DE69725960T2 - Verfahren zur Herstellung flüssiger optischer Schalter - Google Patents

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Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung bezieht sich das Gebiet der optischen Schalter. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf Verfahren zum effizienten Herstellen eines Arrays von optischen Fluidschaltern.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Die Faseroptik wird bei einer breiten Vielfalt von Anwendungen verwendet. Eine Anwendung liegt in dem Bereich der Kommunikationssysteme. Bei diesen Systemen kreuzen sich Schaltpunktvernetzungen beim Verbinden von vielen Stellen miteinander. Spezifisch betrachtet werden Informationssignale, in der Form von Modulationen von lasererzeugtem Licht, über faseroptische Kabel von einer Mehrzahl von Anschlüssen empfangen und anschließend zu denselben übertragen.
  • Ein Schaltnetzwerk leitet die Informationssignale selektiv hin und weg von den Anschlüssen. Oft wandelt das Schaltnetzwerk das durch jeden übertragenden Anschluß emittierte Licht zunächst in entsprechende elektrische Signale um. Die Mehrzahl dieser elektrischen Signale werden durch eine geschaltete elektrische Schaltungsanordnung in dem Schaltnetzwerk jeweils zu ausgewählten Ausgangstoren des Schaltnetzwerkes geleitet. Die einstweilen empfangenen elektrischen Signale werden schließlich zur Übertragung durch die faseroptischen Kabel hindurch zu Endempfangsanschlüssen in entsprechendes moduliertes Licht umgewandelt. Die Umwandlung des modulierten Lichts in elektrische Signale und anschließend zurück in modulierte Lichtenergie, zusammen mit der rekonfigurierbaren elektrischen Schaltschaltungsanordnung, erfordert die Verwendung teurer Komponenten und/oder schränkt die potentielle Bandbreite des Datenkommunikationssystems ein.
  • Vollständig optische Schalter ohne zwischenzeitliches elektrisches Signal werden immer häufiger mechanisch hergestellt. Fasern oder Spiegel werden mechanisch zwischen Stellen bewegt, und eine Vernetzung dieser mechanischen Schalter wird verwendet, um Mehrzahlen von Anschlüssen wie oben zu verbinden. Die optomechanischen Schalter überspringen die komplexen Schritte der zwischenzeitlichen Umwandlung in elektrische Signale, doch sind die Schalter und die Rekonfigurierung der Schalterstrukturen langsamer als erwünscht. Die Kosten und optischen Verluste dieser Schalterstrukturen machen optische Fluidschalter zu einem begehrten Ziel.
  • Optische Fluidschalter verbessern die Geschwindigkeit, mit der vollständig optische Netzwerke rekonfiguriert werden können. Da diese Schalter Siedeblasen verwenden, um die Schalterpunkte EIN und AUS zu drehen, können die Rekonfigurierungszeiten ohne weiteres weniger als 1 ms betragen. Diese Schalter weisen ein Gas oder eine siedebare Flüssigkeit auf, die einen optischen Wellenleiter in einem Kanal schräg kreuzt. Bei einem Beispiel verwenden ein oder mehrere Heizerelemente den nassen/dampfförmigen/trockenen Zustand einer thermischen Tintenstrahltechnik, um eine siedebare Flüssigkeit schnell in den Kanal einzubringen bzw. schnell aus demselben herauszuextrahieren. Die siedebare Flüssigkeit weist einen Brechungsindex nahe dem des Leiters auf. In dem nassen Zustand oder „Sperrzustand" (AUS) enthält der Kanal die Flüssigkeit und fast das gesamte Licht des eingehenden Leiters durchquert die Flüssigkeit und läuft weiter entlang der „Durchgangs"-Achse des Leiters. In dem trockenen Zustand oder „Kreuzungszustand" (EIN) enthält der Kanal Gas und das Licht wird im Inneren reflektiert. Das Kreuzungslicht läuft in einem großen Winkel zu der Achse des eingehenden Lichtleiters einen zweiten „Kreuzungs"-Leiter hinunter weiter.
  • Ein Nachteil dieser vollständig optischen Schalter ist die bei ihrer Erzeugung erforderliche hohe Präzision. Die sich daraus ergebenden hohen Kosten und das technische Risiko machen diese Schalter zu problematischen Investitionen. Es wäre erwünscht, die Herstellung dieser Schalter derart zu verbessern, daß die Hochpräzisionserzeugung wegfällt.
  • Die EP 0813088 A (ein bekanntes Dokument in dem Sinne von Artikel 54(3) und (4) EPC) offenbart einen optischen Fluidschalter, der ein Wellenleitersubstrat, das ein Gitter aus optischen Fasern umfaßt, wobei die Schnittpunkte des Gitters derart geschnitten sind, daß eine Fläche hochreflektierend ist, und ein Heizersubstrat aufweist, das unter dem Wellenleitersubstrat positioniert ist und einen Heizer mit kleinen Gräben auf gegenüberliegenden Seiten und einem weiteren Graben aufweist, so daß ein Reservoir gebildet wird, das ein Fluid umfaßt. Der Schalter ist EIN, wenn in dem Reservoir über dem Heizer eine Blase gebildet ist, und ist AUS, wenn die Blase nicht mehr in dem Heizer ist.
  • Die vorliegende Erfindung löst die oben genannte Aufgabe durch ein Verfahren zum Erzeugen optischer Fluidschalter gemäß Anspruch 1, einen optischen Fluidschalter gemäß Anspruch 10 und einen entlüfteten optischen Fluidschalter gemäß Anspruch 12.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1AC sind Ansichten eines optischen Fluidschalters mit „residenter Blase", der eine Blase in einem gefüllten Flüssigkeitskanal erzeugt, um Licht an einem Schnittpunkt umzuleiten.
  • 2AB stellen ein alternatives Ausführungsbeispiel eines optischen Fluidschalters mit „residenter Blase" dar, bei dem die Blase in dem Flüssigkeitskanal zwei Heizer aufweist.
  • 3 ist eine Querschnittsansicht eines alternativen Fluidschalterausführungsbeispiels, bei dem eine Blase mit unsachgemäßer Größe dazu gebracht werden kann, aus dem Schalterbereich auszutreten.
  • 4 stellt den „austreibenden" Fluidschalter dar, bei dem Flüssigkeit in den Schnittpunkt eingespritzt und aus demselben ausgestoßen wird.
  • 5 stellt ein Flußdiagramm dar, welches das Verfahren der vorliegenden Erfindung beschreibt, das eine Wellenleiterplatte und eine Heizerplatte umfaßt.
  • 6AB stellen eine teilweise und eine vollständig fertiggestellte Wellenleiterplatte vor den endgültigen gewinkelten Sägeschnitten an den Kreuzungspunkten dar.
  • 7AC stellen unterschiedliche Ausführungsbeispiele der Heizerplatte dar.
  • Detaillierte Beschreibung der Zeichnungen
  • Die 1AC sind Ansichten eines Ausführungsbeispiels des optischen Fluidschalters 10 mit „residenter Blase". 1A ist eine gewinkelte Oberansicht, die in den optischen Schnittpunkt 11 hineinblickt. 1B ist eine Vorderansicht des Schnittpunkts, wohingegen 1C eine Seitenansicht ist.
  • In 1A wirkt eine eingehende Faser als ein Wellenleiter 22A. Licht wandert durch den Kern 17 des eingehenden Wellenleiters 22A und andere Faserwellenleiter. An dem optischen Schnittpunkt 11 liegt ein flacher Sägeschnitt vor, der die Kerne der eingehenden bzw. ausgehenden Wellenleiter 22A, 22C, 22D freilegt. Eine Fläche des flachen Schnitts ist hochreflektierend. Der Schnitt ist positioniert, so daß das eingehende Licht von der hochreflektierenden Fläche abreflektiert wird und entlang des Kerns des ausgehenden Wellenleiters 22B austritt, der einfach gegen die Seite der eingehenden Faser anstößt. Diese Umleitung tritt auf, weil eine Differenz der Brechungsindizes zwischen dem faseroptischen Material und dem Dampf innerhalb der Blase 18 vorliegt. Wenn das eingehende Licht den Kern 17 des Ausgangswellenleiters 22B knapp verpaßt, dann tritt in dem EIN-Zustand ein Verlust auf. Die Plazierung des Sägeschnitts bestimmt den Betrag des EIN-Verlusts in dem Fluidschalter.
  • Der oben erwähnte „Kreuzungs"-Zustand entspricht dem EIN-Zustand des Schalters 10, bei dem Licht von der eingehenden Achse zu der ausgehenden Achse umgeleitet wird. Wenn die Blase abgeschaltet ist, füllt die Indexanpassungsflüssigkeit 24 in dem Körper des Schalters den Schnittpunkt. Der „Sperr"-Zustand entspricht dem AUS-Zustand, bei dem eingehendes Licht nicht umgeleitet wird, sondern entlang der eingehenden Achse in einen Wellenleiter 22C weiter wandert. Der Lichtverlust in dem AUS-Zustand wird durch ein Ausbreiten und Streuen von Licht durch das Fluid in dem schmalen Sägeschnitt bestimmt.
  • Ein Heizer 12 ist auf einer Mesa 14 einer Heizerplatte 16 positioniert und erzeugt eine Blase 18. Die Blase 18 ist in den 1BC zu sehen und wird erzeugt, wenn dem Heizer 12 Energie zugeführt wird. Die Mesa 14 ist breit genug hergestellt, um die Breite des Sägeschnitts zu überbrücken, wobei der Heizer 12 vorzugsweise gegenüber der Mittellinie der optischen Wellenleiter 22A, 22B plaziert ist. Der Heizer 12, d. h. ein Widerstand, erzeugt genügend Wärme, so daß eine einzelne Blase über demselben gebildet wird. Die Blase 18 ist groß genug, um die reflektierende Seite ausreichend zu berühren, wenn sich der Fluidschalter in dem EIN-Zustand befindet.
  • Die 2AB stellen ein alternatives Ausführungsbeispiel für den Fluidschalter 10' mit „residenter Blase" dar. Ein erster und ein zweiter Heizer 12A, 12B sind auf der Mesa 14 positioniert. Eine Blase 18 ist an der Spiegelfläche 11 gebildet, die den eingehenden Wellenleiter 22A kreuzt. Wenn der erste Heizer 12A aktiviert wird, wird eine Blase 18 gebildet und der Schalter 10' in den EIN- oder „Kreuzungs"-Zustand versetzt. Wenn der erste Heizer 12A abgeschaltet und der zweite Heizer 12B aktiviert wird, wandert die Blase 18 von dem Schnittpunkt zu einer von der Spiegelfläche entfernten Position, derart, daß die Spiegelfläche mit Flüssigkeit 24 bedeckt ist. Die Wanderung ist entlang der Mesa (die eine Aussparung in derselben enthalten kann) umkehrbar. Der Schalter 10' wird somit in den AUS- oder „Sperr"-Zustand versetzt. Zusätzliche Wärme kann erforderlich sein, um zu verhindern, daß die Blase 18 zusammenfällt. Sie fällt sofort zusammen, wenn der Dampf sieh in der Siedephase der Flüssigkeit 24 befindet. Die Blase 18 fällt langsam zusammen, wenn der Dampf gelöstes Gas aus der Umgebung ist.
  • 3 stellt ein weiteres Ausführungsbeispiel für den Fluidschalter 10'' mit „residenter Blase" dar. Wenn eine unsachgemäß große Blase 18 den Raum über der Mesa 14 füllt, ist: der Schalterpunkt in dem „EIN"-Zustand erstarrt, weil weder der Heizer 12A noch 12B die Blase 18 von dem Schnittpunkt weg bewegen kann. Um dem abzuhelfen, ist in der Nähe der beiden Heizer 12A, 12B ein Durchgangsloch plaziert. Wenn die Blase 18 zu groß wird, werden beide Heizer 12A, 12B aktiviert und die vermehrte Wärme schiebt die Blase 18 teilweise in das Durchgangsloch hinein (wie abgebildet). An dieser Stelle ermöglichen die schrägen Seiten des Durchgangslochs, daß die Blase 18 durch Austreten aus der „Ent lüftung" ihre Oberfläche verringert. Anschließend kann eine neue, kleinere Blase erzeugt werden. Eine optionaler Reservoirkanal 26 ist abgebildet, um der Schaltregion einen Flüssigkeitsvorrat aus einer externen Quelle bereitzustellen.
