DE69512822T2 - Architektur für fixierende Fokalebenenmatrix von Mehrfachanwendungen - Google Patents
Architektur für fixierende Fokalebenenmatrix von MehrfachanwendungenInfo
- Publication number
- DE69512822T2 DE69512822T2 DE69512822T DE69512822T DE69512822T2 DE 69512822 T2 DE69512822 T2 DE 69512822T2 DE 69512822 T DE69512822 T DE 69512822T DE 69512822 T DE69512822 T DE 69512822T DE 69512822 T2 DE69512822 T2 DE 69512822T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- focal plane
- detector
- image buffer
- elements
- matrix
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims description 16
- 239000000872 buffer Substances 0.000 claims description 43
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 12
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/14—Digital output to display device ; Cooperation and interconnection of the display device with other functional units
- G06F3/153—Digital output to display device ; Cooperation and interconnection of the display device with other functional units using cathode-ray tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/222—Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment
- H04N5/262—Studio circuits, e.g. for mixing, switching-over, change of character of image, other special effects ; Cameras specially adapted for the electronic generation of special effects
- H04N5/2628—Alteration of picture size, shape, position or orientation, e.g. zooming, rotation, rolling, perspective, translation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/30—Transforming light or analogous information into electric information
- H04N5/33—Transforming infrared radiation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radar Systems Or Details Thereof (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
- Diese Erfindung bezieht sich auf eine Infrarot-Brennebenen- Beobachtungsmatrix, die mehrere Anwendungen zuläßt, und genauer auf eine neue Architektur für derartige Brennebenen- Beobachtungsmatrizen.
- Brennebenen-Beobachtungsmatrizen bestehen allgemein (siehe z. B. US-A-3 806 729) aus einer Matrix aus mehreren Detektorelementen, wobei jedem Detektorelement eine Schaltung mit einem Kondensator zugeordnet ist, der proportional zur Menge der darauf auftreffenden Energie geladen wird. Die Signale, die die Ladungen auf jedem der Kondensatoren in der Matrix angeben, werden allgemein in serieller Weise ausgelesen, so daß ein Detektorelement ausgelesen wird, während der dem nächsten Detektorelement zugeordnete Kondensator aufgeladen wird. Hierauf werden die Kondensatoren wieder gemäß der Menge der auf sie auftreffenden Energie geladen und später ausgelesen. Dieses Verfahren wird im allgemeinen auf zeitgesteuerter Grundlage wiederholt. Die Ausgangssignale von den Kondensatoren sind somit nicht gleichzeitig verfügbar oder nicht derart verfügbar, daß die Signale von vorgegebenen Detektoren nur in einer vorgegebenen Weise für eine Operation an diesen Signalen ausgewählt werden können.
- Für fortgeschrittene Anwendungen von Brennebenen-Beobachtungsmatrizen sind mehrere Merkmale wünschenswert. Bei verringerten Datenraten ist die Fähigkeit vorteilhaft, nur einen Teilbereich der Brennebenenmatrix oder nur bestimmte Detektoren der Brennebenenmatrix "als Fenster auszuschneiden" oder auszugeben. Das Ausschneiden mehrerer Fenster oder die Fähigkeit zur Ausgabe mehrerer Teilbereiche der Matrix auf Anforderung ist vorteilhaft zum Verfolgen mehrerer Ziele in einem großen Blickfeld. Ein weiteres wünschenswertes Merkmal ist das elektronische Entzoomen zum Verringern der Datenraten bei großen Zielen. Das elektronische Entzoomen verbindet benachbarte Detektoren zu einem einzigen Detektor. Das heißt, daß für ein 2 : 1-Entzoomen vier Detektoren zu einem einzigen Detektor verbunden werden. Eine 256 · 256-Matrix wird zu einer 128 · 128-Matrix. Für Raketensucher und für weitere Anwendungen ist es wünschenswert, diese Merkmale nach Belieben zu ändern, so daß sich der Sensor an das vorliegende Szenarium anpassen kann. Für langweilige Infrarotanwendungen ist ein hoher Dynamikbereich erforderlich, d. h., für jeden Detektor ist eine große Ladungsspeicherkapazität erforderlich. Einige Anwendungen erfordern, daß zum Ermöglichen einer genauen Verfolgung und Lokalisierung von Zielen die Signale von sämtlichen Detektoren integriert und gleichzeitig abgetastet werden. Diese Betriebsart wird typischerweise als eine Schnappschuß-Betriebsart bezeichnet. Weitere Anwendungen ermöglichen ein Abtasten der Detektorsignale zu verschiedenen Zeiten. Typischerweise wird dies durch Staffeln der Abtastung über die Matrix, die eine elektronische Abtastung der Detektoren ausführt, durchgeführt.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine einzige Architektur geschaffen, die mehrere Betriebsarten einschließlich sämtlicher der obenbeschriebenen Betriebsarten unterstützen kann.
