DE69028032T2 - Informationsaufzeichnungsmedien - Google Patents

Informationsaufzeichnungsmedien

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Informationsaufzeichnungsmedien, die eine Metallschicht haben, und insbesondere auf Informationsaufzeichnungsmedien, die hinsichtlich ihrer KorrosionsbestĂ€ndigkeit oder StabilitĂ€t hervorragend sind, und bei denen die AbhĂ€ngigkeit ihrer Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit gering ist.
  • Bei Informationsaufzeichnungsmedien wie z. B. magnetooptischen Aufzeichnungsplatten, die ein Substrat und darauf eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht umfassen und die geeignet sind, eine Information wieder neu zu speichern, ist es erwĂŒnscht, daß die AbhĂ€ngigkeit der Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit gering ist, so daß sich die Aufzeichnungsleistung fĂŒr Aufzeichnungsinformation in diesen Medien in den inneren peripheren und Ă€ußeren peripheren Teilen des Mediums nicht stark Ă€ndert.
  • Üblicherweise ist bei dem Informationsaufzeichnungsmedium wie z. B. der magnetooptischen Aufzeichnungsplatte, auf einem Substrat zusĂ€tzlich zu einer magnetooptischen Aufzeichnungsschicht eine Metallschicht ausgebildet. Die Metallschichten, die bisher bei den Informationsaufzeichnungsmedien wie z. B. magnetooptischen Aufzeichnungsplatten verwendet wurden, bestehen aus Nickellegierungen, Aluminiummetall oder Aluminiumlegierungen, die 0,1 bis 10 Gew.% Titan enthalten. Allerdings hatten die Metallschichten, die aus Aluminiummetall oder Aluminium- Titan-Legierungen bestanden, den Nachteil, daß sie hinsichtlich der KorrosionsbestĂ€ndigkeit schlecht sind und keinen Langzeiteinsatz aushalten können.
  • Die Metallschichten, die aus Nickellegierungen bestanden, hatten den großen Nachteil, daß sich die Aufzeichnungsleistung, die zur Zeit des Einschreibens einer Information auf das Informationsaufzeichnungsmedium erforderlich ist, stark mit den inneren peripheren und Ă€ußeren peripheren Teilen des Mediums Ă€ndert, und daß somit die AbhĂ€ngigkeit der Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit noch groß ist.
  • Die japanische Anmeldung JP-A-62067750 offenbart eine photomagnetische Platte, die eine Aufzeichnungsschicht und eine Schutzschicht umfaßt. Die Schutzschicht enthĂ€lt Metallnitride; und es wird angegeben, daß eine Chrom- Aluminiumlegierung verwendbar ist.
  • Die europĂ€ische Patentanmeldung EP-A-0064777 offenbart ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium, das eine Schicht aus einer Metallegierung enthĂ€lt. Diese Schicht wird aus einer Gruppe von Legierungen ausgewĂ€hlt, die Ag-Cu, Cu-Cr, Al-Cr, Al-Cu, Al-B, Al-Mn und Al-Lanthanid umfaßt. Die Zusammensetzungen sind so gewĂ€hlt, daß sie eine hohe Lichtreflexion gewĂ€hrleisten.
  • Die europĂ€ische Patentanmeldung EP-A-226168 beschreibt ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium, das ein transparentes Substrat, eine optische Informationsaufzeichnungsschicht und eine reflektierende Metallschicht, die aus einer Aluminium-Titan-Legierung gebildet ist, umfaßt.
  • Die japanische Patentanmeldung JP-A-62172545 offenbart ein photomagnetisches Aufzeichnungsmedium. Eine Aufzeichnungsschicht ist auf einem transparenten Substrat angeordnet und darauf ist eine Schutzschicht ausgebildet. Die Schutzschicht kann aus Aluminium, Chrom, Hafnium, Niobium und Titan wie auch aus verschiedenen anderen Metallen bestehen.
