DE69727301T2 - Driftzelle - Google Patents

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    • G01N27/62Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft Driftkammern oder Driftröhren zur Verwendung zum Beispiel in Ionenbeweglichkeitsspektrometern.
  • Solche Driftkammern bestehen konventionell aus einer geradlinigen Anordnung von leitenden Elektroden, die verschiedene Formen annehmen können, elektrisch voneinander isoliert sind und auf verschiedenen geeigneten elektrischen Potentialen gehalten werden, um in den Zwischenräumen zwischen ihnen passende elektrische Felder zu erzeugen, üblicherweise entlang der Achse der Röhre.
  • Die Elektrodenanordnung ist normalerweise in einer zylindrischen gasdichten Kammer eingeschlossen, die mit Öffnungen ausgestattet ist, durch die Probendämpfe oder -gase und umlaufendes Trägergas eingeleitet werden können.
  • Ionenbeweglichkeitsspektrometer kann man verwenden, um das Vorhandensein von Gasen oder Dämpfen, die von interessierenden Stoffen wie z. B. Sprengstoffen, Drogen und organischen Schadstoffen verschiedener Arten herrühren, in einer umgebenden Atmosphäre nachzuweisen.
  • Ein Ionenbeweglichkeitsspektrometer (IMS) enthält typischerweise eine Ionisationsquelle, einen Reaktionsbereich, eine Driftröhre, ein Strahlsperr- oder Injektionsgitter zwischen dem Reaktionsbereich und dem Driftraum und einen Ionendetektor, der mit einer Kollektorelektrode innerhalb der Driftkammer verbunden ist.
  • Die Arbeitsweise von Ionenbeweglichkeitsspektrometern ist bekannt. Kurz gesagt wird ein Trägergas, typischerweise Luft, zusammen mit dem Probengas oder -dampf in das Spektrometer eingeleitet und über einen Einlass in den Reaktionsbereich eingespeist, der eine Ionisationsquelle wie z. B. ein Nickel-63- oder ein Korona-Ionisationselement enthält, mit der Folge von teilweiser Ionisation der Moleküle des Trägergases und der Probe. Durch Stoß von Trägergasmolekülen auf Probenmoleküle kann auch zusätzliche Ladung übertragen werden.
  • Innerhalb des Reaktionsbereichs besteht üblicherweise ein Potentialgefälle, das die geladene Mischung aus Proben- und Trägermolekülen in Richtung auf das Injektionsgitter bewegt. Das Gitter wird auf einem solchen Potential gehalten, dass die Übertragung der geladenen Mischung in die Driftkammer gesperrt wird, außer wenn das Potential periodisch vermindert wird, wodurch ein Packet oder "Puls" aus Ionen in die Driftkammer eintreten gelassen wird.
  • Innerhalb der Driftkammer bewegt ein ungefähr konstantes Potentialgefälle, das als Folge der an die aufeinander folgenden Elektroden der Elektrodenanordnung angelegten Potentiale entsteht, die injizierten Ionen in Richtung auf eine Kollektorelektrode, die sich am vom Reaktionsbereich entfernten Ende der Driftkammer befindet, wo die Ionenladungen gesammelt werden.
  • Die Ankunftszeit der Ionen in Bezug auf die Öffnung des Injektionsgitters hängt von der Beweglichkeit der Ionen ab, wobei leichte Ionen die Kollektorelektrode früher als schwerere Ionen erreichen. Die Identität der Ionen und daher der Ursprungsmoleküle und der Substanzen kann anhand der Flugzeit innerhalb der Driftkammer festgestellt werden, und die relative Konzentration der Ionen und daher der Moleküle und der Substanzen anhand der Stärke der jeweiligen Kollektorströme. Die Öffnung des Injektionsgitters wird üblicherweise periodisch gemacht, um das Signal-Rausch-Verhältnis des Systems zu erhöhen oder um eine fortlaufende Reihe von Messungen durchzuführen.
  • Zur Realisierung einer IMS-Driftkammer müssen die verschiedenen Elektroden in ihren korrekten Relativpositionen gestützt, voneinander isoliert und mit den passenden Spannungen versorgt werden.
  • Die EP 0 253 155 beschreibt ein Beispiel für ein Ionenbeweglichkeitsspektrometer. Sie spricht aber nicht das Problem an, wie die verschiedenen Elektroden in ihren korrekten Relativpositionen zu montieren sind.
  • Früher hat man verschiedene unterschiedliche Konstruktionsverfahren eingeführt. Viele beinhalteten jedoch einen "Stapel" von ringförmigen, durch Isolatoren getrennten Metallelektroden. So ein "Stapel" kann auf zwei oder mehr Säulen aufgereiht werden, oder in manchen Fällen können die Isolatoren gestaltet werden, die Elektroden zu fixieren, und kann der ganze Stapel unter axialen Druck gesetzt werden.
  • Die in so einem Stapel enthaltene Zelle kann durch ihre Konstruktion selbst hermetisch von der umgebenden Atmosphäre abgedichtet werden, z. B. durch Verwendung von kompressiblen Isolatoren zwischen den Elektroden.
  • Im Allgemeinen muss jede Elektrode auf einem eindeutigen elektrischen Potential gehalten werden; in manchen Fällen wird dieses Potential zeitlich veränderlich sein, um eine Strahlsperrfunktion zu erzeugen. Am Günstigsten ist es, wenn jede Elektrode mit ihrer eigenen Verbindung zu einer Schaltung außerhalb der Kapselung versehen wird, dies beinhaltet jedoch üblicherweise zahlreiche gasdichte Durchführungen für die Driftkammer, von denen mindestens einige auf hohem Potential arbeiten müssen.
  • Ionenbeweglichkeitsspektrometer mit Driftröhren wie oben beschrieben sind tendenziell relativ kostspielig aufzubauen, wegen der Notwendigkeit für präzisionsbearbeitete Bauteile, der damit verbundenen komplizierten Montagetätigkeiten und der Vielfalt von elektrischen Verbindungen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine zur Verwendung in einem Ionenbeweglichkeitsspektrometer geeignete Driftkammer bereitgestellt, die eine Einhüllung und eine Vielzahl von elektrisch leitenden Elektroden aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Einhüllung ein im wesentlichen ebenes elektrisch isolierendes Substrat enthält, auf das die Vielzahl von elektrisch leitenden Elektroden aufrecht auf der Oberfläche des Substrats und entlang der Achse der Driftkammer montiert sind.
  • Die Verwendung eines ebenen Substrats hat mehrere Vorteile. Erstens wird die Herstellung im Verhältnis zu der oben beschriebenen früheren Driftröhre vereinfacht, was die Kosten senkt, wenn die getrennten isolierenden Stäbe sorgfältig zwischen den Elektroden angeordnet und dann durch Druck an Ort und Stelle gehalten werden müssen. Zweitens ermög licht es das ebene Substrat, eine im Verhältnis zu früheren Kammern wesentlich kleinere, flachere Driftkammer herzustellen, was wiederum eine Miniaturisierung des IMS erlaubt. Dies liegt daran, dass die Abmessungen der Einhüllung senkrecht zur Ebene des Substrats kleiner sein können als die Abmessungen der Einhüllung parallel zur Ebene des Substrats.
  • Vorzugsweise ist die Einhüllung allgemein rechtwinklig, obwohl auch ein abgestumpfter Zylinder ins Auge gefasst werden kann, dessen Durchmesser größer ist als die Höhe des Zylinders.
  • Vorzugsweise bildet das Substrat eine Wand der Einhüllung. Auch dies erlaubt eine Miniaturisierung der Driftkammer, da die Durchführungen von den Elektroden zum Beispiel zu elektronischen Zusatzbauteilen zur Erzeugung von geeigneten Elektrodenpotentialen durch das Substrat selbst hindurchgehen können.
  • Früher bestand die Driftkammer aus einer Anordnung von Elektroden innerhalb einer vollständig getrennten Einhüllung, und zusätzlich waren getrennte Öffnungen innerhalb der Einhüllung dafür notwendig.
  • Die Elektroden können mittels integraler Beine oder Stifte auf dem isolierenden Substrat montiert werden, die in leitenden Öffnungen in dem isolierenden Substrat positioniert und, zum Beispiel durch Weichlöten oder Hartlöten, mechanisch daran befestigt und elektrisch damit verbunden werden können, zum Beispiel in durchkontaktierten Löcher in einer doppelseitigen Leiterplatte wie z. B. einer doppelseitig kupferkaschierten Leiterplatte aus glasverstärktem Harz, wobei die montierten Elektroden aufrecht auf der Oberfläche der Leiterplatte stehen und durch einen Zwischenraum voneinander isoliert sind.
  • Natürlich muss das ebene Substrat keine unitäre Konstruktion haben. Eine günstige Substratform ist jedoch eine Leiterplatte.
  • In der bevorzugten Ausgestaltung sind daher gasdichte Durchführungen von den Elektroden zu Zusatzelektronik günstig und werden preiswert durch Löcher in der Leiterplatte geschaffen, in die die Stifte an den Elektroden gelötet werden können. Mit anderen Worten, wenn die Stifte oder Beine in den Öffnungen darin befestigt werden, gibt es eine gasdichte Verbindung zwischen der einen Seite des Substrats, auf der die Elektroden montiert sind, und der anderen Seite.
  • Weiterhin können die Relativpositionen der Elektroden durch die Orte der leitenden Öffnungen, in denen die Beine oder Stifte angeordnet und befestigt werden, genau definiert sein. Die elektrisch leitenden Metallaugen um die Öffnungen herum können durch Bereiche, aus denen das leitende Material entfernt wurde, von den umgebenden leitenden Bereichen auf dem Substrat elektrisch isoliert sein.
  • Die mit den Beinen oder Stiften der Elektroden verbundenen Lötaugen auf der anderen Seite des Substrats können mit Hilfselektronik verbunden sein, wie z. B. Vorspannungsquellen für die Elektroden, oder zum Beispiel mit spannungsdefinierenden Bauteilen wie z. B. quer über eine Vorspannungsquelle verbundenen Elementen einer Widerstandskette, welche Elemente in Form von konventionellen oder oberflächenmontierten Bauteilen auf dem Substrat montiert werden können.
  • Vorzugsweise besteht die Einhüllung aus einem leitenden Material oder enthält ein solches. In einer Form ist die Einhüllung Blech. Verwendung eines leitenden Materials ermöglicht Abschirmung der empfindlichen Elektronik, die zu der Kollektorelektrode gehört.
  • Die Einhüllung selbst kann mittels Stiften oder Beinen, die in Öffnungen in dem Substrat eingreifen, zum Beispiel in durchkontaktierte Löcher, auf dem Substrat angeordnet werden, um die aufrechten Elektroden einzuhüllen.
  • Die notwendige Abdichtung der Einhüllung zum Substrat kann durch Löten der Ränder des Blechs, aus dem die Einhüllung optional ausgebildet ist, an entsprechende leitende Flächen auf dem Substrat oder alternativ mittels eines geeigneten Dichtmittels bewirkt werden.
  • Gaseintritt – Träger- und Probenflüsse – in die abgedichtete Umhüllung kann durch Öffnungen in der Einhüllung oder durch Öffnungen in dem Substrat ermöglicht werden.
  • Die Verwendung so einer Konstruktion ermöglicht eine leichte Herstellung einer kostengünstigen, leichten Driftkammer für ein Ionenbeweglichkeitsspektrometer unter Verwendung von konventionellen Herstellungstechniken für elektronische Schaltungen, wobei so eine Driftkammer immanent für physische Integration mit der für ihren Betrieb nötigen elektronischen Schaltung geeignet ist. Außerdem können die Elektroden unter Verwendung von Fotolithografietechniken leicht und relativ preiswert in der Ebene ausgebildet und dann in die benötigte Form gebogen werden. Auf solche Weise ausgebildete Elektroden sind immanent zum Löten auf Leiterplatten geeignet.
  • Zum Beispiel können die Elektroden, die die Driftkammer gemäß der vorliegenden Erfindung ausbilden, relativ klein gemacht werden, typischerweise 15 mm × 10 mm × 5 mm. Somit kann man ein IMS konstruieren, das alle Elektronik und elektrischen Bauteile enthält, die zum Betrieb nötig sind, und das wenig kleiner als ein Taschenrechner ist.
  • Die Erfindung wird nur beispielshalber unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen:
  • 1a, 1b und 1c die Draufsicht, Seitenansicht bzw. Stirnansicht (wobei die umgebende Einhüllung abgeschnitten ist) einer Form von Driftkammer gemäß der Erfindung zeigen, die in einem kleinen tragbaren IMS-Instrument eingebaut ist;
  • 2 die verschiedenen Elektrodenelemente zeigt, die in der Driftkammer von 1 verwendet werden;
  • 3 einen Teil einer Seite einer Leiterplatte zeigt, auf der solche Elektroden montiert werden können; und
  • 4 den entsprechenden Teil der anderen Seite der Leiterplatte von 3 zeigt.
  • Unter Bezugnahme auf 1 der Zeichnungen trägt eine doppelseitige Leiterplatte 10 eine Reihe von Metallfolien- oder Schichtelektroden unterschiedlicher Arten, die zusammen eine Driftkammer für das auf der Platte 10 getragene Ionenbeweglichkeitsspektrometer bilden.
  • Elektroden 12 sind identische felddefinierende Elektroden, Elektroden 14a und 14b bilden zusammen ein Strahlsperrgitter, und Elektroden 16a und 16b bilden zusammen Ionisierungsbereich-Elektroden für die Driftkammer.
  • Eine Elektrode 18 ist die Kollektorelektrode für die Driftkammer, montiert auf und direkt verbunden mit einem nicht gezeigten Signalverstärker, der auf einer Zusatzleiterplatte 20 getragen wird.
  • Jede Elektrode ist mechanisch durch integrale Stifte oder Beine wie z. B. 22 gestützt, die außerdem dazu dienen, eine elektrische Verbindung zwischen den Elektroden und den passenden leitenden Teilen der Leiterplatte 10 herzustellen.
  • Der gesamte Aufbau ist in einer gasdichten Blecheinhüllung 24 enthalten, die mit der Oberseite der Leiterplatte 10 versiegelt ist, indem sie entlang des Umfangs ihres unteren, offenen Endes mit einer entsprechenden Metallisierungsbahn auf der Leiterplatte 10 verlötet ist.
  • Innerhalb der Einhüllung 24 wird ein Sieb verwendet. Dieses enthält ein Trocknungsmittel zum Trocknen der durch die Driftkammer strömenden Luft. An der Einhüllung 24 kann außerdem ein Miniaturlüfter angebracht sein, um die Luft in der entgegengesetzten Richtung zu derjenigen des Elektronenflusses in der Driftkammer umzuwälzen. Im Umriss gezeigt ist außerdem die Probeneinlassöffnung 26 für das Instrument, die dazu dient, Probengase und -dämpfe in den Reaktionsbereich des Instruments zu leiten, und eine Korona-Ionisationselektrode 28. Diese kann als Teil der Einhüllung 24 ausgebildet sein.
  • Die Gestaltung der verschiedenen Driftkammerelektroden in der Ebene, bevor sie entlang der angezeigten gestrichelten Linien wie z. B. 30 gebogen werden, um ihre endgültigen dreidimensionalen Gestaltungen auszubilden, sind jeweils in 2a bis 2e gezeigt.
  • Die in 2 gezeigten Elektroden werden einschließlich aller Öffnungen, Drähte und Netze mittels eines Standard-Fotoätzprozesses in der Ebene in ihrer Gesamtheit aus 0,006 Inch (150 μm) dickem Messingblech hergestellt.
  • Die Messingelektroden sind zweckmäßig metallüberzogen. Die felddefinierenden Elektroden sind zinnüberzogen, während die Strahlsperrgitter-Elektroden 14a und 14b goldüberzogen sind, um die Wahrscheinlichkeit zu minimieren, dass sich isolierende Oberflächenschichten ausbilden und die Wirkung der Gitter aufgrund von Oberflächenladungen auf den Schichten stören.
