm oder vorzugsweise um 5 bis 30 μm hervorragen. Ferner weist jedes der metallischen Fasern 52 eine Laufrichtung senkrecht zu der Oberfläche der Matrixschicht 51 auf, wobei sie jedoch mit einem Versatz x (siehe 7) innerhalb der Ebene der Schichtoberfläche geneigt sein kann, die eine Hälfte der Dicke der Matrixschicht 51 nicht überschreitet.
  • Wie es oben beschrieben ist, umfasst der erfinderische Sockel zur Prüfung von Halbleitervorrichtungen einen Sockelkörper 30 und einen Anschlusskammstreifen 40, der auf einer Leiterplatte 20 mit genauer Positionierung mittels Positionierstifte 33 und dergleichen mit einem zwischen den Kontaktierungsschuhen 42 der Anschlusskammstreifen 40 und den Elektrodenklemmen 21 liegenden anisotrop elektroleitenden elastischen Verbinderschicht 50 auf der Leiterplatte angebracht wird. Demgemäß weist der Sockel einen einfachen Aufbau auf, der aus einer kleinen Anzahl von Teilen besteht und ohne Erfordern von Löten oder anderen aufwändigen Mitteln zusammengebaut werden kann, und Durchgangslöcher oder andere Durchbrechungen müssen außerdem in der Leiterplatte 20 nicht gebildet werden, um eine große Freiheit bei der Ausgestaltung der Leiterplatte 20 zu bieten.
  • Beim Durchführen einer Prüfung eines Halbleitergehäuses 10 durch Verwenden des Sockels der Erfindung wird das Halbleitergehäuse 10 auf dem Montagesitz 31 des Sockelkörpers 30 durch genaue Positionierung angebracht, so dass die Elektrodenklemmen oder Anschlüsse 12 des Halbleitergehäuses 10 in elektrische Leitung durch Kontaktieren mit den Kontaktierungsschuhen 42 des Anschlusskammstreifens 40 gebracht werden, während die Kontaktierungsschuhe 42 elektrisch mit den Elektrodenklemmen 21 auf der Leiterplatte 20 durch die elastische Verbinderschicht 50 verbunden werden. Dass heißt, dass jede Elektrodenklemme 12 des Halbleitergehäuses 10 mit dem Kontaktierungsschuh 42 des Anschlusskammstreifens 40 mit Nachgiebigkeit in Kontakt ist, um ein bogenartiges Biegen des Kontaktierungsschuhs 42 zu verursachen, um eine elektrische Leitung zwischen den Elektrodenanschlüssen 12 des Halbleitergehäuses 10 und den Kontaktierungsschuhen 42 des Anschlusskammstreifens 40 aufzubauen, der seinerseits in elektrischer Leitung mit den metallischen Fasern 52 der Verbinderschicht 50 ist, die mit den Elektrodenklemmen 21 auf der Leiterplatte 20 in Kontakt sind. Es sei bemerkt, dass, wenn die Laufrichtung der metallischen Fasern 52 in der Matrixschicht 51 der Verbinderschicht 50 nicht senkrecht zu der Oberfläche der Schicht sondern um einen Versatz x geneigt ist, die Position der Elektrodenklemmen 12 des Halbleitergehäuses 10 und die Position der Elektrodenklemmen 21 auf der Leiterplatte 20 von den anderen um einen Abstand verschoben werden, der dem Versatz x entspricht.
  • Bei einer Ausführungsform, bei der der Anschlusskammstreifen 40 in der Form einer flexiblen Leiterplatte ist, kann der Anschlusskammstreifen 40 durch Verwenden der vielseitigen Ausgestaltungsregeln ausgestaltet werden, die für flexible Leiterplatten übernommen werden, so dass ausgezeichnete Hochfrequenzcharakteristika erzielt werden können.
  • Vorteile werden erhalten, indem die Kontaktierungsschuhe 42 der Anschlusskammstreifen 40 verwendet werden, die aus einer nachgiebigen Kupfer-basierten Legierung hergestellten sind, so dass eine sehr zuverlässige elektrische Leitung zwischen den Kontaktierungsschuhen 42 und den Anschlüssen 12 des Halbleitergehäuses 10 zusammen mit ausgezeichneter Haltbarkeit erhalten werden können.
  • Wenn jeder Kontaktierungsschuh 42 des Anschlusskammstreifens 40 an seinem Kontaktpunkt 42B mit einem oben erwähnten Oberflächenfilm-Trennmittel versehen ist, kann die elektrische Leitung zwischen den Kontaktierungsschuhen 42 und den Anschlüssen des Halbleitergehäuses 10 zuverlässiger sein, da, sogar wenn die Kontaktoberfläche der Anschlüsse 12 mit einem oxidierten Oberflächenfilm abgedeckt ist, der Oberflächenfilm wirksam zerstört oder entfernt werden kann.
