DE69203195T2 - Vorrichtung zur Spektralphotometrie mit Spektralbandfilterung. - Google Patents

Vorrichtung zur Spektralphotometrie mit Spektralbandfilterung.

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf die Spektralphotometrie mit Spektralbandfilterung.
  • Sie findet Anwendung bei der spektrochemischen Analyse durch Emission, Lumineszenz, Phosphoreszenz, Fluoreszenz, Smekal- Raman-Effekt, usw..
  • Man kennt schon Spektrometrie-Vorrichtungen mit Spektralbandfilterung (FR-A-2 553 410).
  • Generell umfassen derartige Vorrichtungen:
  • - Einrichtungen zum Erzeugen einer elektromagnetischen Erregerspannung mit einer festgelegten Wellenlänge;
  • - eine zu analysierende Probe;
  • - einen Eingang für ein charakteristisches elektromagnetisches Analyse-Strahlenbündel der besagten Probe; und
  • - geeignete optische Einrichtungen, um die elektromagnetische Erregerstrahlung auf die Probe zu lenken und das resultierende, von der so erregten Probe ausgehende und auf ein gewähltes Spektralband begrenzte Analyse-Strahlenbündel zu empfangen.
  • Es gibt zahlreiche optische Filterungseinrichtungen für das Filtern eines schmalen Bandes oder Linie.
  • Der Anmelder hat sich die Aufgabe gestellt, bei der Art der Benutzung solcher Filterungseinrichtungen Neuerungen einzuführen hinsichtlich einer Verbesserung ihrer Filterungseigenschaften in einer Spektrometrie-Vorrichtung.
  • Ein erstes Ziel der Erfindung ist es also, optische Filterungseinrichtungen zu verwirklichen, die simultan das Zurückwerfen bzw. die Selektion eines schmalen Spektralbandes und die Einspeisung - in umgekehrter Richtung - einer Strahlung mit einer auf eben dieses Spektralband zentrierten Wellenlänge gewährleisten.
  • Ein zweites Ziel der Erfindung ist die Verwirklichung von Filterungseinrichtungen, die in der Nähe der zu filternden Wellenlänge einen sehr steilen Dämpfungsabfall aufweisen.
  • Ein drittes Ziel der Erfindung ist es, Filterungseinrichtungen zu liefern, die herausnehmbar bzw. beweglich sind und verstellbar um jede beliebige zu filternde Wellenlänge herum.
  • Die Erfindung betrifft eine Zerstreuungsspektrometrie- Vorrichtung bekannter Bauart.
  • Einer allgemeinen Definition der Erfindung gemäß sind die optischen Einrichtungen angeordnet entsprechend dem kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1.
  • Eine solche Struktur ist äußerst interessant.
  • Sie ist tatsächlich sehr vorteilhaft z.B. wenn die benutzte Lichtquelle nicht nur eine nützliche Strahlung aussendet, sondern auch andere Strahlungen mit Wellenlängen, die sich unterscheiden von der nützlichen Strahlung und die unerwünscht sind. Dies ist vor allem der Fall bei Diodenlasern, die unterschiedliche Wellenformen emittieren, bei Farbstofflasern oder auch bei Lasern, die zugleich intensive stimulierte Strahlungen emittieren und nichtstimulierte Linien, hervorgerufen durch Plasma oder durch Anregungsquellen.
  • Eine derartige Struktur hat auch den Vorteil, die üblicherweise in einer Spektrometrievorrichtung verwendeten optischen Elemente zu beseitigen, z.B. die Dichroid- Strahlteilerplatten. Sie ist außerdem einfach auszuführen.
  • In der Praxis filtern die Filterungseinrichtungen durch Reflexion, durch Transmission oder durch Refraktion.
  • Weitere Vorzüge und Merkmale der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung hervor und aus den beigefügten Zeichnungen:
  • - die Figur 1 stellt die Spektralempfindlichkeit eines idealen Filters des Typs Bandsperrfilter dar;
  • - die Figur 2 ist eine schematische Ansicht einer erfindungsgemäßen Transmissionslichtfalle;
  • - die Figur 3 ist eine schematische Ansicht einer erfindungsgemäßen Reflexionslichtfalle;
  • - die Figur 4 ist eine Ansicht der erfindungsgemäßen Lichtfalle entsprechend dem Schnitt WW' der Figur 3;
  • - die Figur 5 ist eine schematische Ansicht einer Zerstreuungsspektrometrieanlage, bei der eine Transmissions- Lichtfalle erfindungsgemäß zugleich der Einspeisung der Erregerlinie und der Selektion von dieser dient;
  • - die Figuren 6A, 6B, 6C und 6D stellen schematisch eine Spektrometrieanlage dar, die ausgerüstete ist mit erfindungsgemäßen nichtzerstreuenden Filterungseinrichtungen;
  • - die Figur 7 ist eine Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Dreifachreflexionslichtfalle; und
  • - die Figur 8 ist eine Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Doppel-Refraktionslichtfalle.
  • Die Zeichnungen umfassen im wesentlichen Elemente von bestimmtem Charakter. Als solche sind sie integrierender Bestandteil der Beschreibung und können nicht nur dazu dienen, die detaillierte Beschreibung besser zu verstehen, sondern ggf. auch zur Definition der Erfindung beitragen.
  • In Figur 1 ist eine Kurve dargestellt, die die Spektralempfindlichkeit eines idealen optischen Filters des Typs Bandsperrfilter oder Bandselektionsfilter zeigt.
  • Auf der Ordinatenachse ist die Transmittanz T des Filters dargestellt, und auf der Abszissenachse ist die Frequenz oder die Wellenlänge λ der zu filternden elektromagnetischen Strahlung dargestellt.
  • Die Spektralempfindlichkeit eines idealen Bandsperr- oder Bandselektionsfilters weist eine rechteckige Form auf. Er läßt mit einem maximalen Transmissionswert die Strahlungen mit einer Wellenlänge kleiner als eine Wellenlänge λ1 und größer als eine Wellenlänge λ2 durch und eliminiert mit einem Transmissionswert Null die Strahlungen mit einer Wellenlänge enthalten zwischen λ1 und λ2, d.h. die um die Bandmittenfrequenz λ0 herum zentrierten.
  • In der Praxis hat das eliminierte oder selektionierte Spektralband BZ eine der Differenz λ1-λ2 proportionale Breite l. Der Rest des Spektrums bildet das Durchlaßband FZ.
  • Erfindungsgemäß filtern die Filterungseinrichtungen durch Transmission.
  • Zum Beispiel (Figur 2) wird die Transmissionslichtfalle gebildet durch einen lichtdurchlässigen Spalt T1 - zwischen zwei Lippen - mit einer festgelegten Breite lT1, der ein Spektralband BZ durchläßt, das eine festgelegter Breite hat und zentriert ist auf eine Frequenz, gewählt entsprechend der Wellenlänge der einzufangenden elektromagnetischen Strahlung λ0.
  • Der Raum oder Zwischenraum T1 ist enthalten zwischen reflektierenden Flächen T2 und T3, geeignet das zerstreute Spektralbild FZ zu reflektieren, ohne das zum Zwecke einer späteren Analyse eingefangene Spektralband BZ.
  • In der Praxis haben die zweiten und dritten reflektierenden Flächen T2 und T3 geradlinig oder gekrümmt abgefaste Ränder, was ermöglicht, einen Schlitz mit festgelegter Breite zu definieren, entsprechend der Breite lT1 der ersten transparenten Fläche T1.
  • Der Abstand zwischen den Flächen T1 und T2 ermöglicht, das Band lT1 zu variieren.
  • Erfindungsgemäß können die Filterungseinrichtungen auch mittels Reflexion filtern
  • In diesem Fall (Figur 3) umfaßt die Lichtfalle eine erste reflektierende Fläche RTR1 von festgelegter Breite R, die das Spektralband BZ einer Spektralbreite reflektiert, die festgelegt ist und zentriert auf die genannte gewählte Frequenz, die der Wellenlänge der einzufangenden elektromagnetischen Strahlung entspricht.
  • Die erste reflektierende Fläche RTR1 ist eingefügt zwischen eine zweite RTR2 und eine dritte RTR3 transparente Fläche, um das zerstreute Spektralbild FZ ohne besagtes, derart eingefangenes Spektralband BZ durchzulassen.
  • Vorteilhafterweise sind die transparenten Flächen RTR2 und RTR3 verkleidet mit einer antireflektierenden multidielektrischen Schicht, auf beiden Seiten.
  • Die Flächen RTR1, RTR2 und RTR3 sind realisiert auf einer Platte L aus tranparentem optischem Material, auf dem die genannten Flächen abgegrenzt sind.
  • Es wurde festgestellt, daß, um eine Stördiffusion zu vermeiden, die Platte L (Figur 4) um einen Winkel Z geneigt sein muß in bezug auf die optische Achse, damit die Reflexion des Spektralbandes BZ nicht zurückfällt auf die vorhergehende Zerstreuungsstufe, hier R1.
  • Der Anmelder hat überraschenderweise festgestellt, daß die Transmissions- oder Reflexionslichtfalle, wie beschrieben in bezug auf die Figuren 2 bis 4, nicht nur der Selektion eines auf λ0 zentrierten Spektralbandes der Breite l dient, sondern auch der Einspeisung desselben Spektralbandes BZ in umgekehrter Richtung in eine Zerstreuungsspektrometrievorrichtung einerseits oder der simultanen Gewährleistung der beiden Rollen andererseits.
  • Die Reflexions- oder Transmissionslichtfalle wird dann ein Filter mit wenigstens zwei Wegen bzw. Kanälen, gekennzeichnet durch komplimentäre Frequenzgänge.
  • Ein derartiges Filter mit wenigstens zwei Kanälen findet eine bevorzugte aber nicht darauf beschränkte Anwendung in Smekal-Raman- oder Fluoreszenz-Zerstreuungsspektrometrieanlagen.
  • In Figur 5 ist schematisch ein Premonochromator des subtraktiven Typs dargestellt, ausgestattet mit einer erfindungsgemäßen Transmissionslichtfalle, die in der ersten Stufe die Einspeisung der Erregerstrahlung mit λ0 verwirklicht und die Selektion dieser Erregerstrahlung in der zweiten, zerstreuenden Stufe.
  • Eine monochromatische Lichtquelle LS erzeugt eine Erregerstrahlung EX der Wellenlänge λ0.
  • Vorteilhafterweise läßt eine Transmissionslichtfalle PG10, identisch mit der in bezug auf die Figur 2 beschriebenen, diese Erregerstrahlung EX mit λ0 zu einer ersten Zerstreuungsstufe R10 durch.
  • Genauer: optischen Einrichtungen LO fokussieren die Erregerstrahlung EX mit λ0 auf die Transmissionsfläche T10 der Transmissionslichtfalle PG10. Die optischen Einrichtungen LO bestehen hier aus einem Strahlenbündel-Expander bzw. -Dehner, der den Öffnungswinkel des Bündels EX anpaßt, um eine optimale räumliche Auflösung in Möhe der zu analysierenden Probe EC zu gewährleisten.
  • In der Praxis umfaßt die erste Zerstreuungsstufe die zu analysierende Probe EC, eine Linse wie z.B. ein Mikroskopobjektiv L1, einen Eintrittsschlitz FE für die zu analysierende elektromagnetische Strahlung ON, einen Kollimatorspiegel M10, ein Zerstreuungsgitter R10 und einen Spiegel M20, der auf den die Lichtfalle PG10 bildenden Einrichtungen ein Spektralstreubild bildet.
  • In der Hinwärtsrichtung der optischen Bahn durchquert die λ0 Erregerstrahlung EX also die Transmissionsfläche T10, um durch die erste Zerstreuungsstufe zur Probe EC geleitet zu werden, über die aufeinanderfolgenden optischen Elemente M20, R10, M10, FE, L1.
  • Der Anmelder hat überraschenderweise festgestellt, daß diese Vorrichtung außerdem einen Monochromator bildet, der auch eine Filtrierung der Erregerstrahlung durchführt durch Eliminieren der Komponenten, die sich außerhalb des Spektraldurchlaßbands BZ befinden (was z.B. eine Anwendung findet bei der Eliminierung der Linien des durch einen Gaslaser emittierten Plasmas oder der Seitenwellenformen eines Diodenlasers).
  • Bei der Rückwärtsrichtung der optischen Bahn wird das polychromatische Licht, das das Bündel ON bildet und aus der Beleuchtung der Probe EC durch die λ0-Erregerstrahlung EX resultiert, zur Lichtfalle PG10 geleitet über die aufeinanderfolgenden optischen Elemente L1, FE, M10, R10 und M20, um gefiltert zu werden.
  • Genauer: der das Durchlaßband FZ bildende Spektralbereich des zerstreuten Spektralbildes wird durch die reflektierenden Flächen T20 und T30 der Lichtfalle PG10 auf den Spiegel M30 reflektiert, während das auf λ0 zentrierte Spektralband BZ durch die Transmissionsfläche T10 zurückgeworfen wird zu der Quelle LS.
  • Der das Durchlaßband FZ bildende Spektralbereich, also ohne das Spektralband BZ, wird schließlich über ein Zerstreuungsgitter R20, einen Spiegel M40 und einen Austrittsschlitz FS zu einem Analysespektrographen geleitet.
  • Um die Selektion der Diffusion der λ0-Erregerstrahlung durch optische Elemente der ersten Zerstreuungsstufe zu verbessern, ist es erfindungsgemäß möglich, eine Vielzahl von Lichtfallen wie beschrieben mit Bezug auf die Figur 5 in Serie anzuordnen.
  • In der Praxis ist die Spektralempfindlichkeit der verschiedenen derart in Serie angeordneten Lichtfallen auf λ0 zentriert.
  • Als Variante ist es erfindungsgemäß möglich, eine Vielzahl Lichtfallen mit unterschiedlichen und nichtkomplementären Spektralempfindlichkeiten in Serie anzuordnen, zentriert jeweils auf λa, λb, λc, ...
  • Mit dieser Variante ist es somit möglich, entweder das Einspeisen oder das Selektionieren von mehreren Erregerlinien unterschiedlicher Wellenlänge zu realisieren, oder die Intensitätsmessung von mehreren in dem Spektrum gewählten Linien.
  • Eine solche Struktur findet Anwendung bei der Wärmebehandlung, der photochemischen Behandlung, dem Tempern oder der Ablation durch Laser.
  • Bei einer anderen Variante ist es erfindungsgemäß möglich, mehrere Transmissions-, Reflexions-, Refraktionslichtfallen anzuordnen, von denen jede ermöglicht, mehrere schmale Bänder zu filtern, zentriert auf unterschiedliche Wellenlängen.
  • Filterungseinrichtungen, die erfindungsgemäß das Einspeisen eines ersten Spektralbandes in einer ersten optischen Richtung gewährleisten und die Selektion dieses ersten Spektralbandes in einer zweiten optischen Richtung, der ersten entgegengesetzt, können in anderen Anordnungen als der mit Bezug auf die Figur 5 beschriebenen verwendet werden.
  • Zum Beispiel hat man in Figur 6A wesentliche Elemente einer spektrometrischen Filterungsvorrichtung ohne Zerstreuungsstufe dargestellt.
  • Dort findet man Einrichtungen LS zum Erzeugen einer elektromagnetischen Erregerstrahlung EX der festgelegten Wellenlänge λ0 entsprechend einer Erregerachse AEX, die zu analysierende Probe EC und den Eingang FE für das für die Probe charakteristische elektromagnetische Analyse-Strahlungsbündel ON entsprechend einer Analyse-Achse AON.
  • Vorteilhafterweise ist ein Strahlenbündel-Expander LO, eine divergierende Linse und eine konvergierende Linse umfassend, angeordnet am Ausgang der Erzeugungseinrichtungen LS, um den Öffnungswinkel des Bündels EX anzupassen hinsichtlich einer optimalen räumlichen Auflösung in Höhe der zu analysierenden Probe EC.
  • Erfindungsgemäß sind die Filterungseinrichtungen FIT in bezug auf die Erzeugungseinrichtungen LS einer festgelegten geometrischen Relation entsprechend angeordnet.
  • In der Praxis schneiden sich die Achse des Analysebündels AON und die Achse des Erregerbündels AEX in einem festgelegten Schnittpunkt PIN, während besagte Filterungseinrichtungen FIT in Höhe dieses Schnittpunkts PIN angeordnet sind.
  • Anders ausgedrückt bilden die Achse des Analysebündels und die Achse des Erregerbündels einen Winkel AGL.
  • Eine Linse wie etwa ein Mikroskopobjektiv L1, ein Eingangsschlitz FE, der die zu analysierende elektromagnetische Strahlung ON empfängt, und eine Linse LL0 sind auf der der Analyseachse AON entsprechenden optischen Achse angeordnet, in Figur 6A rechts von den Filterungseinrichtungen FIT.
  • Außerdem sind eine Linse LL1, konjugiert mit einer Linse LL0, und ein Ausgangsschlitz FS angeordnet entsprechend der Analyseachse AON, in Figur 6A links von den Filterungseinrichtungen FIT.
  • Erfindungsgemäß filtern die Filterungseinrichtungen FIT die elektromagnetische Erregerstrahlung EX in einer ersten Richtung, von den Erzeugungseinrichtungen LS zu der Probe EC. Dabei lassen sie ein zweites Spektralband BZ mit der festgelegten Spektralbreit l und zentriert auf eine Frequenz entsprechend der Wellenlänge der Erregerspannung λ0 passieren und halten das zum zweiten Spektralband BZ komplementäre erste Spektralband FZ auf (Figur 6B).
  • Daraus resultiert, daß das aus der Bestrahlung der Probe EC durch die Erregerlinse EX resultierende Analysebündel ON, dessen unerwünschte Linien somit herausgefiltert werden, nun ein Spektrum besitzt (Figur 6C), das Informationen enthält, die charakteristisch sind für die zu analysierende Probe CEC und die derart gefilterte Erregerlinie EX.
  • Im wesentlichen simultan zu dieser ersten Filterungsoperation filtern die Filterungseinrichtungen FIT außerdem die elektromagnetische Analysestrahlung ON in einer zweiten Richtung, umgekehrt zur ersten Richtung, indem sie das erste Spektralband FZ durchlassen (d.h. die Information CEC) und dabei das zweite Spektralband BZ anhalten (d.h. die Erregerlinie EX) (Figur 6D).
  • Wie vorher erwähnt, ermöglicht eine solche Anordnung folglich, die elektromagnetische Erregerstrahlung EX in die optischen Einrichtungen entsprechend einer optischen Bahn einzuspeisen, die zusammenfällt mit der der Analyse ON, in umgekehrter Richtung und mit demselben Strahlenbündel-Öffnungswinkel.
  • In der praxis ist die Bauart der Filterungseinrichtungen FIT holographisch, wie z.B. die von der Firma KAISER OPTICAL SYSTEM (USA) verkauften, opto-akustisch, interferometrisch, wie z.B. die des Typs FABRY PEROT, oder eine Kombination der genannten Typen.
  • In der Figur 7 ist eine Dreifach-Reflexionslichtfalle dargestellt.
  • Man findet dort das Zerstreuungsgitter R1 wieder, das ein zerstreutes Spektralbild liefert, übertragen durch den Spiegel M2 auf die Brennebene PF1.
  • Die Dreifach-Reflexionslichtfalle umfaßt drei reflektierende Masken RCH1, RCH2 und RCH3, beabstandet voneinander durch zwei transparente Flächen ST1, ST2.
  • Die Masken RCH1, RCH2 und RCH3 bilden vier Filterungskanäle für drei unterschiedliche Wellenlängen λa, λb, λc.
  • Der erste Filterungskanal V1 wird realisiert durch die reflektierende Maske RCH3, die die λa-Strahlungen reflektiert.
  • Der zweite Filterungskanal V2 wird realisiert durch die reflektierende Maske RCH2, die die λb-Strahlungen reflektiert.
  • Der dritte Filterungskanal V3 wird realisiert durch die transparenten Flächen ST1 und ST2, die die Stahlungen durchlassen, die sich unterscheiden von λa, λb und λc.
  • Der vierte Filterungskanal V4 wird realisiert durch die reflektierende Maske RCH4, die die λc-Strahlungen reflektiert.
  • In Figur 8 ist eine doppelte Refraktionslichtfalle dargestellt.
  • Man findet dort das Zerstreuungsgitter R1 wieder, das ein zerstreutes Spektralbild liefert, übertragen durch den Spiegel M2 auf die Brennebene PF1.
  • Die Doppelreflexionslichtfalle umfaßt zwei Ablenkungsprismen PD1 und PD2, voneinander beabstandet durch eine transparente Fläche TST.
  • Die Ablenkungsprismen PD1 und PD2 bilden drei Filterungskanäle.
  • Der erste Filterungskanal V1 wird realisiert durch das Ablenkungsprisma PD1, das die λa-Strahlung ablenkt.
  • Der zweite Filterungskanal V2 wird realisiert durch das Ablenkungsprisma PD2, das die λb-Strahlung ablenkt.
  • Der dritte Filterungskanal V3 wird realisiert durch die transparente Fläche TST, die die Strahlungen durchläßt, die sich von λa und λb unterscheiden.

Claims (13)

1. Vorrichtung zur Spektralphotometrie, umfassend:
- Einrichtungen (LS) zum Erzeugen einer elektromagnetischen Erregerspannung (EX) mit einer festgelegten Wellenlänge (λ0);
- eine zu analysierende Probe (EC);
- einen Eingang (FE) für ein für die genannte Probe kennzeichnendes elektromagnetisches Analyse-Strahlungsbündel (ON);
- geeignete optische Einrichtungen, um die elektromagnetische Erregerstrahlung (EX) auf die Probe zu leiten; um das von der so erregten Probe kommende Analysebündel ON zu ermpfangen, begrenzt auf ein erstes gewähltes Spektralband (FZ),
dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Einrichtungen Filterungseinrichtungen umfassen, die in bezug auf die Erzeugungseinrichtungen (LS) einer festgelegten geometrischen Relation entsprechend angeordnet sind,
dadurch, daß die genannten Filterungseinrichtungen die elektromagnetische Erregerspannung (EX) in einer ersten, von den Erzeugungseinrichtungen (LS) zu der Probe (EC) verlaufenden Richtung filtern und dabei ein zweites Spektralband (BZ) von festgelegter Spektralbreite (l) und zentriert auf eine entsprechend der Wellenlänge der Erregerstrahlung (λ0) gewählte Frequenz durchlassen und das erste Spektralband FZ, komplementär zum zweiten Spektralband (BZ), anhalten,
während im wesentlichen simultan zu dieser ersten Filterungsoperation die genannten Filterungseinrichtungen außerdem die elektromagnetische Analysestrahlung (ON) filtern in einer zweiten, der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung und dabei das erste Spektralband (FZ) durchlassen und das zweite Spektralband (BZ) anhalten, was ermöglicht, in die optischen Einrichtungen die elektromagnetische Erregerstrahlung (EX) einzuspeisen entsprechend einer optischen Bahn, die zusammenfällt mit der der Analyse (ON), in umgekehrter Richtung und mit demselben Strahlenbündel-Öffnungswinkel.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Einrichtungen zusammen umfassen:
- wenigstens eine Zerstreuungsstufe (R10);
- geeignete Transfereinrichtungen (M10, M20), um das durch die Zerstreuungsstufe (R10) zertreute Spektralbild in einer durch die genannte gewählte Frequenz (λ0) festgelegten Brennebene zu bilden;
während die Filterungseinrichtungen in Höhe der genannten Brennebene angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse des Analysebündels (ON) und die Achse des Erregerbündels (EX) sich schneiden in einem festgelegten Schnittpunkt, während die genannten Filterungseinrichtungen in Höhe des besagten Schnittpunkts angeordnet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterungseinrichtungen eine holographische, opto-akustische, interferometrische Bauart aufweisen, oder eine Kombination der genannten Bauarten.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterungseinrichtungen herausnehmbar bzw. beweglich sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterungseinrichtungen beweglich sind in einem dreidimensionalen Bezugssystem.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterungseinrichtungen durch Transmission filtern.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Transmissions-Filterungseinrichtungen eine erste transparente Fläche (T10) von festgelegter Breite umfassen, die in den genannten ersten und zweiten optischen Richtungen das zweite Spektralband (BZ) von festgelegter Spektralbreite (l) und zentriert auf eine entsprechend der Erregerwellenlänge gewählte Frequenz (λ0) durchlassen, wobei die erste Fläche (T1) eingefügt ist zwischen eine zweite und eine dritte reflektierende Fläche (T20 und T30), die das erste, zum zweiten Spektralband (BZ) komplementäre Spektralband (FZ) entsprechend den genannten ersten und zweiten optischen Richtungen reflektiert.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite und die dritte reflektierende Fläche (T20 und T30) geradlinig oder gekrümmt angeschrägte Ränder aufweisen, was ermöglicht, einen Schlitz von festgelegter Breite zu definieren, entsprechend der Breite der ersten transparenten Fläche.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterungseinrichtungen durch Reflexion filtern.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionsfilterungseinrichtungen eine erste reflektierende Fläche (RTR1) von festgelegter Breite aufweisen, die entsprechend der genannten ersten und zweiten Richtungen das zweite Spektralband (BZ) reflektieren, festgelegt und zentriert auf besagte gewählte Frequenz entsprechend der Wellenlänge der elektromagnetischen Erregerstrahlung (λ0), wobei besagte reflektierende erste Fläche (RTR1) eingefügt ist zwischen eine zweite und eine dritte transparente Fläche (RTR2 und RTR3), um das erste, zum zweiten Spektralband (BZ) komplementäre Spektralband (FZ) entsprechend den ersten und zweiten optischen Richtungen durchzulassen.
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Einrichtungen eine Vielzahl Filterungseinrichtungen in Serie umfassen, deren Spektralempfindlichkeiten zentriert sind auf eine gewählte Wellenlänge (λ0).
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Einrichtungen eine Vielzahl Filterungseinrichtungen in Serie umfassen, deren Spektralempfindlichkeiten jeweils zentriert sind auf unterschiedliche Wellenlängen (λa, λb, λc).
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