DE69503098T2 - Verfahren zur Ausrichtung eines vergrabenen Streifenleiters und eines externen Streifenleiters in einem optischen Halbleiterbauelement - Google Patents
Verfahren zur Ausrichtung eines vergrabenen Streifenleiters und eines externen Streifenleiters in einem optischen HalbleiterbauelementInfo
- Publication number
- DE69503098T2 DE69503098T2 DE1995603098 DE69503098T DE69503098T2 DE 69503098 T2 DE69503098 T2 DE 69503098T2 DE 1995603098 DE1995603098 DE 1995603098 DE 69503098 T DE69503098 T DE 69503098T DE 69503098 T2 DE69503098 T2 DE 69503098T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- strip conductor
- aligning
- optical semiconductor
- semiconductor component
- buried
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/026—Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
- H01S5/0265—Intensity modulators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/227—Buried mesa structure ; Striped active layer
- H01S5/2275—Buried mesa structure ; Striped active layer mesa created by etching
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9410502A FR2724050B1 (fr) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | Procede d'alignement d'un ruban enterre et d'un ruban externe dans un composant optique semiconducteur |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69503098D1 DE69503098D1 (de) | 1998-07-30 |
DE69503098T2 true DE69503098T2 (de) | 1998-11-12 |
Family
ID=9466618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995603098 Expired - Fee Related DE69503098T2 (de) | 1994-08-31 | 1995-08-25 | Verfahren zur Ausrichtung eines vergrabenen Streifenleiters und eines externen Streifenleiters in einem optischen Halbleiterbauelement |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0700136B1 (de) |
JP (1) | JPH0878792A (de) |
DE (1) | DE69503098T2 (de) |
ES (1) | ES2118513T3 (de) |
FR (1) | FR2724050B1 (de) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4656459B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2011-03-23 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体光機能装置および半導体光機能素子 |
JP4618854B2 (ja) * | 2000-08-11 | 2011-01-26 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
DE60215131T2 (de) | 2002-06-12 | 2007-03-15 | Agilent Technologies, Inc. (n.d.Ges.d.Staates Delaware), Palo Alto | Integriertes Halbleiterlaser-Wellenleiter-Element |
US20070070309A1 (en) * | 2005-09-28 | 2007-03-29 | Miklos Stern | Color image projection arrangement and method employing electro-absorption modulated green laser system |
JP4977377B2 (ja) | 2006-02-22 | 2012-07-18 | 日本オプネクスト株式会社 | 半導体発光装置 |
JP4952376B2 (ja) | 2006-08-10 | 2012-06-13 | 三菱電機株式会社 | 光導波路と半導体光集積素子の製造方法 |
JP5017300B2 (ja) * | 2009-03-16 | 2012-09-05 | アンリツ株式会社 | 吸収型半導体光変調器 |
JP5573386B2 (ja) * | 2010-06-10 | 2014-08-20 | 三菱電機株式会社 | 半導体光集積素子及びその製造方法 |
WO2018079112A1 (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-03 | 三菱電機株式会社 | 半導体光導波路及び光集積素子 |
JP6996183B2 (ja) * | 2017-09-14 | 2022-01-17 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光素子 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60189279A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-26 | Nec Corp | 半導体レ−ザ |
JP2587628B2 (ja) * | 1987-01-29 | 1997-03-05 | 国際電信電話株式会社 | 半導体集積発光素子 |
JPH01189183A (ja) * | 1988-01-23 | 1989-07-28 | Ricoh Co Ltd | 集積型半導体発光素子 |
GB2237654B (en) * | 1989-11-02 | 1993-11-10 | Stc Plc | Semiconductor optical source |
-
1994
- 1994-08-31 FR FR9410502A patent/FR2724050B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-08-25 DE DE1995603098 patent/DE69503098T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-25 ES ES95401951T patent/ES2118513T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-25 EP EP19950401951 patent/EP0700136B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-31 JP JP22364295A patent/JPH0878792A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69503098D1 (de) | 1998-07-30 |
EP0700136B1 (de) | 1998-06-24 |
FR2724050A1 (fr) | 1996-03-01 |
JPH0878792A (ja) | 1996-03-22 |
FR2724050B1 (fr) | 1997-01-10 |
ES2118513T3 (es) | 1998-09-16 |
EP0700136A1 (de) | 1996-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE59701709D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur kontaktierung eines drahtleiters | |
DE69424241T2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Dimensionsmessung in einem Bohrloch | |
DE69929029D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur behebung von kodeinterferenz in einem cdma kommunikationssystem | |
DE69614728T2 (de) | Verfahren und Anordnung zur "Datenpipelinung" in einer integrierten Schaltung | |
DE69726668D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung einer Speicherschaltung in einer Halbleitereinrichtung | |
DE878824T1 (de) | Verfahren und Gerät zur Ätzung eines Werkstücks | |
DE69525904D1 (de) | Anordnung und Verfahren zur Inspektion eines Kabelbaums | |
DE69922980D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur positionierung eines geräts in einem körper | |
DE69409513D1 (de) | Verfahren zur geometrischen messung | |
DE69936327D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung eines Detektors in einem Abbildungssystem | |
DE69412203T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung mehrerer Bilder in einem xerographischen System | |
DE69738777D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur vermeidung eines waisenzustandes in einem spreizband-kommunikationssystem | |
DE69510497T2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Halterung eines Computerbauelementes | |
DE69728472D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines elektrischen Winkels | |
DE69503098D1 (de) | Verfahren zur Ausrichtung eines vergrabenen Streifenleiters und eines externen Streifenleiters in einem optischen Halbleiterbauelement | |
DE69520760D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Crimphöhe | |
DE69926137D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur befestigung eines bauelementes | |
DE1040425T1 (de) | Ein internetcache-system und ein verfahren und anordnung in einem solchen system | |
DE69525190T2 (de) | Verfahren und Gerät zur Ortung eines eingegrabenes Elementes | |
DE69711426D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur initialisierung eines halbleiterspeichers | |
DE69735907D1 (de) | Verfahren zur Identifizierung eines Peripheriegerätes in einem Halbleitergerät | |
DE69400652D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Markierung eines elektrischen Kabels und Marke dafür | |
ATA76093A (de) | Verfahren und vorrichtung zur ermittlung der korrosivität | |
DE69520634D1 (de) | Verfahren und Gerät zur mechanischen Prüfung einer Chipkarte | |
DE59902973D1 (de) | Verfahren zur kontaktierung eines schaltungschips |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ALCATEL, PARIS, FR |
|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |