DE69211771D1 - Verfahren zur Behandlung der gravierten Oberfläche eines Halbleiters oder Halbisolierers, durch ein solches Verfahren hergestellte integrierte Schaltkreise, sowie Apparat zur anodischen Oxidation zur Durchführung eines solchen Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Behandlung der gravierten Oberfläche eines Halbleiters oder Halbisolierers, durch ein solches Verfahren hergestellte integrierte Schaltkreise, sowie Apparat zur anodischen Oxidation zur Durchführung eines solchen Verfahrens

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