DE69322890T2 - Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung - Google Patents

Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung

Info

Publication number
DE69322890T2
DE69322890T2 DE69322890T DE69322890T DE69322890T2 DE 69322890 T2 DE69322890 T2 DE 69322890T2 DE 69322890 T DE69322890 T DE 69322890T DE 69322890 T DE69322890 T DE 69322890T DE 69322890 T2 DE69322890 T2 DE 69322890T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electron beam
reducing
device suitable
spatial energy
beam device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69322890T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69322890D1 (de
Inventor
Der Mast Karel Diederick Van
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FEI Co
Original Assignee
Koninklijke Philips Electronics NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koninklijke Philips Electronics NV filed Critical Koninklijke Philips Electronics NV
Application granted granted Critical
Publication of DE69322890D1 publication Critical patent/DE69322890D1/de
Publication of DE69322890T2 publication Critical patent/DE69322890T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/05—Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy or mass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
DE69322890T 1992-02-12 1993-02-04 Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung Expired - Lifetime DE69322890T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP92200384 1992-02-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69322890D1 DE69322890D1 (de) 1999-02-18
DE69322890T2 true DE69322890T2 (de) 1999-07-29

Family

ID=8210415

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69322890T Expired - Lifetime DE69322890T2 (de) 1992-02-12 1993-02-04 Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5300775A (de)
JP (1) JP3600253B2 (de)
DE (1) DE69322890T2 (de)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996010836A1 (en) * 1994-10-03 1996-04-11 Philips Electronics N.V. Particle-optical apparatus comprising an electron source with a needle and a membrane-like extraction electrode
US6184524B1 (en) 1996-08-07 2001-02-06 Gatan, Inc. Automated set up of an energy filtering transmission electron microscope
US5798524A (en) * 1996-08-07 1998-08-25 Gatan, Inc. Automated adjustment of an energy filtering transmission electron microscope
JP3687541B2 (ja) * 1999-01-04 2005-08-24 株式会社日立製作所 元素マッピング装置、走査透過型電子顕微鏡および元素マッピング方法
JP3932894B2 (ja) * 1999-10-29 2007-06-20 株式会社日立製作所 電子線装置
US6410924B1 (en) 1999-11-16 2002-06-25 Schlumberger Technologies, Inc. Energy filtered focused ion beam column
JP3979945B2 (ja) * 2003-01-23 2007-09-19 日本電子株式会社 電子分光系を有した電子線装置
GB0320187D0 (en) * 2003-08-28 2003-10-01 Shimadzu Res Lab Europe Ltd Particle optical apparatus
EP1783811A3 (de) 2005-11-02 2008-02-27 FEI Company Korrektor zur Korrektion von chromatischen Aberrationen in einem korpuskularoptiachen Apparat
JP4822925B2 (ja) * 2006-04-28 2011-11-24 日本電子株式会社 透過型電子顕微鏡
EP2325862A1 (de) * 2009-11-18 2011-05-25 Fei Company Korrektor für axiale Aberrationen einer teilchenoptischen Linse
JP5452722B2 (ja) * 2010-07-27 2014-03-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ 収差補正装置およびそれを用いた荷電粒子線装置
GB2488429B (en) * 2011-02-28 2016-09-28 Agilent Technologies Inc Ion slicer with acceleration and deceleration optics
EP2511936B1 (de) 2011-04-13 2013-10-02 Fei Company Verzerrungsfreie Stigmation eines TEM

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7404363A (nl) * 1974-04-01 1975-10-03 Philips Nv Elektronenmikroskoop met energieanalysator.
GB8604256D0 (en) * 1986-02-20 1986-03-26 Univ Manchester Electron spectrometer
JPS63231852A (ja) * 1987-03-20 1988-09-27 Hitachi Ltd 荷電粒子線応用装置
US4851670A (en) * 1987-08-28 1989-07-25 Gatan Inc. Energy-selected electron imaging filter

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0668833A (ja) 1994-03-11
JP3600253B2 (ja) 2004-12-15
DE69322890D1 (de) 1999-02-18
US5300775A (en) 1994-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69322890T2 (de) Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung
DE69032405D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontrolle der dynamischen konvergenz mehrerer elektronenstrahlen in einer farbkathodenstrahlröhre
DE69417631D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bewertung der Form eines dreidimensionalen Objektes
DE69413642T4 (de) Verfahren und Einrichtung zur Steuerungshilfe eines Flugzeuges
DE69707744D1 (de) Verfahren zur Beeinflussung der Sichtbarkeit eines Bildschirmes und Vorrichtung zur Ausführung dieses Verfahrens
DE69130850T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Weiterübersetzung eines Übersetzungsresultats
DE69210522D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Ionenstrahlquerschnitts
DE59409520D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur planung und kontrolle eines chirurgischen eingriffs
DE69310259D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur elektrostatisch kontrollierten Strahlsteuerung
DE69425548T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur dynamischen Objektverbindungserzeugung
DE69428698D1 (de) System und vorrichtung zur elektronenstrahlbehandlung während einer operation
DE69700728T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Lageerhaltung eines Satelliten
DE69622455D1 (de) Monitor und Verfahren zur Bestimmung der Lage eines Röntgenstrahls
DE69523717T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur richtungssteuerung eines objektes
DE69717797T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur fernlokalisierung einer alpha-radioaktiven quelle
DE69611441D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bewertung des bodens eines ankerplatzes
DE69514999T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Inertgasabschirmung einer oben offenen heissgehenden Gefässen
DE69303523D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur seismischen Untersuchung
DE69416719T2 (de) Verfahren zur Programmierung eines Aufzeichnungsgeräts und Programmiergerät
DE69132310D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur untersuchung eines gegenstandes
DE69624693T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur ausführung eines anwendungsprogramms
DE69309853D1 (de) Bild-Rekonstruktionsverfahren in einem Hochauflösungselektronenmikroskop und zur Anwendung eines solchen Verfahrens fähigen Elektronenmikroskop
ATA221191A (de) Vorrichtung und verfahren zur untersuchung eines drahtseils
DE69217369D1 (de) Verfahren zur einbringung eines bodenankers und bodenanker
DE59302546D1 (de) Verfahren für Röntgenaufnahmen und dafür geeignete Vorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: FEI CO., HILLSBORO, OREG., US

R071 Expiry of right

Ref document number: 555911

Country of ref document: EP