DE69103787T2

DE69103787T2 - Verfahren zum Sortieren von variablen Kapazitätsdioden.

Info

Publication number: DE69103787T2
Application number: DE69103787T
Authority: DE
Inventors: Shigeru Hiraoka
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1990-03-09
Filing date: 1991-03-08
Publication date: 1995-02-09
Anticipated expiration: 2011-03-09
Also published as: JPH03261160A; DE69103787D1; KR950000098B1; JPH07112001B2; EP0445831B1; US5341094A; EP0445831A1

Description

Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zur Sortierung von variablen Kapazitätsdioden entsprechend ihrer Charakteristik und insbesondere ein Verfahren, welches als ein Untersuchungsverfahren zur Zeit einer Versendung oder Weiterleitung von Diodenelementen verwendet wird, die auf einem band angebracht werden.
Variable Kapazitätsdioden (im folgenden auch Elemente genannt) werden für die Empfangstuner von Fernsehgeräten oder Funkempfängern anstelle von doppelten, dreifachen oder vierfachen mechanischen variablen Kapazitäten verwendet. Für einen Tuner werden notwendigerweise zwei bis vier variable Kapazitätsdioden verwendet. Von diesen Elementen wird verlangt, daß sie zueinander gleichförmige Spannungs-zu- Kapazitäts-Eigenschaften aufweisen (so daß sie miteinander gepaart werden können). Ferner werden wegen des Arbeitsaufwands des Kunden beispielsweise sechzig (60) Elemente oder mehr, die die gleichförmigen Eigenschaften aufweisen, in einen Block zusammengefaßt (was im folgenden als Paarbildung bezeichnet wird). Gewöhnlicherweise werden mehrere Blöcke pro Rolle, z.B. 3000 Dioden, in einer Form weitertransportiert, in der sie der Anbringung auf einem Band ausgesetzt werden.
Allgemein werden mehrere tausend variable Kapazitätsdiodenplättchen auf einem einzigen Wafer gebildet.
Nachstehend wird ein herkömmliches Verfahren zur paarweisen Sortierung einer Vielzahl von Elementen (z.B. mehrere tausend) unter Bezugnahme auf die Fig. 1 nd 2 beschrieben. In Fig. 1 bezeichnet die Abszisse eine Spannung und die Ordinate eine Kapazität. In dieser Figur bezeichnen longitudinale Liniensegmente a&sub1;, a&sub2;, a&sub3; und a&sub4; Kapazitätsverteilungen der Vielzahl von Elementen bei den Spannungen V&sub1;, V&sub2;, V&sub3; bzw. V&sub4;. Der Kapazitätsbereich von Elementen, die paarweise zusammengefaßt werden sollen, ist gewöhnlicherweise auf 1 bis 3% begrenzt. Beispielsweise sind in dem Fall, bei dem die Kapazität auf 2% begrenzt ist, Grenzen für jeden Kapazitätsbereich von 2% vorgesehen und die Liniensegmente a&sub1; bis a&sub4; sind jeweils in ungefähr 8 bis 10 Abschnitte unterteilt. Die an den longitudinalen biniensegmenten angebrachten Zahlen bezeichnen jeweils die Abschnittsnummern. Durch die Abschnitte bei jeweiligen Spannungen werden Kombinationen erstellt, um Sortierungsnummern an diesen Kombinationen anzubringen. Beispielsweise ist die Kombination der Sortierungsnummer
A (6 -6 -4 -1), die Kombination mit der Sortierungsnummer
B ist (1 -1 -2 -5) und die Kombination der Sortierungsnummer
C ist (3 -4 -8 -8). Da die Zone A der Polygonlinie, die zwei benachbarte zwei Abschnittsgrenzen verbindet (die gleichen Bezugszahlen wie diejenigen der Sortierungsnummern werden der Einfachheit halber verwendet) eine Spannungs-zu- Kapazitätscharakteristikgruppe mit den gleichförmigen Charakteristika, in der der Kapazitätsbereich ungefähr 2% oder weniger ist, bezeichnet, können Elemente, die zu derartigen Kombinationen gehören, gepaart werden.
Wenn beim Aufnehmen von Elementen mit den gleichen Sortierungsnummern jeweils in die gleichen Aufnahmebehälter eine neue Kombination auftritt, dann wird diese Sortierungsnummer bezüglich eines neuen Aufnahmebehälters registriert, um die Sortierung fortzusetzen. Gemäß eines derartigen Verfahrens wird eine Sortierung in maximal ungefähr 500 Gruppen durchgeführt. Ferner werden im Falle einer Durchführung einer Versendung in der Form einer Bandrolle, da eine Rolle 3000 Dioden umfaßt, Elemente, die eine Aufnahmebehälter-Sortierung durchlaufen haben, der Zusammenfassung auf einem Band in der Reihenfolge von dem Aufnahmebehälter mit den darin enthaltenen Mauptelementen ausgesetzt, so daß jeweilige Rollen 300 Elemente besitzen.
Eine eingehende Erläuterung wird nachstehend unter Bezugnahme auf Fig. 2 durchgeführt. Anfänglich werden 40 auf einem Rahmen 21 plazierte Kunststoff gekapselte Elemente einzeln abgeschnitten und mittels eines Teilezubringers 22 ein zweites Mal angeordnet, um mittels einer Eigenschafts-Meßeinrichtung 23 Kapazitätswerte bei jeweiligen Spannungen (V&sub1; bis V&sub4;) zu messen, um mittels einer Steuereinrichtung 24 Aufnahmebehälter 26 bezüglich jeweiliger Kombinationen zu bestimmen, um sie mittels eines Sortierers 25 in Aufnahmebehältern von entsprechenden Arten aufzunehmen. Ferner werden die Elemente für den Fall, daß eine Anbringung auf einem Band beabsichtigt ist, obwohl dies nicht dargestellt ist, die Elemente ein zweites Mal unter Verwendung des Teilezubringers aus dem Aufnahmebehälter mit vielen darin enthaltenen Aufnahmebehältern angeordnet und dann der Anbringung auf einem Band ausgesetzt. Fig. 3 ist ein Graph, bei dem die Anordnungsposition von Elementen auf dem Band und die Elementkapazität (z.B. bei 14 Volt) auf der Abszisse bzw. der Ordinate dargestellt sind. In dieser Figur bezeichnen b&sub1;, b&sub2; und b&sub3; die Sortierungsnummern der Aufnahmebehälter. Diese Elemente besitzen alle den Kapazitätsbereich von 2% oder weniger und weisen Eigenschaften auf, so daß diejenigen von 60 oder mehr Elementen miteinander harmonieren.
Jedoch besitzt das voranstehend erwähnte, herkömmliche Verfahren die folgenden Probleme:
(1) Eine spezielle Behandlungsvorrichtung (Sortierer) wird benötigt, der eine Sortierung in einem weiten Bereich durchführen kann, was hohe Installationskosten zur Folge hat.
(2) Da eine Sortierung sogar in ungefähr 500 Gruppen durchgeführt wird, kann Platz, der Arbeitsaufwand und die Zeit zur Behandlung des Produkts verschwendet werden. Ferner besteht die Möglichkeit, daß Elemente von irgendeiner unterschiedlichen Gruppe aufgrund eines Fehlers bei der Behandlung gemischt werden.
(3) Gewöhnlicherweise besteht die Bandrolle aus 3000 Elementen, aber eine Beschränkung besteht dahingehend, daß z.B. 60 oder mehr Elemente in jeden Block eingeschlossen werden müssen. Demzufolge können Elemente, die zu Aufnahmebehältern mit 60 oder weniger Elementen gehören, einer Anbringung auf einem Band nicht ausgesetzt werden. Insbesondere können Produkte, die zu Aufnahmebehältern mit 60 oder weniger Elementen gehören, nur in der Form einer Zusammenfassung in BeuteIn transportiert werden. Deshalb ist ein Gleichgewicht zwischen Produkten, die einer Anbringung auf einem Band ausgesetzt werden sollen, und Produkten, die in BeuteIn zusammengefaßt werden sollen, erforderlich.
(4) Da Elemente, die zu einem Aufnahmebehälter mit zwei oder weniger Elementen gehören, infolge der Sortierung in Aufnahmebehältern als weniger gut angesehen werden, wird die Ausbeute schlecht.
(5) Da die Elemente unter Verwendung des Teilezubringers zweimal sortiert werden, können die Produkte beschädigt werden.
Wie voranstehend beschrieben, werden im Falle von variablen Kapazitätsdioden Elemente mit zueinander ausgewogenen Spannungs-zu-Kapazitäts-Eigenschaftskurven als ein Block (Gruppe) zusammengebracht. Somit werden Produkte mit einer Vielzahl von Blöcken weitergeleitet, die auf jeder Bandrolle angebracht sind. Da im Stand der Technik eine Sortierung in Gruppen von sogar 500 durchgeführt wird, führt dies nicht nur zu einer erhöhten Verschwendung des Installationsaufbaus, des Raums, des Arbeitsaufwands und der Zeit etc. zur Untersuchung oder zur Sortierung, sondern es findet auch eine Bandanbringung von Rollenprodukten und Produkten, die in BeuteIn zusammengefaßt sind, statt, was in nachteiliger Weise eine niedrige Produktivität zur Folge hat. Andererseits verändert sich die Kapazitätscharakteristik-Verteilung von Elementen unregelmäßig in Abhängigkeit von der Menge und der Position innerhalb des Wafers. Jedoch kann das herkömmliche Verfahren einer derartigen Veränderung der Charakteristikverteilung nicht flexibel Rechnung tragen.
Die EP-A-0 216 403 beschreibt ein Aufspür-Auswahlverfahren für Dioden mit variablere Kapazität und einen Satz von Dioden mit variabler Kapazität, die einen Aufspür-Auswahl-Vorgang durchlaufen haben. Die Aufspürauswahl von Dioden mit variabler Kapazität wird durchgeführt, indem die Kapazitäten der Dioden mit variabler Kapazität bei verschiedenen Betriebsspannungen gemessen werden und die Dioden mit variabler Kapazität auf Grundlage der Kapazitätsveränderung bei verschiedenen, relativ nahe zueinander befindlichen Betriebsspannungen verglichen werden.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Eine Aufgabe dieser Erfindung besteht darin, ein Untersuchungsverfahren von Eigenschaften für Dioden mit variabler Kapazität vorzusehen, welches untersuchte Produkte in der Form einer Bandrolle weiterleiten oder versenden kann, und zwar ohne daß Elemente in eine große Anzahl von Blöcken in Abhängigkeit von den Elementeigenschaften sortiert werden müssen, und welches in Anbetracht von Änderungen der Verteilung der Kapazitätseigenschaften eine vernünftige Untersuchung beibehalten kann.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, um Dioden mit variabler Kapazität gemäß ihrer Eigenschaften zu sortieren, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfaßt:
Trennen von Plättchen von in einer Matrixform auf einem Halbleiterwafer gebildeten Plättchen von Dioden mit variabler Kapazität und Neuordnen von einzelnen Plättchen in eine Zeile, so daß Plättchen, deren ursprüngliche Positionen auf dem Wafer in irgendeiner der longitudinalen, lateralen oder Querrichtungen des Wafers benachbart zueinander lagen, in der Zeile zu benachbarten Plättchen werden;
Verpacken der Gruppe von in der Zeile angeordneten Plättchen gemäß einer Anordnungsreihenfolge von einem Ende zum anderen Ende der Gruppe von Plättchen in einer Zeile, um Diodenkomponenten zu bilden;
Messen der Eigenschaften von diesen Komponenten, um eine Qualitätsbeurteilung durchzuführen, um fehlerhafte Komponenten aus der Anordnung zu verwerfen, ohne die Anordnungsreihenfolge zu durchbrechen;
Ansammeln von Eigenschaftsmeßdaten einer Vielzahl von guten Komponenten gemäß einer Anordnungsreihenfolge, und zwar beginnend von einer zu beurteilenden Komponente in Richtung des Endes der Anordnung; und
Einstellen von Qualitätsbeurteilungskriterien für jede zu beurteilende Komponente auf Grundlage der Eigenschaftsmeßdaten, welche für gute Komponenten angesammelt sind.
Gemäß dieser Erfindung wird ein Ansatz zur Vermeidung eines herkömmlichen Sortierungsprozesses verwendet, indem der Tatsache Beachtung geschenkt wird, daß Plättchen, die benachbart zueinander auf dem Wafer angeordnet sind, hinsichtlich der Qualität und/oder der Herstellungsbedingung etc. und somit hinsichtlich der Paarungsfähigkeit (die Spannungs-zu-Kapazitäts-Eigenschaftskurven sind sehr ähnlich) einander extrem ähnlich sind. Insbesondere wird ein Ansatz verwendet, um Plättchen in einer Zeile so neu zu ordnen, daß Plättchen mit guten Paarungsfähigkeiten benachbart zueinander angeordnet sind, um eine Verkapselung oder Verpackung, z.B. eine Plastikverkapselung etc., für die Plättchen durchzuführen, ohne die Anordnungsreihenfolge durcheinander zu bringen, um danach eine Bildung von Elementen auf den Plättchen durchzuführen, um zu ermöglichen, daß diese Elemente in der Form einer Bandrolle weitergeleitet werden, so wie sie sind, während gleichzeitig die Anordnungsreihenfolge mit guter Paarungsfähigkeit von dem Prozeß für die Eigenschaftsmessung beibehalten wird, und Beurteilung von Elementen etc. bis zum Prozeß für die Anbringung auf dem Band, um ein Qualitätsbeurteilungskriterium einzustellen, ob ein zu beurteilendes Element mit einem diesem unmittelbar vorausgehenden, beurteilten Element gepaart werden kann, und somit das Qualitätsbeurteilungskriterium zu modifizieren, und zwar auf Grundlage von Daten, die eine Vielzahl von (z.B. 5 bis 16) beurteilten guten Elementen bezeichnen, die nahe zu den zu beurteilenden Elementen angeordnet sind, um diesem Untersuchungsverfahren zu ermöglichen, Änderungen der Kapazitätsverteilung flexibel Rechnung zu tragen. Vorzugsweise wird die Einstellung des Qualitätsbeurteilungskriteriums für jedes in dem Prozeß einer Entfernung von schlechten oder unzulänglichen Elementen zu beurteilende Element wiederholt ausgeführt. Sogar wenn eine Ungleichmäßigkeit der Kapazität der Gesamtheit von angeordneten Elementen (z.B. 300 Elementen) groß ist (z.B. 10%), kann bei Verwendung eines derartigen Ansatzes die Ungleichmäßigkeit innerhalb eines Bereichs (z.B. 2%) fallen, so daß Elemente in eine Teilanordnung gepaart werden können.
Gemäß dem Charakteristik-Testverfahren für Dioden variabler Kapazität können untersuchte Produkte weitertransportiert werden, so wie sie sind, und zwar in einer Form, so daß deren Anbringung auf einem Band durchgeführt wird, ohne daß eine Sortierung von Elementen in eine große Anzahl von Blöcken gemäß der Elementeigenschaften erforderlich ist, so wie dies beim Stand der Technik der Fall ist. Das Bandanbringungs-Weiterführungsverhältnis des Produkts kann gleich 100% sein. Selbst wenn eine Ungleichmäßigkeit in der Kapazität in Abhängigkeit von den Arten von Mengen und/oder in Abhängigkeit von der Position innerhalb eines Wafers existiert, können gemäß dem Testverfahren diese Erfindung Änderungen bei der Kapazitäts-Eigenschaftsverteilung flexibel erfaßt oder erkannt werden. Somit kann eine effiziente und vernünftige Untersuchung aufrechterhalten werden.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine grafische Darstellung eines herkömmlichen, auf Kombination beruhenden Paar-Sortierungsverfahrens;
Fig. 2 eine schematische Ansicht, die einen herkömmlichen Test- und Sortierungsprozeß zeigt;
Fig. 3 eine graphische Darstellung einer Kapazitätsverteilung von Elementen, die der Anbringung auf einem Band gemäß dem Stand der Technik ausgesetzt sind;
Fig. 4 eine schematische Ansicht eines Beispiels des Ablaufs des Prozesses bei dem Untersuchungsverfahren dieser Erfindung;
Fig. 5A-5D schematische Ansichten, die jeweils eine Ausführungsform eines Verfahrens zum Neuordnen von Elementplättchen auf einem Wafer in eine Zeile zeigen;
Fig. 6 eine graphische Darstellung einer Ausführungsform eines Beurteilungstests für die Paarbildungs- Fähigkeit in dieser Erfindung;
Fig. 7 eine grafische Darstellung einer Kapazitätsverteilung über der Elementanordnung dieser Erfindung;
Fig. 8 ist eine grafische Darstellung einer Kapazitätsverteilung von Elementen, die der Anbringung auf einem Band gemäß dieser Erfindung ausgesetzt sind.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM

Fig. 4 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel des Ablaufs des Herstellungsprozesses dieser Erfindung zeigt, und zwar von dem Prozeß der Erstellung eines Wafers, auf dem Diodenelemente mit variabler Kapazität des USC (Ultra- Kleinen-Koaxial)-Typs gebildet worden sind, bis zum Prozeß der Herstellung eines Bandrollenprodukts 2.
Auf dem Wafer 1 sind eine große Anzahl von Elementplättchen 3 angeordnet und in einer Matrixform ausgebildet. Um die Plättchen voneinander zu trennen, wobei der Wafer 1 auf der Klebefolie angebracht ist, wird die Oberfläche des Wafers 1 angeritzt. Die Klebefolie wird insgesamt gedehnt, um jeweilige Plättchen zu trennen. Die somit getrennten Plättchen werden mittels einer Ziehbondierungseinrichtung 4 einzeln aufgenommen. Diese Plättchen werden dann auf einem Rahmen 5 in einer Zeile angeordnet und durchlaufen dann eine Bondierung. Gemäß des Anordnungsverfahrens dieser Erfindung sind die Plättchen so in einer Zeile angeordnet, daß Plättchen, die in irgendeiner der longitudinalen, lateralen oder Querrichtungen benachbart zueinander liegen, benachbarte Plättchen bilden. Wie in Fig. 5A gezeigt, sind die Plättchen, die mit dem Plättchen 3 auf dem Wafer 1 in Kontakt stehen, die acht Plättchen 3a bis 3h. Für das Verfahren zum Neuordnen der in Kontakt miteinander stehenden Plättchen, so daß sie in einer Zeile liegen, werden sie von einem in Fig. 5B gezeigten Einzeilen-Aufnahmeverfahren, einem in Fig. 5C gezeigten Dreizeilen-Aufnahmeverfahren und einem in Fig. 5D gezeigten N-Zeilen-Aufnahmeverfahren numeriert. In diesen Figuren bezeichnet der Pfeil 12 die Reihenfolge zur Aufnahme der Plättchen 3 von dem Wafer 1.
Häufig wird im allgemeinen ein Aufnahmeverfahren verwendet, welches normalerweise im Bereich eines dreizeiligen bis zehnzeiligen, z.B. fünfzeiligen Aufnahmeverfahren liegt. Der Gradient der Kapazitätsveränderungen entlang der Anordnung von Plättchen, die so neu geordnet sind, daß sie in einer Zeile liegen, wird im Falle des mehrzeiligen Aufnahmeverfahrens sehr viel sanfter, wie derjenige im Falle des einzeiligen Aufnahmeverfahrens. Durch Verbesserung der Ungleichmäßigkeit der Spannungs-zu-Kapazitätseigenschaften von Plättchen innerhalb des Wafers variiert ferner der optimale Wert von n des n-zeiligen Aufnahmeverfahrens.
Nun wird wieder auf Fig. 4 Bezug genommen, in der die Plättchen, die auf dem Rahmen 5 in einer Zeile angeordnet sind, einen Verpackungsprozeß durchlaufen, beispielsweise eine Drahtbondierung 6, eine Plastikverkapselung 7 und eine Tauchlötung 8, etc., wobei die Anordnungsreihenfolge davon mittels eines weit verbreiteten Verfahrens beibehalten wird. Somit werden die Plättchen 3 in den Zustand gebracht, in dem die Bildung von Elementen darauf durchgeführt wird.
In der Reihenfolge der Elementanordnung des Rahmens wird eine Durchbrechung 9 durchgeführt. Somit werden die Elemente 10 bereitgestellt. Die somit herausgebrochenen Elemente 10 werden an eine Test-Bandanbringungseinheit 11 weitertransportiert oder weitergeleitet, und zwar in der Reihenfolge von dem Element, welches sich an einem Ende (an der führenden Position) befindet.
In der Einheit 11 werden gemäß der Reihenfolge der Anordnung ein Spannungsbeaufschlagungstest, ein D.C.-Eigenschaftstest und eine Spannungs-zu-Kapazitäts-Eigenschaftsmessung von Elementen, etc. ausgeführt. Schließlich wird ein Beurteilungstest für die Paarungsfähigkeit für Elemente durchgeführt, für die durch diese Tests bestimmt worden ist, daß sie frei von Fehlern sind. Elemente 13, die von irgendeinem oben erwähnten Test verworfen wurden, werden aus der Anordnung herausgenommen. Andererseits werden nur Elemente, die von allen Tests zugelassen werden, entsprechend der voranstehend erwähnten Anordnungsreihenfolge auf einem Band angebracht.
Nachstehend wird der Beurteilungstest für die Paarungsfähigkeit beschrieben, der ein Merkmal dieser Erfindung ist. Der Beurteilungstest für die Paarungsfähigkeit besteht aus einem temporären oder vorläufigen Beurteilungstest und einem Anpassungstest. Gemäß dem temporären Beurteilungstest werden Elemente, deren Kapazibätswerte von zulässigen Werten, die durch die Kapazitätsänderungskurve bei jeden aufeinanderfolgenden Elementen (siehe die Kurve aus Fig. 7, in der die Anordnungsreihenfolge von Elementen und die Kapazität von Elementen auf der Abszisse bzw. der Ordinate aufgetragen sind) gegeben sind, beträchtlich abweichen, entfernt, da sie sich als Elemente zur Paarbildung nicht eignen. Ferner wird gemäß dem Anpassungstest eine Beurteilung durchgeführt, ob eine gewünschte Anzahl von (z.B. 16) Elementen, die nacheinander angeordnet sind, miteinander gepaart werden können.
Der Anpassungstest wird im Zusammenhang mit dem temporären Beurteilungstest bei jedem Element durchgeführt. Da, wie oben beschrieben, zwei bis vier Elemente für jeden Tuner verwendet werden, ist es ausreichend, daß zwei bis vier Elemente miteinander harmonierende Spannungs-zu-Eigenschaftskurven aufweisen, d.h. daß sie für jeden Block miteinander gepaart werden können. Da mittels der Bandrolle auf der Seite des Kunden Elemente jedoch automatisch eingefügt werden, ist es erforderlich, daß eine gewünschte Folge m x p (m ist die Anzahl von erforderlichen Elementen für jedes Tunersubstrat, und p ist die Anzahl von Substraten, die die Einfügungsmaschine zu einer Zeit korrekt bearbeitet) miteinander gepaart werden kann. Gegenwärtig besteht die größte Nachfrage für m = 4 und p = 4. Demzufolge ist es erforderlich, daß beliebige, aufeinanderfolgende 16 Elemente, die auf dem Band der Bandrolle angeordnet sind, miteinander gepaart sind. Für diesen Zweck wird der Anpassungstest durchgeführt.
Wenn hinsichtlich des Standards von 16 Paaren der niedrigste Wert der Kapazität und der höchste Wert der Kapazität von 16 Elementen mit Cmin [pF] bzw. Cmax [pF] bezeichnet wird, dann ist folgender Zusammenhang erfüllt:
α = ( (Cmax - Cmin) / Cmin) x 100 [%]
wobei α als Anpassung bezeichnet wird. Obwohl sich der Wert von α zu einem gewissen Ausmaß in Abhängigkeit von der Art von Produkten, der Bestimmung und dergleichen verändert, wird er maximal innerhalb eines Bereichs von 1,5 bis 2,5% gesteuert.
Nachstehend wird eine Ausführungsform des Beurteilungstests für die Paarungsfähigkeit beschrieben.
Der Beurteilungstest für die Paarungsfähigkeit ist in die anfängliche Routine 1, die anfängliche Routine 2 und die stationäre oder fortwährende Routine gemäß dem Ablauf des Tests klassifiziert. Der Grund hierfür liegt darin, daß eine erforderliche Anzahl von vorangehenden Gut-Elementen zur Einstellung der Qualitätsbeurteilungsreferenz nicht vorgesehen sind. Die anfängliche Routine 1 wird auf den Ablauf des Tests angewendet, bis eine Vielzahl von (z.b. fünf) vorausgehenden Gut-Elementen, die zur Einstellung des Beurteilungskriteriums des temporären Beurteilungstests von dem führenden Element der Anordnung erforderlich sind, vorgesehen sind, die anfängliche Routine 2 wird auf den Ablauf des Tests bis zu einer Vielzahl von (z.B. 16) vorausgehenden Gut-Elementen, die zur Einstellung des Beurteilungskriteriums des Anpassungstests erforderlich sind, angewendet und die fortwährende Routine wird auf die Abläufe von jeweiligen nachfolgenden Tests angewendet.
In Fig. 6 bezeichnet die Abszisse die Elementanordnung und die Beurteilungsreihenfolge und die Ordinate bezeichnet den Kapazitätsdatenwert (bei einer festen Spannung) des Elements. Gemäß der Anordnungsreihenfolge wird eine Untersuchung in einer Richtung von dem (sich an der führenden Position befindlichen) Element 1 zum Element 22 durchgeführt.
Die Anfangsroutine 1 beginnt zunächst mit der Auffindung von Elementen, die einen Mittelwert von fünf Kapazitätsdaten von Elementen 1, 2, 3, 4 und 5 aufweisen. In diesem Fall besitzt das Element 4 den Mittelwert. Dieser Mittelwert wird als ein Anfangsreferenzwert betrachtet. Der zulässige Änderungsbereich der Kapazität wird auf einen Wert zwischen ±0,5% bis ±1,5% gesetzt. In dieser Ausführungsform ist der zulässige Änderungsbereich auf ±1% gesetzt. Die obere Kapazitätsgrenze (Referenzwert x 1,01) und die untere Kapazitätsgrenze (Referenzwert x 0,99) werden eingestellt. Wie voranstehend erwähnt, werden für die anfängliche Verarbeitung Elemente 1 bis 5 verwendet und das Element 6 und die darauf folgenden Elemente werden für den Beurteilungstest für die Paarungsfähigkeit verwendet. Wenn die Kapazitätsdaten des Elements 6 zwischen den Grenzen Lm und LL liegen, dann wird das Element als Folge der temporären Beurteilung als gut beurteilt. Ferner werden die α-Werte zwischen den Elementen 1 bis 5 und dem Element 6 berechnet. Dann wird eine Untersuchung ausgeführt, ob diese Werte innerhalb eines Bereichs des Anpassungsstandards (z.B. weniger als 2%) fallen oder nicht. Wenn sie in diesen Bereich fallen, dann wird die Anpassung als gut bewertet. Da das Element 6 sowohl als Folge der temporären Bewertung als auch des Anpassungstests als gut bewertet wird, wird es weitergeleitet. Dann wird das Element 7 bewertet. Dabei wird ein Mittelwert von 5 Kapazitätsdaten der Elemente 6, 5, 4, 3 und 2 von dem zu beurteilenden Element 7 in Richtung des führenden Elements 1 berechnet. Da in diesem Fall das Element 2 diesen Mittelwert ergibt, wird der Datenwert des Elements 2 als ein Referenzwert angesehen. In einer zur obigen Vorgehensweise ähnlichen Vorgehensweise werden die Kapazitätsgrenzen LH und LL eingestellt. Da der Kapazitätsdatenwert des Elements 7 nicht zwischen den Grenzen LH und LL liegt, wird dieses Element als Folge der temporären Bewertung oder Beurteilung als schlecht oder unzulänglich bewertet. Demgemäß wird der Anpassungstest nicht durchgeführt. Da das Element 7 als schlecht bewertet wird, ändert sich sowohl der Referenzwert für die temporäre Beurteilung als auch die Kapazitätsgrenzen LM und LL eines zu bewertenden Elements nicht. Somit wird das Element 8 als Folge der temporären Bewertung als gut bewertet. Danach werden α-Werte zwischen den Elementen 1 bis 8 und dem Element 8 berechnet, um zu untersuchen, ob sie den Anpassungsstandard erfüllen oder nicht. Da die somit berechneten α-Werte in diesem Fall diesen Standard erfüllen, wird das Element 8 als Folge des Anpassungstests auch als gut bewertet. Somit wird dieses Element weitertransportiert. Dann wird die Bewertung des Elements 9 durchgeführt. In einer ähnlichen Vorgehensweise wie bei der obigen Vorgehensweise wird ein Mittelwert von Datenwerten von fünf Kapazitätswerten von guten Elementen 8, 6, 5, 4 und 3 berechnet. Der Kapazitätswert des Elements 8 wird wiederum als neuer Referenzwert angesehen und die Kapazitätsgrenzen LH und LL werden erneut eingestellt. Da der Kapazitätsdatenwert des Elements 9 zwischen den Grenzen LM und LL liegt, wird das Element 9 als Folge der temporären Bewertung als gut bewertet. Demzufolge werden α-Werte zwischen den Elementen 1 bis 8 mit Ausnahme des Elements 7 und des Elements 9 berechnet, um zu untersuchen, ob diese Werte den Anpassungsstandard erfüllen oder nicht (auch in diesem Fall wird entschieden, daß diese Werte den Anpassungsstandard erfüllen). Da das Element 9 sowohl von dem temporären Bewertungstest als auch von dem Anpassungstest als gut bewertet wird, wird dieses Element weitergeleitet. Gemäß einem Verfahren, welches ähnlich zu dem obigen ist, wird der Bewertungstest für die Paarungsfähigkeit durchgeführt. Infolgedessen werden die Elemente 10, 11 und 12 als gut, schlecht bzw. gut bewertet. Dabei werden die Elemente 6, 8, 9, 10 und 12 schließlich als gute Artikel beurteilt. Wenn diese fünf Elemente als gut bewertet worden sind, dann ist die Anfangsroutine 1 abgeschlossen.
Nach der Anfangsroutine 1 werden in der Anfangsroutine 2 Daten von fünf guten Elementen gemäß der Anordnungsreihenfolge von einem zu bewertenden Element verwendet, um eine temporäre Bewertung mit einer ähnlichen Vorgehensweise wie bei der obigen durchzuführen. Ferner wird der Anpassungstest wie folgt durchgeführt. α-Werte zwischen guten Elementen von einem Element, welches die temporäre Bewertung durchlaufen soll, bis zum Element 6 werden berechnet, um zu untersuchen, ob diese Werte den Anpassungsstandard erfüllen oder nicht. Wenn in dieser Weise insgesamt 16 gute Elemente einschließlich von fünf Elementen in der Anfangsroutine 1 durchgelassen werden, ist diese Routine beendet, so daß die stationäre bzw. fortwährenden Routine folgt.
In der stationären Routine wird der Bewertungstest zur Paarungsfähigkeit des n-ten Elements der Anordnungsreihenfolge wie folgt ausgeführt. Der temporäre Bewertungstest wird durchgeführt, indem ein Mittelwert aus den Kapazitätsdaten von fünf guten Elementen gemäß der Anordnungsreihenfolge von einem zu bewertenden Element n in Richtung auf das führende Element hin, z.B. Elemente n-1, n- 3, n-4, n-5 und n-6 (das Element n-2 wird als ein schlechter Artikel angesehen) aufgefunden wird, um diesen Mittelwert als Referenzwert anzunehmen und um gemäß dem gleichen Verfahren wie bei der Anfangsroutine Kapazitätsgrenzen LH und LL zu bestimmen. Ferner wird der Anpassungstest durchgeführt, indem α-Werte von Kapazitätsdaten von Kapazitätsdaten des zu bewertenden Elements n und 15 guten Elementen, z.B. Elementen n-1, n-3, n-4, ..., n-6 (es wird angenommen, daß außer dem Element 2 all diese Elemente gute Artikel sind) berechnet werden, um zu untersuchen, ob diese Werte den Anpassungsstandard erfüllen oder nicht. Elemente, die als Folge sowohl des temporären Bewertungstests als auch des Anpassungstests als gut bewertet worden sind, werden als ein Gut-Element durchgelassen.
Fig. 8 ist eine grafische Darstellung eines Beispiels einer Charakteristikverteilung von Elementen, die einer Bandzusammenfassung ausgesetzt sind, wobei die Abszisse die Anzahl von in der Reihenfolge der Anbringung auf dem Band angeordnete Anzahl von Elementen und die Ordinate die Kapazität bezeichnet. Selbst wenn in diesem Fall 16 aufeinanderfolgende Elemente an einem beliebigen Abschnitt der Anordnung herausgenommen werden, ist die Paarungsfähigkeit erfüllt.
Bei dem Bewertungstest für die Paarungsfähigkeit der voranstehend erwähnten Ausführungsform ist die Anzahl von vorausgehenden Gut-Elementen, die zur Einstellung eines Qualitätsbewertungskriteriums verwendet wird, in dem Fall des temporären Bewertungstest fünf und im Falle des Anpassungstests 16. Jedoch ist die Anzahl von vorausgehenden Gut-Elementen selbstverständlich nicht auf den voranstehend erwähnten Wert in jedem Test beschränkt. Während ein Mittelwert von Kapazitätsdaten einer Vielzahl von vorausgehenden Gut-Elementen als der Bewertungsreferenzwert verwendet wird, kann ferner ein Durchschnittswert, ein Substitutionswert eines eine kubische Funktion approximierenden Ausdrucks (kleinste Quadrate) oder dergleichen verwendet werden.
Allgemein verändert sich die Kapazitätsverteilung entlang der Elementanordnung der Dioden mit variabler Kapazität unregelmäßig. Fig. 7 ist eine grafische Darstellung, die ein Beispiel von Änderungen in der Kapazitätsverteilung zeigt, wobei die Abszisse die Anzahl von in einer Reihenfolge einer Anordnung angeordneten Elementen und die Ordinate eine Kapazität bezeichnet. Die Kurvenzone in der Figur bezeichnet einen Verteilungsbereich. Die Änderung dieser Kapazitätsverteilung kann teilweise durch eine lineare, quadratische oder logarithmische Funktion approximiert werden, aber die Approximation der Kapazitätsverteilung in dem gesamten Bereich der Elementanordnung mit einer einzigen Funktion ist schwierig. Gemäß dem Testverfahren dieser Erfindung wird ein Ansatz verwendet, um Veränderungen in der Kapazität in der Reihenfolge der Elementanordnung (oder der Bewertungsreihenfolge) teilweise zu erfassen und zu erkennen, um eine Kapazitätsverteilung in einem derartigen Teilgebiet mit einer Approximationskurve gemäß der statistischen Technik darzustellen, um sie durch schwebende Grenzen zu untersuchen oder zu überprüfen, in denen zulässige Werte oben und unten auf der Approximationskurve eingestellt werden, um danach Elemente zu entfernen, die Kapazitätswerte aufweisen, die von der Verteilung abweichen, um den voranstehend erwähnten Anpassungstest durchzuführen. Somit kann ein effizienter Bewertungstest für die Paarungsfähigkeit durchgeführt werden.
Das automatische System unter Verwendung des Testverfahrens dieser Erfindung wird als DPS bezeichnet (Direktes-Paarungs- System). Dieses System hat verschiedene in dem Stand der Technik beschriebene Probleme gelöst und die Zuverlässigkeit und die Produktivität von gepaarten Produkten beträchtlich verbessert.

Claims

1. Ein Verfahren zur Sortierung von Dioden mit variabler Kapazität gemäß Ihrer Eigenschaften, umfassend die folgenden Schritte:

Trennen von Plättchen (3) von Dioden mit variabler Kapazität, die auf einem Halbleiterwafer (1) in einer Matrixform gebildet sind, und Neuordnen der einzelnen Plättchen in einer Zeile, so daß Plättchen, deren ursprüngliche Positionen auf dem Wafer in irgendeiner der longitudinalen, lateralen oder Querrichtungen des Wafers benachbart angeordnet waren, zu benachbarten Plättchen in der Zeile werden;

Verpacken der Gruppe von in der Zeile angeordneten Plättchen gemäß einer Anordnungsreihenfolge von einem Ende in Richtung auf das andere Ende der Gruppe von Plättchen in einer Zeile, um Diodenkomponenten (10) zu bilden;

Messen der Eigenschaften von diesen Komponenten, um eine Qualitätsbewertung zur Zurückweisung von fehlerhaften Komponenten (12) aus der Anordnung durchzuführen, ohne die Anordnungsreihenfolge zu durchbrechen;

Ansammeln von Eigenschafts-Meßdaten einer Vielzahl von Gut-Komponenten (10) gemäß einer Anordnungsreihenfolge, beginnend mit einer zu bewertenden Komponente in Richtung auf das eine Ende der Anordnung; und

Einstellen von Qualitätsbewertungskriterien für jede zu bewertende Komponente auf der Grundlage der Eigenschafts-Meßdaten, die für Gut-Komponenten angesammelt wurden.

2. Ein Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Neuordnungsschritt durchgeführt wird, in dem Plättchen in einer Reihenfolge aufgenommen werden, in der die Aufnahme-Position verändert wird, und zwar durch Vorrücken in eine Richtung entlang einer Vielzahl von Zeilen, durch Verschieben auf eine benachbarte Spalte, durch Vorrücken in eine umgekehrte Richtung und durch Zurückkehren in die ursprüngliche Zeilenposition.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Einstellschritt für die Qualitätsbewertungskriterien die folgende Prozedur umfaßt:

Auswählen einer Komponente mit einem repräsentativen Wert in bezug auf eine vorgegebene Anzahl von anfänglich gemessenen Komponenten;

Bestimmen eines zulässigen Bereichs unter Verwendung des repräsentativen Werts als ein anfänglicher Referenzwert;

Untersuchen, ob eine nächste Komponente in dem zulässigen Bereich liegt oder nicht und ob ein Unterschied zwischen dem maximalen Kapazitätswert und dem minimalen Kapazitätswert der Komponenten in dem zulässigen Bereich geringer ist oder nicht als ein vorgegebener Wert in bezug auf den minimalen Kapazitätswert, um somit Bewertungen durch eine ähnliche Prozedur wie die obige für aufeinanderfolgende Komponenten durchzuführen, während repräsentative Werte und zulässige Bereiche einer vorgegebenen Anzahl von Komponenten, die jeder nächsten Komponente vorausgehen, erneuert werden.

4. Ein Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der repräsentative Wert ein Mittelwert ist.

5. Ein Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der repräsentative Wert ein Durchschnittswert ist.