DE69530880T2 - Akustischer Verdrängungsdurchflussmesser - Google Patents

Akustischer Verdrängungsdurchflussmesser Download PDF

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Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Ein Abschnitt der Offenbarung dieses Patentdokuments enthält Material, das dem Urheberschutz unterliegt. Der Urheber hat keinen Einwand gegen die Faksimilereproduktion des Patentsdokuments oder der Patentoffenbarung durch eine Person, wie dieselbe in dem Patent- und Markenamt-Patentakten oder Aufzeichnungen erscheint, reserviert sich jedoch ansonsten alle Urheberrechte.
  • Diese Erfindung bezieht sich auf Fluidfluß-Meßvorrichtungen. Genauer gesagt bezieht sich diese Erfindung auf Fluidfluß-Meßvorrichtungen zum Liefern von elektrischen Signalen, die einen Fluidfluß darstellen.
  • Es bestehen viele Techniken auf dem Stand der Technik für die elektronische Messung eines Fluidflusses. Üblicherweise erfordern solche Techniken eine Kenntnis der physischen Eigenschaften des Fluids, das gemessen werden soll, so daß die Meßeinrichtung kalibriert werden kann. Typische Beispiele solcher physischen Parameter sind die spezifische Wärmekapazität, Verdichtbarkeit, Dichte, Viskosität und thermische Leitfähigkeit des Fluids. Viele dieser physischen Parameter sind selbst abhängig von der Zusammensetzung des Fluids. Bei Anwendungen, bei denen die Fluidzusammensetzung unbekannt ist, oder auf unvorhersehbare Weise schwankt, sind solche Techniken sowohl ungenau als auch ungeeignet.
  • Zusätzliche Nachteile, die vielen bekannten Techniken eigen sind, umfassen Einschränkungen in dem Bereich von Flußraten, über den genaue Messungen zuverlässig ausgeführt werden können, manchmal bezeichnet als das „Umlegverhältnis", und die Erzeugung eines inakzeptablen Gegendrucks in dem Fluidweg, wenn der Durchflußmesser angeschlossen und funktionsfähig ist.
  • Bei einem Versuch, die oben erwähnten Mängel des Stands der Technik zu überwinden, wurden Flußmesser entwickelt, die weniger empfindlich gegenüber physischen Fluidparametern sind. Eine solche Klasse eines Flußmessers wird allgemein ein Positive-Verschiebung-Flußmesser genannt. Bei einem Positive-Verschiebung-Flußmesser wird das Fluid, dessen Fluß gemessen werden soll, periodisch in einer separaten Begrenzungskammer angesammelt, wie z. B. einem Zylinder mit einem eng eingepaßten Kolben, dessen Volumen sich mit einer Rate gleich dem Fluß des Fluids erhöht (z. B. durch Verschiebung des Kolbens). Durch Messen der Anstiegsrate des begrenzten Volumens (z. B. durch Erzeugen eines Signals, das den Betrag der Verschiebung des Kolbens darstellt), kann die Fluidflußrate berechnet werden. Während spezifische Flußmesserdetails (wie z. B. die Art und Weise des Definierens des begrenzten Volumens und der Technik zum Umwandeln der Volumenänderungsrate) sich abhängig von der Art und der Anwendung eines gegebenen Positive-Verschiebung-Flußmessers ändern, besitzen alle solche Flußmesser die gewünschte Eigenschaft einer angemessenen Genauigkeit der Fluidflußmessung unabhängig von den physischen Parametern des gemessenen Fluids. Ein bedeutender Nachteil bei den meisten bekannten Positive-Verschiebung-Flußmessern ist die Störung bei dem Fluidfluß, die durch die Notwendigkeit des Verschiebens der bewegbaren Oberfläche der Begrenzungskammer verursacht wird, um das Meßsignal zu erzeugen. Dies bringt Gegendruckcharakteristika ein, die solche Flußmesser ungeeignet für eine Verwendung bei einer Anwendung machen, die empfindlich gegenüber der periodischen Einbringung von Fluidflußgegendruck ist.
  • Ein Gasflußmesser vom Positive-Verschiebung-Typ, der entwickelt wurde, um die nachteilige Gegendruckwirkung zu reduzieren, ist der Seifenfilmtyp des Positive-Verschiebung-Flußmessers. Bei diesem Typ von Flußmesser ist das begrenzte Volumen durch eine glattwandige zylindrische Röhre definiert, die üblicherweise aus transparentem Glas hergestellt ist. Die Röhre weist ein Einlaßende, das mit dem Gas verbunden ist, dessen Fluß gemessen werden soll, und ein Auslaßende auf, das zur Umgebung hin offen ist. Benachbart zu dem Einlaßende ist eine Anordnung zum Einbringen eines Seifenfilms vorgesehen, der entlang des Innenvolumens der Röhre durch den fortschreitenden Gasfluß mitgerissen werden soll. Optische Sensoren, die an vorbestimmten Positionen entlang der Röhre angeordnet sind, messen die Durchgangszeit des Seifenfilms, der entlang des Inneren der Röhre übertragen wird, und dieser Zeitwert wird in eine Fluidflußrate unter Verwendung eines bekannten Algorithmus umgewandelt. Aufgrund der Tatsache, daß nur die relativ kleinen Kräfte von Viskosität und die Oberflächenspannungsauswirkungen der Bewegung des Seifenfilms und somit dem Fluß des Gasstroms entgegenwirken, sind die Gegendrücke, die durch diesen Typ von Flußmesser erzeugt werden, allgemein ausreichend niedrig, um akzeptabel zu sein. Zusätzlich dazu weist der Seifenfilm-Flußmesser einen dynamischen Meßbereich auf, der wesentlich breiter ist als der von anderen Positive-Verschiebung-Flußmessern (üblicherweise in dem Bereich von ungefähr 0,5 bis ungefähr 500 Ml/min.). Ferner ist dieser Typ von Flußmesser relativ kostengünstig herzustellen und zu warten. Der Hauptnachteil des Seifenfilmflußmessers ist die Anforderung, daß der Seifenfilm periodisch erzeugt, in den Fluidstrom eingebracht und irgendwie erschöpft werden muß. Die Erzeugung des Seifenfilms wird üblicherweise mit Hilfe einer manuell betriebenen Blasenerzeugungsvorrichtung durchgeführt, die das Vorhandensein einer Bedienperson erfordert und eine automatische oder unbeaufsichtigte Operation verhindert. Ferner, aufgrund der Tatsache, daß der nasse Film in den Gasstrom eingebracht wird, wird der Strom mit Wasserdampf verunreinigt, der für viele Reihenanwendungen ungeeignet ist, die Gase umfassen. Zusätzlich dazu ist der Flußmesser vom Seifenfilmtyp vollkommen ungeeignet für Flußmesseranwendungen, die Flüssigkeiten umfassen.
  • Eine Verbesserung gegenüber dem Filmflußmesser, der oben beschrieben ist, ist in der EP-A-0553550 offenbart, die der U.S.-Patentanmeldung Seriennummer 07/827,176 entspricht, eingereicht am 28. Januar 1992 mit dem Titel ACOUSTIC DISPLACEMENT FLOWMETER.
  • Bei der durch Bezugnahme aufgenommenen Anwendung ist ein Flußmesser vom Positive-Verschiebung-Typ offenbart, der keine Vorkenntnisse der physischen Parameter der Fluide erfordert, der keinen wesentlichen Gegendruck in den Fluidflußweg einbringt, der keine Verunreinigung in den Fluidweg einbringt, einen breiten dynamischen Bereich von meßbaren Flußraten besitzt, der kompatibel mit einer breiten Vielzahl von Gas- und Flüssigkeits-Fluidflußanwendungen ist und in der Lage zu einer vollautomatischen Operation ist. Der Positive-Verschiebung-Flußmesser weist einen hochkonformen Verschiebungswandler vom akustischen Typ auf, der ein Verschiebungselement aufweist, wobei der Wandler ein Fluidtor zum Koppeln mit einem Fluidweg und einen Signalausgang zum Manifestieren eines Signals aufweist, das eine Bewegung des Verschiebungselements aufgrund des Eintretens eines Fluids durch das Tor darstellt; und eine Einrichtung, die einen Eingang aufweist, der mit dem Verschiebungswandlersignalausgang gekoppelt ist, zum Berechnen des Durchschnittswerts der Fluidflußrate über eine Meßperiode. Die Recheneinrichtung umfaßt folgende Merkmale: eine Einrichtung zum Erzeugen eines Steuerungssignals zum Ermöglichen, daß ein steuerbares Ventil, das in dem Fluidweg angeordnet ist, Fluid in das Wandlerfluidtor umleitet, eine Einrichtung, die auf die Erzeugung des Steuerungssignals anspricht, zum Maskieren eines Anfangsabschnitts des Wandlerausgangssignals, eine Einrichtung zum Integrieren des Wandlerausgangssignals nach dem Anfangsabschnitt, eine Einrichtung zum Abtasten der Werte der Integrationseinrichtung, eine Einrichtung zum Summieren der Abtastwerte und eine Einrichtung zum Abschließen des Steuerungssignals, wenn einer der nachfolgenden Zustände auftritt: (a) die Größe des Abtast werts erreicht einen vorbestimmten Maximalwert; oder (b) die Meßperiode erreicht einen vorbestimmten Maximalwert. Die Recheneinrichtung bestimmt den Wert der Fluidflußrate aus der Gleichung F = 2S/[bn(nm + 1)], wobei F die bestimmte Flußrate ist, S der Gesamtwert der summierten Abtastwerte ist, n die Anzahl von erhaltenen Abtastwerten ist und b eine vorbestimmte Kalibrierungskonstante ist. Die Maskierungseinrichtung umfaßt vorzugsweise eine. Einrichtung zum Bestimmen der Länge T des Anfangsabschnitts, der unter Verwendung des nachfolgenden Algorithmus maskiert werden soll:
    wenn F ≥ K, dann T = 0
    wenn F < K, dann T = A[(K – f)/K],
    wobei F die Fluidflußrate ist, die aus einer vorangehenden Messung bestimmt wird, K ein vorausgewählter konstanter Flußratenwert ist, der innerhalb des beschriebenen Bereichs von Werten liegt, die gemessen werden sollen, und A eine vorausgewählte konstante Zeitdauer ist. Die Recheneinrichtung umfaßt ferner optional einen manuell betreibbaren Schalter zum Initiieren der Flußmesseroperation, einen Zeitgeber zum Abschließen der Operation des Flußmessers nach dem Ablauf einer vorbestimmten Zeitperiode und eine Einrichtung zum Erweitern der Operation des Flußmessers, immer wenn eine Abtasteinrichtung anzeigt, daß die manuell betreibbare Schaltereinrichtung vor dem Ablauf der vorbestimmten Zeitperiode aktiviert wurde.
  • Während der Operation des Akustische-Verschiebung-Flußmessers, wird ein Fluidfluß zuerst entlang eines Fluidwegs eingerichtet, wonach der Fluß des Fluids zu dem Wandler gerichtet wird, der das Verschiebungselement aufweist, durch Beschränken des Flußwegs, wodurch der Fluß des Fluides zu dem Wandler gerichtet wird, durch Betreiben eines Ventils in dem Flußweg, um eine temporäre Flußwegbegrenzung zu schaffen. Das Signal, das von dem Wandler erzeugt wird, das eine Verschiebung aufgrund des Fluidflusses darstellt, während der Weg beschränkt ist, wird verwendet, um die Fluidflußrate durch Integrieren des Signals über eine Meßperiode, Abtasten des Werts des integrierten Signals, Summieren der Abtastwerte und Bestimmen der Flußrate aus der Gleichung zu bestimmen, die oben für F erwähnt wurde. Nachdem die Flußrate aus der Gleichung bestimmt wurde, wird der Fluidfluß entlang des Wegs erneut eingerichtet, durch Betreiben des Ventils, um die Flußwegbeschränkung zu entfernen, wenn die Größe des Integrals des Flußratensignals einen vorbestimmten Maximalwert erreicht oder wenn die Meßperiode einen vorbestimmten Maximalwert erreicht.
  • Während sich herausgestellt hat, daß der oben beschriebene Akustische-Verschiebung-Flußmesser auf effektive Weise für viele Anwendungen funktioniert, ist die Vorrichtung auf das Messen des Flusses in nur eine Richtung eingeschränkt. Somit muß der Messer bei jenen Anwendungen, bei denen es wünschenswert ist, den Fluß in einer Vorwärts- und Rückwärts-Richtung zu messen, von dem Flußweg getrennt werden und die Flußwegverbindungen müssen umgekehrt werden, was insofern unerwünscht ist, daß es Ausfallverzögerungen einbringt. Zusätzlich dazu ist der Akustische-Verschiebung-Flußmesser nicht entworfen, um Inkonsistenzen in der Beziehung zwischen dem tatsächlichen Fluß und einer Flußmessung wirksam zu machen, wenn die Flußrate über einen extrem weiten Bereich variiert. Zusätzlich dazu ist der Akustische-Verschiebung-Flußmesser nicht entworfen, um Schwankungen des Gasvolumens zu berücksichtigen, dessen Fluß gemessen wird, aufgrund von Änderungen der absoluten Temperatur oder des absoluten Druckes. Schließlich ist der Anfangskalibrierungsprozeß, der für den Akustische-Verschiebung-Flußmesser erforderlich ist, relativ arbeitsintensiv und erfordert ein Testverfahren, das eine Bezugnahme auf Flußstandards einer bekannten Genauigkeit umfaßt, bevor das Instrument als ausreichend zuverlässig betrachtet werden kann. Momentane Bemühungen, einen Akustische-Verschiebung-Flußmesser zu entwerfen, der frei von den obigen Nachteilen ist, waren bislang nicht erfolgreich.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Bei einem Aspekt schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Bestimmen der Flußrate eines Fluids, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
    Einrichten eines Flusses des Fluids durch eine Leitung;
    Beschränken des Fluidflußwegs durch die Leitung, um den Fluidfluß zu einem Verschiebungswandler umzuleiten, der ein Verschiebungselement aufweist, das durch den Fluidfluß verschiebbar ist, wodurch bewirkt wird, daß der Verschiebungswandler ein Signal erzeugt, das eine Verschiebung aufgrund des Fluidflusses darstellt, während der Flußweg entlang der Leitung zu dem Verschiebungswandler umgeleitet wird;
    Bestimmen der Flußrate unter Verwendung des Wandlersignals; und
    erneutes Einrichten des Fluidflusses durch die Leitung durch Entfernen der Beschränkung, gekennzeichnet durch den Bestimmungsschritt, der folgende Schritte umfaßt:
    Liefern eines Referenzsignals zu einem Ladungsakkumulator, um ein Laden des Ladungsakkumulators über eine vorbestimmte Zeitperiode hinweg zu bewirken, um ein integriertes Referenzsignal zu erzeugen;
    dann Liefern des Wandlersignals zu dem Ladungsakkumulator, um ein Entladen des Ladungsakkumulators zu bewirken, bis die Ladung auf dem Ladungsakkumulator einen Pegel erreicht, der einen Schwellenwert darstellt; und
    Berechnen der Flußrate unter Verwendung der Zeit, die das Wandlersignal benötigt, um zu bewirken, daß die Ladung auf dem Ladungsakkumulator den Pegel erreicht, der den Schwellenwert darstellt.
  • Der Berechnungsschritt kann die Schritte des Akkumulierens der Zeit durch Zählen der Anzahl N von grundlegenden Abtastperioden, die während des Entladens auftreten, und des Bestimmens der Flußrate aus der Gleichung:
    V = A/N – B umfassen, wobei V die volumetrische Flußrate ist und A und B Konstanten sind.
  • Das Verfahren kann ferner den Schritt des Lieferns eines Temperaturkorrektursignals zum Anpassen des berechneten Flußratenwerts umfassen. Dies kann den Schritt des Erzeugens eines ersten und zweiten Sensorsignals, deren Verhältnis die Temperatur darstellt, das Akkumulieren von Ladung, die das erste Sensorsignal darstellt, für eine zweite vorbestimmte Zeitperiode, um ein integriertes erstes Signal zu erzeugen, das Verwenden des zweiten Signals, um ein Entladen der akkumulierten Ladung zu bewirken, bis der Wert des integrierten ersten Signals einen zweiten Schwellenwert erreicht und das Verwenden der Zeit, die das integrierte erste Signal benötigt, um den zweiten Schwellenwert zu erreichen, um das Temperaturkorrektursignal zu berechnen, umfassen.
  • Bei einem anderen Aspekt schafft die vorliegende Erfindung einen Akustische-Verschiebung-Flußmesser zum Bestimmen der Flußrate eines Fluids durch eine Leitung, die ein steuerbares Ventil enthält, zum Beschränken des Fluidflusses entlang der Leitung, wobei der Flußmesser folgende Merkmale aufweist:
    einen Verschiebungswandler, der ein Fluidtor aufweist, das mit der Leitung gekoppelt werden kann, wobei der Verschiebungswandler ein Verschiebungselement aufweist, das durch den Fluidfluß verschiebbar ist und betreibbar ist, um ein Signal zu erzeugen, das die Verschiebung des verschiebbaren Elements aufgrund der Bewegung des Fluids durch das Tor darstellt;
    eine Steuerungseinrichtung zum Liefern eines Steuerungssignals für eine vorbestimmte Meßperiode, um zu bewirken, daß das steuerbare Ventil den Fluidfluß entlang der die Leitung beschränkt und den Fluidfluß zu dem Verschiebungswandler umleitet, um zu bewirken, daß der Verschiebungswandler ein Signal erzeugt, das die Verschiebung aufgrund des Fluidflusses darstellt;
    eine Bestimmungseinrichtung zum Bestimmen der Flußrate unter Verwendung des Wandlersignals, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung folgende Merkmale aufweist:
    einen Ladungsakkumulator zum Ansammeln von Ladung;
    eine Signallieferungseinrichtung zum Liefern eines Referenzsignals zu dem Ladungsakkumulator für eine vorbestimmte Zeitperiode, um ein Laden des Ladungsakkumulators zu bewirken, um ein integriertes Referenzsignal zu erzeugen und um dann das Wandlersignal zu dem Ladungsakkumulator zu liefern, um ein Entladen des Ladungsakkumulators zu bewirken, bis die Ladung auf dem Ladungsakkumulator einen Pegel erreicht, der einen Schwellenwert darstellt;
    eine Zähleinrichtung zum Bestimmen der Entladungszeit, die das Wandlersignal benötigt, um zu bewirken, daß die Ladung auf dem Ladungsakkumulator den Pegel erreicht, der den Schwellenwert darstellt; und
    eine Berechnungseinrichtung zum Berechnen der Flußrate unter Verwendung der Zeit, die durch die Zähleinrichtung bestimmt wird.
  • Die Berechnungseinrichtung umfaßt ferner vorzugsweise eine Einrichtung zum Berechnen eines Temperatursteuerungssignals zum Anpassen der berechneten Fluidflußrate. Die Temperaturkorrektursignalberechnungseinrichtung kann eine Sensoreinrichtung zum Liefern eines ersten und zweiten Sensorsignals umfassen, dessen Verhältnis Temperatur darstellt, eine Einrichtung zum Koppeln des ersten Sensorsignals mit dem Ladungsakkumulator für eine zweite vorbestimmte Zeitperiode, um ein integriertes erstes Signal zu erzeugen, eine Einrichtung zum Liefern des zweiten Sensorsignals zu dem Ladungsakkumulator, um ein Entladen des Ladungsakkumulators zu bewirken, eine Einrichtung zum Zählen der Zeit, die erforderlich ist, damit die Ladung auf dem Ladungsakkumulator einen zweiten Schwellenwert erreicht, und eine Einrichtung zum Berechnen des Temperaturkorrektursignals aus der Zählung, die durch die Zähleinrichtung erreicht wird.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung weist ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen eines bidirektionalen Fluidflusses (z. B. Gas) auf, der unabhängig von der Gaszusammensetzung, und optional von der Umgebungstemperatur und dem atmosphärischen Druck ist. Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung schafft eine sogar noch umfassendere Umwandlung des dynamischen Bereichs des Flußratensignals als bei dem vorangehenden Akustische-Verschiebung-Flußmesser. Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung schafft eine Technik zum automatischen Kalibrieren der Flußmeßvorrichtung während der Herstellung, die sowohl Herstellungsvariablen als auch Flußwandler-Nichtlinearitäten kompensiert.
  • Für ein umfassenderes Verständnis der Eigenschaft und der Vorteile der Erfindung sollte Bezug auf die nachfolgende detaillierte Beschreibung in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen genommen werden.
  • 1 ist ein Blockdiagramm, das das bevorzugte Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;
  • 2 ist ein Teilschema, das den Analog-zu-Digital-Wandler des bevorzugten Ausführungsbeispiels zeigt;
  • 3 ist ein Zeitgebungsdiagramm, das die Operation des Ausführungsbeispiels aus 1 und 2 zeigt; und
  • 4 ist ein detailliertes Schema des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung.
  • Bezug nehmend nun auf die Zeichnungen ist 1 ein schematisches Blockdiagramm, das die Haupteinheiten darstellt, die das bevorzugte Ausführungsbeispiel der Erfindung aufweisen. Wie in dieser Figur ersichtlich ist, umfaßt ein Abschnitt des Fluidwegs einen Einlaß 10, in den ein Fluid, üblicherweise ein Gas, eingebracht wird, und einen Fluidauslaß 11, der mit dem nachgeschalteten Abschnitt des Fluidflußwegs gekoppelt ist. Ein elektrisch betreibbares Flußbeschränkungsventil 14 ist vorgeschaltet zu dem Auslaß 11 und nachgeschaltet zu den Einlaß 10 positioniert. Ein Flußbeschränker 15 ist in dem Einlaßabschnitt des Flußwegs direkt vorgeschaltet zu einem Zweig 16 umfaßt, zu einem Zweck, der nachfolgend beschrieben wird. Der verzweigte Abschnitt des Fluidflußwegs ist mit dem Einlaßtor des Verschiebungswandlers 17 gekoppelt.
  • Ein Flußbeschränkungsventil 14 ist vorzugsweise ein üblicherweise offenes, elektrisch betreibbares Ventil, wie z. B. vom Typ LFDX0510250A, das von der Lee Company in Westbrook, Connecticut erhältlich ist. Dieses Ventil wird durch eine Ventilsteuerungseinheit 18 gesteuert, die Steuerungssignal genannt VENTIL EIN von einer Mikrocomputereinheit 40 empfängt. Das Ventil 14 wird durch die Ventilsteuerungseinheit 18 immer in den geschlossenen Zustand betrieben, wenn das VENTIL EIN-Signal, das in 3 gezeigt ist, im aktiven Zustand ist.
  • Der Verschiebungswandler 17 weist vorzugsweise einen Verschiebungswandler vom hochkonformen akustischen Typ auf, wie z. B. einen Wandler vom Typ 25ST500, der von Mouser Electronics Co. in Randolf, New Jersey erhältlich ist. Der Wandler 17 umfaßt ein Mylar-Membranelement und ist so befestigt, daß Gas in eine Kammer eingebracht wird, die durch das Diaphragma und eine starre Platte eingegrenzt ist. Der Wandler 17 erzeugt ein elektrisches Signal, das die Verschiebung bei einem Paar von Ausgangsanschlußleitungen 18, 20 darstellt, die mit einer Polaritätsumkehrschaltung 21 gekoppelt sind, die in 4 detailliert dargestellt ist. Die Polaritätsumkehrschaltung ist in der Lage, die Polarität der Signale umzukehren, abhängig von der Flußrichtung, so daß das Signal, das von einem Fluß entlang des Flußwegs in einer Richtung resultiert, korrekt durch einen Analog-zu-Digital-Wandler 25 verarbeitet werden kann, mit dem die Polaritätsumkehrschaltung 21 über eine Anschlußleitung 22 gekoppelt ist. Ein Referenzspannungserzeuger 26 liefert eine Referenzspannung Vr auf dem Leiter 27 zu der Polaritätsumkehrschaltung 21 und ferner zu dem Analog-zu-Digital-Wandler 25.
  • Ein Umgebungs-Druck/Temperatur-Sensor 30 liefert ein Paar von Signalen, die sich auf einen gemessenen Wert des Umgebungsdrucks und der Temperatur beziehen, auf den Leitern 32 und 34 zu dem Analog-zu-Digital-Wandler 25. Die zwei Signale, die durch den Sensor 30 geliefert werden, werden als „UMGEBUNGSSENSOR" bzw. „UMGEBUNGSANREGUNG" bezeichnet. Der Umgebungssensor 30 weist vorzugsweise einen Sensor vom Typ FPM-05PG auf, der von Fujikura Ltd. in Tokyo, Japan erhältlich ist, der im wesentlichen aus einem piezoresistiven Überdrucksensor besteht, der mit einem kleinen Luftreservoir verbunden ist. Der Sensor wird modifiziert, durch Abdichten des Einlaßtors, um ein abgedichtetes Innenluftreservoir zu erzeugen. Diese Vorrichtung erzeugt die zwei elektrischen Signale UMGEBUNGSSENSOR und UMGEBUNGSANREGUNG, wobei das Verhältnis zwischen denselben das Druckdifferential zwischen der Flußmesserumgebungsatmosphäre und dem Druck der Luftprobe darstellt, die in dem abgedichteten Sensorreservoir gefangen ist.
  • Ein Paar von Steuerungssignalen, die als „AUTO NULL" und „EINGABE-AUSWAHL" bezeichnet werden, wird zu dem Analog-zu-Digital-Wandler 25 über die Anschlußleitungen 37, 38 von dem Mikrocomputer 40 geliefert. Das Ausgangssignal des Analog-zu-Digital-Wandlers 25, genannt „NULLDURCHGANG", wird zu dem Mikrocomputer 40 als ein Rohdatensignal auf dem Leiter 39 geliefert. Eine Bedienpersonschnittstelle 42 ist mit einem Paar von manuell betreibbaren Schaltern 43, 44 versehen, die es einer Bedienperson ermöglichen, eine Flußmesseroperation durch Manipulieren des Schalters 43 zu beginnen, und die es einer Bedienperson zu ermöglichen, die Flußmessungen zu unterbrechen und eine Anzeige einer Aufforderungsmeldung auf einer Anzeige 45 zu verursachen, die den aktuellen Modus der Flußmesseroperation anzeigt (volumetrisch, Massenfluß, lineare Geschwindigkeit etc.), durch Betreiben des Schalters 44. Eine nachfolgende Operation des Schalters 44 verursacht eine Anzeige des nächsten Eintrags in der Liste der verfügbaren Modi.
  • Der Mikrocomputer 40 weist einen Mikroprozessor vom Typ Z84C0004PEC auf, der von Zilog, Inc. in Campbell, Kalifornien erhältlich ist.
  • Die Anzeige 45 weist vorzugsweise eine Anzeige vom Typ AND671 auf, die von AND in Burlingame, Kalifornien erhältlich ist.
  • Eines der Ausgangstore des Mikrocomputers 40 ist mit einem Ausgangstreiber 46 gekoppelt, der serielle Daten vom Typ RS232 liefert, die an dem Anschluß 48 ausgegeben werden.
  • In Betrieb wird der Fluß, der gemessen werden soll, an den Flußweg angelegt und zu dem Verschiebungswandler 17 umgeleitet, durch Schließen des Ventils 14 ansprechend auf ein Steuerungssignal, das durch die Ventilsteuerungseinheit 18 erzeugt wird, ansprechend auf den Empfang eines Signals VENTIL EIN von dem Mikrocomputer 40. Der Flußbeschränker 15 funktioniert, um eine unerwünschte Unterdrucksetzung zu beseitigen, die bei hohen Flußraten am Eingang des Verschiebungswandlers aufgrund verschiedener Widerstandsquellen gegen den Gasfluß in dem Flußweg auftreten kann. Wenn der Fluß in das Volumen umgeleitet wird, das durch die Wandlermembran begrenzt ist, verdrängt das Gas, das so akkumuliert wird, die Membran und erzeugt ein elektrisches Signal an den Anschlüssen 19, 20 das proportional zu der Akkumulationsrate und folglich zu dem volumetrischen Fluß ist.
  • Die Polaritätsumkehrschaltung 20 paßt die Polarität des Verschiebungssignals an den Leitern 19, 22 ansprechend auf ein Steuerungssignal von dem Mikrocomputer 40 an, um ein analoges Signal einer ordnungsgemäßen Polarität für den Analog-zu-Digital-Wandler 25 zu liefern.
  • Bezug nehmend auf 2 umfaßt der Analog-zu-Digital-Wandler 25 einen Eingangsmultiplexer 50, der fünf unterschiedliche Eingangsanschlüsse zum Empfangen des Vr Referenzsignals auf dem Leiter 27, der zwei Signale von dem Umgebungssensor 30 auf den Leitern 32, 34, des Verschiebungssignals von dem Polaritätsumkehrer 21 auf dem Leiter 22 und einer analogen Massereferenz auf dem Leiter 58 aufweist. Der Eingangsmultiplexer 50 wird durch Eingangsauswahlsignale gesteuert, die von dem Mikrocomputer 40 auf den Eingangsauswahlleitungen 38 gekoppelt werden.
  • Der Wandler 25 umfaßt ferner einen Eingangswiderstand 51, einen Auto-Null-Speicherungskondensator 52, einen Integrator- (d. h. einen Ladungsakkumulierungs-) Kondensator 53, einen Integrator- (oder Ladungsakkumulator-) Verstärker 54, einen Stromeinschränkungswiderstand 55, einen Betriebsverstärker 56, der als ein Komparator konfiguriert ist, und einen Auto-Null-Schalter 57. Die Verstärker 54, 56 weisen eine Hälfte einer Quad-Betriebsverstärkerschaltung vom Typ TLC27M4 auf, die von Texas Instruments in Dallas, Texas, erhältlich ist. Der Auto-Null-Schalter 57 weist einen Abschnitt eines CMOS-Multiplexers vom Typ CD4053 auf, der von National Semiconductor in Santa Clara, Kalifornien erhältlich ist. Der Analog-zu-Digital-Wandler 25 funktioniert auf nachfolgende Weise.
  • Bezug nehmend auf 3 gibt der Mikrocomputer 40 anfänglich einen VENTIL EIN-Befehl aus, gefolgt durch einen AUTO-NULL-Befehl, der verursacht, daß sich der Auto-Null-Schalter 57 schließt. Dies koppelt den Ausgang des Ladungsakkumulatorverstärkers 54 mit dem Auto-Null-Speicherungskondensator 52 durch den Stromeinschränkungswiderstand 55. Die Spannung, die nachfolgend an dem Kondensator 52 akkumuliert, dient zum Setzen eines Versatzfehlers des Ladungsakkumulators auf Null. Diese Anfangsphase wird die „Auto-Null-Phase" genannt. Die zweite Phase, genannt die „Referenzladungsakkumulatorphase", beginnt, wenn das Auto-Null-Steuerungssignal auf dem Leiter 37 nicht angesteuert wird, wodurch der Auto-Null-Schalter 57 deaktiviert wird. Gleichzeitig liefert der Mikrocomputer 40 Eingangsauswahlsignale auf den Leitern 38, die den Eingangsmultiplexer 50 konfigurieren, um das analoge Massesignal zu den angeschlossenen Eingängen des Verstärkers 54 und des Komparators 56 zu verbinden. Ferner ist die Referenzspannung Vr mit dem Ladungsakkumulator für eine vorausgewählte Zeitperiode Tr gekoppelt. Während dieser Zeit akkumuliert Ladung auf dem Kondensator 53, die gleich dem Produkt von Tr mal der Referenzspannung Vr geteilt durch die Werte des Kondensators 53 und des Eingangswiderstands 51 ist. Am Ende von Tr, beginnt die dritte Phase – genannt die Deintegrations- oder Entlade-Phase – durch Aufheben der Auswahl des Vr-Referenzeingangs zu dem Multiplexer 50 und Auswählen des Verschiebungssignaleingangs an dem Leiter 22. Da die Polaritätsumkehrschaltung 21 sicherstellt, daß die Polarität des Verschiebungssignals, wie es dem Wandler 25 vorgelegt wird, immer entgegengesetzt der Referenzspannung Vr ist, beginnt sich die Ladung auf dem Kondensator 53 nun mit einer Rate proportional zu der Stärke des Signals von dem Verschiebungswandler 17 und folglich zu der Flußrate, die gemessen wird, zu verringern. Die Zeit, die erforderlich ist, daß sich die Ladung auf Null (Td) verringert ist somit gegeben durch: Td = Tr·Vr/(Sf + Vo)wobei
    Td = Entladezeit
    Tr = Referenzladungsakkumulationszeit
    Vr = Referenzspannung
    Sf = Flußratensignalstärke
    Vo = Geringe Vorspannungsspannung zum Einschränken der Maximalumwandlungszeit
  • Während Td tastet der Mikrocomputer 40 den Pegel des Nulldurchgangssignals ab, das auf dem Leiter 39 vorliegt, das durch den Komparator 56 bei einer Frequenz F erzeugt wird, die durch die interne Instruktionsausführungsgeschwindigkeit des Mikrocomputers 40 eingeschränkt ist. Das abschließende Digitalumwandlungsergebnis N ist gegeben durch: N = F·Tr·Vr/(Sf + Vo)
  • Die Anzahl von Abtastwerten N wird in einem Register in dem Mikrocomputer 40 akkumuliert, bis zu einer Zeit, zu der das Nulldurchgangssignal in den entgegengesetzten Zustand übergeht. Dies liefert dem gemessenen Wert der Flußrate unkorrigiert für Abweichungen von standardmäßigen Temperatur- und Druck-Bedingungen.
  • Um Abweichungen von standardmäßigen Temperatur- und Druck-Bedingungen zu korrigieren, nachdem der Flußraten-Abtastzyklus abgeschlossen ist, werden die Signale von dem Sensor 30 auf ähnliche Weise unter Verwendung des oben beschriebenen Dreiphasen-Umwandlungsalgorithmus bewertet, der wie folgt modifiziert ist. Während Phase 1 wird der Wandler 25 in der Auto-Null-Phase betrieben. Während Phase 2 wird das UMGEBUNGSSENSOR-Ausgangssignal auf dem Leiter 32 für eine Ladungsakkumulation für eine vorbestimmte Zeitperiode ausgewählt. Schließlich, während Phase 3, wird die Ladung, die auf den Kondensator 53 während Phase 2 akkumuliert wurde, mit einer Rate proportional zu dem Wert des UMGEBUNGSANREGUNG-Sensorsignals entladen, das auf dem Leiter 34 vorliegt. Da der Sensor 30 von einem Typ ist, bei dem das Ausgangsumgebungssensorsignal auf dem Leiter 32 proportional zu dem Anregungsstrom ist, der zu dem Sensor geliefert wird, wird die Analog-zu-Digital-Umwandlung des Sensorausgangssignals auf eine Weise durchgeführt, die inhärent ein numerisches Ergebnis gleich dem Verhältnis von Sensorausgangssignal zu Sensoranregung erzeugt. Da das Entladen der akkumulierten Ladung auf dem Kondensator 53 mit einer Rate direkt proportional zu der Sensoranregung auftritt, ist die Zeit, die zum Fertigstellen des Entladens erforderlich ist, umgekehrt proportional zu der Anregung.
  • Der gemessene Wert des Umgebungsdrucks von dem Sensor 30 wird verwendet, um die Volumenflußmessung über die folgende Beziehung umzuwandeln: Fm = Fv·Pa/Tawobei
    Fm = Massefluß
    Fv = volumetrischer Fluß
    Pa = Umgebungsdruck (in Atmosphären)
    Ta = absolute Umgebungstemperatur (in Einheiten von Grad K/293, d. h., das Verhältnis von Umgebungstemperatur zu Standardtemperatur)
  • Es wird nun der Druckunterschied zwischen den Inhalten des abgedichteten starren Behälters eines Gases und einer umliegenden Umgebung betrachtet. Wenn ein Gas in einem Behälter auf Standard-Temperatur und -Druck war, als der Behälter abgedichtet wurde, dann ist das Druckdifferential in Atmosphären: pd = Pa – Tawobei
    Pa = Umgebungsdruck
    Ta = Umgebungstemperatur (ausgedrückt in den oben erwähnten Einheiten)
  • Eine gute Näherung des Masseflusses Fm kann wie folgt ausgedrückt werden: Fm = Fv·(1 + pd) = Fv·(1 + Pa – Ta)
  • Tatsächlich ist die resultierende Korrektur für Druckabweichungen exakt, ist jedoch nur ungefähr für Temperaturabweichungen. Der Beitrag der Temperaturabweichungen ist jedoch sehr klein, im Bereich von 1% über einen Temperaturbereich von ungefähr –10°C bis ungefähr 50°C. Genauer gesagt sei ein Umgebungsdruck Pa von 1 Atmosphäre angenommen. Das Verhältnis der exakten Beziehung Fm = Fv·Pa/Ta zu dem ungefähren Verhältnis Fm = Fv·(1 + Pa – Ta) ist wie folgt: (1/Ta)/(1 + Pa – Ta) = 1/(2·Ta – Ta2)
  • Damit dieses Verhältnis von 1,0 um mehr als 1% abweicht, muß Ta von 1 (gleich einer Temperatur von 293° Kelvin) um mehr als 10% abweichen (gleich 29°C).
  • Wie oben erwähnt wurde, ist ein Flußbeschränker 15 dem Zweig 16 in dem Fluidweg vorgeschaltet. Der Flußbeschränker 15 erzeugt eine Extrahiererwirkung zum beträchtlichen Reduzieren oder vollständigen Beseitigen eines unerwünschten Unterdrucksetzens bei hohen Eingangsflußraten, erzeugt durch verschiedene Quellen des Widerstands gegen den Gasfluß, die unverhinderbar in dem Flußweg existieren.
  • Es sollte darauf hingewiesen werden, daß der Flußbeschränker 15 den Nettofluß durch das System nicht bedeutend verändert, da der Druckabfall, der durch den Beschränker 15 eingebracht wird extrem niedrig in absoluten Zahlen ist (beträchtlich weniger als 1 psi), und da kein alternativer Flußweg in dem Messer existiert, durch den Gas umgeleitet werden könnte.
  • Die spezifischen Gründe zum Verwenden des Beschränkers 15 sind wie folgt. Es wurde beobachtet, daß ein beträchtlicher statischer Druck (relativ zu der extrem hohen Konformität des Wandlers 17) bei hohen Flußraten aus Flußwiderstand erzeugt wird, der durch Elemente des Flußwegs verursacht wird, während das Ventil offen ist, und das Gas soll frei entweichen. Dieser statische Druck neigt dazu, die Membran des Verschiebungswandlers 17 von der Nullfluß-Ruheposition zu einer anderen Position zu verschieben. Dies beeinflußt das quantitative Ansprechverhalten der Membran während der nachfolgenden Flußmeßzyklen nachteilig. Der Betrag des statischen Druckes und daher die Wandlerstörung ist abhängig von der Gasstromdichte.
  • Die Auswahl der Position des Flußbeschränkers 15 kann am besten empirisch bestimmt werden, und es hat sich herausgestellt, daß die Installation des Beschränkers 15 die Auswirkung des statischen Drucks wesentlich beseitigt. Obwohl es nicht genau bekannt ist, ist es wahrscheinlich, daß diese Verbesserung an einem „Extrahierer" oder Venturi-Effekt liegt, der durch eine Senkung des dynamischen Flußstromdrucks aufgrund der lokalen Erhöhung der Fluidgeschwindigkeit an dem Punkt der Flußstromverengung verursacht wird, wie in Standardmodellen eines Fluidflusses beschrieben ist (z. B. Bernoulli-Effekt). Diese Senkung des dynamischen Flußdrucks wirkt, um die statische Unterdrucksetzung des Einlasses des Verschiebungswandlers 17 zu beseitigen und beseitigt daher die unerwünschte Abhängigkeit der Flußmessung von der Gaszusammensetzung.
  • Zufriedenstellende Abmessungen für den Beschränker 15 wurden empirisch bestimmt, um relativ unkritisch zu sein, da die ursprüngliche Unterdrucksetzungsungenauigkeit nur kleine Fehler im Bereich von plus oder minus 5% verursacht hat. Bei einem Flußweg, der eine einfache 3,2 mm (1/8 Zoll) ID-T-Kunststoffanschlußstück aufweist, angeordnet wie in 1 gezeigt ist, ist der Flußbeschränker 15 als eine Röhrenleitung kurzer Länge (im Bereich von 1 cm) von 0,8 mm (1/32 Zoll) ID gedrückt in die Einlaßstichleitung der T-Einpassung implementiert.
  • Wie oben erwähnt wurde, funktioniert die Polaritätsumkehrschaltung 21, um die Polarität der Ausgangssignale des Verschiebungswandlers 17 umzukehren, abhängig von der Flußrichtung, so daß das Signal, das aus dem Fluß entlang des Fluidweges in einer Richtung resultiert, korrekt durch den Analog-zu-Digital-Wandler 25 verarbeitet werden kann. Die Art und Weise, auf die die Signalpolarität getestet und umgekehrt wird, falls nötig, ist wie folgt. Während des Entladens des Signals von dem Wandler 17 während der Phase 3 des Meßzyklus mißt der Mikrocomputer 40 die Zeit, die für das Nulldurchgangssignal auf dem Leiter 39 erforderlich ist, um seinen Zustand zu ändern. Wenn diese Zeit eine vorbestimmte Grenze überschreitet, die bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel ungefähr minus 15 ml/min entspricht, bestimmt die Flußmetersoftware, daß die tatsächliche Flußrichtung entgegengesetzt zu der ist, die für die aktuelle Einstellung des Zustands des Polaritätsumkehrers 21 angemessen ist. Folglich erzeugt der Mikrocomputer 40 ein Signal, das den Zustand der Umkehrschaltung 21 umkehrt und ignoriert die aktuelle Messung. Danach treten nachfolgende Flußmessungen mit der korrekten Umkehrereinstellung auf. Als ein manuelles Übersteuern kann die Bedienperson die aktuelle Einstellung der Umschalterschaltung 21 übersteuern, durch Manipulieren von einem der Schalter 43, 44 bei der Bedienpersonschnittstelle 42 ansprechend auf das Aufrufen der Anzeige 45 durch den Mikrocomputer 40.
  • Der dynamische Bereich der Flußratensignalverarbeitung ist groß genug entworfen, um Herstellungstoleranzen von plus oder minus 20% der Flußmesserkomponenten unterzubringen, vorwiegend aufgrund von Abweichungen bei der Empfindlichkeit des Verschiebungswandlers 17. Eine 1%-Auflösung eines gewünschten Verhältnis von 1000-zu-1 von maximalen (1 L/min) zum minimalen (1 ml/min) Flußraten wird durch den Analog-zu-Digital-Wandler 25 geliefert. Somit ist der dynamische Bereich des Flußratensignalverarbeitungswegs groß genug, um einen Wandlerantwortbereich unterzubringen, wenn derselbe mit dem dynamischen Bereich des Flußratensignals selbst zusammengelegt wird. Diese Anforderung erfordert eine Erhöhung des dynamischen Bereichs um einen Faktor von 1,44, was durch den Signalverarbeitungsweg benötigt wird. Das heißt, der Analog-zu-Digital-Wandler 25 muß ausreichend empfindlich sein, um die 1/1,2 = 0,833.... Antwort des Flußmessers, die auf die niedrige Seite der Verteilung fällt, in einen dynamischen Bereich von 100.000 : 1 aufzulösen, der in der Spezifikation des Flußmessers gefordert wird. Gleichzeitig muß der Analog-zu-Digital-Wandler 25 genug Reserve aufweisen, so daß die 1,2-Antwort der Flußmesser, die in das hohe Ende der Verteilung fällt, keinen Überbereichszustand verursacht. Diese kombinierte Anforderung kann als dynamischer Nettobereich von (1,2)2 × 100.000 = 144.000 beschrieben werden.
  • Da der Flußmesser, der durch das bevorzugte Ausführungsbeispiel dargestellt ist, erforderlich ist, um Gasflußraten in dem Bereich von 1 bis 1.000 ml/min mit einer Minimalauflösung von 1/100 des angezeigten Werts zu digitalisieren, und aufgrund der zuvor genannten Vorkalibrierungsungewißheit des Verschiebungswandlers 17, wird ein minimaler dynamischer Bereich von 144.000 : 1 benötigt. Um diesen großen dynamischen Bereich zu erreichen, ohne Wirtschaftlichkeit und Einfachheit der Implementierung zu opfern, wird das oben beschriebene Umwandlungsverfahren verwendet, das zusammenfassend beschrieben eine numerische Darstellung des Verschiebungswandlersignals erzeugt, die proportional zu dem Kehrwert dieses Signals ist.
  • Es wird darauf hingewiesen, daß die Auswahl der Referenzladungsakkumulationszeit Tr abhängig von verschiedenen Faktoren ist. An dem Minimalende des Bereichs ist der Wert von Tr durch die benötigte Genauigkeit der Referenzladung eingegrenzt, die auf den Kondensator 53 vor der Signaldigitalisierung aufgebracht wird, und ferner durch die realisierbaren Zeitgebungsauflösungsgrenzen, die durch die Bandpaßcharakteristika des Verstärkers 55 auferlegt werden. Maximalwerte für Tr sind durch Grenzen eingeschränkt, die sich auf Leckströme und ähnliche analoge Fehler beziehen. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel hat sich der Wert von drei Millisekunden als zufriedenstellend herausgestellt.
  • In Betrieb wird der Ladungsakkumulationsabschnitt des Analog-zu-Digital-Wandlers 25 normalerweise in den AUTO-NULL-Modus gesetzt, außer während der Referenzladungsakkumulationszeit (Phase 2) und der Entladezeit (Phase 3). Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist das Flußabtastintervall 500 Millisekunden und die Leerlaufperioden während denen der Integratorabschnitt in dem AUTO-NULL-Modus vorliegt weist einen Großteil dieses 500-Millisekunden-Flußabtastintervalls auf.
  • Die Umgebungssensorsignal-Abtastperiode ist wesentlich kürzer als die, die für die Flußratenmessung erforderlich ist, und die Referenzladungsakkumulationszeit Tr für das Sensorsignal wird bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel als 1 Millisekunde ausgewählt. Umgebungssensorentladezeiten Td liegen üblicherweise im Bereich von 0–6 Millisekunden.
  • Wie bei dem Wandlersignal ersichtlich ist, das in 3 dargestellt ist, kann das Signal von dem Verschiebungswand ler 17 einen anfänglichen Nachschwingabschnitt am Beginn des Meßprozesses aufweisen. Falls erwünscht kann dieser anfängliche Nachschwingabschnitt durch Verzögern der Anfangsoperation des Analog-zu-Digital-Wandler-Ladungsakkumulationszyklus maskiert werden, bis das Nachschwingen abgeklungen ist, durch Verwenden der Maskierungstechnik, die in der U.S.-Patentanmeldung Seriennummer 07/827,176 offenbart ist, die oben identifiziert ist.
  • Die Verbesserung der Auflösung, die durch die Signalverarbeitung geboten wird, die bei dem Analog-zu-Digital-Wandler 25 verwendet wird, kann durch Untersuchen der Änderungsrate von N als eine Funktion von (Sf + Vo) erkannt werden, d. h., der Änderungsrate des gemessenen Flußratensignals als eine Funktion der Verschiebungswandler-Flußratensignalmessung. Der Betrag der Ableitung von N im Hinblick auf diese Summer erhöht sich als das umgekehrte Quadrat der Summe. Wenn somit die Konstanten der Gleichung für N = F·Tr·Vr/(Sf + Vo) so angepaßt werden, daß Flüsse in der Nähe von 1.000 ml/min auf eine Auflösung von 10 ml/min aufgelöst werden, muß der Wert von N, der einer Auflösung von 0,01 ml/min bei 1 ml/min entspricht nur 32 (d. h. die ungefähre Quadratwurzel von 1.000) mal größer sein und nicht 1.000 mal größer. Somit weist die 30-fache Verbesserung der ADC-Auflösung gegenüber dem, was benötigt werden würde, wenn die ADC-Auflösung linear proportional zu der Flußrate wäre, eine beträchtliche Bedeutung beim Reduzieren der Kosten und der Komplexität des Analog-zu-Digital-Wandlers 25 auf.
  • Nach der Anordnung des Systems, die in 1, 2 und 4 gezeigt ist, wird das System auf nachfolgende Weise kalibriert. Zum Beginnen des Kalibrierungsprozesses wird das Einlaßtor des Testflußmessers mit einer Quelle eines genau bekannten Gasflusses verbunden, üblicherweise 1 L/min. Ansprechend darauf werden die Flußmesserwerte, die durch den Mikrocomputer 40 berechnet werden, über den Ausgangstreiber 46 und den seriellen Datenausgabeanschluß 48 zu einem Hauptcomputer übertragen, wo die Kalibrierungstabellen erzeugt werden. Der Ausdruck N = F·Tr·Vr/(Sf + Vo)kann auf N = A/(V + B)vereinfacht werden, wo V die volumetrische Gasflußrate ist und A und B Konstanten sind, die empirisch bestimmt werden. Wenn N gegeben ist, kann dies wie folgt angeordnet sein: V = A/N – B
  • Die Aufgabe des Kompilierens einer Tabelle dieser empirischen Kalibrierungskonstanten wird durch Software ausgeführt, die in dem Computer betrieben wird. Beginnend mit dem N-Wert, der durch den Testflußmesser übertragen wird, während derselbe mit der 1 L/min-Quelle verbunden ist, und fortfahrend mit ähnlichen Ablesungen, die von einer Gesamtheit von genau vorbestimmten Flußquellen genommen werden, einschließlich Nullfluß, kompiliert der Computer eine Liste von Flußmesserantworten auf eine Anzahl von Flüssen (sieben in dem Fall des bevorzugten Ausführungsbeispiels). Ein Satz einer gleichen Anzahl von Ablesungen wird dann von einer Gesamtheit von vorbestimmten Flußsenken genommen (für einen Fluß in der umgekehrten Richtung von 1). Nachfolgend zu dem Abtasten jedes Flusses in der Gesamtheit erzeugt der Computer eine Kalibrierungstabelle, die aus fünfzig A-Zählerkonstanten und einer B-Nullversatzkonstante für jede Flußrichtung besteht. Interpolation wird verwendet, um jene Tabelleneinträge zu erzeugen, die nicht direkt einem gemessenen Flußwert entsprechen.
  • Die resultierenden Tabellen, eindeutig für den individuellen Flußmesser, der kalibriert wird, werden durch den Computer mit einer Kopie der Flußmessermikroprozessorsoft ware zusammengeführt und in eine programmierbare Nur-Lese-Speicher-Vorrichtung (PROM-Vorrichtung) geschrieben, die nachfolgend Teil des kalibrierten Flußmessers wird. Die Kalibrierungsinformationen werden somit unauslöschlich in das Flußmesserprodukt selbst eingelagert.
  • Ferner sind Konstanten in die Kalibrierungsdaten eingelagert, die in dem PROM gespeichert sind, die für eine Standardisierung des Umgebungs-Druck/-Temperatur-Sensors geeignet sind. Um diesen Prozeß zu ermöglichen, werden dem Computer durch die Bedienperson Umgebungstemperatur- und Barometerdruck-Daten am Anfang des Kalibrierungsverfahrens geliefert. Eine Kalibrierungssoftware, die in dem Computer ausgeführt wird, korreliert Umgebungssensor-ADC-Ergebnisse, die von dem Flußmesser übertragen werden, mit Umgebungstemperatur-/Barometer-Daten, um eine Kalibrierungskonstante für diesen Sensor zu erzeugen.
  • Während der tatsächlichen Flußmessung werden Verschiebungssensor-ADC-Ergebnisse in korrigierte volumetrische Flußdaten umgewandelt, durch Anwenden der Beziehung V = A/N – B in Verbindung mit den interpolierten A-Zählerkonstanten von der Kalibrierungstabelle und der B-Nullversatzkonstante.
  • Die resultierenden volumetrischen Flußwerte können direkt in Einheiten von ml/min angezeigt werden, oder für eine Anzeige in einer Vielzahl von benutzerausgewählten Einheiten neu skaliert werden. Unter diesen Einheiten sind:
    • (a) volumetrisch (ml/min)
    • (b) Massefluß (Standard kubisch cm/min)
    • (c) Verhältnisfluß (n,nn : 1) – ein Referenzfluß wird zuerst durch einen Bedienpersonbefehl über die Bedienpersonschnittstelle erfaßt. Nachfolgend werden Flußmessungen als Verhältnis zu dieser Referenz angezeigt.
    • (d) Lineare Geschwindigkeit (m/sek) – der Quotient des volumetrischen Flusses geteilt durch den Querschnittsbereich von einer Anzahl von Silikakapillarmeßgeräten, die üblicherweise für Gaschromatographie verwendet werden (wie ausgewählt durch die Bedienperson aus einem Menü der Standardbohrwerte) wird als lineare Geschwindigkeit angezeigt. Eine Anzeige eines Flusses, der so normiert ist, ist für Chromatographen von Vorteil während der anfänglichen Anpassung und des Aufbaus von Gaschromatographieeinrichtungen.
  • Anhang 1 zu dieser Erklärung ist ein Objektcodeprogramm im Dezimalformat (Base 10) des Programms, das bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel verwendet wird. Für eine gegebene Leitung ist die erste Zahl die PROM-Adresse und die zweite bis zur elften Zahl sind die Bytewerte. Adressen 2304 bis 2661 enthalten die Kalibrierungs-/Linearisierungs-Tabelle, die für diesen bestimmten Flußmesser eindeutig ist.
  • Während das oben genannte eine volle und komplette Offenbarung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung liefert, können verschiedene Modifikationen, alternative Konstruktionen und Entsprechungen verwendet werden. Während z. B. spezifische Schaltungselemente oben beschrieben wurden, können andere spezifische Elemente verwendet werden, die von den Anforderungen einer bestimmten Anwendung abhängen. Daher sollte die obige Beschreibung und die Darstellungen nicht als einschränkend für den Schutzbereich der Erfindung betrachtet werden, der durch die beiliegenden Ansprüche definiert ist.

Claims (12)

  1. Ein Verfahren zum Bestimmen der Flußrate eines Fluids, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Einrichten eines Flusses des Fluids durch eine Leitung; Einschränken des Fluidflußwegs durch die Leitung, um den Fluidfluß zu einem Verschiebungswandler (17) umzuleiten, der ein Verschiebungselement aufweist, das durch den Fluidfluß verschiebbar ist, wodurch bewirkt wird, daß der Verschiebungswandler (17) ein Signal erzeugt, das eine Verschiebung aufgrund des Fluidflusses darstellt, während der Flußweg entlang der Leitung zu dem Verschiebungswandler umgeleitet wird; Bestimmen der Flußrate unter Verwendung des Wandlersignals; und erneutes Einrichten des Fluidflusses durch die Leitung durch Entfernen der Einschränkung, gekennzeichnet durch den Bestimmungsschritt, der folgende Schritte umfaßt: Liefern eines Referenzsignals zu einem Ladungsakkumulator (54, 53), um ein Laden des Ladungsakkumulators über eine vorbestimmte Zeitspanne hinweg zu bewirken, um ein integriertes Referenzsignal zu erzeugen; dann Liefern des Wandlersignals zu dem Ladungsakkumulator (54, 53), um ein Entladen des Ladungsakkumulators zu bewirken, bis die Ladung auf dem Ladungsakkumulator einen Pegel erreicht, der einen Schwellenwert darstellt; und Berechnen der Flußrate unter Verwendung der Entladungszeit, die das Wandlersignal benötigt, um zu bewirken, daß die Ladung auf dem Ladungsakkumulator den Pegel erreicht, der den Schwellenwert darstellt.
  2. Das Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem der Schwellenwert Null ist.
  3. Das Verfahren gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei dem der Schritt des Bestimmens das Ignorieren eines Anfangsabschnitts des Wandlersignals umfaßt.
  4. Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Schritt des Berechnens das Akkumulieren der Zeit umfaßt, durch Zählen der Anzahl N von grundlegenden Abtastperioden, die während des Entladens des Ladungsakkumulators auftreten, und das Bestimmen der Flußrate aus der Gleichung: V = A/N – Bwobei V die volumetrische Flußrate ist und A und B Konstanten sind.
  5. Das Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, das ferner den Schritt des Bereitstellens eines Temperaturkorrektursignals zum Anpassen des berechneten Flußratenwerts umfaßt.
  6. Das Verfahren gemäß Anspruch 5, bei dem der Schritt des Bereitstellens folgende Schritte umfasst: Erzeugens eines ersten und eines zweiten Sensorsignals, deren Verhältnis die Temperatur darstellt, Akkumulieren von Ladung, die das erste Sensorsignal darstellt, für eine zweite vorbestimmte Zeitperiode, um ein integriertes erstes Signal zu erzeugen, Verwenden des zweiten Signals, um ein Entladen der akkumulierten Ladung zu bewirken, bis der Wert des integrierten ersten Signals einen zweiten Schwellenwert erreicht, und Verwenden der Zeit, die das integrierte erste Signal benötigt, um den zweiten Schwellenwert zu erreichen, um das Temperaturkorrektursignal zu berechnen.
  7. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem der zweite Schwellenwert Null ist.
  8. Ein Akustikverschiebungsflußmesser zum Bestimmen der Flußrate eines Fluids durch eine Leitung, die ein steuerbares Ventil (14) enthält, zum Einschränken des Fluidflusses entlang der Leitung, wobei der Flußmesser folgende Merkmale aufweist: einen Verschiebungswandler (17), der ein Fluidtor aufweist, das mit der Leitung gekoppelt werden kann, wobei der Verschiebungswandler ein Verschiebungselement aufweist, das durch den Fluidfluß verschiebbar ist und betreibbar ist, um ein Signal zu erzeugen, das die Verschiebung des verschiebbaren Elements aufgrund der Bewegung des Fluids durch das Tor darstellt; eine Steuerungseinrichtung (40, 18) zum Liefern eines Steuerungssignals für eine vorbestimmte Meßperiode, um zu bewirken, daß das steuerbare Ventil (14) den Fluidfluß durch die Leitung einschränkt und den Fluidfluß zu dem Verschiebungswandler umleitet, um zu bewirken, daß der Verschiebungswandler (17) ein Signal erzeugt, das die Verschiebung aufgrund des Fluidflusses darstellt; eine Bestimmungseinrichtung (40, 25) zum Bestimmen der Flußrate unter Verwendung des Wandlersignals, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung folgende Merkmale aufweist: einen Ladungsakkumulator (54, 53) zum Ansammeln von Ladung; eine Signallieferungseinrichtung (26, 40, 21) zum Liefern eines Referenzsignals zu dem Ladungsakkumulator (54, 53) für eine vorbestimmte Zeitperiode, um ein Laden des Ladungsakkumulators zu bewirken, um ein integriertes Referenzsignal zu erzeugen und um dann das Wandlersignal zu dem Ladungsakkumulator zu liefern, um ein Entladen des Ladungsakkumulators zu bewirken, bis die Ladung auf dem Ladungsakkumulator (54, 53) einen Pegel erreicht, der einen Schwellenwert darstellt; eine Zähleinrichtung (40) zum Bestimmen der Entladungszeit, die das Sensorsignal benötigt, um zu bewirken, daß die Ladung auf dem Ladungsakkumulator den Pegel erreicht, der den Schwellenwert darstellt; und eine Berechnungseinrichtung (40) zum Berechnen der Flußrate unter Verwendung der Zeit, die durch die Zähleinrichtung bestimmt wird.
  9. Ein Flußmesser gemäß Anspruch 8, bei dem der Schwellenwert Null ist.
  10. Ein Flußmesser gemäß einem der Ansprüche 8 oder 9, bei dem die Berechnungseinrichtung ferner eine Temperaturkorrektursignalberechnungseinrichtung umfaßt, zum Berechnen eines Temperaturkorrektursignals zum Anpassen des berechneten Flußratenwerts.
  11. Ein Flußmesser gemäß Anspruch 10, bei dem die Temperaturkorrektursignalberechnungseinrichtung folgende Merkmale aufweist: eine Sensoreinrichtung (30) zum Liefern eines ersten und eines zweiten Sensorsignals, deren Verhältnis die Temperatur darstellt, eine Einrichtung (50) zum Koppeln des ersten Sensorsignals mit dem Ladungsakkumulator (54, 53) für eine zweite vorbestimmte Zeitperiode, um ein integriertes erstes Signal zu erzeugen, eine Einrichtung (50) zum Liefern des zweiten Sensorsignals zu dem Ladungsakkumulator, um ein Entladen des Ladungsakkumulators zu bewirken, eine Einrichtung (40) zum Zählen der Zeit, die erforderlich ist, damit die Ladung auf dem Ladungsakkumulator einen zweiten Schwellenwert erreicht, und eine Einrichtung zum Berechnen des Temperaturkorrektursignals aus der Zählung, die durch die Zähleinrichtung erreicht wird.
  12. Ein Flußmesser gemäß Anspruch 11, bei dem der zweite Schwellenwert Null ist.
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