  • Ferner sind die oben beschriebenen Anforderungen für die anisotrop elektroleitende elastische Verbinderschicht 50 bedeutsam, um eine zuverlässige elektrische Leitung zwischen den Elektrodenanschlüssen 12 des Halbleitergehäuses 10 und dem Anschlusskammstreifen 40 im Verhältnis zu einer angemessenen Elastizität der Schicht 50 und einer ausgezeichneten Haltbarkeit sicherzustellen. Außerdem kann ein möglicher Vorteil erhalten werden, dass, wenn zwei oder mehr Elektrodenklemmen 21 auf der Leiterplatte 20 mit einem einzigen Kontaktierungsschuh 42 des Anschlusskammstreifens mittels einer geeigneten Verbinderschicht 50 verbunden werden könnten, die Prüfung des Halbleitergehäuses 10 mit Testsignalen unterschiedlicher Betriebsarten durch unterschiedliche Sätze der Elektrodenklemmen 21 an der Leiterplatte 20 sukzessiv durchgeführt werden könnten, so dass der Wirkungsgrad des Prüfungsverfahrens sehr verbessert werden kann.
  • Im Folgenden wird der Sockel der Erfindung zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung ausführlicher insbesondere mit Bezug auf die begleitende Zeichnung beschrieben.
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht des erfinderischen Sockels, der aus einem Sockelkörper 30, einem Anschlusskammstreifen 40 und einer Verbinderschicht (in dieser Figur nicht gezeigt) besteht, wenn er in Teile zerlegt ist, wobei eine Leiterplatte 20, ein Halbleitergehäuse 10 vom QFP-Typ mit einer quadratischen Grundfläche, ein Abdeckelement 70 und ein Presselement 60, das zwischen dem Halbleitergehäuse 10 und dem Abdeckelement 70 liegt, hinzugefügt ist. Wie es üblich ist, umfasst das Halbleitergehäuse 10 einen geformten Körper 11 in der Form einer quadratischen Platte und Arrays einer Mehrzahl von Anschlüssen 12, die sich aus den vier Seitenoberflächen des geformten Körpers 11 erstrecken, wenn sie mit einem regelmäßigen Abstand angeordnet sind. Jeder dieser Anschlüsse 12 weist eine Konfiguration auf, die so etwa wie ein Bogen gebogen ist.
  • Die Leiterplatte 20 ist auf der Oberfläche mit Gruppen von Elektrodenklemmen 21 an einem regelmäßigen Abstand entlang der vier Seitenlinien des quadratischen oder rechteckigen Bereiches versehen, der dem Durchbruch 31 des Sockelkörpers 30 entspricht, um als der Montagesitz 31 zu dienen, um das Halbleitergehäuse 10 aufzunehmen. Die Leiterplatte 20 ist mit Montagelöchern 22 in der Nachbarschaft jeder der Ecken innerhalb des quadratischen oder rechteckigen Bereiches und ebenfalls mit zwei Positionierlöchern 23 in der Nähe um die Mittelpunkte der entgegengesetzten zwei Seitenlinien des oben erwähnten quadratischen oder rechteckigen Bereichs ausgestattet. Wie es später beschrieben ist, entspricht jedes dieser Montagelöcher 22 einem der Montagelöcher 32 in dem Sockelkörper 30, so dass der Sockelkörper 30 und die Leiterplatte 20 zusammen mittels Bolzen und Muttern (in der Figur nicht gezeigt) für die Sätze der Montagelöcher 22 und 32 befestigt werden können. Die Positionierlöcher 23 entsprechen den Positionierstiften 33 auf der unteren Oberfläche des Sockelkörpers 30, wobei jeder dieser in die entsprechenden Positionierlöcher 23 eingefügt wird.
  • Der Sockelkörper 30, der in einer quadratischen oder rechteckigen Form ist, wird durch Spritzgießen oder aus einem Block eines Harzes, wie beispielsweise Epoxid-Harz, Acrylharz, Polyester-Harz, Polyphenylensulfid-Harz, Polyethersulfon-Harz oder Polyetherimid-Harz durch Maschinenbearbeitung geformt. Der Sockelkörper 30 umfasst einen Durchbruch oder einen sich nach oben öffnenden Hohlraum, um als ein Montagesitz 31 für ein Halbleitergehäuse 10 zu dienen, und ist an der unteren Oberfläche mit Montagehohlräumen 39 (siehe 4) entlang der vier Seitenlinien des quadratischen oder rechteckigen Bereiches entgegengesetzt zu dem Montagesitz 31 ausgestattet. Jeder dieser Montagehohlräume 39 dient zur positionierten Montage des Anschlusskammstreifens 40 und der elastischen Verbinderschicht 50 durch Anschrauben. Der Montagesitz 31 ist ebenfalls in einer quadratischen oder rechteckigen Form, die dem geformten Körper 11 des Halbleitergehäuses 10 entspricht, der in dem Montagesitz 31 eingeführt und von diesem abmontiert werden kann. Eine Positionierbank 35 ist an jeder Ecke des Montagesitzes 31 vorgesehen, um die genaue und schnelle Montage des Halbleitergehäuses 10 an dem Montagesitz 31 zu ermöglichen, während ein verbindender Hohlraum 36 an der unteren Oberfläche der Positionierbank 35 ausgebildet ist (siehe 2).
  • Jede der Positionierbänke 35 umfasst geneigte Facetten 35A, um der Positionierbank 35 an der nächsten Ecke des Montagesitzes 31 gegenüberzuliegen, und vertikale Facetten 35B parallel zu der vertikalen Facette 35B der Positionierbank 35 an der nächsten Ecke sowie auch eine Positionierkerbe 35C mit rechtwinkeligen Draufsicht. Jede der geneigten Facetten 35A ist folglich geneigt, um die in dem Montagesitz 31 montierten Anschlüsse 12 des Halbleitergehäuses 10 auf den verbindenden Hohlraum 36 zu führen. Der Abstand zwischen zwei entgegengesetzt gegenüberliegenden vertikalen Facetten 35B an den benachbarten Ecken ist ungefähr gleich der Länge eines Arrays von Anschlüssen 12 an einer Seitenoberfläche des Halbleitergehäuses 10, um die Position der Anschlüsse 12 über dem verbindenden Hohlraum 36 zu definieren. Der Abstand zwischen dem diagonal gegenüberliegenden Positionierkerben 35C ist ungefähr gleich der diagonalen Länge des geformten Körpers 11 des Halbleitergehäuses 10, um zur Positionierung des geformten Körpers 11 zu dienen.
  • Der Sockelkörper 30 ist mit Positionierstiften 33 jeweils auf der unteren Oberfläche ausgestattet, die der Leiterplatte 20 gegenüberliegt, die an einer Position in der Nachbarschaft einer der entgegengesetzten Seitenumfänge des Körpers 30 implantiert sind, wobei eine gekerbte Ausnehmung 37 an einer der anderen Seitenoberflächen ausgebildet ist, um der Eingriffnahme zu dienen, und ein Montagedurchgangsloch 32 ist in der Nähe jeder der vier Ecken des Sockelkörpers 30 ausgebildet. Jeder der Positionierstifte 33 wird, wenn der Sockelkörper 30 auf der Leiterplatte 20 angebracht wird, in eines der Positionierlöcher 23 in der Leiterplat te 20 eingefügt und an diesem befestigt, während das Montageloch 32 in dem Sockelkörper 30 und das Montageloch 22 in der Leiterplatte 20 zusammen mit einem Bolzen durchdrungen und mittels einer Mutter befestigt werden (in den Figuren nicht gezeigt). Nach der Montage des Halbleitergehäuses 10 in dem Montagesitz 31 des Sockelkörpers 30 wird ein Presselement 60 an dem Halbleitergehäuse 10 angebracht, und außerdem wird ein Abdeckelement 70 daran angebracht, das an dem Sockelkörper 30 mittels der Eingriffnahme der Eingriffnahmeklauen 71 mit der Eingriffnahmeausnehmung 37 in dem Sockelkörper 30 befestigt wird.
  • Wie es in 4 dargestellt ist, weist der Anschlusskammstreifen 40 eine Struktur auf, bei der eine Mehrzahl von Kontaktierungsschuhen 42 an regelmäßigen Ausrichtungsintervallen auf der unteren Oberfläche eines Basisfilms 41 auf einem isolierenden Harz, wie beispielsweise Polyimid-Harze und Polyester-Harze, gebondet wird, während die obere Oberfläche des isolierenden Harzfilmes 41 mit einer elektroleitenden Schicht 43 aus beispielsweise einer Kupferfolie abgedeckt wird, die elektrisch geerdet ist. Jeder der Kontaktierungsschuhe 42 ist an dem Basisfilm 41 an dem Kontaktpunkt 42A gebondet, während das andere Ende des Kontaktierungsschuhs in einer freitragenden Art verlängert ist, um eine kammzähnenartige Anordnung zu bilden, und in einer bogenförmigen Konfiguration gebogen ist. Die elektroleitende Schicht 43 ist mit der elektrischen Energiequellenleitung über einen Chipkondensator verbunden, um die durch die Fluktuation der Quellenspannung verursachten Einflüsse zu verringern. Der Anschlusskammstreifen 40 kann durch ein bekanntes Verfahren erstellt werden, das bei der Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten herkömmlich ist, indem beispielsweise die Techniken der Strukturierung verwendet werden.
  • Der Kontaktierungsschuh 42 ist ein nachgebendes Federelement, das aus einem feinen Band mit beispielsweise 0,2 mm Breite und 0,15 mm Dicke aus einem nachgiebigen metallischen Material, wie beispielsweise Phosphorbronze und Berylliumkupfer, hergestellt ist. Der dem Kontaktpunkt 42A entgegengesetzte Endabschnitt, an dem der Kontaktierungsschuh 42 mit der unteren Oberfläche des Basisfilms 41 gebondet ist, wird über das Kontaktloch 36 auf eine elastisch biegbare Art und Weise erweitert. Wie es in 5 durch eine Draufsicht dargestellt ist, ist der Endabschnitt des Kontaktpunkts 42A jedes Kontaktierungsschuhs 42 ausgebildet, um eine kreisförmige Kontur mit einem Durchmesser aufzuweisen, der größer als die Breite des Schuhkörpers an sich ist, um eine gute Bondstärke an dem Basisfilm 41 und eine zuverlässige elektrische Verbindung sicherzustellen, während diese kreisförmige Endabschnitte des Kontaktierungsschuhs 42 in einer Zickzack- oder versetzten Anordnung mit einem Ziel angeordnet sind, einen feineren Anordnungsabstand zu ermöglichen.
  • Da das freitragend-ähnlich verlängerte Ende des Kontaktierungsschuhs 42 mit einem der Anschlüsse 12 des Halbleitergehäuses 10 kontaktiert ist, wie es in 6A gezeigt ist, ist es vorteilhaft, obwohl nicht wesentlich, eine scharfe Kontaktspitze 42B bei oder nahe dem verlängerten Ende zu bilden, die als eine Oberflächenfilm-brechende Spitze dient, um den oxidierten Oberflächenfilm auf der Oberfläche des Anschlusses 12 durch Kratzen zu brechen, um eine gute elektrische Leitung dazwischen sicherzustellen, sogar wenn die Oberfläche des Anschlusses 12 mit einem isolierenden oxidierten Film bedeckt ist. Der Kontaktierungsschuh 42 weist vorzugsweise eine derartige Nachgiebigkeit auf, dass, wenn eine Last von 30 gf an dessen Endpunkt angelegt wird, die nachgebende Verschiebung der Endspitze in dem Bereich von 0,3 bis 0,5 mm liegt.
  • 6B bis 6E sind jeweils eine Darstellung einer alternativen Ausführungsform bezüglich des Kontaktzustands zwischen dem Kontaktierungsschuh 42 und dem Anschluss 12 des Halbleitergehäuses 10. Bei der in 6B dargestellten Ausführungsform werden Nietkopf-ähnliche halbsphärische Vorsprünge 42F an der Kontaktoberfläche des Kontaktierungsschuhs 42 bereitgestellt, oder die Vorsprünge können konische oder pyramidförmige Vorsprünge 42G mit einem in 6C dargestellten scharfen Scheitelpunkt sein. Ferner kann, wie es in den 6D und 6E dargestellt ist, der Kontaktierungsschuh 42 im Anschluss 12 an den durch Schneiden geformten, scharf gekanteten Enden kontaktiert werden. Es ist natürlich wirksam, dass der Kontaktierungsschuh 42 eine Kontaktoberfläche aufweist, die durch Sandstrahlen aufgeraut ist, wobei der Kontaktierungsschuh mit dem Anschluss 12 des Halbleitergehäuses 10 kontaktiert wird.
  • Obwohl optional ist es außerdem vorteilhaft, die Kontaktierungsschuhe 42 mit einer Plattierungsschicht aus einem Edelmetall, wie beispielsweise Gold, mindes tens auf der Kontaktoberfläche mit den Anschlüssen 12 des Halbleitergehäuses 10 mit einem Ziel zu versehen, eine hohe Korrosionsbeständigkeit und einen niedrigen Kontaktwiderstand für eine zuverlässige elektrische Leitung dazwischen sicherzustellen. Die Goldplattierungsschicht mit einer Dicke von 0,03 bis 1,0 μm, z. B. 0,5 μm, wird gewöhnlicherweise auf einer Unterplattierungsschicht aus Nickel mit einer Dicke von 2 bis 6 μm, z. B. 3 μm, ausgebildet.
  • Das Folgende ist eine Beschreibung der elastischen Verbinderschicht 50, die zwischen dem Sockelkörper 30 oder dem Anschlusskammstreifen 40 und der Leiterplatte 20 anzuordnen ist. Wie es in 7 durch eine Teilquerschnittsansicht dargestellt ist, besteht die elastische Verbinderschicht 50 aus einer aus Kautschuk hergestellten isolierenden Matrixschicht 51 und einer Vielzahl von feinen Fasern 52 aus einem metallischen Material, die parallel jeweils zu den anderen in der isolierenden Matrixschicht 51 auf eine solche Art und Weise eingebettet sind, dass beide Endpunkte jeder Faser auf den jeweiligen Oberflächen der Matrixschicht 51 freigelegt sind oder aus diesen hervorstehen, so dass, wenn die Verbinderschicht 50 zwischen zwei Elektrodenklemmen unter einer moderaten Drucklast angeordnet ist, die Elektrodenklemmen elektrisch durch die leitenden Fasern 52 der Verbinderschicht 50 verbunden werden, die in der Richtung ungefähr parallel zu der Dicke der Verbinderschicht 50 laufen. Bei dem erfinderischen Sockel zur Prüfung wird die elastische Verbinderschicht 50 in den Montagehohlraum oder die Rille 39 des Sockelkörpers 30 gebracht und mittels eines Klebstoffs gebondet, so dass die Verbinderschicht 50 an einer Oberfläche mit dem Array der Kontaktpunkte 42A des Anschlusskammstreifens 40 und auf der anderen Oberfläche mit den Elektrodenklemmen 21 auf der Leiterplatte 20 kontaktiert wird.
  • Die isolierende Matrixschicht 51 der Verbinderschicht 50 weist eine Dicke von beispielsweise 0,3 bis 2,0 mm auf, und das die Matrixschicht 51 bildende kautschukartige Material sollte einen Volumenwiderstand von mindestens 1012 Ω·cm und eine Kautschukhärte von 20°H bis 60°H oder vorzugsweise 30°H bis 60°H gemäß JIS K 6301 für die Härte vom Typ A aufweisen. Das die Matrixschicht 51 bildende kautschukartige Material wird, obwohl nicht besonders einschränkend, aus Wärme-aushärtbaren kautschukartigen Polymeren, wie beispielsweise Silikon-Kautschuken, Epoxid-Kautschuk und anderen synthetischen Kautschuken und thermoplastischen Harzen mit Elastizität, wie beispielsweise Polyäthylen-Harze, Polyurethan-Harze, ABS-Harze und plastifizierte Polyvinylchlorid-Harze ausgewählt, von denen Silizium-Kautschuke hinsichtlich ihrer hohen Dauerhaftigkeit, nachteiligen Umgebungsbedingungen zu widerstehen, und hoher Wärmebeständigkeit sowie auch ausgezeichneten elektrischen Eigenschaften bevorzugt sind.
  • Die metallischen feinen Fasern 52 sollten einen Durchmesser in dem Bereich von 20 bis 90 μm oder vorzugsweise von 20 bis 70 μm aufweisen und aus einem metallischen Material mit einem Volumenwiderstand, der 0,1 Ω·cm nicht überschreitet, wie beispielsweise reinem Gold, Gold-basierten Legierungen, Lötlegierungen, Kupfer und Kupfer-basierten Legierungen, die, wenn gewünscht, eine Plattierungsschicht aus Gold aufweisen, oder einer Lötlegierung hergestellt sein. Die einbettende Dichte der metallischen Fasern 52 in der isolierenden Matrixschicht 51 ist gewöhnlich in dem Bereich von 70 bis 1000 Fasern pro mm2, oder vorzugsweise von 70 bis 1000 Fasern pro mm2, wobei jede Faser einen Abstand von 10 bis 125 μm oder vorzugsweise von 50 bis 100 μm von den benachbarten behält. Die Laufrichtung jeder metallischen Faser 52 ist grundsätzlich senkrecht zu der Oberflächenebene der Matrixschicht 51, wobei sie jedoch mit einem derartigen Winkel geneigt sein kann, wie es in 7 gezeigt ist, so dass der Versatzwert x zwischen den beiden Endpunkten der Faser 52 innerhalb der Ebene der Oberfläche der Matrixschicht 51 eine Hälfte der Dicke der Matrixschicht 51 nicht überschreitet.
  • 8A, 8B und 8C sind jeweils eine Darstellung einer unterschiedlichen Ausführungsform der Verbinderschicht 50 bezüglich der Modifikation der Endpunkte der metallischen Faser 52 durch eine vertikale Querschnittsansicht. 8A stellt eine Ausführung dar, bei der der Endabschnitt der Faser 52 wie gebogen geschnitten wird, um ein scharfes abgeschnittenes Ende 52A zu bilden, das eine Wirkung aufweist, den oxidierten Oberflächenfilm an den Elektrodenklemmen zu brechen, mit denen der Endpunkt 52A in Kontakt gebracht wird, um eine zuverlässige elektrische Verbindung dazwischen sicherzustellen.
  • Bei der in 8B dargestellten Ausführungsform ist der Endabschnitt der Faser 52 in einer Konfiguration eines Kugelpunktes 52B geformt, der einen Durchmesser aufweist, der größer als der Durchmesser der Faser 52 an sich ist, während bei der in 8C dargestellten Ausführungsform ein halbsphärischer Hügel 52C an der Endoberfläche der Faser 52 durch die Techniken der Goldplattierung aufgebaut wird. Die in den 8A bis 8C dargestellten Verbinderschichten 50 sind mit Bezug auf die verbesserte Zuverlässigkeit der zwischen der Oberfläche der Elektrodenklemmen und der metallischen Faser 52 einzurichtenden elektrischen Verbindung vorteilhaft.
  • Das Druckelement 60 (siehe 1) besteht aus einer quadratischen oder rechtwinkligen starren Platte 61, die auf der unteren Oberfläche vorgesehen ist, um dem Halbleitergehäuse 10 gegenüberzuliegen, wobei vier Druckstäbe 62 jeweils entlang einer der Seitenlinien der Platte 61 an einer Position sind, um einem der Arrays der Anschlüsse 12 des Halbleitergehäuses 10 zu entsprechen. Die Platte 61 und die Druckstäbe 62 können einstückig durch Formen des gleichen synthetischen Harzes wie der Sockelkörper 30 geformt sein. Das Druckelement 60 wird an dem Halbleitergehäuse 10 in dem Montagesitz 31 des Sockelkörpers 30 auf eine solche Art und Weise angebracht, dass jeder der vier Druckstäbe 62 mit einem der Arrays der Anschlüsse 12 kontaktiert wird, um die Anschlüsse 12 gegen die Kontaktierungsschuhe 42 des Anschlusskammstreifens 40 runterzudrücken. Die Pressplatte 61 ist mit Führungslöchern 63 versehen, die, wenn das Abdeckelement 70 auf dem Druckelement 60 angebracht ist, die Führungsstifte 73 des dahinein eingefügten Abdeckelements 70 auf eine frei verschiebbare Art und Weise führen.
  • Das Abdeckelement 70 ist ebenfalls in der Form einer quadratischen oder rechtwinkligen Platte und ist mit zwei Eingriffklauen 71 an den entgegengesetzten Seiten der Platte ausgestattet. Die Eingriffklaue 71 wird schwenkbar bei ungefähr der mittleren Höhe mittels tragender Stifte (in der Figur nicht gezeigt) in der gekerbten Ausnehmung an der Seitenoberfläche der quadratischen oder rechtwinkligen Platte auf eine frei drehbare Art und Weise getragen. Die Eingriffklaue 71 weist eine nach innen hervorstehende Klauenkante 71A entlang der unteren Endlinie auf, und wenn das Abdeckelement 70 an dem Sockelkörper 30 angebracht ist, wobei das Halbleitergehäuse 10 und das Druckelement 60 dazwischen angeordnet sind, kommt die Klauenkante 71A mit der gekerbten Ausnehmung 37 des Sockelkörpers 30 in Eingriff, wenn sie gegen den Sockelkörper 30 mittels einer Torsionsfeder (in der Figur nicht gezeigt) gedrängt wird, die um einen der tragenden Stifte vorgesehen ist, so dass das Abdeckelement 70 und der Sockelkörper 30 zusammen befestigt werden, wobei das Halbleitergehäuse 10 und das Druckelement 60 unter einer angemessenen Drucklast gehalten werden. Die Eingriffklaue 71 ist entlang des oberen Umfangs mit einer hervorstehenden Rippe 71B versehen, die als ein Gleitschutzelement dient, um eine Fingerhandhabung zur Außereingriffnahme zu ermöglichen.
  • Das Abdeckelement 70 ist ferner mit vier Federstiften 72 versehen, die jeweils die Platte durch Schrauben in eine Öffnung auf einer solchen Art und Weise durchdringen, dass die Länge des Vorsprungs aus der unteren Oberfläche der Platte einstellbar ist. Zwei Führungsstifte 73 werden implantiert, um aus der unteren Oberfläche der Platte jeweils entlang einer der entgegengesetzten Seitenlinien der Platte an einer Position hervorzustehen, die der Führungsöffnung 63 in dem Druckelement 60 entspricht.
  • Der Federstift 73 weist einen Aufbau auf, der aus einem Schalenkörper mit einer hexagonalen Öffnung, um in die Platte des Abdeckelements 70 durch Schrauben hinein geschoben zu werden, und aus einem in dem Schalenkörper eingeschlossenen Kolben, der mittels einer Feder nach unten gedrängt wird, besteht. Wenn das Abdeckelement 70 an dem Druckelement 60 angebracht wird, kommen die aus der unteren Oberfläche des Abdeckelements 70 hervorstehenden Kolben mit der oberen Oberfläche des Druckelements 60 in Kontakt, während der Kontaktdruck dazwischen durch Drehen des Schalenkörpers mittels eines geeigneten Werkzeugs, wie beispielsweise einem Schlüssel, angemessen gesteuert werden kann.
  • Die Führungsstifte 73 werden vorzugsweise aus einem metallischen Material hergestellt. Wenn sie aus der unteren Oberfläche des Abdeckelements 70 an symmetrischen Positionen hervorragen, die den Führungslöchern 63 in dem Druckelement 60 entsprechen, dringt jede der Führungsstifte 73 in das Führungsloch 63 ein, wenn das Abdeckelement 70 an dem Druckelement 60 angebracht wird, um eine genaue Aufwärts- und Abwärtsbewebung des Druckelements 60 sicherzustellen.
  • Nebenbei bemerkt ist das Abdeckelement 70 kein wesentliches Teil des erfinderischen Sockels zur Prüfung von Halbleitergehäusen, vorausgesetzt, dass eine geeignete Kontaktlast zwischen den Anschlüssen 12 des Halbleitergehäuses 10 und den Kontaktierungsschuhen 42 des Anschlusskammstreifens 40 gewährleistet werden kann. Das heißt, dass ein guter Kontaktzustand mit ungefähr 30 gf der Kontaktlast pro Einzelpaar einer der Anschlüsse 12 und einer der Kontaktierungsschuhe 42 erhalten werden kann, so dass eine ausreichende Kontaktlast erhalten werden kann, indem beispielsweise das Körpergewicht des Druckelements 60 ausreichend ausgewählt wird, um ein Weglassen des Abdeckelements 70 zu ermöglichen.
  • Bei der Montage des erfinderischen Sockels auf der Leiterplatte 20 wird zuerst der Anschlusskammstreifen 40 an dem Sockelkörper 30 mit genauer Positionierung zusammen mit der Montage der elastischen Verbindungsschicht 50 angebracht. Das heißt, der Anschlusskammstreifen 40 wird angebracht, so dass sich die Kontaktierungsschuhe 42 über die Kontaktöffnung 36 des Sockelkörpers 30 erstrecken. Die Kontaktpunkte 42A der Kontaktierungsschuhe 42 werden mit einer Oberfläche der elastischen Verbinderschicht 50 in Kontakt gebracht. Als nächstes werden die Positionierstifte 33 des Sockelkörpers 30 in die jeweiligen Positionierlöcher 22 der Leiterplatte 20 eingeführt, und der Sockelkörper 30 und die Leiterplatte 20 werden mittels Bolzen zusammen befestigt, die jeweils das Montageloch 32 des Sockelköpers 30 und das Montageloch 22 der Leiterplatte 20 durchdringen. Somit kann der Zusammenbau des Sockelkörpers 30 und der Leiterplatte 20 absolut ohne Löten durchgeführt werden. Ferner können der Anschlusskammstreifen 40 und die elastische Verbinderschicht 50, wenn sie sich verschlechtern oder beschädigt werden, ohne weiteres von der Leiterplatte 20 abmontiert werden, ohne jegliche Verschmutzung durch Löten zurückzulassen, so dass die Leiterplatte 20 wiederholt verwendet werden kann.
  • Der Einbrenntest eines Halbleitergehäuses 10 kann mit dem erfinderischen Sockel sehr zweckmäßig durch Montage des Halbleitergehäuses 10 in dem Montagesitz 31 des Sockelkörpers 30 durchgeführt werden, der an der Position mittels des Druckelements 60 und des daran angebrachten Abdeckelements 70 gesichert und zusammen befestigt werden kann, um eine geeignete Kontaktlast von etwa 30 g zwischen einem Paar einer der Anschlüsse 12 und einem der Kontaktierungsschuhe 42 sicherzustellen, um folglich eine zuverlässige elektrische Verbindung zwischen den Anschlüssen 12 des Halbleitergehäuses 10 und den Elektrodenklemmen 21 an der Leiterplatte 20 aufzubauen.
  • 9 ist zur Darstellung einer modifizierten Ausführungsform des erfinderischen Sockels, wenn er auf einer Leiterplatte 20 angebracht ist, durch eine teilweise vergrößerte vertikale Querschnittsansicht. Bei dieser Ausführungsform ist die Leiterplatte 20 mit zwei Sätzen von Elektrodenklemmen 21A und 21B versehen, von denen jeder Satz für einen von dem anderen Satz unterschiedlichen Prüfmodus dient, und eine des ersten Satzes 21A von Klemmen und eine des zweiten Satzes 21B von Klemmen werden gleichzeitig mit einem einzigen Kontaktierungsschuh 42 mittels einer dazwischen liegenden elastischen Verbinderschicht 50 kontaktiert, so dass das Halbleitergehäuse Prüfungstests von zwei unterschiedlicher Testmodi durch Umschalten des arbeitenden Satzes der Anschlüsse von 21A auf 21B unterzogen werden kann.

Claims (5)

  1. Sockel zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung mit Anschlüssen an der äußeren Oberfläche des Körpers der Vorrichtung durch elektrisches Verbinden der Anschlüsse mit den Elektrodenklemmen einer Leiterplatte zur Prüfung, der umfasst: (a) einen Sockelkörper (30), der an der Leiterplatte (20) durch Positionieren in einer frei abnehmbaren Art und Weise anbringbar ist, mit einem Montagesitz für den Körper der Halbleitervorrichtung, (b) einen Anschlusskammstreifen (40), der zwischen dem Sockelkörper und der Leiterplatte liegt ist, mit Kontaktierungsschuhen (42), die sich aus der der Leiterplatte gegenüberliegenden Oberfläche in den Montagesitz des Sockelkörpers erstrecken, wobei die Kontaktierungsschuhe mit den Anschlüssen (12) der Halbleitervorrichtung in Kontakt gebracht werden, wenn die Halbleitervorrichtung (10) auf dem Montagesitz angebracht wird; und (c) einer anisotropisch elektrisch leitenden, elastischen Anschlussschicht (50), die zwischen dem Anschlusskammstreifen und der Leiterplatte angeordnet ist, um mit den Elektrodenklemmen (21) der Leiterplatte an einer Oberfläche und mit den Kontaktierungspunkten (42A) der Kontaktierungsschuhe des Anschlusskammstreifens an der anderen Oberfläche in elektrisch leitendem Kontakt zu sein.
  2. Sockel zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung gemäß Anspruch 1, bei dem die anisotropisch elektrische leitende, elastische Anschlussschicht ein Schichtelement ist, das aus einer Matrix eines elektrisch isolierenden, gummiartigen Elastomers und einer Vielfachheit von elektrisch leitenden filamentartigen Körper ist, die parallel zueinander in der Matrixschicht sind und diese von einer Oberfläche zu der anderen durchdringen.
  3. Sockel zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung gemäß Anspruch 2, bei dem der die Matrix bildende, elektrisch isolierende gummiartige Elastomer der anisotropisch elektrisch leitenden, elastischen Anschlussschicht eine Härte vom Typ A, die in JIS K 6301 spezifiziert ist, in dem Bereich von 20°H bis 60°H aufweist.
  4. Sockel zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung gemäß Anspruch 1, bei dem der Kontaktierungspunkt (42B) des sich erstreckenden Endes des Kontaktierungsschuhs des Anschlusskammstreifens eine aufgeraute Oberfläche oder eine geschärfte Spitze aufweist, um im Stande zu sein, den Oberflächenfilm auf der Oberfläche des damit kontaktierten Anschlusses (12) abzukratzen.
  5. Sockel zur Prüfung einer Halbleitervorrichtung gemäß Anspruch 1, der ferner ein Presselement aufweist, das an dem Sockelkörper anbringbar ist, um den Anschlüssen der in dem Montagesitz des Sockelkörpers angebrachten Halbleitervorrichtung eine Kontaktlast gegen die Kontaktierungsschuhe des
DE69727945T 1997-12-10 1997-12-10 Testhalter für eine Halbleitervorrichtung Expired - Lifetime DE69727945T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP97121732A EP0922964B1 (de) 1996-07-02 1997-12-10 Testhalter für eine Halbleitervorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69727945D1 DE69727945D1 (de) 2004-04-08
DE69727945T2 true DE69727945T2 (de) 2005-01-05

Family

ID=31985199

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69727945T Expired - Lifetime DE69727945T2 (de) 1997-12-10 1997-12-10 Testhalter für eine Halbleitervorrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE69727945T2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010011854A1 (de) * 2010-03-18 2011-09-22 Epcos Ag Messkopf für eine verbesserte Kontaktierung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010011854A1 (de) * 2010-03-18 2011-09-22 Epcos Ag Messkopf für eine verbesserte Kontaktierung
DE102010011854B4 (de) * 2010-03-18 2018-11-15 Epcos Ag Messkopf für eine verbesserte Kontaktierung

Also Published As

Publication number Publication date
DE69727945D1 (de) 2004-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69918797T2 (de) Zwischenstück aus leitfähigem elastomerischen Material
DE69019924T2 (de) Flachkabelstecker.
US5975915A (en) Socket for inspection of semiconductor device
DE69122301T2 (de) Verbinder, Leiterplattenkontaktelement und Rückhalteteil
DE69423854T2 (de) Leiterplattenverbinder
DE69331346T2 (de) Verbinder hoher Packungsdichte
DE69427235T2 (de) Rechtwinkliger elektrischer verbinder und einsetzwerkzeug
DE3850167T2 (de) Elektrische Verbinderklemme für biegsame gedruckte Leiterplatte.
DE4413064C2 (de) Elektrischer Verbinder
DE60218961T2 (de) Einpress-Sammelschiene für Leistungsversorgung
DE69423360T2 (de) Verbindungsvorrichtung zur elektrischen verbindung zwischen leiterplattenähnlichen elementen
DE19539176A1 (de) Sockelvorrichtung für eine kleine Lampe für eine Schalttafel oder Leiterplatte
DE19709911B4 (de) Verfahren zum Ultraschallbonden eines Leiters eines Anschlußrahmens und Anschlußrahmenklemme zum Klemmen eines Anschlußrahmens beim Bonden
DE102011050921A1 (de) Schneidklemmverbinder (LSA-Verbinder)
DE68911271T2 (de) Elektrische Verbindereinheit.
DE69423912T2 (de) Stecker für elektronische einheit mit hoher dichte
DE2230337A1 (de) Elektrische verbinderanordnung
DE10392500B4 (de) Lottragendes Bauteil und Verfahren zum Halten einer Lotmasse darauf
DE60017695T2 (de) Elektrischer Verbinderanschlusskasten
DE69224473T2 (de) IC Testklemme mit federnden Kontakten
DE19918396C2 (de) Verbinderanordnung für eine Leiterplatte
DE60224860T2 (de) Klemmenblock und Kabelverbinder
EP0150327A1 (de) Kontaktiervorrichtung
DE102004028067A1 (de) Verfahren zum Anbringen einer Steckverbindung auf einem Substrat und Steckverbindung aufgebracht nach dem Verfahren
DE69727945T2 (de) Testhalter für eine Halbleitervorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition