DE69501163T2

DE69501163T2 - Moduliertes Spektralellipsometer

Info

Publication number: DE69501163T2
Application number: DE69501163T
Authority: DE
Inventors: Bernard Drevillon; Razvigor Ossikovski; Jean-Yves Parey
Original assignee: Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Current assignee: Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Priority date: 1994-01-12
Filing date: 1995-01-10
Publication date: 1998-07-09
Anticipated expiration: 2015-01-11
Also published as: DE69501163D1; JPH0850058A; FR2714970B1; EP0663590A1; JP3782481B2; FR2714970A1; US5536936A; EP0663590B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein moduliertes spektroskopisches Ellipsometer.
Die Ellipsometrie ist ein nicht zerstörendes Meßverfahren, das die optische Charakterisierung einer Probe mit einer spiegelnden oder nicht-spiegelnden Oberfläche ermöglicht.
Die Ellipsometrie kann in situ angewendet werden und ermöglicht somit die Untersuchung von Mechanismen des Wachstums von Dümischichten sowie der Bildung von Grenzflächen und die Steuerung von Verfahren ur Herstellung dieser Schichten und Grenzflächen. Die Ellipsometrie wird beispielsweise zur Untersuchung und zur Steuerung der Herstellung von Halbleitern verwendet.
Ellipsometrische Messungen können mit fester oder variabler Wellenlänge durchgeführt werden (spektroskopische Ellipsometrie). Sie sind Teil der Gesamtheit der spiegelnden Meßverfahren, wie beispielsweise die Reflektanz, die modulierte Reflektanz (Elektroreflektanz, Photoreflektanz), die anisotrope Reflektanz (differentielle spektroskopische Reflektanz), die Messungen der Absorption und der Transmission, ..., denen sie zugeordnet werden können.
Zur Durchführung ellipsometrischer Messungen wird die Oberfläche einer Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet und der Polarisationszustand des reflektierten oder transmittierten Strahls r wird mit demjenigen des einfallenden Strahls i verglichen. Der Polarisationsvektor E wird generell durch eine Projektionen Es und Ep wiedergegeben, die jeweils senkrecht und parallel zur Einfallsebene sind; Ep und Es sind komplexe Amplituden.
Im Bereich der Ellipsometrie wird generell das Verhältnis (Ep/Es)r / (Ep/Es)i , das die von der untersuchten Oberfläche erzeugten Veränderungen des Polarisationszustands angibt, in der folgenden Form wiedergegeben:
tgψ.exp(iΔ) = (Ep/Es)r / (Ep/Es)i
Es ist somit das Ziel der Ellipsometrie, die Parameter ψ und Δ für eine gegebene Oberfläche zu messen.
Die untersuchten Materialien oder pHänomene bestimmen den Wellenlängenbereich und die verschiedenen Bedingungen der Durchführung der Messung, so beispielsweise die Polarisationsmodulationsfrequenz..., und damit die Geräte und Ellipsometer, die einzusetzen sind.
Das französische Patent FR-A-2 602 338 beschreibt ein Phasenmodulationsellipsometer mit einem Gittermonochromator.
Das Patent FR-2 685 962 beschreibt ein Infrarotellipsometer mit Phasenmodulation und Fourier-Transformierter.
Physiker haben in jüngster Zeit ein Interesse an einer Charakterisierung von Schichten, und an der Überlagerung von Schichten oder Grenzflächen durch ellipsometrische Messungen in Anwesenheit oder in Abwesenheit externer Erregung und durch den Vergleich der in Anwesenheit und in Abwesenheit der Erregung erhaltenen Ergebnisse geäußert.
Bei dieser Erregung kann es sich um eine thermische, optische, elektrische, magnetische, ...etc., Erregung handeln.
Zu diesem Thema wird beispielsweise auf den Artikel "Modulated ellipsometric measurements and transfer-matrix calculation of the field-dependent dielectric function of a multiple quantum well" von J.-Th. Zettler (The American Physical Society - Phys. Rev. B46, 15955 - 1992) und auf den Artikel "Photoellipsometry determinaton of surface Fermi level in GaAs (100)", Auszug aus dem Journal of Vacuum Science Technology A 11(4), Juli/August 1993, von Yi-Ming Xiong verwiesen.
Der Artikel "Modulated ellipsometry for characterization of multiple quantum wells and superlattices" von J.-Th. Zettler et al. (Thin Solid Films - Vol 233, 1993, S. 112- 166) bezieht sich auf die photomodulierte spektroskopische Ellipsometrie für die vollständige nicht zerstörende optische Charakterisierung von GaAs/AlGaAs-Proben mit mehreren Quantensenken. Der Artikel offenbart ein Ellipsometer, das zur Photomodulation der Proben mit einem Laser versehen ist.
Das US-Patent 4 866264 beschreibt ein Verfahren und ein Gerät zum Messen der nicht reziproken Reflektivität von Dünnschichtmaterialien und Magnetspiegeln. Das Gerät weist ein mit einem Erregungslaser versehenes Ellipsometer auf.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfmdung, ein spektroskopisches Ellipsometer zu schaffen, das das Messen ellipsometrischer Parameter in Anwesenheit und in Abwesenheit der Erregung einer Probe erlaubt.
Es ist eine weitere Aufgabe, ein solches Ellipsometer zu schaffen, das die Durchführung von Messungen mit einer größeren Genauigkeit als bei den bekannten Geräten ermöglicht.
Es wurde des weiteren festgestellt, daß die in Anwesenheit und in Abwesenheit von äußerer Erregung gemessenen ellipsometrischen Parameter von der Frequenz abhängen, mit der eine periodische Erregung aufgebracht wird.
Es ist ebenfalls eine Aufgabe der Erfindung, das Messen von ellipsometrischen Parametern einer Probe in Abhängigkeit von der Erregungsfrequenz zu ermöglichen.
Die Erfindung betrifft daher ein mit einer Frequenz ωm moduliertes spektroskopisches Ellipsometer zum Messen einer Probe, mit einem spektroskopischen Phasenmodulationsellipsometer, das mit einer elektronischen Einrichtung zum Verarbeiten und Liefern von ellipsometrischen Parametern und mit einer elektronischen Einrichtung zum Erregen der Probe von außen versehen ist, welche eine alternierende periodische Erregung mit einer Erregerfrequenz Ωe erzeugt und von der eine Referenzfrequenz an die elektronische Verarbeitungseinrichtung geliefert wird.
Die Modulation mit der Frequenz ωm ist die Modulation des einfallenden Strahls oder des reflektierten Strahls, die üblicherweise in spektroskopischen Ellipsometern verwendet wird.
Erfindungsgemäß weist das modulierte spektroskopische Ellipsometer einen Photodetektor auf, dessen elektrisches Signal von der elektronischen Verarbeitungseinrichtung verarbeitet wird, wobei das Signal signifikante Erregungsbereiche und signifikante Nicht-Erregungsbereiche aufweist. Die signifikanten Bereiche werden zur Erzeugung der ellipsometrischen Parameter der Probe in Abhängigkeit von der Erregerfrequenz, jeweils bei Vorhandensein und Nichtvorhandensein von Erregung, ausgewertet.
Vorzugsweise weist das Signal Übergangsbereiche auf, welche die signifikanten Bereiche voneinander trennen, wobei die elektronische Verarbeitungseinrichtung diese Übergangsbereiche neutralisiert.
Vorteilhafierweise führt die elektronische Verarbeitungseinrichtung Tests bezüglich des Zustands der Erregungseinrichtung durch.
Vorzugsweise ist die Erregerfrequenz Ωe im Vergleich zur Modulationsfrequenz ωm niedrig, die elektronische Verarbeitungseinrichtung ist mit der Erregung synchronisiert, und das elektrische Signal des Photodetektors wird von der elektronischen Verarbeitungseinrichtung nach einer ganzen Zahl t von Modulationsperioden, ausgehend von einer Anstiegsflanke des Erregungssignals während einer Zahl T von Modulationsperioden zur Erzeugung der ellipsometrischen Parameter bei Vorhandensein der Erregung, und anschließend nach einer Zahl t von Modulationsperioden, ausgehend von einer Abstiegsflanke des Erregungssignals während einer Zahl T von Modulationsperioden zum Erzeugen der ellipsometrischen Parameter bei Nichtvorhandensein der Erregung, erfaßt, wobei T den folgenden Wert hat:
wobei der Ausdruck
den ganzen Teil von
bezeichnet.
In analoger Weise werden im gesamten Text die Klammem [] zur Bezeichnung des ganzen Teils des Ausdrucks, den sie enthalten, verwendet.
Eine Kontrolle erfolgt vorteilhafterweise bei jeder Anstiegs- und Abstiegsflanke durch einen Test des Pegels des Erregungssignals
Das Einbringen einer dritten Modulation, die durch das Begrenzen des Lichtstrahls des spektroskopischen Ellipsometers auf eine Frequenz ωc, die zwischen der Modulationsfrequenz ωm des Ellipsometers und der Erregerfrequenz Ωe liegt, gebildet ist, ermöglicht eine Verbesserung der Genauigkeit der gemessenen Parameter. Eine Referenzfrequenz dieser Begrenzungsfrequenz wird an die elektronische Verarbeitungseinrichtung geliefert.
Die Erregung der Probe kann durch verschiedenartige physikalische Phänomene erreicht werden, beispielsweise durch Licht, Elektrizität, Magnetismus, Wärme, ...
Eine hohe Genauigkeit wird, ohne Begrenzung des Lichtstrahls des Ellipsometers, mit einer Modulationsfrequenz in der Größenordnung von 50 kHz und einer Erregungsfrequenz in der Größenordnung von 5 kHz erreicht.
Eine ausgezeichnete Meßgenauigkeit wird ebenfalls erreicht, indem eine Modulationsfrequenz ωm des Ellipsometers in der Größenordnung von 50 kHz, eine Erregerfrequenz Ωe in der Größenordnung von 1 kHz und eine Begrenzungsfrequenz in der Größenordnung von 5 kHz verwendet wird.
Die Erfindung wird im einzelnen unter Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen beschrieben, welche zeigen:
Figur 1 - ein allgemeines Schaubild des erfindungsgemäßen Ellipsometers mit doppelter Modulation;
Figur 2 - ein Zeitdiagramm des von dem Photodetektor gelieferten elektrischen Signals in Bezug zum Erregungssignal im Ellipsometer nach Figur 1;
Figur 3 - eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Ellipsometers mit dreifacher Modulation;
Figur 4 - ein Zeitdiagramrn des von dem Photodetektor gelieferten elektrischen Signals in Bezug zum Erregungssignal und zum Begrenzungssignal im Ellipsometer nach Figur Analoge Elemente sind jeweils in den Figuren 1 und 3 und den Figuren 2 und 4 mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Eine Lichtquelle 1 sendet einen Lichtstrahl 2 aus, der durch ein optisches System 4 auf eine Probe 3 gerichtet wird. Das optische System 4 ist gegebenenfalls mit der Lichtquelle 1 durch eine optische Faser 5 verbunden.
Ein photoelastischer Modulator 6, der einem Polarisator 7 nachgeschaltet ist, erzeugt eine Modulation der Phase der Polarisation des Lichtstrahls 2. Nach der Reflektion von der Probe wird der Lichtstrahl 8 durch ein Analysevorrichtung 9 analysiert und von einem optischen System 10 wiederaufgenommen, das diesen, gegebenenfalls über eine optische Faser 11, zu einem Monochromator 12 leitet. Die Intensität des von dem Monochromator transmittierten Flusses wird von einem Detektor 13 in ein elektrisches Signal umgewandelt, das an eine elektronische Verarbeitungseinrichtung 14 geleitet werden, die insbesondere einen Rechner aufweist.
Die elektronische Verarbeitungseinrichtung 14 empfangen gleichermaßen ein Referenzsignal der Frequenz und der Phase des photoelastischen Modulators über eine Leitung 15.
Die Lichtquelle list eine Quelle mit einem breiten Spektrum im Bereich der betreffenden Wellenlänge, in dem die Messung der ellipsometrischen Parameter der Probe 3 erfolgen soll.
Die Probe 3 empfängt eine periodische äußere Erregung von einem externen Erreger 16, deren Effekt von einer Begrenzereinrichtung 17 mit der Frequenz Ωe moduliert wird. Eine Referenz der Phase und der Begrenzungsfrequenz der Begrenzungseinrichtung 17 wird über eine Leitung 18 an die elektronische Verarbeitungseinrichtung 14 geleitet.
Ein Anschluß 19 verbindet den Detektor 13 mit der elektronischen Verarbeitungseinrichtung 14.
Wie in den Figuren 2 und 4 dargestellt, ist das externe Erregungssignal 30 ein periodisches Signal in Rechteckform der Periode Te und der Frequenz Ωe. Dieses Signal liegt als Rechtecksignal vor, das abwechselnd in der ersten Hälfte der Periode Te den Wert 1 und in der anderen Hälfte dieser Periode den Wert 0 annimmt.
Das von dem Photodetektor 13 gelieferte elektrische Signal 5 wird mit der Modulationsfrequenz ωm des photoelastischen Modulators 6 moduliert und sein Mittelwert hat zwei Werte, al und a2, je nachdem, ob die Probe 3 der von der Erregereinrichtung 16 kommenden externen Erregungssignal ausgesetzt ist oder nicht. Die Periode Tm der Modulation ist in der Erregungsperiode Te n mal enthalten. Es sei darauf hingewiesen, daß n nicht notwendigerweise eine ganze Zahl ist.
Das Signal 5 des Detektors wird in signifikante Erregungsbereiche 31, signifikante Nicht-Erregungsbereiche 32 und Übergangsbereiche 33, 34, 35 zerlegt.
Die Übergangsbereiche 34 einerseits und die 33, 35 andererseits haben eine Dauer von 2 t Tm, wobei t eine ganze Zahl wenigstens gleich list, die von der Art der externen Erregung abhängt. Vorteilhafterweise ist sie gleich 2.
Die von der elektronischen Einrichtung 14 vorgenommene Verarbeitung des Signals s, das von dem Detektor 13 über die Leitung 19 geliefert wird, ermöglicht das Neutralisieren der Werte des Signals 5 während der Übergangsperioden 33 bis 35 und die Verwendung der Werte des Signals, jeweils während der Perioden der Erregung 31 und der Nicht-Erregung 32, um die Werte der ellipsometrischen Parameter bei Vorhandensein und bei Nicht-Vorhandensein der Erregung zu erhalten.
Zu diesem Zweck wird die Erfassung der signifikanten Signale ausgehend von einer Anstiegsflanke 36 und einer Abstiegsflanke 37 des Begrenzungssignals 30, synchronisiert. Ausgehend von diesen Flanken wird eine Anzahl t von Modulationsperioden von einer Dauer Tm neutralisiert, und anschließend werden die Werte des Signals 5 während einer Anzahl T von Modulationsperioden erfaßt, die den Wert
hat.
Um die Gültigkeit der Werte der erfaßten Daten zu kontrollieren, werden Tests durchgeführt, die ein Verifizieren des Zustands des Begrenzungssignals 30 erlauben. Ein erster Test 51 erfolgt während den t Modulationsperioden nach dem Erfassen des Signals bei Vorhandensein von Erregung. Es wird validiert, wenn bestätigt wird, daß das Begrenzungssignal 30 den Wert 1 aufweist, der dem Vorhandensein von Erregung entspricht.
In analoger Weise wird ein zweiter Test 52 während der t Modulationsperioden nach dem Erfassen des Signals bei Nicht-Vorhandensein von Erregung durchgeführt. Es wird validiert, wenn festgestellt wird, daß das Begrenzungssignal 30 den Wert 0 aufweist, der dem Nicht-Vorhandensein von Erregung entspricht.
Die während dieser Signalerfassung, sowohl bei Vorhandensein, als auch bei Nicht- Vorhandensein von Erregung, erhaltenen Beiträge werden gegebenenfalls kumuliert und anschließend auf herkömmliche Art von der elektronischen Verarbeitungseinrichtung endverarbeitet, um sodann die ellipsometrischen Parameter ψ&sub1; und Δ&sub1; bei Vorhandensein von Erregung und ψ&sub2; und Δ&sub2; bei Nicht-Vorhandensein von Erregung zu liefern.
Wenn es sich bei dem eingesetzten Ellipsometer um ein Phasenmodulations-Ellipsometer handelt, was dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung entspricht, ist es bekannt, daß der Zugang zu den Parametern ψ und Δ über das unter Verwendung einer Fourier-Transforrnierten erfolgende Zerlegen des empfangenen Signals s in drei jeweils kontinuierliche Komponenten S0, S1 und S2 mit der Frequenz ωn und der Frequenz 2ωm führt.
Die erhaltene Genauigkeit der kontinuierlichen Komponente S0 wird durch das Einbringen einer dritten Modulation verbessert, wie dies in den Figuren 3 und 4 dargestellt ist.
Zu diesem Zweck ist eine Begrenzungseinrichtung 20 zwischen dem photoelastischen Modulator und der Probe in den Weg des Lichtstrahls 2 des Ellipsorneters eingefügt. Selbstverständlich kann die Begrenzungseinrichtung ohne wesentliche Veränderungen an jeder beliebigen Stelle zwischen der Quelle 1 und dem Detektor 13. Angeordnet werden.
Eine Referenz der Begrenzung wird über die Leitung 21 an die elektronische Verarbeitungseinrichtung 14 geleitet.
Die derart erhaltenen Signale sind in Figur 4 dargestellt.
Das externe Erregungssignal, das von der Erregungseinrichtung 16 geliefert wird, ist mit 30 bezeichnet und weist die zuvor genannten Rechteckform auf.
Das Begrenzungssignal der Begrenzungseinrichtung 20 weist ebenfalls Rechteckform 40 auf, hat eine Periode Tc und weist den Wert 1 in der ersten Hälfte dieser Peeriode und den Wert 0 in der zweiten Hälfte auf
Das Erfassen des Detektorsignais 5 durch die elektronische Verarbeitungseinrichtung 14 bei Vorhandensein von Erregung wird nach dem Synchronisieren mit der Anstiegsflanke 36 mit der Anstiegsflanke 41 des Begrenzungssignals 40 synchronisiert, wenn das Erregungssignal 30 den Wert 1 hat.
Ausgehend von der Anstiegsflanke 41 wird ein Anzahl t von Modulationsperioden Tm neutralisiert und anschließend erfolgt das Erfassen während einer Zeitdauer, die einer Anzahl von Modulationspertoden Tm entspricht, welche gleich
ist.
Auf die gleiche Weise werden die signifikanten Werte des Signals bei Nicht-Vorhandensein von Erregung ausgehend von einer Anstiegsflanke 42 des Begrenzungssignals 40 nach der Synchronisierung mit der Abstiegsflarike 37 erfaßt, wenn der Wert des Erregungssignals 30 gleich 0 ist.
Die Perioden der Begrenzungseinrichtung Tc und der externen Erregung Te müssen derart sein, daß jede Halbperiode der externen Erregung Te wenigstens eine Begrenzungseinrichtungsperiode Tc enthält.
Auf diese Weise ist wenigstens eine Periode Tc der Begrenzungseinrichtung 20, die in dem Weg des Strahls des Ellipsometers angeordnet ist, während jeder Halbperiode Te der Erregung auf.
Wie bei dem vorhergehenden Ausführungsbeispiel werden Tests 51 und 52 an dem Erregungs-Begrenzungssignal 30 vorgenommen. Darüber hinaus werden analoge Tests 53 und 54 an dem Begrenzungssignal 40 des Ellipsometerstrahls vorgenommen.
Die Gesamtheit der unter diesen Umständen während mehrerer aufeinanderfolgender Perioden des Erregungssignals erfaßten Werte kann kumuliert und ausgewertet werden, um die gewünschten ellipsometrischen Parameter zu extrahieren.
Das erfindungsgemäße Ellipsometer ermöglicht somit das Erhalten neuer Parameter, die zu messen zuvor praktisch unmöglich war, nämlich ellipsometrischer Parameter der Probe in Abhängigkeit von der Erregungsfrequenz.
Ferner kann diese Vorrichtung ohne jegliche Modifizierung gleichermaßen unter Bedingungen verwendet werden, die einen Zugang zu Parametern ermöglichen, deren Messung bekannt ist.
Bei Nicht-Vorhandensein von Erregung verhält sich die Vorrichtung wie ein spektroskopisches Ellipsometer und ermöglicht somit das Messen von ellipsometrischen Parametern der Probe.
Gleichermaßen ermöglicht sie bei Nicht-Vorhandensein von photoelastischer Modulation das Durchflihren von Reflektanzmessungen und Messungen der modulierten Reflektanz, der Elektroreflektanz, der Photoreflektanz,...
Es sind verschiedene alternative Ausfiihrungsformen der Erfindung möglich, insbesondere kann das externe Erregungssignal 30, umgekehrt zur vorhergehenden Beschreibung, im ersten Teil seiner Periode den Wert 0 und im komplementären Teil den Wert 1 annehmen. In dem einen wie in dem anderen Fall können der erste und der zweite Teil der Periode eine unterschiedliche Dauer haben.
Es ist gleichermaßen möglich, den Monochromator durch einen Spektrographen zu ersetzen, der in Verbindung mit einem geeigneten Detektor, eine gleichzeitige Analyse mit mehreren Wellenlängen ermöglicht.
Die nach den in den Patentansprüchen genannten technischen Merkmalen eingefügten Bezugszeichen dienen einzig der Erleichterung des Verstehens derselben und begrenzen deren Umfang in keiner Weise.

Claims

1. Mit einer Frequenz (ωm) moduliertes spektroskopisches Ellipsometer zum Messen einer Probe (3), mit einem spektroskopischen Phasenmodulationsellipsometer, das mit einer elektronischen Einrichtung (14) zum Verarbeiten und Liefern von ellipsometrischen Parametern und mit einer elektronischen Einrichtung (16) zum Erregen der Probe von außen versehen ist, welche eine alternierende periodische Erregung (30) mit einer Erregerfrequenz (Ωe) erzeugt und von der eine Referenzfrequenz an die elektronische Verarbeitungseinrichtung (14) geliefert wird,

dadurch gekennzeichnet, daß das modulierte spektroskopische Ellipsometer einen Photodetektor (13) aufweist, dessen elektrisches Signal (s) von der elektronischen Verarbeitungseinrichtung (14) verarbeitet wird, wobei das Signal (s) signifikante Erregungsbereiche (31) und signifikante Nicht-Erregungsbereiche (32) aufweist, wobei die signifikanten Bereiche (31, 32) zur Erzeugung der ellipsometrischen Parameter der Probe in Abhängigkeit von der Erregerfrequenz (Ωe) jeweils bei Vorhandensein (Ψ1, Δ&sub1;) und Nichtvorhandensein (Ψ&sub2;, Δ&sub2;) von Erregung, ausgewertet werden.

2. Moduliertes spektröskopisches Ellipsometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Signal (s) Übergangsbereiche (33-35) aufweist, welche die signifikanten Bereiche (31, 32) voneinander trennen, und die elektronische Verarbeitungseinrichtung (14) diese Übergangsbereiche (33-35) neutralisiert.

3. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Anspruche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Verarbeitungseinrichtung (14) Tests bezüglich des Zustands der Erregungseinrichtung durchführt.

4. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Erregerfrequenz (Ωe) im Vergleich zur Modulationsfrequenz (ωm) niedrig ist, daß die elektronische Verarbeitungseinrichtung (14) mit der Erregung synchronisiert ist, und daß das elektrische Signal des Photodetektors (13) von der elektronischen Verarbeitungseinrichtung (14) nach einer ganzen Zahl (t) von Modulationsperioden, ausgehend von einer Anstiegsflanke des Erregungssignals wahrend einer Zahl (T) von Modulationsperioden zur Erzeugung der ellipsometrischen Parameter bei Vorhandensein der Erregung, und anschließend nach einer Zahl (t) von Modulationsperioden, ausgehend von einer Abstiegsflanke des Erregungssignals wahrend einer Zahl (T) von Modulationsperioden zum Erzeugen der ellipsometrischen Parameter bei Nichtvorhandensein der Erregung, erfaßt wird, wobei (T) den folgenden Werthat:

5. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß bei jeder Anstiegs- und Abstiegsflanke ein Test des Pegels des Erregungssignals erfolgt.

6. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das spektroskopische Ellipsometer einen Lichtstrahl aufweist, der auf eine Frequenz ωc, die zwischen der Modulationsfrequenz (ωm) des Ellipsometers und der Erregerfrequenz (Ωe) liegt, begrenzt ist, wobei eine Referenzfrequenz dieser Begrenzungsfrequenz an die elektronische Verarbeitungseinrichtung geliefert wird.

7. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Erregung der Probe durch Licht erfolgt..

8. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Erregung der Probe elektrisch erfolgt.

9. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Erregung der Probe magnetisch erfolgt.

10. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsfrequenz (ωm) des Ellipsometers die Größenordnung von 50 kHz und die Erregerfrequenz (Ωe) die Größenordnung von 5kHz hat.

11. Moduliertes spektroskopisches Ellipsometer nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsfrequenz (ωm) des Ellipsometers die Größenordnung von 50 kHz, die Brregerfrequenz (Ωe) die Größenordnung von 1 kHz und die Begrenzungsfrequenz die Größenordnung von 5 kHz hat.