- Kurz, es wird eine Brennebenenmatrix-Bildbeobachtungsarchitektur geschaffen, die einen Bildpuffer zum Speichern von Detektorabtastwerten verwendet. Der Bildpuffer ist grundsätzlich eine jedem Detektorelement zugeordnete Abtast- Halte-Schaltung. Sobald die Abtastwerte von dem Brennebenendetektor in den Bildpuffer übertragen und in ihm gespeichert sind, wobei diese Übertragung entweder seriell, parallel oder durch eine Kombination hiervon ausgeführt wird, können die in dem Bildpuffer gespeicherten Daten in irgendeiner Reihenfolge ausgelesen werden oder kann irgendein Teil von ihnen ausgelesen werden, um das Ausschneiden von Fenstern zu ermöglichen. Die Abtastwerte werden in nichtzerstörender Weise ausgegeben und so lange erhalten, bis die nächste Menge von Abtastwerten von der Brennebenenmatrix zur Übertragung bereit ist, so daß mehrere Bereiche ausgegeben werden können, um mehrere Fenster zu ermöglichen. Durch das Lesen mehrerer Detektoren in ein einziges Bildpufferelement oder in mehrere parallelgeschaltete Bildpufferelemente kommt es zu einem elektronischen Entzoomen. Im Fall einer großen Anzahl von Detektoren, in dem der Bildpuffer nicht bei hoher Mengenleistung gebaut werden kann, kann der Bildpuffer in einem getrennten Siliciumchip gebaut werden, wobei er jedoch mechanisch eng benachbart zu dem Chip liegt, der die Detektoren enthält, und an diesen Chip elektrisch angeschlossen ist.
- Fig. 1 ist ein Blockschaltplan einer Brennebenenmatrix- Bildbeobachtungsarchitektur gemäß der vorliegenden Erfindung, die einen gegenüber der Einheitszelle externen Bildpuffer verwendet; und
- Fig. 2 ist ein Blockschaltplan einer in der Einheitszelle realisierten Brennebenenmatrix-Bildbeobachtungsarchitektur.
- Die Bildpufferarchitektur gemäß der vorliegenden Erfindung kann auf mehrere Arten realisiert werden. Zunächst ist in Fig. 1 ein Blockschaltplan für eine Brennebenenmatrix gezeigt, die einen Bildpuffer verwendet, der sich außerhalb der Brennebenenmatrix und der Einheitszelle mit dem ihr zugeordneten Kondensator befindet. In Fig. 1 ist eine aus einer Matrix von M mal N Detektorelementen 1 bestehende Brennebenenmatrix gezeigt, die Energie bevorzugt im Infrarotfrequenzbereich, ohne jedoch auf diesen eingeschränkt zu sein, empfängt, wobei die Anzahl der Detektorelemente von den Grenzanforderungen des Systems abhängt. Jedes Detektorelement besitzt eine zugeordnete Einheitszelle, die einen Transistor und einen Standardkonstruktions-Kondensator zum Speichern einer Ladung darauf, die proportional zur Menge der auf das zugeordnete Detektorelement auftreffenden Energie ist, enthält. Es wird ein Bildpuffer 3 bereitgestellt, der entsprechend der Anzahl der Detektorelemente in der Brennebenenmatrix mehrere Speicherplätze, einen für jedes Element der Brennebenenmatrix, besitzt. Um ein Zentrieren der Detektormatrix in einer integrierten Schaltung zu ermöglichen, die die Brennebenenmatrix, das Pufferbild, falls erwünscht, und eine weitere Schaltungsanordnung wie etwa z. B. die unten diskutierten Multiplexer enthält, wurde der in Fig. 1 gezeigte Bildpuffer in zwei Abschnitte aufgeteilt (obgleich die Anzahl der Abschnitte optional ist und eins oder mehr betragen kann). Um in jeder Richtung eine leichte Realisierung eines 2 : 1- Entzoomens zu ermöglichen, wurde der Bildpuffer in Zweiergruppen aufgeteilt. Fig. 1 zeigt außerdem die Detektorschnittstellenschaltung in einer üblicherweise als eine Direktinjektionsschaltung bezeichneten Art. Für die Verwendung der Bildpufferschaltung ist dies nicht erforderlich.
- Der Bildpuffer ist so beschaffen, daß die in jedem der Kondensatoren der Brennebenenmatrix gespeicherten Spannungen von abwechselnden Zeilenpaaren von Detektoren der Matrix in jeden Abschnitt des Bildpuffers ausgelesen werden, wobei diese Spannungen, wenn die Auslesefunktion realisiert ist, in dem zugeordneten Speicherplatz im Bildpuffer gespeichert werden. Zum Beispiel können die Zeilen 1 und 2 der Detektormatrix 1 in den Bildpuffer auf einer Seite der Matrix, die Zeilen 3 und 4 der Detektormatrix in den Bildpuffer auf der anderen Seite der Matrix, die Zeilen 5 und 6 der Detektormatrix in den Bildpuffer auf der einen Seite der Matrix usw. in dieser abwechselnden Weise ausgelesen werden. Nach der Realisierung der Auslesefunktion werden die Detektorelemente der Brennebenenmatrix erneut aufgeladen und die zu diesem Zeitpunkt in dem Bildpuffer gespeicherten Daten über die N : M- Multiplexer 5 ausgelesen, um die bisherige Notwendigkeit zu vermeiden, daß Auslesezeilen vom Bildpuffer in der gleichen Anzahl vorhanden sein müssen, wie darin Speicherelemente vorhanden sind. Der digitale Logikgenerator 9 wählt die durch den Multiplexer zu übertragenden Daten in dem Bildpuffer als Antwort auf externe Eingaben 11 aus. Die Ausgaben der N : M- Multiplexer werden in einen zweiten Multiplexer 7 eingegeben, von dem die Daten zur gewünschten Verwertung in eine Verwertungsvorrichtung eines vorgegebenen Typs ausgelesen werden. Nach dem Auslesen aus den Bildpuffern wird der Zyklus wiederholt, wobei die neuen Informationen in der Brennebenenmatrix wie oben beschrieben in den Bildpuffer ausgelesen werden. Auf diese Weise sind sämtliche Informationen in der Brennebenenmatrix gleichzeitig im Bildpuffer verfügbar. Dementsprechend wird im Gegensatz zu der obendiskutierten Anordnung des Standes der Technik irgendein im Bildpuffer gespeicherter Teil der Informationen sofort zugänglich.
- Eine zeitliche Signalverarbeitung kann durch Ladungsteilung des neuesten Detektorabtastwerts mit dem Abtastwert, der sich bereits im Puffer befindet, anstelle des Ersetzens des gesamten Pufferabtastwerts, ausgeführt werden. Dies kann erwünscht sein, um mehrere Detektorabtastwerte zu einem einzigen zu akkumulieren, was eine Erhöhung in bezug auf das Signal-Rausch-Verhältnis bei einer niedrigen Ausgangsdatenrate schafft.
- Fig. 2 zeigt eine Realisierung des Bildpuffers, bei der der Bildpuffer in der Einheitszelle realisiert ist. In der Einheitszelle ist ein Zusatzkondensator enthalten, der das Abtasten und Speichern des Detektorsignals ermöglicht. In diesem Fall wird der dynamische Bereich etwa um einen Faktor zwei verringert. Da die Schaltungselemente in der Größe des Detektorelements enthalten sein müssen, hat der Integrationskondensator etwa die halbe Größe gegenüber derjenigen, die er hätte, wenn der Bildpuffer gegenüber der Einheitszelle extern wäre. Wegen dieser Nebenbedingung wurde ein Schalter aufgenommen, der das Parallelschalten beider Kondensatoren ermöglicht, so daß für Anwendungen, die kein Ausschneiden von Fenstern erfordern, der zusätzliche Dynamikbereich verwendet werden kann.
- Für das für mehrere Fenster erforderliche nichtzerstörende Lesen der Abtast-Halte-Schaltung ist in der Einheitszelle außerdem ein Pufferverstärker erforderlich. Dies bewirkt, daß der Integrationskondensator noch kleiner ist.
- Es kann ein gleichzeitiges Abtasten der Detektoren ausgeführt werden, wobei diese Abtastwerte zum Füllen des Bildpuffers verwendet werden können, oder die Abtastwerte können zeitlich gestaffelt erhalten werden, um den Bildpuffer zu füllen. Dieser letztere Zugang führt zu einem potentiell höheren Austastzyklus, wobei er jedoch für einige Anwendungen wegen der genauen Lokalisierung der Ziele unerwünscht ist.
Claims (5)
1. Brennebenenmatrix-Bildbeobachtungssystem, das enthält:
(a) eine Brennebenen-Beobachtungsmatrix (1) mit mehreren
Detektorelementen und mehreren Ladungsaufnahmeelementen, wobei
jedem Detektorelement eines der Ladungsaufnahmeelemente
zugeordnet ist;
(b) einen Bildpuffer (3) mit mehreren Speicherelementen,
wobei jedem Detektor eines der Speicherelemente zugeordnet
ist, wobei der Bildpuffer zwei Abschnitte enthält, wovon sich
jeder auf einer gegenüberliegenden Seite der Brennebenenmatrix
befindet;
(c) einen Multiplexer (5) zum seriellen Übertragen von
Daten von einer ausgewählten Untermenge der mehreren
Speicherelemente; und
(d) Mittel zum periodischen Übertragen von Daten von jedem
der Ladungsaufnahmeelemente an das zugeordnete Speicherelement
im Bildpuffer.
2. System nach Anspruch 1, ferner mit einem digitalen
Logikmittel (9) zum Wählen der Daten im Bildpuffer, die vom
Multiplexer übertragen werden, als Antwort auf externe
Eingangssignale.
3. System nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei die
Brennebenenmatrix (1) und der Bildpuffer (3) auf einem einzigen
Halbleiterchip angeordnet sind.
4. System nach irgendeinem der vorhergehenden Anspruch, wobei
die Detektorelemente in mehreren Zeilen angeordnet sind, wobei
Zeilen abwechselnd mit dem einen oder dem anderen der beiden
Abschnitte des Bildpuffers (9) gekoppelt sind.
5. System nach Anspruch 1, wobei die Brennebenenmatrix (1)
auf Infrarotenergie anspricht.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/230,043 US5430294A (en) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | Staring focal plane array architecture for multiple applications |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69512822D1 DE69512822D1 (de) | 1999-11-25 |
DE69512822T2 true DE69512822T2 (de) | 2000-05-18 |
Family
ID=22863728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69512822T Expired - Fee Related DE69512822T2 (de) | 1994-04-19 | 1995-04-19 | Architektur für fixierende Fokalebenenmatrix von Mehrfachanwendungen |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5430294A (de) |
EP (1) | EP0678756B1 (de) |
JP (1) | JP3630760B2 (de) |
KR (1) | KR950033797A (de) |
DE (1) | DE69512822T2 (de) |
IL (1) | IL113426A (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5990939A (en) * | 1995-09-28 | 1999-11-23 | Raytheon Company | Video demultiplexing interface for a missile tracking system |
US7408572B2 (en) * | 2002-07-06 | 2008-08-05 | Nova Research, Inc. | Method and apparatus for an on-chip variable acuity imager array incorporating roll, pitch and yaw angle rates measurement |
JP2006101479A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Canon Inc | 固体撮像装置及びそれを用いたカメラ |
US11496679B2 (en) | 2016-02-22 | 2022-11-08 | Live Earth Imaging Enterprises, L.L.C. | Real-time satellite imaging system |
AU2021366386A1 (en) * | 2020-10-23 | 2023-06-08 | Live Earth Imaging Enterprises, L.L.C. | Satellite image sensor and method |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3806729A (en) * | 1973-04-30 | 1974-04-23 | Texas Instruments Inc | Charge coupled device ir imager |
US3808435A (en) * | 1973-05-29 | 1974-04-30 | Texas Instruments Inc | Infra-red quantum differential detector system |
US5293035A (en) * | 1974-10-03 | 1994-03-08 | Lyons James W | Charge-coupled devices |
US4660066A (en) * | 1982-09-08 | 1987-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Structure for packaging focal plane imagers and signal processing circuits |
DE3708923A1 (de) * | 1987-03-19 | 1988-09-29 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Modulationsvorrichtung |
US5001469A (en) * | 1988-06-29 | 1991-03-19 | Digital Equipment Corporation | Window-dependent buffer selection |
DE69114825T2 (de) * | 1990-12-21 | 1996-08-08 | Sun Microsystems Inc | Verfahren und Einrichtung zur Erhöhung der Verarbeitungsgeschwindigkeit eines Anzeigesystems mit Doppel-Pufferspeicher. |
US5272535A (en) * | 1991-06-13 | 1993-12-21 | Loral Fairchild Corporation | Image sensor with exposure control, selectable interlaced, pseudo interlaced or non-interlaced readout and video compression |
-
1994
- 1994-04-19 US US08/230,043 patent/US5430294A/en not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-04-18 KR KR1019950009035A patent/KR950033797A/ko not_active Application Discontinuation
- 1995-04-19 EP EP95105825A patent/EP0678756B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-04-19 IL IL11342695A patent/IL113426A/en not_active IP Right Cessation
- 1995-04-19 JP JP09367195A patent/JP3630760B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-04-19 DE DE69512822T patent/DE69512822T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IL113426A0 (en) | 1995-07-31 |
IL113426A (en) | 1998-09-24 |
US5430294A (en) | 1995-07-04 |
EP0678756A1 (de) | 1995-10-25 |
JP3630760B2 (ja) | 2005-03-23 |
JPH0865562A (ja) | 1996-03-08 |
EP0678756B1 (de) | 1999-10-20 |
DE69512822D1 (de) | 1999-11-25 |
KR950033797A (ko) | 1995-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE68916533T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur hantierung von daten mit hoher geschwindigkeit. | |
DE69628858T2 (de) | Festkörper-gammakamera | |
DE3013253C2 (de) | Schaltungsanordnung zur Speicherung und Abgabe von Analog-Signalen | |
DE2703578C2 (de) | Videodatenspeicher | |
DE4439817C2 (de) | Selbstauffrischungsvorrichtung für eine verborgene Selbstauffrischung in einem synchronen dynamischen Direktzugriffsspeicher | |
DE69525210T2 (de) | Programmierbare logikvorrichtung mit regionaler und universeller signalweglenkung | |
DE3587082T2 (de) | Speichersystem fuer analoge daten. | |
DE3887831T2 (de) | Datenerfassungssystem. | |
DE69028156T2 (de) | Photoelektrisches Umwandlungsgerät | |
DE3889480T2 (de) | Blockorganisierter RAM-Speicher, fähig, um in einer Blockzugriffszeit Daten zu Lesen, zu Schreiben und Aufzufrischen. | |
DE3220958A1 (de) | Fluessigkeitskristall-matrixanzeigeanordnung | |
DE3345215C2 (de) | Festkörper-Bildaufnahmewandler | |
DE2210303C3 (de) | Aufnehmer zum Umwandeln eines physikalischen Musters in ein elektrisches Signal als Funktion der Zeit | |
DE4141892A1 (de) | Halbleiterspeichereinrichtung | |
DE4019135A1 (de) | Serieller speicher auf ram-basis mit parallelem voraus-lesen | |
DE112018001060T5 (de) | Ein systolisches Prozessorsystem für ein System zur Lichtlaufzeitmessung | |
DE68928357T2 (de) | Festkörper-Bildaufnehmer mit gemeinsamer Ausgangsleitung für Spannungen aus photoelektrischer Umwandlung | |
DE69512822T2 (de) | Architektur für fixierende Fokalebenenmatrix von Mehrfachanwendungen | |
DE68923664T2 (de) | Bildteil-Feststellung einer Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung. | |
DE3789987T2 (de) | Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Testmodus und einem Standardmodusbetrieb. | |
DE69231028T2 (de) | Serieller zugriffspeicher | |
EP1262060B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum teilweisen Auslesen der Bilddaten eines Bildsensors | |
DE3789988T2 (de) | Festkörpersbildsensor. | |
DD270133A1 (de) | Anordnung zur untersuchung hochaufgeloester teilspektren eines echelle-spektrums | |
DE68922770T2 (de) | Ladungsinjektionsbauelement mit rauscharmer Ausgabe. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |