DE69521489T2 - Thermische Kompensation für Diodenarray-Spektrometer - Google Patents

Thermische Kompensation für Diodenarray-Spektrometer

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Description

    Gebiet der Erfindung
  • Die hier beschriebene Erfindung betrifft ein Diodenarray-Spektrofotometer, dessen Grundelemente eine Eingangsschlitzvorrichtung (entrance slit apparatus), ein optisches Gitter (diffraction grating), ein Diodenarray (diode array) und ein Gehäuse (casing) zum Festlegen der räumlichen Positionen dieser Elemente im Verhältnis zueinander sind. Die Erfindung betrifft insbesondere die Ausrichtung und Befestigung des optischen Gitters in Bezug auf die Eingangsschlitzvorrichtung und das Diodenarray.
  • Grundlagen der Erfindung
  • Ein Diodenarray-Spektrofotometer mit einer Eingangsschlitzvorrichtung, einem optischen Gitter und einem Diodenarray bildet den Eingangsschlitz der Eingangsschlitzvorrichtung über das optische Gitter auf das Diodenarray ab. Außer der spektrale Aufteilung (spectral division) von Licht hat das optische Gitter normalerweise auch eine Abbildungsfunktion, die derjenigen eines konkaven Spiegels entspricht.
  • Das Fotodiodenarray (photo diode array) eines Diodenarray-Spektrofotometers hat eine typische Länge zwischen etwa 12,5 mm und 25 mm, wobei Diodenarraylängen von etwa 25 mm normalerweise bei Geräten mit höherer Auflösung verwendet werden. Ein UVNIS-Diodenarray-Spektrofotometer deckt einen Wellenlängenbereich von 200 nm bis 800 nm ab, wobei eine lineare Streuung (linear dispersion) von etwa 40 nmfmm erhalten wird. Viele Anwendungsgebiete erfordern eine Wellenlängenreproduzierbarkeit (wavelength reproducibility) von weniger als 0,05 nm mit einer Wellenlängengenauigkeit (wavelength accuracy) von mehr als 1 nm über einen breiten Temperaturbereich. Dies bedeutet, dass die mechanische und thermische Stabilität der Anordnung des Eingangsschlitzes in Bezug auf das optische Gitter und das Diodenarray im Betriebstemperaturbereich im Submikrometerbereich liegen muss, selbst wenn Stöße und Erschütterungen auftreten, wie sie im alltäglichen Gebrauch unvermeidlich sind.
  • Bei einem Diodenarray-Spektrofotometer ist es außerdem notwendig, während des Zusammenbaus des Gerätes die Position der optischen Elemente im Bezug zueinander zu justieren, d. h. die Position des Eingangsschlitzes in Bezug auf das optische Gitter und auf das Diodenarray. Nach der Ausführung von Justierungen müssen die justierten Elemente auf solche Weise befestigt werden, dass die oben beschriebene mechanische und thermo-mechanische Stabilität erreicht wird.
  • Um geometrische Verschiebungen (geometrical displacements) aufgrund der unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten (coefficients of thermal expansion) der optischen Komponenten eines Diodenarray-Spektrofotometers auf ein Minimum herabzusetzen, lehrt US-A-4 709 989, dass das Gehäuse des Spektrofotometers aus komprimiertem Keramikmaterial (compressed ceramic material) hergestellt werden kann, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient an den Wärmeausdehnungskoeffizient der in den optischen Elementen des Spektrofotometers verwendeten Linsen angepasst ist.
  • US-S-4 805 993 beschreibt ein zusätzliches Diodenarray-Spektrofotometer mit einem Schlitz (slit), einem Diodenarray und einem optischen Gitter, die durch ein Gehäuse in einer bestimmten Position zueinander gehalten werden. Für die Justierung und Befestigung des Gitters in Bezug auf das Gehäuse weist das Gitter einen Stift (peg) auf der Rückseite auf, der während der Justierung von einem Manipulator (manipulator) gehalten wird. Das Gitter kann unter Verwendung der Anordnungsplatte (layout plate) entlang der x- und y-Achsen bewegt und auch um diese Achsen gedreht werden. Um eine Verschiebung in der z-Richtung zu ermöglichen, kann das Gitter innerhalb der zylindrischen Öffnung in der Anordnungsplatte bewegt werden. Wenn die endgültige Justierungsposition erreicht worden ist, wird die Anordnungsplatte zusammen mit dem Gitter unter Verwendung einer selbsthärtenden (self-hardening) Substanz in Bezug auf das Gehäuse fixiert. Sowohl das Gitter als auch die Anordnungsplatten des bekannten Diodenarray-Spektrofotometers bestehen aus Glas. Die für die Justierung und Befestigung des optischen Gitters des bekannten Diodenarray-Spektrofotometers beschriebene Struktur, bei der die beschriebene Plattenanordnung verwendet wird, ist in der Herstellung und in der Handhabung während der Justierungs- und Befestigungsphasen kompliziert. Bei diesem bekannten Diodenarray- Spektrofotometer muss nach der beschriebenen Justierung des Gitters eine Feineinstellung des Diodenarrays ausgeführt werden, da für die Justierung des Gitters nicht alle Freiheitsgrade verfügbar sind.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Gemäß einem ersten wichtigen Aspekt beruht die Erfindung auf der Erkenntnis, dass der Eingangsschlitz und das Gitter das Wärmeausdehnungsverhalten des Diodenarrays nicht kompensieren können, obwohl die thermische Kompensation (thermal compensation) des bekannten Spektrofotometers das Verhalten des Gehäuses berücksichtigt.
  • Wie unten ausführlich beschrieben wird, beruht die Erfindung auf der Erkenntnis, dass die Temperaturabhängigkeit der gemessenen Wellenlänge auf ein Minimum herabgesetzt wird, falls der Wärmeausdehnungskoeffizient einer Gitterhalterung, die das optische Gitter hält und am Gehäuse angebracht ist sowie eine einstellbare Position des optischen Gitters in Bezug auf die Eingangsschlitzvorrichtung und das Diodenarray festlegt, an den Wärmeausdehnungskoeffizienten des Diodenarrays angepasst wird.
  • Zu diesem Zweck stellt die Erfindung ein Diodenarray-Spektrofotometer mit einer Eingangsschlitzvorrichtung, einem optischen Gitter, einem Diodenarray, einem Gehäuse zum Festlegen der Position der Eingangsschlitzvorrichtung in Bezug auf das Diodenarray und eine am Gehäuse angebrachte Gitterhalterung zum Aufnehmen des optischen Gitters bereit, wobei die Halterung zum Befestigen des Gitters in einer justierten Position in Bezug auf die Eingangsschlitzvorrichtung und das Diodenarray verwendet wird, wobei das Gehäuse und die Gitterhalterung aus Keramik oder Keramikmaterialien bestehen, deren Wärmeausdehnungskoeffizient(en) an den Wärmeausdehnungskoeffizienten des Diodenarrays angepasst ist (sind).
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird ein Diodenarray- Spektrofotometer des zuvor erwähnten Typs bereitgestellt, bei dem das Diodenarray aus Silicium besteht und die Keramik einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 2,5 · 10&supmin;&sup6; K&supmin;¹ hat.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird ein Diodenarray- Spektrofotometer des zuvor erwähnten Typs bereitgestellt, bei dem die Keramik eine Silikatkeramik (silicate ceramic) ist.
  • Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird ein Diodenarray-Spektrofotometer des zuvor erwähnten Typs bereitgestellt, bei dem die Silikatkeramik zu dem Dreikomponentensystem (three-component system) Al&sub2;O&sub3;- MgO-SiO&sub2; gehört.
  • Gemäß noch einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird ein Diodenarray-Spektrofotometer des zuvor erwähnten Typs bereitgestellt, bei dem das Gehäuse und die am Gehäuse angebrachte Gitterhalterung aus derselben Keramik bestehen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Im Folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung mit Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ausführlicher beschrieben:
  • Fig. 1 ist eine schematische Darstellung der Hauptfunktionselemente eines Diodenarray-Spektrofotometers;
  • Fig. 2 eine ebene Darstellung einer Gitterhalterung zum Aufnehmen eines optischen Gitters und zum Befestigen seiner Position auf einstellbare Weise in Bezug auf das Gehäuse des Spektrofotometers; und
  • Fig. 3 ist eine Darstellung eines vertikalen Querschnitts der in Fig. 2 gezeigten Gitterhalterung.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
  • Fig. 1 zeigt ein Diodenarray-Spektrofotometer mit einer optischen Vorrichtung 3, die einen Eingangsschlitz definiert, der hier im Folgenden als Eingangsschlitzvorrichtung 3 bezeichnet wird, einem optischen Gitter 4 und einem Diodenarray 5.
  • Um der Klarheit willen wird das Gehäuse 1 in der schematischen Darstellung von Fig. 1 nicht gezeigt, sondern stattdessen nur in Fig. 2 und 3. Auf herkömmliche Weise dient das Gehäuse 1 zum Festlegen der Positionen der Eingangsschlitzvorrichtung 3, des optischen Gitters 4 und des Diodenarrays 5 im Bezug zueinander. Auf eine an sich herkömmliche Weise für Diodenarray-Spektrofotometer bildet das optische Gitter 4 den durch die Eingangsschlitzvorrichtung 3 definierten Eingangsschlitz in Abhängigkeit von der Wellenlänge des einfallenden Lichtes auf eines der Elemente des Diodenarrays 5 ab. Die Eingangsschlitzvorrichtung 3 und das Diodenarray 5 müssen sich in bestimmten Positionen in der x-y-Ebene befinden. Hier werden weniger kritische Justierungsfehler entlang der y-Achse durch einen hellen Pfeil gekennzeichnet, während kritische Justierungsfehler entlang der x-Achse durch einen dunklen Pfeil gekennzeichnet werden. Das optische Gitter 4 muss in Bezug auf seine Position in der x-y-Ebene, seinem Abstand entlang der z-Achse und seiner Schwenkrichtung (swivel direction) um die x- und y-Achse korrekt eingestellt werden. Hier werden die entsprechenden kritischen Einstellungen ebenfalls durch einen dunklen Pfeil gekennzeichnet, die weniger kritischen Einstellungen durch einen hellen Pfeil und die mäßig kritischen Einstellungen durch einen schraffierten Pfeil.
  • Außerdem lehrt die Erfindung, dass es beim Auswählen der Wärmeausdehnungskoeffizienten notwendig ist, beim Wärmeausdehnungskoeffizient des Diodenarrays als dem Zielwärmeausdehnungskoeffizient zu beginnen und die Wärmeausdehnungskoeffizienten für die Elemente, die wesentlich zum thermischen Verhalten beitragen, durch die Auswahl geeigneter Materialien für die entsprechenden Teile an diesen Zielwärmeausdehnungskoefflzienten anzupassen.
  • Gemäß der Erfindung wird erkannt, dass der Wärmeausdehnungskoeffizient der Gitterhalterung einen bedeutenden Einfluss auf die Geometrie der Gitteranordnung hat und dass der Wärmeausdehnungskoeffizient des Gehäuses außerdem die Geometrie vorgibt. Folglich werden Temperaturfehler gemäß der Lehre der Erfindung auf ein Minimum herabgesetzt, indem die Wärmeausdehnungskoeffizienten des Gehäuses, der Gitterhalterung und des Diodenarrays aneinander angepasst werden. Da das Diodenarray normalerweise aus Silicium besteht, ist sein Wärmeausdehnungskoeffizient normalerweise 2,5 · 10&supmin;&sup6; K&supmin;¹.
  • Die Erfindung lehrt daher, dass das Gehäuse und die Gitterhalterung aus einer Keramik hergestellt werden, deren Wärmeausdehnungskoeffizient so nahe wie möglich bei demjenigen von Silicium liegt. Dies stellt eine beträchtliche Abweichung vom Stand der Technik dar, der lehrt, dass bei der Auswahl des Materials für das Gehäuse eine Übereinstimmung mit dem Wärmeausdehnungskoeffizient der in der Optik üblicherweise verwendeten Linsen erforderlich ist, im Falle des Materials ZKN-7 etwa 5 · 10&supmin;&sup6; K&supmin;¹ Der für die entsprechenden Teile des Erfindungsgegenstandes gültige Wärmeausdehnungskoeffizient wird daher im Vergleich zum Stand der Technik um einen Faktor von zwei verringert.
  • Gemäß der Erfindung wird eine Silikatkeramik aus dem Dreikomponentensystem Al&sub2;O&sub3;-MgO-SiO&sub2; als Material für das Gehäuse 1, die Gitterhalterung 2 und das optische Gitter 3 verwendet, das zusammen mit der Gitterhalterung eine Einheit bildet, da diese Keramik auf eine an sich bekannte Weise an einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 2,5 · 10&supmin;&sup6; K&supmin;¹ angepasst werden kann, indem ein spezifisches Mischverhältnis (mix ratio) ausgewählt wird. Unter Verwendung des Trockenpressverfahrens (dry press method) können das Gehäuse 1, die Gitterhalterung 2 und das Gitter selbst aus dieser Silikatkeramik kostengünstig gefertigt werden.
  • Im Folgenden wird eine besonders einfache, präzise einstellbare und thermisch stabile Ausführungsform der Gitterhalterung mit Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 ausführlicher beschrieben.
  • Das Gehäuse 1 hat eine Öffnung 7 in Form eines konischen Kegelstumpfs (frustum), der zur Außenseite des Gehäuses hin breiter wird. Wie zuvor erwähnt wurde, besteht das Gehäuse aus einer Silikatkeramik.
  • Die Gitterhalterung 2, die ebenfalls aus dieser Silikatkeramik gefertigt ist, besteht im Wesentlichen aus einem flachen, zylindrischen Körper mit einer zylindrischen Außenfläche 6, wobei der Körper ein optisches Gitter 4 ähnlich einem konkaven Spiegel an einem seiner Hauptflächen befestigt. Zwischen der zylindrischen Außenfläche 6 der Gitterhalterung 2 und der Wand der wie ein konischer Kegelstumpf geformten Öffnung 7 befindet sich eine Vielzahl von Füllelementen (filler elements) 8, 8'. In der gezeigten bevorzugten Ausführungsform haben die Füllelemente eine zylindrische Unterseite 9 und eine kugelförmige Oberseite 10. Die Füllelemente werden vorzugsweise aus dergleichen Keramik wie die Gitterhalterung 2 und das Gehäuse 1 gefertigt. Es ist jedoch auch möglich, die Füllelemente aus Glas zu fertigen.
  • Beim Zusammenbau des Diodenarray-Spektrofotometers werden die Eingangsschlitzvorrichtung 3 und das Diodenarray 5 zuerst in die im Gehäuse 1 (nicht gezeigt) zu diesem Zweck bereitgestellten Vertiefungen eingeklebt oder auf eine geeignete Weise mechanisch befestigt. Folglich werden sie ohne Justierung befestigt.
  • Als Nächstes wird die Gitterhalterung 2 unter Verwendung einer Hülse (collet) oder einer Vakuumansaugvorrichtung (vacuum suction device) in die Öffnung 7 eingesetzt und justiert, wobei der Spalt (gap) im Gehäuse zwischen der wie ein konischer Kegelstumpf geformten Öffnung 7 und der zylindrischen Hülse (sleeve) 6 eine ungefähr einheitliche Größe hat. Hier werden während des Justierungsvorgangs die elektrischen Messwerte (electrical readouts) vom Diodenarray 5 verwendet.
  • Als Nächstes wird unter Verwendung einer geringen Anzahl von Füllelementen 8, beispielsweise drei, eine provisorische Befestigung erreicht, indem die Elemente mit einem schnell trocknenden Kleber (fast-acting adhesive) überzogen werden und zwischen die zylindrische Wand 6 der Gitterhalterung 2 und die Wand der wie ein konischer Kegelstumpf geformten Öffnung 7 eingeführt werden, wobei ihre abgeflachten Unterseiten gegen an der zylindrischen Wand 6 und ihre kugelförmigen Oberseiten 10 an der Wand der wie ein konischer Kegelstumpf geformten Öffnung 7 anliegen.
  • Nach dieser provisorischen Befestigung wird die gewünschte Anzahl von zusätzlichen Füllelementen 8, 8' mit einer vorgeschriebenen Winkeltrennung (angular separation) in den beschriebenen Spalt zwischen dem Gehäuse und der Gitterhalterung eingeführt. Vorzugsweise werden Füllelemente 8, 8' mit mindestens zwei verschiedenen Achsenlängen verwendet, um zwei physisch getrennte Reihen von Füllelementen zur Befestigung auf die in Fig. 3 gezeigte Weise zu definieren. Diese Füllelemente werden mit einem Kleber überzogen, der unter UV-Licht aushärtet und eine sogenannte Glastemperatur (glass temperature) TG hat, die deutlich höher als die höchste Betriebstemperatur des Spektrofotometers ist. Eine Glasübergangstemperatur (glass transition temperature) TD von 140ºC wird als korrekt angesehen.
  • Die Aushärtung unter UV-Licht wird in der in Fig. 3 dargestellten vertikalen Justierungsposition ausgeführt, indem die Anordnung auf die Oberfläche gerichtetem UV-Licht ausgesetzt wird. Für eine gleichmäßige Härtung des Klebers mit UV- Licht wird es als praktisch angesehen, die Füllelemente aus Glas zu fertigen.
  • Wenn die Härtung des Klebers mit UV-Licht unterlassen wird, ist jedoch eine Verwendung von Keramikfüllelementen vorzuziehen.
  • Im Gegensatz zur beschriebenen Ausführungsform ist es möglich, kugelförmige Füllelemente 8, 8' zu verwenden. In diesem Fall können Kugeln von geringer Qualität, d. h. mit einem geringen Grad an Konzentrizität (concentricity), verwendet werden, da dies die Genauigkeit der Justierung nicht beeinflusst.

Claims (5)

1. Diodenarray-Spektrofotometer mit
einer Eingangsschlitzvorrichtung (3),
einem optischen Gitter (4),
einem Diodenarray (5),
einem Gehäuse (1) zum Festlegen der Positionen der Eingangsschlitzvorrichtung (3) in Bezug auf das Diodenarray (5),
und eine Gitterhalterung (2), die mit dem Gehäuse (1) verbunden ist, um das optische Gitter (4) aufzunehmen, wobei das optische Gitter (4) mit Hilfe der Halterung (2) in Bezug auf die Eingangsschlitzvorrichtung (3) und das Diodenarray (5) in einer justierten Position befestigt wird, wobei das Gehäuse (1) und die Gitterhalterung (2) aus Keramik mit Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehen, die jeweils an den Wärmeausdehnungskoeffizienten des Diodenarrays angepasst werden.
2. Diodenarray-Spektrofotometer nach Anspruch 1, wobei das Diodenarray (5) aus Silicium besteht und wobei die Keramik einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 2,5 · 10&supmin;&sup6; K&supmin;¹ hat.
3. Diodenarray-Spektrofotometer nach Anspruch 2, wobei die Keramik aus Silikatkeramik besteht.
4. Diodenarray-Spektrofotometer nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Silikatkeramik zu dem Dreikomponentensystem Al&sub2;O&sub3; - MgO - SiO&sub2; gehört.
5. Diodenarray-Spektrofotometer nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Gehäuse (1) und die am Gehäuse befestigte Gitterhalterung (2) aus derselben Keramik bestehen.
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