  • 4 zeigt einen „austreibenden" Fluidschalter 30. Er ist in dem nassen oder AUS-Zustand mit Flüssigkeit 33 an dem Schnittpunkt 36 abgebildet. Der Raum zwischen der Wellenleiterplatte 20 und der Heizerplatte 16 ist mit einem Gas, d. h. Luft, gefüllt. Dieser Schalter verwendet weniger Flüssigkeit, die auf den Boden oder die schmalen Räume in der Anordnung beschränkt ist. Wenn eine Flüssigkeit 33 in die schmalen Räume eingespritzt wird, wie abgebildet, verbleibt sie dort, bis sie gestört wird. Ein Reservoirkanal 26 liefert eine eingehende Flüssigkeit 24 und ein optionaler Steuerschwamm 34 regelt ein Fluid aus einer externen Quelle. Der Fluidpegel wird vorzugsweise gerade über der Höhe des treibenden Heizers 32 gehalten. Der Schalter wird durch Zuführen von Energie zu dem ersten Heizer 12 an dem Schnittpunkt in den trockenen EIN- oder „Kreuzungs"-Zustand versetzt.
  • Wenn der Schnittpunkt trocken ist und der Schalter sich in dem „EIN"- oder „Kreuzungs"-Zustand befindet, dann siedet die Flüssigkeit, falls dem treibenden Heizer 32 Energie zugeführt wird. Ein Teil der Flüssigkeit wird in die Region des Schnittpunkts über der Mesa 14 getrieben. Diese getriebene Flüssigkeit 33 in dem Schnittpunkt 36 ermöglicht, daß Licht entlang der Achse der eingehenden Faser 22A weiterwandert, und der Schalter geht in den AUS- oder nassen Zustand über. Der treibende Heizer 32 kann abgestellt werden, wenn genügend Flüssigkeit 24 gesiedet wurde.
  • Beim Schalten in den EIN-Zustand wird dem Heizer 12 Energie zugeführt. Anschließend wird ein Teil des Fluids 33 verdampft, während ein anderer Teil aus dem Schnittpunkt ausgestoßen wird, wobei der Bereich über der Mesa 14 trok ken gelassen wird. Bei diesem Ausführungsbeispiel bewegt sich das Fluid mehr als bei den anderen Ausführungsbeispielen, daher müssen Wege und Oberflächen bereitgestellt sein, um einen Kapillarfluß zu ermöglichen, um überschüssiges Fluid zu dem Vorratskanal, dem Steuerschwamm und der externen Quelle zurückzubewegen. Aus der Entlüftung 38 eingespritztes Fluid kann zu der externen Quelle zurückgeführt werden und eine Nettofluidzirkulation kann eine frische Fluidzufuhr für den Reservoirkanal 26 gewährleisten.
  • Die scharfen und weichen Ecken in der Anordnung sind angeordnet, um ein dochtmäßiges Zurückfließen zu dem Reservoirkanal 26 und zu dem Flüssigkeitspegelsteuerschwamm 34 zu erhöhen. Eine optionale Niedrigoberflächenenergieschicht, z. B. Wachs, kann auf den Schnitt der optischen Faser aufgebracht werden, um eine Flüssigkeitsverstopfung zu reduzieren. Eine optionale Hochoberflächenenergie-Flüssigkeitsanziehungsschicht kann auf dem Widerstandsblock aufgebracht sein, um eine Flüssigkeit zu unterstützen, zu dem Reservoirkanal 26 zurückzugelangen.
  • Zu den Mesas 14 benachbarte Räume stellen den für die optischen Blasenschalter erforderlichen Atmungsfluidflußweg bereit. Wenn Blasen erzeugt werden oder wenn sich Blasen plötzlich bewegen, tritt ein Flüssigkeitsfluß auf, und innere Atmungsflußwege sind erforderlich, um die örtlichen Drücke zu entlasten. Die Atemlöcher, ähnlich der in 3 und 4 abgebildeten Entlüftungen, können entweder in der Wellenleiterplatte 20 oder der Heizerplatte 16 positioniert sein.
  • 5 zeigt ein Prozeßflußdiagramm zum Herstellen eines optischen Fluidschalters. Die Schritte 40–80, genauer dargestellt in den 6AB, sind auf ein Herstellen der Wellenleiterplatte 20 gerichtet. Die Schritte 90–100, genauer dargestellt in den 7AB, sind auf ein Herstellen der Heizerplatte 16 gerichtet.
  • Bei Schritt 40, dargestellt in 6A, wird die Wellenleiterplatte 20 mit Sägeschnitten vorbereitet, um ein Kreuzschienengitter zu bilden. Beispielsweise können die Streifen mehrere Millimeter auseinander liegen und der Kreuzungswinkel kann 90 Grad betragen. Die Schnitte sind 130 μm breit und 150 μm tief. Säulen der Faser 22A werden in einer Abmessung in die Sägeschnitte gelegt. Die Fasern weisen einen Durchmesser von 125 μm auf.
  • Bei Schritt 50 wird ein Satz aus Spaltvorrichtungen, z. B. eine Reihe von Anreißplatten (erhältlich von Fujikura), zum Erzeugen der Leitersprossen 22B zwischen den Säulen 22A in der Wellenleiterplatte 20 beabstandet plaziert. Ein Druckspalten der suspendierten Segmente ergibt wiederholbare Sprossen für die Wellenleiterplatte 20.
  • Bei Schritt 60, dargestellt in 6B, werden ein Abstreifer und ein Rüttelfluid aus zwei Gründen angewendet: erstens, um die Sprossen 22B dazu zu bringen, in die Räume zwischen den Säulen 22A auf der Platte 20 zu fallen, und zweitens, um die Sprossen 22B nach rechts gegen die Säulen 22A zu stoßen. Das Rüttelfluid, z. B. ein nicht gesetztes Epoxid, schmiert die Faserstücke. Die Wellenleiterplatte 20 wird gekämmt, um die Sprossen 22B nach rechts zu stoßen ohne Zwischenraum. Die Zwischenräume treten auf der linken Seite der Sprossen 22B auf.
  • Bei Schritt 70 wird Licht über die Fasern 22B von einer Seite des Fasergitters, d. h. der linken Seite, gesendet, um die Ausrichtung zu überprüfen und später die Säge zu führen. Ein Streulicht wird an den in Schritt 60 erwähnten Zwischenräumen beobachtet. Diese Zwischenräume geben an, wo die Sprossen 22B fehlerhaft in die Säulen 22A eingefügt wurden. Die Farbe dieses leitenden Lichts kann für einen Multimode-Betrieb der Fasern gewählt werden, um die Streuung zu erhöhen.
  • Bei Schritt 80 werden die Sprossen 22B mittels eines Epoxidharzes in Position verklebt. Bei Schritt 85 werden Lichtsägeschnitte auf der Wellenleiterplatte hergestellt. Die Sägeschnitte werden präzise an dem optischen Schnittpunkt 11 der Faserkerne zwischen der Sprosse und der Säule plaziert. Diese sorgfältig beabstandeten Schnittpunkte sind die Schnittpunkte des Schalters. Die Breite des Sägeschnittes bringt die kleinen längenmäßigen Abweichungen der Leitersprossen unter, welche die Zwischenräume erzeugen. Der erwünschte Sägeschnitt sollte glatt sein, um eine glatte Spiegelfläche für eine gute Reflexion bereitzustellen.
  • Bei den Schritten 90–100 wird die Heizerplatte 16 hergestellt. Die drei Teile aus 7 zeigen drei Heizerplattenarten, wobei jede Platte einem der oben erörterten Ausführungsbeispiele der Erfindung entspricht. Bei diesem Diagramm werden zuerst die Mesas, Gräben und Durchgangslöcher auf der Platte hergestellt (Schritt 90), und anschließend werden die Heizerwiderstände mit ihren zugeordneten elektrischen Verbindungen hergestellt (Schritt 100).