  • 2a zeigt eine Elektrode 16a, die ein Teil der Ionisierungsbereich-Elektroden bildet, bevor es zu der endgültigen dreidimensionalen Struktur gebogen wird. Wie vorher erwähnt, wird die ebene Metallelektrode in 2a aus Messingblech geformt, das mit Fotoresist strukturiert und geätzt wird, um die gewünschte Form auszubilden. Die in 2a gezeigten gestrichelten Linien 30 sind in der Praxis Kerblinien, die durch teilweises Ätzen des Messingblechs ausgebildet werden. Die Kerblinien helfen beim Biegen der ebenen Elektrode in ihre endgültige, allgemein kastenartige Form.
  • In das Messingblech werden außerdem Löcher 31 geätzt. Diese dienen dazu, die Luftströmung durch die Driftkammer zu verbessern und die Trocknungswirkung des Siebes zu unterstützen.
  • 2b zeigt eine Elektrode 16b, die das andere Teil der Ionisierungsbereich-Elektroden bildet, wieder bevor es in seine endgültige dreidimensionale Form gebogen wird.
  • 2c zeigt in Draufsicht die Kollektorelektrode 18. Das Netz 19 schirmt die Elektrode von den induzierten Strömen ab, die durch den sich nähernden Ionenpuls erzeugt werden, und hat eine kuppelförmige Wabenform, um seine Steifigkeit zu verbessern. 2d zeigt, wieder in der Ebene, eine der felddefinierenden Elektroden 12. Wie bei den anderen Elektroden sind Löcher 31 vorgesehen, um die Luftströmung durch die Driftkammer zu verbessern.
  • 2e und 2f zeigen jeweils die zwei Teile des Strahlsperrgitters in der Ebene. Jedes enthält eine Reihe von Drähten 32, die, wie vorher beschrieben, durch Ätzen eines Messingblechs erzeugt werden.
  • Die zwei Teile 14a und 14b des Strahlsperrgitters werden mittels einer isolierenden Zwi schenschicht mechanisch zusammengebaut, aber elektrisch voneinander isoliert. Die zwei Teile sind in 2e bzw. 2f gezeigt. Jedes enthält Laschen wie z. B. 14c, die umgebogen werden, um jedes Teil an einem Zwischen-Isolator aus Melamin oder, für Anwendungen bei höherer Temperatur, aus Glimmer zu befestigen. Alternativ können die zwei Teile 14a und 14b durch eine doppelseitig klebende Zwischenschicht, an die jedes Teil kleben gelassen wird, zusammengehalten werden.
  • Die einander entgegengesetzten Ober- und Unterseiten einer doppelseitigen Leiterplatte 10, die die Driftkammer trägt, sind in 3 bzw. 4 gezeigt.
  • Unter Bezugnahme auf 3 ist eine Reihe von leitenden Flächen 42, 44, 46 und 48 auf der Oberseite 40 der Leiterplatte 10 gezeigt. Jede leitende Fläche entspricht der und bildet die untere leitende Seite 20 jeweils einer der verschiedenen Elektrodenstrukturen 12, 14,16, 18, in 1 gezeigt. Die leitenden Flächen sind mit zugehörigen angrenzenden durchkontaktierten Löchern wie z. B. 52 verbunden, in die die Stifte oder Beine wie z. B. 22 der jeweiligen Elektroden gelötet werden. Hierdurch wird eine Verbindung zwischen den leitenden Flächen und ihren jeweiligen Elektroden und, über die durchkontaktierten Löcher, mit der Schaltung auf der Unterseite 54 der Leiterplatte 10 hergestellt.
  • Die breite leitende Bahn 60 auf der Oberseite 40 der Platte 10 bildet die Oberfläche, an die der Umfang des unteren offenen Endes des Blecheinhüllung 24 gelötet wird, um die zusammengebaute Driftkammer einzuhüllen. Die Einhüllung kann mit nach unten verlaufenden Stiften zur Ortsfestlegung versehen sein, wobei solche Stifte in Löcher in der Platte 10 eingreifen, wie bei 62 in 4 gezeigt.
  • Mit den durchkontaktierten Löcher, in die die Elektroden hineingehen, verknüpft und verbünden sind eine Reihe von oberflächenmontierten Widerständen wie z. B. 64, die auf der Unterseite 54 der Platte 10 getragen werden und zusammen eine Potentialteilerkette ausbilden, um die auf der Oberseite 44 der Platte getragenen Elektroden mit passenden Potentialen aus einer quer über die Kette verbundenen Gleichspannungsquelle zu versorgen.
  • Man kann verschiedene Modifizierungen an der Konstruktion der gezeigten Driftkammer vor nehmen, die nur eine Ausführungsform einer Driftkammer und eines Ionenbeweglichkeitsspektrometer gemäß der Erfindung darstellt, ohne über den Schutzbereich der beigefügten Patentansprüche hinauszugehen.
  • Aus der Verwendung von gemäß der Erfindung konstruierten Driftkammern erwachsen zahlreiche Vorteile, einschließlich:
    niedrige Bauteilekosten aufgrund der Verwendung von etablierten Fotoätz- und Leiterplattenkonstruktionstechniken;
    niedrige Bauteilekosten aufgrund von konventioneller Bauteile-Ortsfestlegung und konventionellem Bauteile-Zusammenbau in der Elektronikindustrie;
    elektrische Durchführungen und Verbindungen automatisch bei Konstruktion und Zusammenbau hergestellt;
    Gestaltungsänderungen einfach durchzuführen; und
    die resultierende Driftkammerstruktur ist leicht und steif, was sie besonders für persönliche und tragbare IMS-Instrumente geeignet macht.
  • Ein weiterer Vorteil der relativ kleinen Abmessungen der Driftkammer ist, dass ein IMS mit zwei Driftkammern konstruiert werden kann, wobei die Gesamtabmessungen des IMS noch klein genug sind, um in der Hand oder Handfläche gehalten zu werden. Mittels zweier Driftkammern kann der IMS sowohl positiv als auch negativ geladene Ionen nachweisen, ohne irgendwelche Einstellungen an der Vorrichtung vornehmen zu müssen. Zum Beispiel kann die Steuerschaltung für den IMS (nicht gezeigt) programmiert sein, schnell zwischen den zwei Driftkammern umzuschalten, und eine Echtzeitanzeige des Vorhandenseins sowohl von positiv geladenen Ionen wie z. B. Nervenwirkstoffen als auch negativ geladenen Ionen wie z. B. den meisten Sprengstoffen und Senfgas liefern.
  • Zwar wurde eine Ausführungsform der Erfindung beschrieben, bei der die Driftkammer auf einer Leiterplatte montiert ist, man erkennt aber, dass der oben verwendete Ausdruck "Leiterplatte oder dergleichen" andere, ähnliche Formen von Schaltungsträgern wie zum Beispiel, ohne Beschränkung, keramischen oder isolierten Metallsubstraten umfasst, die leitende Strukturen tragen, die auf irgendeine bekannte Weise darauf aufgebracht sind. Ähnlich wird zwar auf "durchkontaktierte Löcher" in solchen Schaltungsträgern Bezug genommen, die leitenden Schichten in solchen Durchgangslöchern können aber auf andere Arten erzeugt werden, wie z. B. durch Metallisierung. Andere Verfahren als Löten, z. B. Hartlöten, entsprechend der Beschaffenheit des Substrats und des leitenden Materials der Leiterplatte, können ebenfalls verwendet werden, um die Stifte 22 elektrisch und mechanisch an dem leitenden Material der Durchgangslöcher in dem Schaltungsträger zu befestigen.
  • Man erkennt, dass beim Ausführen der Erfindung Konstruktionsverfahren und die dafür verwendeten Materialien so sein sollten, dass sie keine Substanzen in die fertige Driftkammer oder das Ionenbeweglichkeitsspektrometer einführen, die bewirken, dass Gase oder Dämpfe, selbst in Spurenmengen, wahrscheinlich den korrekten Betrieb des Instruments stören.

Claims (21)

  1. Driftkammer zur Verwendung in einem Ionenbeweglichkeitsspektrometer, mit einer Einhüllung (24) und einer Vielzahl von elektrisch leitenden Elektroden (12), dadurch gekennzeichnet, dass die Einhüllung ein im wesentlichen ebenes elektrisch isolierendes Substrat (10) enthält, auf das die Vielzahl von elektrisch leitenden Elektroden (12) aufrecht auf der Oberfläche des Substrats und entlang der Achse der Driftkammer montiert sind.
  2. Driftkammer wie in Anspruch 1 beansprucht, bei der mindestens einige der Elektroden (12) innerhalb der Einhüllung (12) liegen, wobei die Abmessungen der Einhüllung (24) senkrecht zu der Ebene des Substrats (10) kleiner sind als die Abmessungen der Einhüllung (24) parallel zu der Ebene des Substrats.
  3. Driftkammer wie in Anspruch 2 beansprucht, bei der die Einhüllung (24) allgemein rechtwinklig ist.
  4. Driftkammer wie in Anspruch 2 oder Anspruch 3 beansprucht, bei der das Substrat (10) eine Wand der Einhüllung (24) bildet.
  5. Driftkammer wie in einem der Ansprüche 2 bis 4 beansprucht, bei der das Substrat (10) eine gasdichte Abdichtung mit der Einhüllung (24) ausbildet.
  6. Driftkammer wie in einem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht, bei der das Substrat (10) eine Vielzahl von leitenden Öffnungen (52) enthält, die geeignet sind, die Elektroden (12) aufzunehmen.
  7. Driftkammer wie in Anspruch 6 beansprucht, bei der die Elektroden integrale Beine (52) enthalten, die geeignet sind, in die leitenden Öffnungen (52) in dem Substrat einzutreten.
  8. Driftkammer wie in Anspruch 6 oder Anspruch 7 beansprucht, bei der die Elektroden (12) mit Lot an den leitenden Öffnungen befestigt sind.
  9. Driftkammer wie in einem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht, bei der das isolierende Substrat (10) leitende Strukturen trägt.
  10. Driftkammer wie in Anspruch 9 beansprucht, bei der das isolierende Substrat (10) eine Leiterplatte (10) ist.
  11. Driftkammer wie in Anspruch 10 beansprucht, bei der die Leiterplatte (10) auf beiden Seiten bedruckt ist.
  12. Driftkammer wie in Anspruch 10 oder Anspruch 11 beansprucht, bei der die Leiterplatte (10) eine doppelseitig kupferkaschierte Leiterplatte aus glasverstärktem Harz ist.
  13. Driftkammer wie in einem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht, bei der jede der Elektroden (12) innerhalb der Einhüllung (24) auf einer ersten ebenen Seite des Substrats angeordnet ist und elektronische Bauteile auf der anderen ebenen Seite des Substrats angeordnet sind.
  14. Driftkammer wie in Anspruch 13 beansprucht, bei der die elektronischen Bauteile Vorspannungsquellen für die Elektroden umfassen.
  15. Driftkammer wie in Anspruch 13 beansprucht, bei der die elektronischen Bauteile zur Definition einer Spannung an mindestens einigen der Elektroden umfassen.
  16. Driftkammer wie in Anspruch 15 beansprucht, bei der die Bauteile zur Definition einer Spannung an mindestens einigen der Elektroden eine Widerstandskette (64) sind, die quer über eine Vorspannungsquelle verbunden ist.
  17. Driftkammer wie in einem der Ansprüche 13 bis 16 beansprucht, bei der die elektronischen Bauteile durch das Substrat (10) hindurch elektrisch mit den Elektroden verbunden sind.
  18. Driftkammer wie in einem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht, bei der die Elektroden (12) Messing sind.
  19. Driftkammer wie in Anspruch 18 beansprucht, bei der mindestens einige der Elektroden (12) mit Zinn beschichtet sind.
  20. Driftkammer wie in Anspruch 18 beansprucht, bei der die Messingelektroden (12) mit Gold beschichtet sind.
  21. Ionenbeweglichkeitsspektrometer mit einer Driftkammer wie in einem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht.
DE69727301T 1996-08-20 1997-08-20 Driftzelle Expired - Lifetime DE69727301T2 (de)

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