DE69118185T2 - Verfahren zur Erstellung der Lage und der Anordnung eines sich in Untersuchung befindendem Objektes - Google Patents

Description

• Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position und/oder der Konfiguration eines unter Beobachtung stehenden Objektes.
• Konventionelle Verfahren zur Bestimmung der Konfiguration eines Objektes benutzen eine Koaxialmethode, in welcher ein Laserlichtstrahl auf das Objekt auffällt, und reflektiertes Licht von einer Kamera erfaßt wird, und eine Position und eine Konfiguration des Objektes bestimmt werden.
• Figur 10 veranschaulicht das Prinzip der konventionellen Koaxialmethode. Wie in der Figur gezeigt, fällt ein Laserlichtstrahl 5 auf ein Objekt 2 und wird zu dem Lichtempfangsabschnitt eines Detektors 3 (Kamera) reflektiert. Aus bekannten Positionen und Winkeln der Laserquelle 1 und der Kamera 3 wird eine Position und eine Konfiguration des Objektes berechnet.
• Obwohl das Verfahren geeignet ist für eine sehr genaue Messung, muß ein Detektor 3 so eingestellt werden, daß seine optische Achse koaxial oder koinzident ist mit der Richtung der sich ausbreitenden Quelle, was oft schwierig ist und nur anwendbar ist auf solche Objekte, welche eine spezielle Form haben und aus einem speziellen Material sind.
• Wenn das Objekt überhaupt kein auftreffendes Licht reflektiert, ist es schwierig die Oberfläche des Objektes zu messen, da es kein reflektiertes Licht gibt. Und in dem Fall einer komplexen Objektoberfläche, ist es oft schwierig die Oberfläche des Objektes zu messen aus dem Grund, daß die Kameras nicht in die Richtung des reflektierten Lichtes eingestellt werden können.
• Eine weitere Schwierigkeit besteht bei den optischen Methoden hauptsächlich aufgrund der Tatsache, daß sie sich auf Information betreffend des Zustandes der Objektoberfläche verlassen, und sie berücksichtigen nicht die gesamte den Lichtstrahl selbst betreffende Information.
• US-A-4 289 397 beschreibt eine Vorrichtung zur Verarbeitung eines Laser-Cellometersignals. Insbesondere wird ein Verfahren und eine Vorrichtung beschrieben zur Bestimmung der Position einer Vielzahl von Punkten eines Ziels, z.B. einer Wolke, unter Verwendung einer Laserquelle zur Ausstrahlung eines Laserstrahls, und einer Kamera, welche nicht koaxial angeordnet ist in bezug auf den Laserstrahlweg, worin ein Lichtstreumedium den Laserstrahl streut.
• EP-A-0 071 426 offenbart ein Verfahren und ein System zur Bestimmung einer Form in einer zu bestimmenden Ebene, in einer Atmosphäre aus streuenden Materialien. Speziell beschreibt dieses Dokument ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung dreidimensionaler Positionskoordinaten einer Form in einer Ebene, unter Verwendung einer Laserquelle zur Ausstrahlung eines Laserstrahls, eines Lichtstreumediums zur Streuung des Laserstrahls und einer Kamera zur Erfassung des gestreuten Laserstrahllichtes. Die Kamera ist nicht unbedingt koaxial orientiert in bezug auf den Laserstrahlweg, die Position einer Vielzahl von Punkten in der Ebene wird bestimmt, und das Lichtstreumedium ist beispielsweise Dunst.
• Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung der Konfiguration als auch der Oberflächenbedingung eines Objektes zu schaffen durch die Messung des gestreuten Ortes (Lokus) des Laserstrahls.
• Diese Aufgabe wird gemäß Anspruch 1 gelöst.
• Bevorzugte Ausführungen sind in den abhängigen Ansprüchen aufgeführt.
• Figur 1 ist ein schematisches Diagramm der Anordnung eines auf einem Dorn eines Bearbeitungswerkzeuges montierten Laser und eines Objektes, welches sich auf einem NC-Tisch des Werkzeuges zur Beobachtung befindet.
• Figur 2 veranschaulicht einen Modus des Laserstrahlverfahrens und einer dafür geeigneten Struktur gemäß der Erfindung.
• Figur 3 veranschaulicht einen weiteren Modus des Verfahrens der Erfindung, in welchem die unbekannte Richtung des von einem Laser ausgestrahlten Laserstrahles bestimmt wird durch Bestimmung von zwei Punkten auf dem Strahl durch eine Kamera, wobei aus den Punkten die Position des Objektes bestimmt wird.
• Figur 4 veranschaulicht einen weiteren Modus des Verfahrens der Erfindung, in welchem die Position des Lasers unbekannt ist und ein Punkt auf dem Strahl bestimmt wird, um die Konfiguration des Objektes zu bestimmen.
• Figur 5 veranschaulicht einen weiteren Modus des Verfahrens der Erfindung, in welchem die Konfiguration eines Objektes bestimmt wird aus dem normalen Vektor an dieser Position durch Beobachtung des auf die Position auffallenden und reflektierten Strahles.
• Figur 6 veranschaulicht die Verwendung dieser Erfindung zur Bestimmung der Konfiguration eines in eine Flüssigkeit getauchten Werkstückes bei der elektro-errosiven Bearbeitung.
• Figur 7 ist eine Illustration zur Erklärung des Effektes des Brechungsindex einer Flüssigkeit, welche bei dem erfindungsgemäßen Verfahren mitspielt.
• Figur 8 veranschaulicht wie Lichtstreuung verwendet werden kann in dem erfindungsgemäßen Verfahren.
• Figur 9 veranschaulicht ein erfindungsgemäßes Verfahren, in welchem eine Ölschicht auf ein Objekt mit einer spiegelartigen Oberfläche aufgetragen wird, und ein Laserstrahl in den Film hineingerichtet wird, um das aus dem Film austretende Licht zu beobachten, um die Konfiguration des Objektes zu bestimmen.
• Figur 10 veranschaulicht ein konventionelles Verfahren, welches einen Laserstrahl verwendet.
• Figur 1 veranschaulicht ein Verfahren zur Bestimmung der Konfiguration eines Werkstückes 2, welches sich auf einen numerisch gesteuerten (NC) Arbeitstisch (nicht abgebildet) einer Werkzeugmaschine befindet, mittels eines Lasers 1, welcher auf einem Dorn der Werkzeugmaschine montiert ist. Der Laserstrahl kann durch eine optische Faser auf das Objekt gestrahlt werden. Ein reflektierter Laserstrahl 5 wird durch eine Beobachtungskamera 3 erfaßt, welche eine Bilderkennungsvorrichtung sein kann, einschließlich einer CCD-Kamera.
• Der Laserlichtstrahl wird sichtbar gemacht, während er durch ein Medium 4 läuft, welches mikroskopische Partikel (z.B. Rauch, gesättigten Wasserdampf) enthält und Licht streut. Andere lichtstreuende Medien wie Kolloidflüssigkeiten, Polymerflüssigkeiten, gefärbte Flüssigkeiten, Pulverenthaltende Flüssigkeiten, Pulver-enthaltende Luft, und gefärbte Luft können ebenfalls verwendet werden. Anstelle der Partikel-enthaltenden Medien, kann eine Flüssigkeit mit einer maximalen Streuintensität für die gegebene Wellenlänge des Laserlichtes verwendet werden, wie Azeton. Wenn man kein solches lichtstreuendes Medium zur Hand hat, kann ein Zerstäuber 6 verwendet werden zur Schaffung von mikroskopischen Partikeln auf dem Weg des Laserlichtstrahls. Es ist offensichtlich, daß ein solcher Zerstäuber 6 nicht notwendig ist, wenn die Messung in einer Flüssigkeit oder einem Gas ausgeführt wird, welche den Laserlichtstrahl streuen können.
• Keine externen mikroskopischen Partikel sind notwendig, wenn solche Partikel tatsächlich in der Meßumgebung existieren. Der Laser 1, die Kamera 3, und der Zerstäuber 6 können kompakt konstruiert sein, um so integral auf dem Dorn montiert zu sein. In einem lichtstreuenden Medium, wie es oben beschrieben wurde, wird der Laserstrahl 5 hell aufgrund der Rayleigh-Streuung und kann aus jeder Richtung beobachtet werden. Durch Bestimmung des Weges oder Ortes (Lokus) des Laserstrahles, wird ein Punkt B auf der Oberfläche des Werkstückes, an welchem das Laserlicht reflektiert wird, bestimmt. Durch Abtasten der Oberfläche des Werkstückes und durch Bestimmung anderer Punkte B auf der Oberfläche auf ähnliche Weise, kann die Konfiguration des Werkstückes erhalten werden.
• Figur 2 zeigt das Konzept der Erfindung, in welchem ein Laser 1 einen Laserstrahl 5 emittiert, welcher auf ein Objekt 2 auftrifft und zu einer Kamera 3 reflektiert wird. Ein Zerstäuber ist in dieser Figur nicht abgebildet. Das Medium, durch welches der Laserstrahl läuft, ist dicht besetzt mit Partikeln, welche Rayleigh-Streuung auslösen können. Somit kann der von der Laserquelle 1 ausgestrahlte Laserstrahl 5 beobachtet werden, wie er auf einen Punkt B des Objektes 2 auffällt, und als eine Spur zwischen A und B erkannt werden. Der Positionsvektor Rb des Punktes B, wie er von einem beliebigen Punkt des Referenzpunktes 0 aus beobachtet wird, wird durch Gleichung (1) beschrieben.
• Rb = RL + d nL = Rc + c nb (1)
• wo RL und Rc die Positionsvektoren der Laserquelle 1 und der Kamera 3 vom Punkt 0 aus beobachtet sind. nL ist der Einheitsvektor, welcher in die Richtung des von der Quelle ausgestrahlten Laserstrahls zeigt. nb ist der Einheitsvektor, welcher von der Kamera zum Punkt B zeigt. Aus Gleichung (1) erhält man die untere Gleichung (2).
• d nL - c nb = Rc - RL (2)
• Die Vektoren nL, nb, Rc und RL können erhalten werden aus der Messung der Positionen des Ursprunges 0, der Laserquelle 1, des Objektes 2, und der Kamera 3. Durch gleichzeitige Lösung der Gleichungen (1) und (2) können die Werte von d und c erhalten werden. Durch Einsetzen der Werte von d und c wird der Vektor Rb bestimmt.
• Es sei angemerkt, daß Gleichungen (1) und (2) eigentlich drei Gleichungen für zwei unbekannte sind. Daher kann man willkürlich zwei Gleichungen wählen oder die Minimalfehlerlösung berechnen unter Verwendung einer generalisierten inversen Matrix.
• Figur 3 veranschaulicht ein Verfahren zur Bestimmung des Einheitsvektors nL, welche nützlich ist in dem Fall, wo die Richtung der Laserquelle 1 nicht bekannt ist. Bei diesem Verfahren werden willkürliche Punkte A&sub1; und B auf dem Laserstrahl 5 bestimmt mittels der Kamera 3. Der Zerstäuber ist nicht abgebildet.
• Der von der Laserquelle 1 ausgestrahlte Laserstrahl stellt die Spur des Strahles zwischen den Punkten A&sub1; und B bereit, so daß die Abstände d&sub1; und d&sub2; von der Kamera 3 (an Position C) zu den Punkten A&sub1; und B bestimmt werden können. Die folgenden Vektorbeziehungen (3) und (4) sind gültig bezüglich
• Punkt A&sub1;: a + RL = Rc + d1 nb1 (3)
• und Punkt B: αa + RL = Rc + d&sub2; nb&sub2; (4)
• wobei nb1, nb2 Einheitsvektoren sind, welche von dem Punkt C der Kamera 3 zu dem Punkt A und B zeigen, a ist der Vektor, welcher vom Punkt A, der Position des Lasers, zum Punkt A&sub1; zeigt, αa ist der Positionsvektor des Punktes B, vom Punkt A&sub1; aus gesehen, d&sub1; ist der Abstand zwischen den Punkten C und A&sub1;, und d&sub2; ist der Abstand zwischen den Punkten C und B. Man kann den Punkt A als die Position des Lasers betrachten und den Punkt B als den Punkt des Objektes. Gleichungen (3) und (4) führen zu Gleichung (5).
• a (Rc - RL) + αd&sub1; nb1 - d2 nb2 = Rc - RL (5)
• Dies ist eine Simultangleichung für αd&sub1;, und d&sub2;, welche auch d&sub1; liefert. Durch Einsetzen des Wertes von d aus der Gleichung (6) unten, wird a bestimmt. Der Einheitsvektor nL, der Einheitsvektor des von dem Laser ausgestrahlten Laserstrahls wird durch Gleichung (7) gegeben.
• a = Rc - RL + d&sub1; nb1 (6)
• nL = a / a (7)
• Auf der Grundlage dieses Einheitsvektors nL, kann der vom Ursprung 0 aus betrachtete Vektor Rb des Punktes B auf die gleiche Weise bestimmt werden wie in Verbindung mit Figur 2 besprochen.
• Figur 4 zeigt ein Verfahren, welches verwendet werden kann zur Bestimmung der Position eines Punktes B auf dem Laserstrahl 5 ohne Kenntnis der Position der Laserquelle 1, auf der Grundlage der bekannten Richtung des ausgestrahlten Laserstrahls. Eine erste Kamera 3a und eine zweite Kamera 3b werden verwendet zur Beobachtung des Punktes B. Das Verhältnis zwischen der Position C&sub1; der ersten Kamera 3a und der Position C&sub2; der zweiten Kamera 3b in bezug auf den Ursprung 0 ist gegeben durch
• d&sub1; nb1 + RC1 = d&sub2; nb2 + RC2 (8)
• wobei RC1 und RC2 jeweils die Positionsvektoren der Kameras 3a und 3b sind, nb1 und nb2 sind die Einheitsvektoren, welche von den jeweiligen Kameras zu Punkt B zeigen, d&sub1; ist der Abstand zwischen den Punkten B und C&sub1;, und d&sub2; ist der Abstand zwischen den Punkten B und C&sub2;.
• Gleichungen (8) und (9) führen zu
• d&sub1; nb1 - d&sub2; nb2 = RC2 - RC1 (9)
• Diese Simultangleichung liefert d&sub1; und d&sub2;, was seinerseits den Positionsvektor Rb des vom Ursprung 0 aus betrachteten Punktes B liefert, gemäß einer Gleichung:
• Rb = d&sub1; nb1 + RC1 (10)
• Der Punkt B kann auf der Oberfläche des interessierenden Objektes gewählt werden, um so die Konfiguration des Objektes zu bestimmen.
• Figur 5 zeigt das geometrische Verhältnis unter den Vektoren, welche verwendet werden in einem Verfahren zur Bestimmung eines Normaleneinheitsvektors nn auf der Oberfläche eines Objektes durch Bestimmung eines Einheitsvektors nr, welcher den von dem Punkt B auf dem Objekt reflektierten Laserstrahl darstellt und eines Einheitsvektors nL, welcher den auf den Punkt B auftreffenden Strahl darstellt. Der Vektor nn wird mittels nr und nL wie folgt ausgedrückt.
• nn = nr - nL / nr - nL (11)
• Bei konventionellen Verfahren ist eine schnelle Bestimmung solcher oben erwähnten Normalenvektoren schwierig, da sogar dann, wenn viele repräsentative Punkte auf der Oberfläche des Objektes erhalten worden sind, Berechnungen erforderlich sind, um sie zu bestimmen. Im Gegensatz hierzu, kann die Erfindung die Normalenvektoren nn leicht zur Verfügung stellen.
• In Fällen, wo die unter Beobachtung stehende Oberfläche eine rauhe Oberfläche hat, hat der hiervon reflektierte Laserstrahl eine Gauß-Verteilung in der Intensität, wie in Figur 5 gezeigt. Dementsprechend wird die maximale Intensitätsrichtung P des reflektierten Strahles dadurch erhalten, daß ein Schwellwert gesetzt wird bei der Verarbeitung der Bilddaten. Die Meßgenauigkeit kann daher verbessert werden durch die Gewinnung des kontinuierlichen Punktes der maximalen Lichtquantität.
• Wie oben beschrieben, hat der normal reflektierte Strahl eine Raumintensitätsverteilung um den Vektor nr wie in Figur 5 gezeigt. Somit ist es möglich, die Rauhigkeit der Oberfläche zu bestimmen durch Messung der räumlichen Intensitätsverteilung. Diese Messung erlaubt ebenfalls die Erfassung von Narben und scharfen Kanten auf der Oberfläche zusammen mit der Erfassung der Rauhigkeit der Oberfläche.
• Figur 6 veranschaulicht die Verwendung eines Laserstrahles 1 zur Bestimmung der Konfiguration eines Werkstückes 2 in einem Elektro-Errodier-Bearbeitungsgefäß 8. Eine typische Elektro- Errosionsbearbeitung wird durchgeführt in einem von dem Gefäß 8 gehaltenen Öl 9. Da ein solches Werkstück 2 in Öl 9 oder Wasser getaucht ist, welche den Laserstrahl streuen, kann die Konfiguration und die Rauhigkeit des Werkstückes auf die oben beschriebene Weise erhalten werden.
• Die Verwendung von Spiegeln und einer optischen Faser werden die Messung erleichtern, und können eine Bestimmung der Konfiguration und der Rauhigkeit der Elektrode erlauben, da der Laserstrahl jeden Punkt der Elektrode erreicht. Auch kann dies eine Bestimmung der Konfiguration der Elektrode in Echtzeit zulassen und kann die Bearbeitungsbedingung verändern aufgrund des Meßresultats. In diesem Fall kann die Messung ausgeführt werden bei einer praktisch konstanten Temperatur, da die Wärmekapazität der Flüssigkeit (Öl oder Wasser) sehr hoch ist.
• Man sollte jedoch verstehen, daß der Brechungsindex der Flüssigkeit berücksichtigt werden muß bei den oben erwähnten Messungen. Der wahre Abstand D zwischen der freien Oberfläche der Flüssigkeit und der Oberfläche des Werkstückes wird durch D = n d gegeben, wo n der Brechungsindex der Flüssigkeit ist und d der scheinbare Abstand, wie in Figur 7 gezeigt.
• Figur 8 zeigt ein Verfahren zur Bestimmung der Konfiguration und der Position eines Objektes 2 durch Verwendung der Streuung eines von einem Laser 1 ausgestrahlten Laserstrahles 5. Das Objekt befindet sich in einer Atmosphäre, welche reich ist an verteilten lichtstreuenden Partikeln (wie Rauch und gesättigtem Wasserdampf). Die Streuung des auf die Oberfläche des Objektes 2 auffallenden Laserstrahles wird beobachtet durch die Kamera, welche sich nicht koaxial zum Laserstrahl befindet. Der Punkt B, wo der Strahl 5 reflektiert wird, kann beobachtet werden als ein sehr heller Fleck, so daß durch Bestimmung des hellsten Punktes in dem Fleck die Position der Oberfläche bestimmt ist.
• Figur 9 veranschaulicht die Verwendung eines auf der Oberfläche eines Objektes aufgebrachten Ölfilms. Das Öl wird aus Materialien ausgewählt, welche Laserlicht streuen können. Dieses Verfahren erlaubt die Bestimmung der Konfiguration eines Objektes, welches eine spiegelartige Oberfläche hat. Wenn ein Laserstrahl eingeführt wird in ein Ende des Ölfilms, wird sich der Laserstrahl in dem Film ausbreiten, wobei er darin mehrfach reflektiert wird. Durch Beobachtung der Intensität des aus dem Film austretenden Laserlichts, wird der Lokus entlang der Oberfläche des Objektes beobachtet als eine Raumfläche und die Konfiguration des Objektes kann bestimmt werden.
• Die Intensität des streuenden Lichtes fluktuiert, da die heterogen verteilten Partikel in dem Gas oder in der Flüssigkeit fluktuieren. Dementsprechend wird die Genauigkeit der Messung verbessert durch Entstörung des gemessenen Wertes des gestreuten Lichtes.
• Wenn die in der Suspension befindlichen Partikel in dem Gas oder der Flüssigkeit sich entlang der Oberfläche des Festkörpers bewegen, wird durch Beobachtung der Bewegung der suspendierten Partikel unter Verwendung eines Dopplerlasers die Position auf dem Festkörper sehr genau gemessen. Das bedeutet, daß durch einen erzwungenen Fluß des Fluids (Gas oder Flüssigkeit), welches die suspendierten Partikel enthält, und durch Messung der Richtung der Bewegung der suspendierten Partikel die Konfiguration der Oberfläche bestimmt wird.
• Gemäß der Erfindung kann die Bestimmung der Konfiguration eines Objektes ausgeführt werden durch Messung des gestreuten Lokus des Laserstrahles oder des gestreuten Punktes, wo der Laserstrahl auf das Objekt auftrifft, sie kann sogar die Oberfläche eines Objektes ausmessen, welches überhaupt kein Laserlicht reflektiert. Das Verfahren dieser Erfindung kann verwendet werden, unabhängig von den Eigenschaften der Oberfläche, so daß die Erfindung angewendet werden kann sowohl auf spiegelartige Oberflächen wie auf rauhe Oberflächen.

Claims (9)

1. Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Punktes B auf einem Objekt (2), umfassend die Schritte:

Aufstrahlen eines von einem Laser (1) ausgestrahlten auffallenden Laserstrahles auf das Objekt, wobei das Objekt (2) den auffallenden Strahl als reflektierten Strahl (5) richtet, wobei die auffallenden und reflektierten Strahlen einen Strahlweg definieren;

Vorsehen eines lichtstreuenden Mediums (4) auf dem Laserstrahlweg;

Erfassen eines Lokus des Laserstrahles durch mindestens eine Erfassungsvorrichtung (3; 3a, 3b), welche sich an einer Position außerhalb des Strahlweges befindet;

worin die Position des durch einen Vektor Rb dargestellten, von einem beliebigen Ursprung 0 aus betrachteten Punktes B bestimmt wird durch Erfassung des gestreuten Lichtes des Laserstrahles, aus einer Gleichung:

Rb = RL + d nL = Rc + c nb

wo RL und Rc die Positionsvektoren jeweils des Lasers (1) und der Erfassungsvorrichtung (3; 3a, 3b) in bezug auf den willkürlichen Ursprung 0 sind, nL ist der Einheitsvektor, welcher in die Richtung des von dem Laser (1) ausgestrahlten Laserstrahles zeigt, nb ist der Einheitsvektor, welcher von der Erfassungsvorrichtung (3; 3a, 3b) zu dem Punkt B auf dem Objekt (2) zeigt, und c und d sind die jeweiligen Abstände von der Erfassungsvorrichtung und dem Laser zu dem Punkt B auf dem Objekt (2).

2. Verfahren nach Anspruch 1, worin der Positionsvektor Rb bestimmt wird durch:

Erfassen eines Punktes A&sub1; und des Punktes B auf dem gestreuten Laserstrahl durch die Erfassungsvorrichtung (3; 3a, 3b), und

Bestimmung des Einheitsvektors nL aus den folgenden Gleichungen:

a + RL = Rc + d&sub1; nb1

αa + RL = Rc + d&sub2; nb2

a = Rc - RL + d&sub1; nb1

nL = a / a

wo nb1 und nb2 die Einheitsvektoren sind, welche in die Richtung von der Erfassungsvorrichtung (3; 3a, 3b) zu den jeweiligen Punkten A&sub1; und B zeigen, a ist der Positionsvektor des von dem Laser (1) aus betrachteten Punktes A&sub1;, αa ist der Positionsvektor des von dem Laser (1) aus betrachteten Punktes B, und d&sub1; und d&sub2; sind die jeweiligen Abstände von der Erfassungsvorrichtung (3; 3a, 3b) zu den Punkten A&sub1; und B.

3. Verfahren nach Anspruch 1, worin der Positionsvektor Rb bestimmt wird durch Erfassen des Punktes B auf dem gestreuten Laserstrahl durch eine erste und eine zweite Erfassungsvorrichtung (3; 3a, 3b), aus den folgenden Gleichungen:

d&sub1; nb1 + Rc1 = d&sub2; nb2 + Rc2

Rb = d&sub1; nb1 + Rc1

wo Rc1 und Rc2 die jeweiligen Positionsvektoren der ersten und zweiten Erfassungsvorrichtungen (3; 3a, 3b) sind, nb1 und nb2 sind die Einheitsvektoren, welche in die Richtungen von den ersten und zweiten Erfassungsvorrichtungen (3; 3a, 3b) zeigen, zu dem Punkt B auf dem Objekt (2), und d&sub1; und d&sub2; sind die jeweiligen Abstände von den ersten und zweiten Erfassungsvorrichtungen (3; 3a, 3b) zu dem Punkt B auf dem Objekt (2).

4. Verfahren nach Anspruch 1, worin die Erfassungsvorrichtungen (3; 3a, 3b) nicht koaxial angeordnet sind bezüglich des Laserstrahlweges.

5. Verfahren nach Anspruch 1, worin die Position einer Vielzahl von Punkten auf dem Objekt (2) bestimmt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, welches ferner das Bewegen des Mediums an der Vielzahl von Punkten vorbei umfaßt.

7. Verfahren nach Anspruch 6, welches ferner den Schritt der Durchführung von Dopplerlasermessungen des sich bewegenden Mediums umfaßt.

8. Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend den Schritt der Kompensation für den Brechungsindex des lichtstreuenden Mediums (4).

9. Verfahren nach Anspruch 1, welches ferner das Messen der räumlichen Intensitätsverteilung des reflektierten Strahles umfaßt.