  • Bei Schritt 110 werden die ausgerichteten Platten mittels eines Epoxidharzes in Position verklebt. Die Heizerplatte, abgebildet in den 7AB, wird derart aufgebracht, daß sich die Heizer 12, 12A dort befinden, wo die Faserübergänge auftreten. Diese Heizer erzeugen die Blasen, die das Licht schalten. Diese Heizer 12, 12A, 12B, 32 sind Widerstände, die für eine Verdampfung verwendet werden und auf erhöhten Mesas plaziert sind, um frei von den umgebenden Ebenen zu sein, und sind groß genug, um kleine Abweichungen an den Schnittpunkten zu berücksichtigen.
  • Bei Schritt 120 wird ein entferntes Reservoir an die Gräben und Räume zwischen den Platten angebracht, d. h. durch eine Gruppe von Dochten zu den Gräben. Der Flüssigkeitspegel in den Räumen wird durch den negativen hydrostatischen Druck eingestellt, der in dem entfernten Reservoir aufrechterhal ten wird. Dieser Druck wird durch Einrichtungen gesteuert, die Fachleuten auf dem Gebiet bekannt sind.

Claims (12)

  1. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern, das folgende Schritte aufweist: Bilden (40) eines Gitters mit einer Mehrzahl von Schnittpunkten in einer Wellenleiterplatte; Einfügen (40) von Optische-Faser-Säulen in das Gitter; Spalten und Einfügen (50) von Leitersprossen zwischen den Säulen in der Wellenleiterplatte; Ausrichten (60) der Leitersprossen; selektives Sägeschneiden (85) der Fasern an den Schnittpunkten des Gitters unter einem Winkel; und Plazieren (110) der Wellenleiterplatte über einer Heizerplatte, die zumindest einen Heizer auf einer Mesa umfaßt, derart, daß ein Heizer an jedem geschnittenen Schnittpunkt vorliegt.
  2. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 1, bei dem der Schritt des Ausrichtens (60) der Leitersprossen den Schritt des Abstreifens und Bürstens der Leitersprossen in Position aufweist.
  3. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 1, das ferner den Schritt des Korrigierens (70) der Leitersprossenausrichtung durch Beobachten von Streulicht an den Leitersprossen aufweist.
  4. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 1, bei dem der Schritt des selektiven Schneidens (85) der Fasern ferner den Schritt des selektiven Positionierens des Sägeschnitts durch Beobachten von Licht an den Leitersprossen aufweist.
  5. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 1, das ferner den Schritt des Glättens der Sägeschnitte aufweist, um eine Spiegelfläche für eine gute Reflexion bereitzustellen.
  6. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 5, bei dem der Schritt des Glättens der Sägeschnitte das Anwenden eines dochtmäßigen Zurückfließens von Epoxid umfaßt.
  7. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 1, bei dem die Heizerplatte ferner einen zweiten Heizer auf der Mesa umfaßt.
  8. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 1, das ferner den Schritt des Anwendens einer Niedrigoberflächenenergieschicht an den Schnitt der Wellenleiterplatte aufweist, um eine Flüssigkeitsverstopfung zu reduzieren.
  9. Ein Verfahren zum Herstellen von optischen Fluidschaltern gemäß Anspruch 1, das ferner den Schritt des Aufbringens einer Hochoberflächenenergie-Flüssigkeitsanziehungsschicht auf die Heizerplatte aufweist, um zu helfen, daß Flüssigkeit zurück in das Reservoir gelangt.
  10. Ein optischer Fluidschalter, der folgende Merkmale aufweist: eine Wellenleiterplatte (20), die ein Gitter aus optischen Fasern (22A, 22B, 22C, 22D) umfaßt, wobei die Schnittpunkte des Gitters derart geschnitten sind, daß eine Fläche hochreflektierend ist; eine Heizerplatte (16), die unter der Wellenleiterplatte positioniert ist, die einen Heizer (12, 12A) auf einer Mesa (14) und einen Graben aufweist, derart, daß ein Reservoir gebildet ist, das ein Fluid (24) innerhalb des Reservoirs umfaßt, das eine Luftblase (18) aufweist; und wobei der Schalter EIN ist, wenn eine Blase über dem Heizer ist, und AUS ist, wenn sich die Blase von dem Heizer wegbewegt hat.
  11. Ein optischer Fluidschalter gemäß Anspruch 10, der ferner folgende Merkmale aufweist: einen zweiten Heizer (12B) auf der Mesa, positioniert in der Nähe der ersten Mesa; und wobei der Schalter EIN ist, wenn die Blase über dem ersten Heizer positioniert ist, und AUS ist, wenn die Blase über dem zweiten Heizer positioniert ist.
  12. Ein entlüfteter optischer Fluidschalter, der folgende Merkmale aufweist: eine Wellenleiterplatte (20), die ein Gitter aus optischen Fasern (22A, 22B, 22C, 22D) umfaßt, wobei jeder Schnittpunkt derart geschnitten ist, daß eine Fläche hochreflektierend ist, die eine Entlüftung aufweist; eine Heizerplatte (16), die unter der Wellenleiterplatte positioniert ist, die einen Heizer (12) auf einer Mesa (14) und einen Graben aufweist, wobei ein Heizer (12) in der Nähe zu einem der Schnittpunkte und in der Nähe zu der Entlüftung vorliegt; Fluid (24) innerhalb eines Grabens, wobei der Graben ein Reservoir (26) für das Fluid ist; eine Fluideinspritzvorrichtung (32), die innerhalb des Reservoirs positioniert ist und wirksam ist, um eine Einspritzung von Fluid (33) zu erzeugen; wobei der Schalter AUS ist, wenn die Fluideinspritzung die Mesa abdeckt, und EIN ist, wenn die Fluideinspritzung sich von dem Schnittpunkt entfernt.
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DE (1) DE69725960T2 (de)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6407835B1 (en) * 1999-03-05 2002-06-18 Agilent Technologies, Inc. Single site for healing dual optical rings
US7027683B2 (en) 2000-08-15 2006-04-11 Nanostream, Inc. Optical devices with fluidic systems
US6798939B2 (en) * 2002-03-14 2004-09-28 Agilent Technologies, Inc. Bubble stability in an optical switch
US7206474B2 (en) * 2002-04-03 2007-04-17 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Heating of trenches in an optical bubble switch
US6642068B1 (en) * 2002-05-03 2003-11-04 Donald J. Hayes Method for producing a fiber optic switch
US6869273B2 (en) * 2002-05-15 2005-03-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microelectromechanical device for controlled movement of a fluid
US6832015B2 (en) * 2002-06-28 2004-12-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Switching apparatus
US6876788B2 (en) * 2002-09-11 2005-04-05 Agilent Technologies, Inc. Preventing hydrodynamic crosstalk in an optical switch
US6718085B1 (en) * 2002-10-07 2004-04-06 Agilent Technologies, Inc. Stable optical switch with reduced power consumption
US20040076363A1 (en) * 2002-10-16 2004-04-22 Schroeder Dale W. Optical switch with increased operational stability
US7274840B2 (en) * 2003-07-23 2007-09-25 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Clean and test for fluid within a reflection optical switch system

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3138968A1 (de) * 1981-09-30 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Optische steuervorrichtung zum steuern der in einem optischen wellenleiter gefuehrten strahlung, insbesondere optischer schalter
US4589730A (en) * 1982-07-28 1986-05-20 Ricoh Company, Ltd. Light transmission control apparatus using air bubbles
JPS59105603A (ja) * 1982-12-10 1984-06-19 Fujitsu Ltd 光スイツチ
US4988157A (en) * 1990-03-08 1991-01-29 Bell Communications Research, Inc. Optical switch using bubbles
US5732168A (en) * 1995-10-31 1998-03-24 Hewlett Packard Company Thermal optical switches for light
JP3319248B2 (ja) * 1995-11-08 2002-08-26 日本電信電話株式会社 光スイッチ
US5699462A (en) * 1996-06-14 1997-12-16 Hewlett-Packard Company Total internal reflection optical switches employing thermal activation

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Publication number Publication date
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