DE69608724D1 - Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Teiles - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Teiles

Info

Publication number
DE69608724D1
DE69608724D1 DE69608724T DE69608724T DE69608724D1 DE 69608724 D1 DE69608724 D1 DE 69608724D1 DE 69608724 T DE69608724 T DE 69608724T DE 69608724 T DE69608724 T DE 69608724T DE 69608724 D1 DE69608724 D1 DE 69608724D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
producing
micromechanical part
micromechanical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69608724T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69608724T2 (de
Inventor
Werner Haenni
Andre Perret
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre Suisse dElectronique et Microtechnique SA CSEM
Original Assignee
Centre Suisse dElectronique et Microtechnique SA CSEM
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre Suisse dElectronique et Microtechnique SA CSEM filed Critical Centre Suisse dElectronique et Microtechnique SA CSEM
Publication of DE69608724D1 publication Critical patent/DE69608724D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69608724T2 publication Critical patent/DE69608724T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
    • G04D3/00—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
    • G04D3/0074—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for treatment of the material, e.g. surface treatment
    • G04D3/0087—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for treatment of the material, e.g. surface treatment for components of the escapement mechanism, e.g. lever escapement, escape wheel
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075—Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/008—Manufacture of substrate-free structures separating the processed structure from a mother substrate
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B15/00—Escapements
    • G04B15/14—Component parts or constructional details, e.g. construction of the lever or the escape wheel
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
    • G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
    • G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
    • G04B17/066—Manufacture of the spiral spring
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H1/00—Contacts
    • H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03—Microengines and actuators
    • B81B2201/035—Microgears
DE1996608724 1995-03-17 1996-03-01 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Teiles Expired - Lifetime DE69608724T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9503642A FR2731715B1 (fr) 1995-03-17 1995-03-17 Piece de micro-mecanique et procede de realisation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69608724D1 true DE69608724D1 (de) 2000-07-13
DE69608724T2 DE69608724T2 (de) 2001-02-08

Family

ID=9477509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1996608724 Expired - Lifetime DE69608724T2 (de) 1995-03-17 1996-03-01 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Teiles

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0732635B1 (de)
DE (1) DE69608724T2 (de)
FR (1) FR2731715B1 (de)

Families Citing this family (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10080131D2 (de) * 1999-01-25 2002-04-25 Gfd Ges Fuer Diamantprodukte M Mikroschaltkontakt
FR2842313B1 (fr) 2002-07-12 2004-10-22 Gideon Levingston Oscilliateur mecanique (systeme balancier et ressort spiral) en materiaux permettant d'atteindre un niveau superieur de precision, applique a un mouvement d'horlogerie ou autre instrument de precision
ATE307990T1 (de) * 2002-11-25 2005-11-15 Suisse Electronique Microtech Spiraluhrwerkfeder und verfahren zu deren herstellung
EP1445670A1 (de) * 2003-02-06 2004-08-11 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Spiralfeder der Resonatorunruh und Fabrikationsmethode
DE10317889B4 (de) * 2003-04-17 2008-10-30 GFD-Gesellschaft für Diamantprodukte mbH Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung
DE602004024076D1 (en) * 2003-08-13 2009-12-24 Fore Eagle Co Ltd Unruh mit thermokompensation
EP1513029B1 (de) * 2003-09-02 2008-10-15 Patek, Philippe SA Spiralrolle für Uhrwerk
EP1519250B1 (de) 2003-09-26 2010-06-30 Asulab S.A. Spiralfeder-Unruh-Resonator mit Thermokompensation
GB0324439D0 (en) 2003-10-20 2003-11-19 Levingston Gideon R Minimal thermal variation and temperature compensating non-magnetic balance wheels and methods of production of these and their associated balance springs
ATE470086T1 (de) * 2004-06-08 2010-06-15 Suisse Electronique Microtech Unruh-spiralfeder-oszillator mit temperaturkompensation
CH696475A5 (fr) * 2005-05-12 2007-06-29 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Organe d'affichage analogique en matériau cristallin, pièce d'horlogerie pourvue d'un tel organe d'affichage et procédé pour sa fabrication.
EP1886194A2 (de) 2005-05-14 2008-02-13 Gideon Levingston Unruhe, regulierte unruhebaugruppe und herstellungsverfahren dafür
ATE416401T1 (de) * 2005-06-28 2008-12-15 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Verstärktes mikromechanisches teil
TWI438588B (zh) * 2006-03-24 2014-05-21 Eta Sa Mft Horlogere Suisse 由絕緣材料製成的微機械零件及其製造方法
EP1837721A1 (de) * 2006-03-24 2007-09-26 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Mikromechanisches Bauteil aus Isoliermaterial und Herstellungsverfahren dafür
EP1837722B1 (de) * 2006-03-24 2016-02-24 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Mikromechanisches Bauteil aus Isoliermaterial und Herstellungsverfahren dafür
EP1850193B1 (de) * 2006-04-28 2019-06-12 Patek Philippe SA Genève Verfahren zur Einpressung eines Teils in ein anderes Teil
ATE510244T1 (de) * 2006-06-12 2011-06-15 Montres Breguet Sa Uhr mit vereinfachter mondphaseanzeige
WO2008029158A2 (en) 2006-09-08 2008-03-13 Gideon Levingston Thermally compensating balance wheel
EP1921042A1 (de) * 2006-11-10 2008-05-14 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Herstellung von mikromechanischer mehrschichtiger Bauteile aus Silizium
EP1932804B1 (de) 2006-12-11 2017-03-22 Mimotec S.A. Silizium-Metall-Mischteile und damit verbundene Herstellungsverfahren
EP2102717B1 (de) * 2006-12-21 2013-06-26 CompliTime S.A. Mechanischer oszillator für uhr
CH705284B1 (fr) * 2007-04-04 2013-01-31 Manuf Et Fabrique De Montres Et Chronometres Ulysse Nardin Le Locle S A Organe de bâti pour montre.
CH714952B1 (fr) 2007-05-08 2019-10-31 Patek Philippe Sa Geneve Composant horloger, son procédé de fabrication et application de ce procédé.
CH706020B1 (fr) 2007-09-07 2013-07-31 Patek Philippe Sa Geneve Ressort-moteur pour barillet de mouvement d'horlogerie présentant une durée de marche accrue.
CH708113B1 (de) * 2007-09-13 2014-12-15 Stéphane Von Gunten Anker für eine Uhrenhemmung.
DE102008029429A1 (de) * 2007-10-18 2009-04-23 Konrad Damasko Verfahren zum Herstellen von mechanischen Funktionselementen für Uhrwerke sowie nach diesem Verfahren hergestelltes Funktionselement
EP2104005A1 (de) * 2008-03-20 2009-09-23 Nivarox-FAR S.A. Composite-Unruh und Herstellungsverfahren dafür
DE602008001778D1 (de) * 2008-03-20 2010-08-26 Nivarox Sa Monoblock-Doppelspirale und ihr Herstellungsverfahren
EP2104008A1 (de) 2008-03-20 2009-09-23 Nivarox-FAR S.A. Monoblock-Regulierungsorgan und sein Herstellungsverfahren
EP2104007A1 (de) * 2008-03-20 2009-09-23 Nivarox-FAR S.A. Monoblockspirale aus Material auf Siliziumbasis und ihr Herstellungsverfahren
EP2105807B1 (de) 2008-03-28 2015-12-02 Montres Breguet SA Monoblockspirale zur Erhöhung der Kurve und ihr Herstellungsverfahren
CH699110A1 (fr) * 2008-07-10 2010-01-15 Swatch Group Res & Dev Ltd Procédé de fabrication d'une pièce micromécanique.
CH699109A1 (fr) * 2008-07-10 2010-01-15 Swatch Group Res & Dev Ltd Procédé de fabrication d'une pièce micromécanique.
EP2154582A1 (de) * 2008-08-15 2010-02-17 Nivarox-FAR S.A. Verzahnungverfahren für Uhrwerk
CH699882A2 (fr) * 2008-11-06 2010-05-14 Montres Breguet Sa Spiral à élévation de courbe en matériau micro-usinable.
CH700059A2 (fr) 2008-12-15 2010-06-15 Montres Breguet Sa Spiral à élévation de courbe en matériau à base de silicium.
CH700154B1 (fr) 2008-12-24 2014-03-14 Complitime Sa Pièce d'horlogerie comprenant un organe de pivotement.
US10324419B2 (en) 2009-02-06 2019-06-18 Domasko GmbH Mechanical oscillating system for a clock and functional element for a clock
EP2394202B1 (de) 2009-02-06 2016-09-07 DAMASKO GmbH Mechanisches schwingsystem für uhren sowie funktionselement für uhren
EP2226689A1 (de) * 2009-03-02 2010-09-08 Montres Breguet SA Brücke oder Werkplatte für Uhrwerk
EP2233989A1 (de) * 2009-03-24 2010-09-29 Manufacture et fabrique de montres et chronomètres Ulysse Nardin Le Locle SA Spiralfeder und ihre Reguliereinrichtung
WO2010133607A2 (en) * 2009-05-18 2010-11-25 The Swatch Group Research And Development Ltd Method for coating micromechanical parts with high tribological performances for application in mechanical systems
WO2010142602A1 (en) * 2009-06-09 2010-12-16 The Swatch Group Research And Development Ltd Method for coating micromechanical components of a micromechanical system, in particular a watch and related micromechanical coated component
EP2273322B1 (de) * 2009-07-10 2012-05-23 Chopard Technologies SA Montageverfahren eines Bauteils auf einem Schwenkorgan
EP2284629A1 (de) * 2009-08-13 2011-02-16 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Thermokompensierter mechanischer Resonator
CH701846B8 (fr) 2009-09-21 2015-06-15 Rolex Sa Spiral plat pour balancier d'horlogerie et ensemble balancier-spiral.
CH702202B1 (fr) * 2009-11-06 2014-11-28 Nivarox Sa Echappement à ancre.
CH703172B1 (fr) 2010-05-18 2014-11-14 Montres Breguet Sa Spiral à élévation de courbe en silicium.
EP2413202B1 (de) 2010-07-30 2017-11-15 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Verfahren zur Verbesserung der Verschleiss- und Stossfestigkeit einer Uhrwerkskomponente. Verschleiß- und stoßfester Anker für Uhrwerk
EP2453038A1 (de) 2010-11-16 2012-05-16 The Swatch Group Research and Development Ltd. Verfahren zum Beschichten von mikromechanischen Teilen mit einer doppelten Diamantbeschichtung
EP2472340B1 (de) 2011-01-03 2021-03-03 Patek Philippe SA Genève Bestandteil einer Uhr und sein Herstellungsverfahren
EP2557460A1 (de) 2011-08-12 2013-02-13 Nivarox-FAR S.A. Metallanker mit Polymer-Hörnern
CH705724B9 (fr) * 2011-11-03 2016-05-13 Sigatec Sa Pièce de micromécanique, notamment pour l'horlogerie.
DE102013114211B3 (de) * 2013-07-22 2014-10-09 Damasko Gmbh Spiralfeder für mechanische Uhrwerke
CH708925A1 (fr) 2013-12-05 2015-06-15 Tgm Développement Sa C O Etude Tissot Pièce mécanique en diamant pour mouvement de montre.
CH708926A3 (fr) 2013-12-05 2015-07-31 Tgm Développement Sa C O Etude Tissot Pièce mécanique en diamant et procédé de fabrication d'une pièce mécanique en diamant pour mouvement de montre.
EP3083487B1 (de) 2013-12-20 2020-01-08 Rolex Sa Verfahren zur herstellung einer uhrenkomponente
EP2942147B1 (de) * 2014-05-08 2018-11-21 Nivarox-FAR S.A. Uhrhemmungsmechanismus ohne Schmierung
CH709665A2 (fr) * 2014-05-16 2015-11-30 Nivarox Sa Mécanisme d'horlogerie à couple de contact sans lubrification.
EP2952972B1 (de) * 2014-06-03 2017-01-25 The Swatch Group Research and Development Ltd. Herstellungsverfahren einer Ausgleichsspiralfeder aus Verbundmaterial
EP3001256B2 (de) 2014-09-23 2024-02-07 GFD Gesellschaft für Diamantprodukte mbH Ankerhemmung
HK1209578A2 (en) 2015-02-17 2016-04-01 Master Dynamic Ltd Silicon hairspring
CH713026A2 (fr) 2016-10-13 2018-04-13 Patek Philippe Sa Geneve Procédé d'assemblage de composants horlogers.
EP3495894B1 (de) * 2017-12-05 2023-01-04 Rolex Sa Verfahren zur herstellung einer uhrkomponente
US11829107B2 (en) 2018-02-07 2023-11-28 Patek Philippe Sa Geneve Micro-mechanical timepiece part
TWI774925B (zh) * 2018-03-01 2022-08-21 瑞士商Ｃｓｅｍ瑞士電子及微技術研發公司 製造螺旋彈簧的方法
EP3543795A1 (de) 2018-03-20 2019-09-25 Patek Philippe SA Genève Herstellungsverfahren von uhrkomponenten aus silizium
CH717141B1 (fr) 2019-01-16 2023-12-15 Patek Philippe Sa Geneve Procédé d'assemblage de composants horlogers.
EP3997526A1 (de) 2019-07-10 2022-05-18 Patek Philippe SA Genève Uhrenanordnung mit mindestens zwei kontaktelementen
EP3783445B1 (de) * 2019-08-22 2023-06-14 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Einstellmechanismus einer uhr mit hohem qualitätsfaktor und minimaler schmierung
EP3839624B1 (de) * 2019-12-18 2023-09-13 Nivarox-FAR S.A. Verfahren zur herstellung einer uhrkomponente
CN113130259B (zh) * 2021-04-27 2023-01-24 中国工程物理研究院电子工程研究所 一种平面单位移驱动的双稳态mems开关
EP4191345A1 (de) * 2021-12-06 2023-06-07 The Swatch Group Research and Development Ltd Funktionelle mikromechanikanordnung mit einer tribologischen beschichtung

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE68903950T2 (de) * 1989-08-16 1993-07-01 Ibm Verfahren fuer die herstellung ultrafeiner siliziumspitzen fuer afm/stm-profilometrie.
US5242711A (en) * 1991-08-16 1993-09-07 Rockwell International Corp. Nucleation control of diamond films by microlithographic patterning
US5331852A (en) * 1991-09-11 1994-07-26 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Electromagnetic rebalanced micromechanical transducer
FR2697536B1 (fr) * 1992-11-04 1995-01-06 Suisse Electronique Microtech Procédé de fabrication d'un élément de microstructure mécanique.
FR2700065B1 (fr) * 1992-12-28 1995-02-10 Commissariat Energie Atomique Procédé de fabrication d'accéléromètres utilisant la technologie silicium sur isolant.

Also Published As

Publication number Publication date
FR2731715B1 (fr) 1997-05-16
EP0732635A1 (de) 1996-09-18
EP0732635B1 (de) 2000-06-07
DE69608724T2 (de) 2001-02-08
FR2731715A1 (fr) 1996-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69608724T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Teiles
DE59610194D1 (de) Verfahren zur herstellung eines ventils
DE69621335D1 (de) Verfahren zur herstellung einer membranhaltenden mikrostruktur
DE69620032D1 (de) Verfahren zur herstellung eines granularen reinigungsmittels
DE59609360D1 (de) Verfahren zur herstellung eines synchron-linearmotors
DE59605992D1 (de) Verfahren zur herstellung eines coriolis-drehratensensors
DE69721279T2 (de) Verfahren zur herstellung eines mechanischen verschlusses
DE69530685D1 (de) Verfahren zur herstellung eines lautsprecherdämpfers
DE69807892T2 (de) Verfahren zur herstellung eines durchbrochenen artikels zur wiederbeschichtung
ATA136795A (de) Verfahren zur herstellung eines verfahren zur herstellung eines celluloseformkörpers celluloseformkörpers
DE69513994D1 (de) Verfahren zur herstellung eines minidimensionierten massenspektrometers
DE59504628D1 (de) Verfahren zur herstellung eines ventiles
DE950125T1 (de) Verfahren zur herstellung eines diamantbeschichteten gegenstandes
DE69734843D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines gegossenen Artikels
DE59707337D1 (de) Verfahren zur herstellung eines formteiles
DE59609242D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Reifens
DE19782013T1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Strukturgliedes
DE69623483D1 (de) Verfahren zur herstellung eines textilen produkts
DE69615861D1 (de) Verfahren zur herstellung eines mehrfarbigen fadens
DE69600866D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Bolzens
DE59501016D1 (de) Verfahren zur herstellung eines dreidimensionalen objektes
DE69616585T2 (de) Verfahren zur herstellung eines dreidimensionales gegenstandes
DE69820427D1 (de) Verfahren zur herstellung eines schalldämpfers
ATE183218T1 (de) Verfahren zur herstellung eines hohlkörpers
DE69517953D1 (de) Verfahren zur herstellung eines widerstands

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition