DE69112900T2 - Verfahren zum Verbinden synthetischer Einkristalle. - Google Patents

Verfahren zum Verbinden synthetischer Einkristalle.

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Description

    Beschreibung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Verbinden synthetischer Einkristalle, insbesondere betrifft sie ein Verfahren zum Verbinden synthetischer Einkristalle eines Kristallsystems, wobei eines der beiden oder beide Kristalle anisotrope Eigenschaften hat bzw. haben und Licht unter Einschluß von sichtbarem Licht in einem Wellenlängenbereich in der Weise übertragen kann bzw. können, daß ihre einander angepaßten Flächen so ausgebildet sind, daß sie optisch in Kontakt miteinander kommen, und sie werden gleichmäßig (stetig) erhitzt und schrittweise abgekühlt, gegebenenfalls auch wiederholt gleichmäßig (stetig) erhitzt und schrittweise abgekühlt, um künstlich einen Strukturfehler durch ein auf ihren Flächen befindliches Medium zu erzeugen.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Ein übliches Verfahren zum direkten oder indirekten Verbinden von Einkristallen wurde bereits fur isotrope Einkristalle durchgeführt, die Teile eines isometrischen oder kubischen Systems sind, innerhalb dessen ihre physikalischen Eigenschaften im Hinblick auf ihre Ausrichtung im System nicht verschieden sind. EP-A-0 355 340 bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Strukturen zur wissenschaftlichen Anwendung, von ornamentalen Gegenständen oder dergl. durch zusammenbringen und Integrieren einer Mehrzahl transparenter synthetischer Einkristallstücke. Im Gegensatz dazu bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zum Verbinden zweier synthetischer Einkristalle miteinander.
  • EP-A-0 367 536 bezieht sich auf die Herstellung von Scheiben für elektronische Einrichtungen. Während der Herstellung werden eine Mehrzahl von Licht undurchlässigen (opaken) halbleitenden Stangengliedern in paralleler Anordnung zueinander zu einem zusammenhängenden Körper zusammengefügt. Im Gegensatz dazu bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zum Verbinden von Einkristallen. Merkmale der vorliegenden Erfindung, die diese wie die Erfindung gemäß EPA-0 416 301 des selben Anmelders aufweist, stehen im gattungskennzeichnenden Teil des unabhängigen Anspruches der nachfolgenden Patentansprüche. Der Unterschied zwischen der Erfindung, wie sie in den Anspruchen von EP-A-0 416 301 definiert ist einerseits und der vorliegenden Erfindung andererseits, ist im kennzeichnenden Teil dieser unabhängigen Ansprüche definiert.
  • Mit der Erfindung zu lösende Probleme
  • Das Hauptproblem der Erfindung ist die Definition eines Verfahrens, das in der Lage ist, zwei anisotrope Einkristalle miteinander zu verbinden, deren physikalische Eigenschaften, was ihre Ausrichtung im Kristallsystem anlangt, unterschiedlich sind, wobei das Verbinden in zweckmäßiger und wirkungsvoller Weise durchführbar sein soll.
  • Angesichts des vorher Gesagten, ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren aufzuzeigen, mit dem synthetische Einkristalle eines Kristallsystems miteinander verbunden werden können, wenn eines oder beide dieser miteinander zu verbindenden Einkristalle anisotrope Eigenschaften hat. bzw. haben und in der Lage ist bzw. sind, Licht in einem Wellenbereich zu übertragen, um auf diese Weise einfach ein neues Einkristall entstehen zu lassen, das eine komplizierte, aber trotzdem sehr genaue, Kontur hat und bei dem geringe chemische, physikalische und optische Unterschiede vorliegen.
  • Kurz gesagt werden die vorgenannten Probleme gemäß Aspekten der vorliegenden Erfindung dadurch gelöst, daß ein Verfahren zum Verbinden synthetischer Einkristalle zur Anwendung kommt, wie es im unabhängigen Anspruch 1 der folgenden Ansprüche definiert ist. Nützliche Aspekte eines solchen Verfahrens sind durch die abhängigen Ansprüche definiert.
  • Bei der nachfolgenden Beschreibung der Erfindung in ihren Einzelheiten werden Formulierungen (1) bis (4) in der nachfolgenden Bedeutung verwendet.
  • (1) Die Formulierung ".... die zu einem Kristallsystem gehören und von denen eines oder beide anisotrope Eigenschaft hat bzw. haben..." bedeutet, daß in einem Kristallsystem das Verbinden von anisotropen Einkristallen bewirkt wird, deren physikalische Eigenschaften unterschiedlich sind in der Eigenschaft der Richtung, oder für ein anisotropes Einkristall und ein isotropes Einkristall, das nicht verschieden ist bezüglich der Richtung.
  • (2) Die Formulierung ".... kann Licht übertragen einschließlich sichtbarem Licht in einem Wellenlängenbereich ...." bedeutet, daß die einander zugekehrten, miteinander verbundenen Flächen während oder nachdem sie miteinander verbunden werden bzw. miteinander verbunden worden sind, entweder mit bloßem Auge oder mit einem Mikroskop einfach zu beobachten sind, um inspizieren zu können.
  • (3) Die Formulierung "....ihre aneinander angeglichenen Flächen werden geschnitten, in einen optisch polierten Zustand gebracht, optisch miteinander in Kontakt gebracht dann gleichmäßig erhitzt und schrittweise abgekühlt oder wiederholt gleichmäßig erhitzt und schrittweise abgekühlt, um eine übergangsflächenreaktion auf den optisch kontaktierenden Flächen (durch ein Medium) zu bewirken..." bedeutet, daß die miteinander zu verbindenden Flächen der Einkristalle einander physisch bzw. physikalisch entsprechen und gleiche Achsenflächen für das selbe Kristallsystem der anisotropen Kristalle oder angepaßte Flächen für verschiedene Kristallsysteme des anisotropen und isotropen Kristalls sind. Die Flächen sind optisch poliert. Optisches Polieren zerstört die regelmäßige Konfiguration der Flächen und bringt eine Restspannung in große Tiefe. Die resultierende Rekristallisation veranlaßt Denaturierung, eine verdrehte Spannschicht oder die Bildung einer Verdoppelung auf der Fläche. Die Einkristalle werden miteinander verbunden, um optischen Kontakt zwischen den in der oben beschriebenen Weise optisch polierten Flächen herzustellen, und es ist eine theoretisch destruktive Methode der Kristallstruktur. Der optische Kontakt ist bekannt geworden als ein amorpher und Glasprozeß, bei dem die optisch polierten Flächen, die miteinander verbunden werden sollen gereinigt und anschließend durch direkte Druckeinwirkung in Verbindung miteinander gebracht werden, ohne daß irgendein künstiliches Bindemittel zur Anwendung käme. Die gesamte Einheit, die so entstanden ist, wird dann gleichmäßig erhitzt und schrittweise abgekühlt, um die Reaktion in der sich bildenden Zwischenschicht auszulösen. Im Verlauf der Herstellung der Verbindung absorbieren die optisch polierten und miteinander verbundenen Flächen Sauerstoff und Feuchtigkeit aus der Luft. Solche Moleküle können leicht von den Flächen dissoziiert und zu Sauerstoff- und Wasserstoffatomen werden, die chemisch an die Atome auf den Flächen gebunden werden oder als Medium das Zustandekommen der Bindung zwischen beiden Flächen begünstigen.
  • (4) Die Formulierung "ein Verfahren zum Verbinden synthetischer Einkristalle, ...um einen künstlichen Strukturfehler zu erzeugen" bedeutet, daß das Kristall regelmäßig strukturierte Atome in einem dreidimensionalen Rahmenwerk aus kristallografischen Achsen einschließt. Die Winkel zwischen je zwei Achsen werden als Achsenwinkel bezeichnet, und das Verhältnis zwischen den Achsenlängen ist das Achsenverhältnis. Das Achsenverhältnis des isometrischen Kristalls ist isotrop wie a = b = c, und die Achsenverhältnisse des anderen Kristalls sind anisotrop wie a ≠ b≠ c oder a = b ≠ c. Die Atome und Moleküle sind so gebildet, daß sie ein kristallartiges Strukturmuster ergeben, das durch die chemische Bindefestigkeit regelmäßig konfiguriert ist, wie ionenverbunden, kovalenzverbunden, metallartig verbunden, Verwendung der Van der Waal-Verbindung. Es gibt sieben Kristallsysteme mit spezifischen Kristallstrukturen.
  • Die Kristallstrukturen sind ideal konfiguriert in regelmäßigen Gittern, schließen jedoch einige Brüche und Störungen ein, die Strukturfehler genannt werden. Strukturfehler können eingeteilt werden in flächige Defekte, lineare Defekte und Punktdefekte. Beispiele für flächige Defekte schließen die Flächen des Kristalls ein, Grenzkorn, Zwillingsebene und Stapelungen; einer der Lineardefekte ist Dislozierung; Punktdefekte schließlich schließen Fremdatome, Atomausfall und Zwischengitterplatzatome. Zusätzlich gibt es Sekundärdefekte, wie Transitionsschleifen, die Abwandlungen der Primärdefekte sind und auf einige Reaktionen nach deren Entstehung zurückzuführen sind. Gitterdefekte greifen nicht nur die physikalischen und chemischen Eigenschaften des Kristalls in hohem Maße an, sondern zeigen ihre spezifischen Phänomene und Wirkungen (vergl. "Dictionary of Physics and Chemistry", 4.Auflage, Iwanami).
  • Die vorliegende Erfindung, wie sie oben beschrieben wurde, bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen Einkristallen, bei dem die Kristallstruktur intentionsgemäß verändert ist und zwar unter verschiedenen künstlichen Bedingungen und Zuständen, wobei entweder jeder oder beide von zwei Einkristallen eines Kristallsystems anisotropen Charakter hat bzw. haben und Licht unter Einschluß von sichtbarem Licht innerhalb eines Wellenlängenbereichs übertragen kann bzw. können. Die Kristalle sind auf dem Wege miteinander verbunden, daß ihre anpaßbaren Flächen geschnitten werden, um einander angepaßte physische bzw. physikalische Eigenschaften zu haben, worauf diese Flächen optisch poliert werden, in optischen Kontakt miteinander gebracht werden und schließlich gleichmäßig erhitzt und schrittweise abgekühlt werden oder wiederholt erhitzt und schrittweise abgekühlt werden, um eine Zwischenschichtreaktion auf den optisch einander berührenden Flächen auszulösen mittels eines Mediums, um einen Strukturfehler herbeizuführen.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 ist eine Fotografie eines Querschnitts der optisch polierten Grenzfläche von ungefärbten Quarzeinkristallen bei einer ersten Ausführungsform, die mit einem abtastenden Elektronenmikroskop (SEM=scanning electron microscope) aufgenommen wurde.
  • Fig. 2 zeigt Kurven der Übertragungscharakteristik einer ungefärbten Quarzeinkristallplatte und eines Plattenpaares, die miteinander verbunden wurden und unter Verwendung eines Spektrometers in der Anordnung 1 gemessen wurden.
  • Fig. 3 zeigt einen Quarzoszillator bestehend aus einem Paar miteinander verbundener ungefärbter Einkristallplatten in einer Anordnung, die mit 4.11 MHz oszillierte.
  • Fig. 4 ist ein Foto eines Querschnitts der optisch polierten Grenzfläche von ungefärbten Saphireinkristallen, die in einer Ausführungsform 2 miteinander verbunden sind in der Aufnahme durch ein tastendes Elektronenmikroskop (SEM).
  • Fig. 5 zeigt Übertragungscharakteristikkurven eines Paares ungefärbter Saphireinkristallplatten, dessen Einkristallplatten miteinander verbunden worden sind in der Aufeinanderfolge der einen der ungefärbten Einkristallplatten, eines Paares gefärbter Rubineinkristallplatten und der zweiten der ungefärbten Einkristallplatten; die Messung erfolgte in Anordnungen unter Verwendung eines Spektrometers.
  • Einzelbeschreibung der Erfindung Ausführung 1
  • Nachfolgend ist als Beispiel ein Verfahren beschrieben, bei dem zwei ungefärbte Quarzeinkristalle miteinander verbunden werden, die beide anisotrop sind und Licht unter Einschluß von sichtbarem Licht übertragen können. Bei diesem Beispiel sind die beiden Einkristalle in ihrer Primärzusammensetzung (SiO&sub2;) ebenso wie im Kristallsystem (hexagonal) identisch. Ihre Lichtübertragung erfolgt im Bereich von 4000 bis 7000 Angström bei einem Lichtübertragungsfaktor von nicht mehr als 90%. Die Einkristalle sind so geschnitten, daß die miteinander zu verbindenden Flächen bezüglich ihrer physikalischen Eigenschaften aneinander angepaßt sind, wozu die Achsen und die Achsenwinkel gehören. Ihre miteinander zu verbindenden Flächen sind optisch poliert auf eine Genauigkeit von /10, wobei /63,28 x 10&supmin;&sup5;mm (6328 Angström) ist. Sie werden, wenn die beiden Einkristalle mit ihren Verbindungsflächen zusammengebracht worden sind, miteinander verbunden oder optisch in Kontakt miteinander gebracht, wiederholt und stetig erhitzt, um auf diese Weise künstlich Strukturfehler zu erzeugen, worauf sie schrittweise abgekühlt werden, um chemisch miteinander verbunden zu werden, worauf die Verbindung stabilisiert wird.
  • Fig. 1 ist eine fotografische Wiedergabe eines Schnittes durch eine optisch polierte Verbindungsfläche von ungefärbten bzw. farblosen Quarzeinkristallen, die in einer Ausführungsform 1 miteinander verbunden sind. Das Foto wurde mit einem abtastenden Eklektronenmikroskop (SEM- scanning electron microscope) aufgenommen. Es kann daraus festgestellt werden, daß der schmale, weiße obere horizontale Streifen die denaturierte Schicht ist, es kann jedoch daraus kein eindeutiger Hinweis darauf abgeleitet werden, welcher Art der Strukturfehler ist.
  • Fig. 2 zeigt Kurven, die die Übertragungscharakteristik einer ungefärbten Quarz-Einkristall-Platte (Kurve 1) und eines Paares solcher miteinander verbundener Platten (Kurve 2) darstellen, wobei die Messung in der Anordnung 1 unter Verwendung eines Spektralfotometers erfolgte.
  • Fig. 3 zeigt einen Quarzoszillator, der ein Paar ungefärbter Einkristallplatten 2' aufweist, die in einer Anordnung miteinander verbunden wurden, die mit 4,11 MHz oszilliert.
  • Ausführung 2
  • Nachfolgend wird als Beispiel ein Verfahren beschrieben, bei dem zwei ungefärbte, farblose Saphireinkristalle miteinander verbunden sind, die beide anisotrop und in der Lage sind, Licht unter Einschluß von sichtbarem Licht zu übertragen. Bei diesem Beispiel sind Einkristalle in ihrer Grundzusammensetzung (Al&sub2;O2) identisch ebenso wie sie bezüglich des Kristallsystemes (hexagonal) identisch sind. Ihre Lichtübertragung liegt im Bereich von 4 - 7x10&supmin;&sup4;mm (4000 bis 7000 Angström) bei einem Lichtübertragungsfaktor von nicht über 90%. Die Einkristalle sind so geschnitten, daß die miteinander zu verbindenden Flächen in ihren physikalischen Eigenschaften so aneinander angepaßt sind, daß die Achsen und Achsenwinkel einander entsprechen sowie ihre axialen Flächen optisch auf eine Genauigkeit von J /10 poliert sind, worin - 63,28x10&supmin;&sup5;mm (6328 Angström) ist. Sie werden dann miteinander verbunden oder optisch miteinander in Kontakt gebracht, werden gleichmäßig und wiederholt erhitzt, um auf diese Weise künstliche Strukturfehler zu erzeugen, und werden stufenweise abgekühlt, um die chemische Verbindung zu bewirken, und schließlich erfolgt noch die Stabilisierung. In sehr ähnlicher Weise wie oben beschrieben kann auch ein kolorierter Rubineinkristall (der also Verunreinigungen enthält) hinzugefügt werden, der ein identisches hexagonales System mit Al&sub2;O&sub3; (+ Cr&sub2;O&sub3;) aufweist.
  • Fig. 4 ist die fotografische Wiedergabe eines Schnittes der optisch polierten Verbindungsfläche von ungefärbten Saphireinkristallen, die in der Ausführung 2 miteinander verbunden sind; das Foto wurde mit einem Abtastelektronenmikroskop (SEM-scanning electron microscope) gemacht. Es ist ersichtlich, daß sich die Verbindungsfläche als relativ schmaler, heller unterer horizontaler Streifen darbietet und außerdem ist gut eine Serie messerkantenartiger vertikaler Markierungen zu erkennen, die auf Unregelmäßigkeiten im Kristall zurückzuführen sind.
  • Fig. 5 gibt dem Transmissionsfator kennzeichnende Kurven für ein Paar 4 ungefärbter Saphireinkristallplatten 3 in Verbindung miteinander wieder, Einkristallplatte 3, eines Paares 6 von verfärbten Rubineinkristallplatten 5 und einer Einkristallplatte 5, gemessen in der Ausführung 2 unter Verwendung eines Spektral fotometers.
  • Die Gründe dafür, daß Quarz- und Saphireinkristalle zum Verbinden ausgewählt worden sind, sind folgende. Ein Quarzeinkristall ist ein unter vielen Aspekten interessantes Material. Seine ideale chemische Zusammensetzung ist SiO&sub2;, es ist repräsentativ für Siliziumminerale, sein transparentes Kristall wird Quarz genannt und die Temperatur, bei der Quarz des triagonalen Systems rasch und umkehrbar in ein Hochtemperaturquarz des hexagonalen Systems umgewandelt werden kann, liegt bei 573ºC. Es kann ferner in Tridymit bei 870ºC und in Cristobalit bei 1470ºC umgewandelt werden. Ist es als solches modifiziert, so wurde festgestellt, daß es bei Hitze nicht bearbeitet werden kann.
  • Andererseits hat ein Saphireinkristall die ideale chemische Zusammensetzung Al&sub2;O&sub3;, es ist sehr hart und spröde. Die Härte eines Kristalles variiert in hohem Maße abhängig von der Auflagerung der Strukturfehlerfläche. Was die axialen Eigenschaften eines Saphireinkristalles anlangt, so sind die in Richtung parallel zur Achse c nicht identisch mit denen in Richtung senkrecht zu dieser. Sein linearer Ausdehnungskoeffizient beträgt 0,67x10&supmin;&sup5; je Grad bei 50ºC in Richtung parallel zur Achse c und das bedeutet 0,50x10&supmin;&sup5; je Grad bei 50ºC in einer Richtung senkrecht zur Achse c. Da die physikalischen Eigenschaften eines Saphireinkristalls abhängig von der Axialrichtung als solcher sind, können bei Anisotropie mögliche Kontraktionen häufig zu Unregelmäßigkeitsbrüchen führen. Es wurde deshalb als unmöglich erkannt, durch Hitze behandelt zu werden, wie es bei dem Quarzeinkristall geschehen ist.
  • Das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren, mit dem es möglich ist, Einkristalle miteinander zu verbinden, was vorher nicht möglich war.
  • Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Anzahl von Kombinationen von Kristallsystemen miteinander zu verbinden, einschließlich einer Kombination von Einkristallen, die alle anisotrop sind und sichtbares Licht übertragen können, beispielsweise Quarzeinkristallen mit Saphireinkristallen sowie einer Kombination von Einkristallen, von denen jedes anisotrop ist und sichtbares Licht übertragen kann, beispielsweise ein Saphireinkristall und ein Siliziumkristall, die sehr assimilativ sind, mit anderen anisotropen Kristallen, weil ihre physikalischen Eigenschaften unabhängig von einer Richtung sind, weil ihre ursprüngliche Komponente Si ist und das Kristallsystem isometrisch ist. Falls die Einkristalle bezüglich Anisotropie und Kristallsystem sehr verschieden sind, kann ein angepaßtes Einkristall bei ihrem Verbinden miteinander als Medium verwendet werden.
  • Vorteile
  • Das Verfahren zum Verbinden synthetischer Einkristalle gemäß der vorliegenden Erfindung bildet künstliche Strukturfehler aus, was das Verbinden einer Kombination von Einkristallen möglich macht, um einen neuen Einkristallkörper von komplizierter und präziser Kontur zu erhalten, was mit konventionellen Verfahren nicht möglich ist.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungen, wie sie in den Zeichnungen dargestellt oder beschrieben sind, eingeschränkt, die Grenzen der Erfindung ergeben sich ledilich aus dem sachlichen Inhalt der zugehörigen Ansprüche.

Claims (4)

1. Verfahren zum Verbinden zweier synthetischer Einkristalle miteinander, wobei das Verfahren folgende Verfahrensschritte einschließt: Bilden von Schnittflächen beider synthetischer Einkristalle zur Erzeugung aneinander angepaßter physicher Eigenschaften; optisches Polieren der Schnittflächen; Anlegen der Schnittflächen aneinander; gleichmäßiges Erhitzen und schrittweises Abkühlen oder wiederholtes Erhitzen und schrittweises Abkühlen der Flächen, dadurch gekennzeichnet, daß beide synthetischen Einkristalle dem gleichen Kristallsystem zugehören und verschiedene anisotropische physische Eigenschaften in der Termrichtung haben oder statt letzterem einer der synthetischen Einkristalle anisotropisch und der andere isotropisch ist, wobei die isometrischen physischen Eigenschaften der synthetischen Einkristalle nicht ungleich bezüglich der Termrichtung sind, daß nachdem die Schnittflächen der synthetischen Einkristalle diese Flächen gleichmäßig erhitzt und schrittweise abgekühlt oder wiederholt erhitzt und schrittweise abgekühlt werden, um künstliche Strukturfehler an den einander berührenden Schnittflächen zu erzeugen.
2. Verfahren nach Anspruch 1 mit einem angepaßten Einkristallmedium zwischen den synthetischen Einkristallen zur Erzeugung künstlicher Strukturfehler.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die synthetischen Einkristalle aus einer Gruppe ausgewählt sind, die aus ungefärbtem Quarz, ungefärbtem Saphir, Rubin und Silizium gebildet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die optisch polierten Flächen auf eine Genauigkeit von etwa /10 poliert sind, worin 63,28x10&sup5;mm (6328A) ist.
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