DE69110024T2 - Vakuumwandler. - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft Vakuummesser zum Erfassen des unteratmosphärischen Drucks eines Gases, und mehr im einzelnen einen Vakuummesser, bei welchem der unteratmosphärische Gasdruck als Funktion der verringerten Wärmeleitfähigkeit des Gases bei dem zu erfassenden unteratmosphärischen Druck gemessen wird.
• Mit der Wärmeleitfähigkeit arbeitende Vakuummesser, wie beispielsweise das bekannte Pirani-Meßgerät, sind bekannt. Sie arbeiten im allgemeinen mit zwei Lastwiderständen mit positiven Temperaturkoeffizienten, die in den außenliegenden Zweigen einer Halbbrückenschaltung angeordnet sind. Die Halbbrückenschaltung weist auch eine Stromquelle zum Anlegen konstanter Spannungen bei einem konstanten Strom an die beiden Lastwiderstände sowie ein Voltmeter zum Messen von Spannungsdifferenzen zwischen den außenliegenden Zweigen der Halbbrükkenschaltung auf.
• Einer der beiden Lastwiderstände ist in isolierter Weise gehaltert, so daß die durch seinen elektrischen Leistungsverbrauch erzeugte Wärme hauptsächlich in das Gas abgeleitet wird. Wenn der Gasdruck unter den Atmosphärendruck abfällt, ergibt sich eine geringere statistische Konzentration der Gasmoleküle zur Ableitung der Wärme. Infolgedessen erwärmt sich der Widerstand selbst auf eine Temperatur oberhalb der Umgebungs temperatur. Diese erhöhte Temperatur erhöht wiederum den Widerstandswert des Widerstands und dadurch den von dem Widerstand erzeugten Spannungsabfall. Der Spannungsabfall des Widerstands weist zwei additive Komponenten auf, nämlich die Umgebungstemperatur und den Temperaturanstieg über die Umgebungstemperatur als Funktion der verringerten Wärmeleitfähigkeit des Gases bei unteratmosphärischen Drücken. Da die Wärmeleitfähigkeit des Gases eine Funktion seines unteratmosphärischen Drucks ist, stellt die letztere Komponente des Spannungsabfalls außerdem eine Funktion des unteratmosphärischen Drucks dar. Der andere Lastwiderstand ist mit einem auf Umgebungstemperatur liegenden Wärmesunipf verbunden, so daß sie einen auf die Umgebungstemperatur bezogenen Spannungsabfall erzeugt. Die Halbbrückenschaltung bewirkt eine Subtraktion der von den Lastwiderständen erzeugten Spannungsabfälle, und die resultierende Spannung, die im wesentlichen eine Funktion des unteratmosphärischen Drucks ist, wird von dem Voltmeter abgelesen und mit dem unteratmosphärischen Druck korreliert.
• Ein Hauptproblem bei Pirani-Meßgeräten und bei Vakuummessern im allgemeinen, die mit Widerständen arbeiten, liegt darin, daß ihre Meßgenauigkeit vollständig davon abhängt daß die Widerstände identische Temperatureigenschaften haben, und auch von dem Maße, in welchem konstante und gleiche Spannungen von der Stromquelle präzise an die Widerstände angelegt werden können. Stromversorgungen und Widerstände mit der erforderlichen Genauigkeit sind teuer. Weitere Probleme bei Pirani-Meßgeräten und dgl. stehen mit der Betriebstemperatur ihrer Widerstände in Zusammenhang, die 340 K übersteigen kann. Bei solchen Temperaturen beginnen die Widerstände, Wärme abzustrahlen, was eine Ungenauigkeit der Meßwerterfassung mit sich bringt. Des weiteren können, da in Vakuumpumpen verwendete Pumpenöle sich bei solchen Temperaturen zu zersetzen beginnen, durch Verwendung solcher Meßgeräte zur Überwachung der Funktion von Vakuumpumpen Verunreinigungen in die evakuierten Bereiche eingebracht werden. Ein weiterer Nachteil liegt darin, daß solche Meßgeräte eine verhältnismäßig lange Ansprechzeit haben, bis sie einen stationären Zustand erreichen, bei welchem Druckmeßwerte abgenommen werden können. Wie noch erörtert werden wird, bezieht sich die vorliegende Erfindung auf die Überwindung dieser und anderer Nachteile solcher Vakuummesser.
• Gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Vakuummesser zum Anzeigen eines unteratmosphärischen Drucks eines Gases aufgrund verringerter Wärmeleitfähigkeit des Gases bei dem unteratmosphärischen Druck vorgesehen, wobei der Vakuummesser aufweist:
• einen ersten und einen zweiten integrierten Schaltkreis, die jeweils zwei Anschlüsse haben, Temperaturwandlermittel, die mit den beiden Anschlüssen verbunden sind, um einen zu ihrer Temperatur proportionalen Strom zu erzeugen, wenn ein Potential über den beiden Anschlüssen angelegt ist und eine elektrische Ausgangsleistung in Wärmeenergie umgesetzt wird,
• erste und zweite Montagemittel zum Montieren des ersten integrierten Schaltkreises in isolierter Weise und des zweiten integrierten Schaltkreises an einer thermischen Masse mit Umgebungstemperatur derart, daß der unteratmosphärische Druck der Temperaturwandlermittel des ersten integrierten Schaltkreises eine Selbsterwärmung infolge der verringerten Wärmeleitfähigkeit des Gases für die Wärmeenergie erfährt und die Selbsterwärmung des ersten integrierten Schaltkreises eine Differenz zwischen den Temperaturen und folglich den in dem ersten und dem zweiten integrierten Schaltkreis erzeugten Strömen als Funktion des unteratmosphärischen Druckes erzeugt,
• wobei der erste integrierte Schaltkreis ein Substrat aufweist, in welches die beiden Anschlüsse und die Temperaturwandlermittel integriert sind und von welchem die Wärmeenergie durch das Gas abgeleitet wird, und das eine so bemessene Oberfläche aufweist, daß die Wärmeenergie durch das Gas in einem Druckbereich einschließlich des anzuzeigenden unteratmosphärischen Drucks abgeleitet wird, und
• eine jeweils an die beiden Anschlüsse des ersten und des zweiten integrierten Schaltkreises angeschlossene Schaltung mit Stromversorgungsmitteln zum Anlegen des Potentials über die beiden Anschlüsse des ersten bzw. des zweiten integrierten Schaltkreises, weiter Substraktionsmittel zum Erzeugen der Differenz der Ströme, und Anzeigemittel zum Anzeigen der Differenz zwischen den Strömen und aufgrund des gegebenen Zusammenhangs daher auch des unteratmosphärischen Drucks.
• Für ein besseres Verständnis der Erfindung wird nun lediglich beispielshalber auf die anliegenden Zeichnungen Bezug genommen, in welchen:
• Figur 1 eine Draufsicht eines Vakuummessers nach der vorliegenden Erfindung, und
• Figur 2 einen Querschnitt durch Figur 1 entlang der Linie 2-2 in Figur 1 zeigt, wobei die zugehörige elektrische Schaltung schematisch dargestellt ist.
• Gemäß den Zeichnungen weist ein Vakuummesser 10 nach der vorliegenden Erfindung einen ersten und einen zweiten integrierten Schaltkreis 12 und 14, einen Meßkopf 16 der TO-Serie, zwei Batterien 18 und 20, ein Amperemeter 22, und ein Potentiometer 24 mit entsprechendem Bereich auf.
• Die integrierten Schaltkreise 12 und 16 sind mit Anschlüssen 26 und 28 bzw. 30 und 32 versehen. Der erste und der zweite integrierte Schaltkreis 12 und 14 weisen jeweils eine mit den Anschlüssen verbundene Temperaturwandlerschaltung auf. Diese Schaltung umfaßt zwei Transistoren mit konstantem Verhältnis der Emitterstromdichten, wenn ein von der Batterie 18 zugeführtes Potential über den Anschlüssen 26 und 28 des ersten integrierten Schaltkreises 12 bzw. ein von der Batterie 20 zugeführtes Potential über den Anschlüssen 30 und 32 des zweiten Temperaturwandlers angelegt wird. Das konstante Verhältnis von Emitterstromdichten erzeugt eine differentielle Basis-Emitter-Spannung zwischen den beiden Transistoren, die sich entsprechend der absoluten Temperatur der beiden Transistoren verändert. Die Schaltung weist außerdem einen Widerstand mit einem Temperaturkoeffizienten von etwa Null auf, über welchem die Differenzspannung eingeprägt wird. Das Vorhandensein des Widerstands erzeugt aus der Differenzspannung einen zu der Absoluttemperatur der beiden Transistoren proportionalen Strom. Wie noch erörtert werden wird, ist der verwendete intergrierte Schaltkreis ein von Analog Devices von Norwood, Maine, hergestellter und als Analog Device Nr. AD590 vertriebener integrierter Schaltkreis. Ein solcher integrierter Schaltkreis ist im US-Patent Nr. 4,123,698 beschreiben, dessen Beschreibung und Zeichnungen hier durch Bezugnahme einbezogen werden.
• Der Meßkopf 16 ist mit einer Gruppe von drei thermisch und elektrisch isolierten Durchführungen 34, 36 und 38 versehen. Dieser Aufbau dient zwei Zwecken, nämlich zur Schaffung eines Wärmesumpfes mit einer der Umgebungstemperatur der unteratmosphärischen Umgebung gleichen Temperatur, und außerdem zur Schaffung eines Verbindungsblocks zum Verbinden des ersten und des zweiten integrierten Schaltkreises 12 und 14 mit den Batterien 18 und 20, dem Ampermeter 22 und gegebenenfalls dem Potentiometer 24.
• Der erste integrierte Schaltkreis 12 ist mit seinen Anschlüssen 26 und 28 über elektrische Leiter 40 und 44 mit den elektrischen Durchführungen 34 und 36 verbunden, so daß er oberhalb des Meßkopfes 16 angeordnet ist. Zusätzlich ist ein versetzter mechanischer Stabilisierungsleiter 46 mit einem Ende am Meßkopf 16 und mit dem anderen Ende an einem Substrat 15 des ersten integrierten Schaltkreises 12 befestigt. Vorzugsweise sind die Leiter 40, 44 und 46 aus Aluminiumdraht mit einem Durchmesser von etwa 0,041 mm und einer Länge von 6,2 mm. Aluminium ist, wenn es zu Drähten mit hohem Verhältnis von Länge zu Durchmesser, wie oben angegeben, gezogen ist, ein schlechter Wärmeleiter und kann deshalb zur isolierten Montage des integrierten Schaltkreises 12 dienen, wodurch im ersten integrierten Schaltkreis 12 erzeugte Wärme durch und weitgehend nur durch das Gas abgeleitet wird. Der zweite integrierte Schaltkreis 14 ist so am Meßkopf 16 befestigt, daß er in gutem thermischem Kontakt damit steht. Deshalb ist der zweite integrierte Schaltkreis 40 auf der Umgebungstemperatur "thermisch geerdet". Leiter 48 und 50 dienen zur Verbindung mit den Anschlüssen 30 und 32 des zweiten integrierten Schaltkreises 14 mit den Durchführungen 36 und 38 des Meßkopfes 16.
• Die Batterien 18 und 20, mit welchen die jeweils bevorzugten integrierten Schaltkreise verbunden sind, haben eine Ausgangsspannung im Bereich von etwa 3,0 bis 12,0 Volt, und sind in Reihe geschaltet und mit den Durchführungen 34 und 38 des Meßkopfes 16 verbunden. Das Amperemeter 22 und gegebenenfalls das Potentiometer 24 sind in Reihe zwischen die Batterien 18 und 20 und die Durchführung 36 des Meßkopfes 16 geschaltet. Wie man sieht, ist eine Halbbrückenschaltung gebildet, die zwei außenliegende Zweige und einen mittleren Zweig hat. Einer der äußeren Zweige wird durch den ersten integrierten Schaltkreis 12, die elektrischen Leiter 40 und 44, die elektrische Durchführung 34, und die Batterie 18 gebildet. Der andere äußere Zweig wird durch den zweiten integrierten Schaltkreis 14, die elektrischen Leiter 48 und 50, die Durchführung 38 und die Batterie 20 gebildet. Der mittlere Zweig wird durch das Amperemeter 22, gegebenenfalls das Potentiometer 24 und die Durchführung 36 gebildet. Die so hergestellte Halbbrückenschaltung bewirkt ein Subtrahieren der Ströme in den beiden äußeren Zweigen zur Bildung eines Differenzsignals im mittleren Zweig, welches die Differenz der Ströme in den äußeren Zweigen darstellt.
• Der erste und der zweite integrierte Schaltkreis 12 und 14 haben beide eine elektrische Ausgangsleistung, die etwa gleich dem Produkt des angelegten Potentials und des dadurch erzeugten Stroms ist. Diese elektrische Ausgangsleistung wird vom ersten und zweiten integrierten Schaltkreis 12 und 14 jeweils in Wärmeenergie umgesetzt. Im Falle des ersten integrierten Schaltkreises 12 wird die Wärmeenergie wegen seiner thermisch isolierten Halterung im wesentlichen durch das zu messende Gas abgeleitet. Wenn der unteratmosphärische Druck das Gases abfällt, wird diese Wärmeenergie jedoch von dem Gas in mit der Abnahme der mittleren Anzahl von Gasmolekülen immer weiter abnehmendem Maße abgeleitet. Infolgedessen wärmt sich der erste integrierte Schaltkreis 12 auf eine Temperatur oberhalb der Umgebungstemperatur auf. Die Selbsterwärmungstemperatur des ersten integrierten Schaltkreises 12 ist bn wesentlichen gleich der Umgebungstemperatur plus einer Funktion des unteratmosphärischen Gasdrucks. Da der zweite integrierte Schaltkreis 14 in gutem thermischem Kontakt mit einem Wärmesumpf steht, nämlich mit dem Meßkopf 16, ist seine Temperatur stets annähernd gleich der Umgebungstemperatur.
• Die Anschlüsse 26 und 28 und die Temperaturwandlerschaltung des ersten integrierten Schaltkreises 12 sind in dessen Substrat 15 integriert. Die von seinem Ausgang erzeugte Wärme wird durch das zu messende Gas vom Substrat 15 abgeleitet. Das Substrat 15 muß eine ausreichend große Oberfläche haben, um eine ausreichende Anzahl von Gasmolekülen bei dem zu messenden unteratmosphärischen Druck zu erreichen. Das Substrat 15 des dargestellten, hier verwendeten intergrierten Schaltkreis AD590 von Analog Devices hat in der modifizierten Ausführung eine ausreichend große Fläche, um den unteratmosphärischen Druck im Bereich zwischen etwa 1,0 x 10E-3 und etwa 5,0 Torr zu messen. Es ist anzumerken, daß dies ein besonders wertvoller Meßbereich insoweit ist, als Vorpumpen innerhalb dieses Bereichs aussetzen.
• Wie man leicht einsieht, ist der vom ersten integrierten Schaltkreis 12 meßbare unteratmosphärische Druck um so kleiner, je größer die Substratoberfläche ist. Jedoch nimmt mit der Größe des Substrats 15 auch dessen Volumen zu. Die thermische Trägheit des ersten integrierten Schaltkreises 12 nimmt mit dem Volumen zu, und dies gilt auch für die Zeitverzögerung, mit welcher der erste integrierte Schaltkreis 12 einen stationären Zustand erreicht. Der Erfinder hat herausgefunden, daß bei üblichen Substraten, wie sie aus Silizium oder Galliumarsenid hergestellt werden, ein Verhältnis von Oberfläche zu Volumen von nicht weniger als etwa 600,0 zu bevorzugen ist. Der integrierte Schaltkreis AD590 von Analog Devices hat ein Verhältnis von Oberfläche zu Volumen von etwa 200,0, das für den Vakuummesser 10 ungeeignet ist. Das Substrat 15 ist daher auf eine Dicke von 0,254 mm verdünnt, um das Verhältnis von Oberfläche zu Volumen auf etwa 600,0 zu bringen. Weiter ist anzumerken, daß der erste und der zweite integrierte Schaltkreis 12 und 14 jeweils mit Siliziumdioxid passiviert ist, um die chemische Beständigkeit zu verbessern.
• Wie vorstehend erwähnt, bewirkt die beschriebene Halbbrückenschaltung ein Subtrahieren der Ströme, die von dem ersten und dem zweiten Temperaturwandler 12 und 14 erzeugt werden, um eine Stromdifferenz herzustellen, die im mittleren Zweig durch das Amperemeter 22 gemessen wird. Der integrierte Schaltkreis AD590 von Analog Devices hat eine konstante Spreizung von etwa 1,0 x 10E-6 Ampere pro Grad Kelvin und einen Ausgangsstrom von etwa 298,0 x 10E-6 Ampere bei etwa 298,0 Grad Kelvin. Die Stromdifferenz ist daher proportional zur Temperaturdifferenz zwischen den Temperaturwandlermitteln des ersten und des zweiten Temperaturwandlers 12 und 14. Da der Strom des ersten integrierten Schaltkreises 12 proportional zu einer Summe aus Umgebungstemperatur und einer Funktion des unteratmosphärischen Drucks des Gases ist und der Strom des zweiten integrierten Schaltkreises 14 proportional zur Umgebungstemperatur ist, stellt die Differenz zwischen den Strömen eine Funktion des unteratmosphärischen Gasdrucks dar. Entsprechend dem Ansprechverhalten des integrierten Schaltkreises AD590 von Analog Devices kann das Amperemeter 22 ein Amperemeter mit einem Skalenbereich von etwa 0,0 bis etwa 100,0 Mikroampere sein.
• Da das Amperemeter 22 den Strom nur als eine Funktion des unteratmosphärischen Drucks mißt, muß der Skalenwert des Amperemeters 22 mit dem unteratmosphärischen Druck korreliert werden, indem der Vakuummesser 10 in bekannter Weise geeicht wird. Da die Wärmeleitfähigkeit von Gasen variiert, kann gegebenenfalls ein Meßbereichspotentiometer 24 vorgesehen sein. Bei der Eichung wird das Meßbereichspotentiometer 24 dann so eingestellt, daß man am unteren und oberen Ende des vom Vakuummesser 10 zu messenden Druckbereichs entsprechende Meßwerte erhält.
• Wie oben erwähnt, stehen die Vorteile der vorliegenden Erfindung über ein bekanntes Pirani-Meßgerät fest. Wie erläutert worden ist, können der erste und der zweite integrierte Schaltkreis 12 und 14 aus einem kommerziell verfügbaren integrierten Schaltkreis hergestellt werden, nämlich aus dem Analog Devices AD590. Dieser integrierte Schaltkreis hat eine Schwellenspannung von gerade etwas weniger als 3,0 Volt, die für ein richtiges Funktionieren nicht konstant zu bleiben braucht. Infolgedessen können als Stromquelle, wie dargestellt und oben beschrieben, billige Batterien verwendet werden. Darüber hinaus ist, weil die Größe des Ausgangsstroms jedes integrierten Schaltkreises in Mikroampere gemessen wird, die Ausgangsleistung so niedrig, daß ein Wärmeübergang durch Strahlung praktisch nicht stattfindet, und auch die Möglichkeit des Auftretens übermäßiger Temperaturen, die eine Zersetzung von Schmierölen bewirken könnte, existiert nicht. Schließlich kann, wenn das Substrat eines solchen integrierten Schaltkreises entsprechend der vorliegenden Erfindung so modifiziert wird, daß man das optimale Verhältnis von Oberfläche zu Volumen von nicht weniger als 600,0 erhält, die Ansprechzeit in Bruchteilen von Sekunden gemessen werden.

Claims (8)

1. Vakuummesser zum Anzeigen eines unteratmosphärischen Gasdrucks aufgrund verringerter Wärmeleitfähigkeit des Gases bei unteratmosphärischem Druck, wobei der Vakuummesser aufweist:

einen ersten und einen zweiten integrierten Schaltkreis, die jeweils zwei Anschlüsse haben, Temperaturwandlermittel, die mit den beiden Anschlüssen verbunden sind, um einen zu ihrer Temperatur proportionalen Strom zu erzeugen, wenn ein Potential über den beiden Anschlüssen angelegt ist und eine elektrische Ausgangsleistung in Wärmeenergie umgesetzt wird,

erste und zweite Montagemittel zum Montieren des ersten integrierten Schaltkreises in isolierter Weise und des zweiten integrierten Schaltkreises an einer thermischen Masse mit Umgebungstemperatur derart, daß der unteratmosphärische Druck der Temperaturwandlermittel des ersten integrierten Schaltkreises eine Selbsterwärmung infolge der verringerten Wärmeleitfähigkeit des Gases für ihre Wärmeenergie erfährt und die Selbsterwärmung des ersten integrierten Schaltkreises eine Differenz zwischen den Temperaturen und folglich den in dem ersten und dem zweiten integrierten Schaltkreis erzeugten Strömen als Funktion des unteratmosphärischen Druckes erzeugt,

wobei der erste integrierte Schaltkreis ein Substrat aufweist, in welches die beiden Anschlüsse und die Temperaturwandlermittel integriert sind und von welchem die Wärmeenergie durch das Gas abgeleitet wird, und das eine so bemessene Oberfläche aufweist, daß die Wärmeenergie durch das Gas in einem Druckbereich einschließlich des anzuzeigenden unteratmosphärischen Drucks abgeleitet wird, und

eine jeweils an die beiden Anschlüsse des ersten und des zweiten integrierten Schaltkreises angeschlossene Schaltung mit Stromversorgungsmitteln zum Anlegen des Polentials über die beiden Anschlüsse des ersten bzw. des zweiten integrierten Schaltkreises, weiter Subtraktionsmittel zum Erzeugen der Differenz der Ströme, und Anzeigemittel zum Anzeigen der Differenz zwischen den Strömen und daher aufgrund des gegebenen Zusammenhangs auch des unteratmosphärischen Drucks.

2. Vakuummesser nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Temperaturwandlermittel zwei Transistoren enthalten, die ein konstantes Verhältnis der Emitterstromdichten haben, wenn das Potential über den beiden Anschlüssen angelegt ist, um eine differentielle Basis-Emitter-Spannung zwischen den beiden Transistoren zu erzeugen, wobei die differentielle Basis- Emitter-Spannung proportional zu der an den beiden Transistoren gemessenen Temperatur ist, und einen Widerstand aufweisen, der einen Temperaturkoeffizienten von etwa 0,0 aufweist und über welchem die differentielle Spannung aufgeprägt wird, um den zur absoluten Temperatur proportionalen Strom zu erzeugen.

3. Vakuummesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Substrat des ersten integrierten Schaltkreises ein so bemessenes Volumen aufweist, daß das Verhältnis von Oberfläche zu Volumen nicht kleiner als 600,0 ist.

4. Vakuummesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste und der zweite integrierte Schaltkreis jeweils einen Ausgangsstrom von etwa 298,0 x 10E-6 Ampere bei etwa 298,0 Grad Kelvin und einen Meßbereich von etwa 1,0 x 10E-6 Ampere pro Grad Kelvin hat.

5. Vakuummesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste und der zweite integrierte Schaltkreis zur Herstellung chemischer Beständigkeit mit Siliziumdioxid passiviert sind.

6. Vakuummesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei die Stromversorgungsmittel zwei Batterien aufweisen, die in Reihe mit den beiden Anschlüssen des ersten und des zweiten integrierten Schalkreises geschaltet sind,

und wobei die Schaltung eine Halbbrückenschaltung zur Bildung der Subtraktionsmittel aufweisen und die Halbbrückenschaltung zwei äußere Zweige und einen mittleren Zweig aufweist, wobei der erste und der zweite Temperaturwandler und die Batterien die äußeren Zweige bilden, und wobei die Anzeigemittel ein Amperemeter aufweisen, das in Reihe in den mittleren Zweig geschaltet ist.

7. Vakuummesser nach Anspruch 7, wobei

die zweiten Montagemittel einen TO-Reihensockel auf Umgebungstemperatur mit einer Gruppe von ersten, zweiten und dritten elektrisch und thermisch isolierten elektrischen Durchführungen aufweist,

die ersten Montagemittel eine Gruppe von drei thermisch isolierenden Drähten aufweist, von denen zwei Drähte die ersten und zweiten Durchführungen mit den beiden Anschlüssen des ersten integrierten Schaltkreises verbinden und der dritte dieser Drähte den ersten integrierten Schaltkreis mit dem TO- Reihensockel verbindet, so daß der erste integrierte Schaltkreis zwischen der ersten und der zweiten Durchführung und oberhalb des Sockels gehaltert ist,

die beiden Anschlüsse des zweiten integrierten Schaltkreises mit der zweiten und dritten elektrischen Durchführung durch zwei elektrische Leiter verbunden sind,

der zweite integrierte Schaltkreis an dem TO-Reihensockel befestigt ist,

die Batterien in Reihe zwischen die erste und dritte Durchführung geschaltet sind, und

die Anzeigemittel zwischen die Batterien geschaltet und mit der zweiten elektrischen Durchführung verbunden sind.

8. Vakuummesser nach Anspruch 7 oder 8, der außerdem ein Meßbereichspotentiometer aufweist, das in Reihe mit dem Amperemeter in dem mittleren Zweig zum Eichen des Vakuummessers entsprechend der spezifischen Wärmeleitfähigkeit des Gases geschaltet ist.