  • Im Hinblick auf eine Entwicklung von Informationsaufzeichnungsmedien, die in Bezug auf KorrosionsbestĂ€ndigkeit oder LangzeitstabilitĂ€t hervorragend sind, und die eine geringe lineare AbhĂ€ngigkeit der Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit aufweisen, fĂŒhrten die Erfinder der vorliegenden Erfindung ausgedehnte Untersuchungen durch, wobei sie feststellten, daß die Informationsaufzeichnungsinedien, die eine Metallschicht haben, welche aus einer Aluminiumlegierung, die mindestens Hafnium enthĂ€lt, besteht, in Bezug auf KorrosionsbestĂ€ndigkeit hervorragend sind und eine geringe AbhĂ€ngigkeit der Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit haben. Auf diese Weise wurde die vorliegende Erfindung vollendet.
  • Die vorliegenden Erfindung ist auf die Lösung von Problemen, die mit dem Stand der Technik behaftet sind und die oben angefĂŒhrt sind gerichtet; eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung von Informationsaufzeichnungsmedien, die in Bezug auf KorrosionsbestĂ€ndigkeit hervorragend sind und die eine geringe AbhĂ€ngigkeit der Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit aufweisen.
  • Das erste Informationsaufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung, das eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht auf einem Substrat umfaßt, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, 0,1 bis 10 Atom% mindestens eines Elements, ausgewĂ€hlt aus Hafnium (Hf) und Niobium (Nb), enthĂ€lt. Das zweite Informationsaufzeichnungsmedium der Erfindung, das eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht auf einem Substrat umfaßt, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierungsschicht bilden, 0,1 bis 9,5 Atom% Hafnium und 0,1 bis 5 Atom% Chrom enthĂ€lt, und der Gesamtgehalt an Hafnium, Chrom und Titan weniger als 10 Atom% ist.
  • Das dritte Informationsaufzeichnungsmedium der Erfindung, das eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht auf einem Substrat umfaßt, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht, die aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierungsschicht bilden, 0,5 bis 5 Atom% Hafnium und 0,5 bis 5 Atom% Titan enthĂ€lt, und der Gesamtgehalt an Hafnium und Titan 1 bis 5,5 Atom% ist.
  • Das vierte Informationsaufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung, das eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht auf einem Substrat umfaßt, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierungsschicht bilden, 0,1 bis 10 Atom% Hafnium und 0,1 bis 10 Atom% Magnesium enthĂ€lt, und der Gesamtgehalt an Hafnium und Magnesium weniger als 15 Atom% ist.
  • Das Informationsaufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung, wie es oben erlĂ€utert ist und das individuell eine Metallschicht hat, die aus einer Aluminiumlegierung besteht, die mindestens Hafnium enthĂ€lt, sind in Bezug auf KorrosionsbestĂ€ndigkeit hervorragend, haben eine geringe AbhĂ€ngigkeit der Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit und sind in Bezug auf den Schutz der Aufzeichnungsschicht ausgezeichnet.
    • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 ist eine Faustskizze einer AusfĂŒhrungsform des Informationsaufzeichnungsmediums der vorliegenden Erfindung im Querschnitt.
  • Fig. 2 ist eine Faustskizze einer anderen AusfĂŒhrungsform des Informationsaufzeichnungsmediums der vorliegenden Erfindung im Querschnitt.
  • 1 ... Informationsaufzeichnungsmedium
  • 2 ... Substrat
  • 3 ... Aufzeichnungsschicht
  • 4 ... Metallschicht
  • 5 ... Schutzfilm
    • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Die erfindungsgemĂ€ĂŸen Informationsaufzeichnungsmedien werden unten detailliert erlĂ€utert.
  • Fig. 1 ist eine Faustskizze des Informationsaufzeichnungsmediums einer AusfĂŒhrungsform der Erfindung im Querschnitt; und Fig. 2 ist ebenfalls eine Faustskizze des Informationsaufzeichnungsmediums einer anderen AusfĂŒhrungsform der Erfindung im Querschnitt.
  • In den erfindungsgemĂ€ĂŸen Informationsaufzeichnungsmedien wird die Information, die in diesen Aufzeichnungsmedien gespeichert ist, mit Hilfe von Licht wie z. B. Laserstrahl gelesen. Informationsaufzeichnungsmedien dieses Typs umfassen konkret eine optische Platte des Postskripttyps, die fĂŒr eine zusĂ€tzliche Aufzeichnung geeignet ist, allerdings nicht fĂ€hig ist, gespeicherte Information zu löschen; optische Platten des Typs, der neu speichert, wie z. B. magnetooptische Aufzeichnungsplatten, die fĂ€hig sind, Information aufzuzeichnen wie auch zu löschen sowie die aufgezeichnete Information zu reproduzieren.
  • Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, sind in einem Informationsaufzeichnungsmedium 1 der Erfindung beispielsweise eine Aufzeichnungsschicht 3 und eine Metallschicht 4 in dieser Reihenfolge auf einem Substrat 2 ausgebildet.
  • Materialien fĂŒr das obengenannte Substrat 2, die in der Erfindung eingesetzt werden, sind nicht besonders auf spezifische Materialien beschrĂ€nkt. Wenn ein Laserstrahl- auf das Substrat 2 (aus der Richtung eines Pfeils A) einfĂ€llt, werden hierfĂŒr allerdings Materialien verwendet, die transparent sind. Neben anorganischen Materialien wie z. B. Glas, Aluminium und dgl. umfassen derartige transparente Materialien z. B. organische Materialien wie Poly(methylmethacrylat), Polycarbonat, Polymerlegierungen aus Polycarbonat mit Polystyrol, wie statistische Cycloolefin- Copolymere, wie sie in dem US-Patent Nr. 4 614 778 offenbart sind, wie statistische Cycloolefin-Copolymere (A), wie sie unten aufgefĂŒhrt werden, Poly-4-methyl-1-penten, Epoxyharze, Polyethersulfon, Polysulfon, Polyetherimid und dgl. Unter diesen organischen Materialien werden Poly(methylmethacrylat), Polycarbonat, statistische Cycloolefin-Copolymere, wie sie in dem US-Patent Nr. 4 614 778 offenbart sind, und die statistischen Cycloolefinpolymere (A), die unten aufgefĂŒhrt werden, bevorzugt.
  • Unter dem Gesichtspunkt einer guten Haftung insbesondere an der Aufzeichnungsschicht und einem kleinen Doppelbrechungsindex sind statistische Cycloolefin-Copolymere (A) aus Ethylen und einem Cycloolefin, das durch die folgende allgemeinen Formeln [I], [I-a] oder [I-b) dargestellt wird, besonders wĂŒnschenswerte Materialien fĂŒr das in der vorliegenden Erfindung verwendete Substrat.
  • in der n gleich 0 oder eine ganze positive Zahl ist, RÂč bis RÂčÂČ gleich oder verschieden sind und jeweils ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom oder eine Kohlenwasserstoffgruppe sind, und R&sup9; bis RÂčÂČ, wenn sie zusammengenommen werden, einen mono- oder polycyclischen Kohlenwasserstoffring, der wahlweise eine Doppelbindung oder Doppelbindungen aufweisen kann, bilden können, oder R&sup9; und RÂč&sup0; oder RÂčÂč und RÂčÂČ, wenn sie zusammengenommen werden, eine Alkylidengruppe bilden können.
  • Unten wird eine nĂ€here ErlĂ€uterung des Cycloolefins, das durch die allgemeine Formel [I] dargestellt wird, gegeben. Das durch die allgemeine Formel [I] dargestellte Cycloolefin kann auch durch die folgende allgemeine Formel [I-a] dargestellt werden. Allgemeine Formel
  • In der allgemeinen Formel [I-a] ist n 0 oder 1; ist in 0 oder eine positive ganze Zahl; stellen RÂč bis RÂč&sup8; jeweils ein Atom oder eine Gruppe, ausgewĂ€hlt aus der aus einem Wasserstoffatom, einem Halogenatom und einer Kohlenwasserstoffgruppe bestehenden Gruppe, dar.
  • RÂč&sup5; bis RÂč&sup8; können, wenn sie zusammengenommen werden, einen mono- oder polycyclischen Kohlenwasserstoffring bilden, der wahlweise eine Doppelbindung oder -bindungen haben kann.
  • DarĂŒber hinaus können RÂč&sup5; und RÂč&sup6; oder RÂč&sup7; und RÂč&sup8;, wenn sie zusammengenommen werden, eine Alkylidengruppe bilden.
  • worin p eine ganze Zahl von mindestens 0 ist; g und r jeweils 0, 1 oder 2 sind; RÂč bis RÂč&sup5; jeweils ein Atom oder eine Gruppe darstellen, die aus der aus einem Wasserstoffatom, einem Halogenatom, einer aliphatischen Kohlenwasserstoffgruppe, einer aromatischen Kohlenwasserstoffgruppe und einer Alkoxygruppe bestehenden Gruppe Ă€usgewĂ€hlt sind; und R&sup5; (oder R&sup6;) und R&sup8; (oder R&sup7;) direkt ohne eine zwischengruppe oder durch eine Alkylengruppe aus 1 bis 3 Kohlenstoffatomen aneinander gebunden sein können.
  • Konkrete Beispiele fĂŒr die Cycloolefine, die durch die allgemeine Formel [I] dargestellt werden, umfassen 1,4,5,8- Dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, Octahydronaphthaline wie 2-Methyl-1,4,5,8-dimethan- 1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2-Ethyl-1,4,5,8- dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2-Propyl- 1,4,5,8-dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2- Hexyl-1,4,5,8-dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2,3-Dimethyl-1,4,5,8-dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a- octahydronaphthalin, 2-Methyl-3-ethyl-1,4,5,8-dimethan- 1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2-Chlor-1,4,5,8- dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2-Brom- 1,4,5,8-dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2- Fluor-1,4,5,8-dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2,3-Dichlor-1,4,5,8-dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a- octahydronaphthalin, 2-Cyclohexyl-1,4,5,8-dimethan- 1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2-n-Butyl-1,4,5,8- dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, 2-Isobutyl- 1,4,5,8-dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydronaphthalin, usw.
  • DarĂŒber hinaus umfaßt das Cycloolefin, das durch die allgemeine Formel [I] dargestellt wird,
  • Bicyclo[2,2,1]hepto-2-en-Derivate,
  • Tetracyclo[4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecan-Derivate,
  • Hexacyclo[6,6,1,13.6,110.13,02.7,0.14]-4-heptadecen-Derivate,
  • Octacyclo[8,8,0,12.9,14.7,11.18,113.16,03.8,012.17]-5-docosen- Derivate,
  • Pentacyclo[8,8,0,12.9,14.7,11.18,113.16,03.8,012.17]-5-docosen- Derivate,
  • Pentacyclo[6,6,1,13.6,02.7,09.14] -4-hexadecen-Derivate,
  • Heptacyclo-5-icosen-Derivate,
  • Heptacyclo-5-henicosen-Derivate, Toricyclo[4,3,0,12.5]-3- decen-Derivate, Toricyclo[4,3,0,12.5]-3-undecen-Derivate,
  • Pentycyclo[6,5,1,13.6,02,7,09,13]-4-pentadecen-Derviate,
  • Pentacyclopentadecadien-Derivate,
  • Pentacyclo[4,7,0,12.5,08,13,19.12]-3-pentadecen-Derivate,
  • Pentacyclo[7,8,0,13.6,02.7,110.17,011,16,112.15]-4-icosen- Derivate und
  • Nonacyclo[9,10,1,1,4.7,03.8,02.10,012.21,113.20,014.19,115.18]-5- pentacosen-Derivate.
  • Die konkreten Beispiele fĂŒr solche Verbindungen, wie sie oben genannt sind, werden nachfolgend erlĂ€utert. Bicyclo [2,2,1]hept-2-en-Derivate wie z. B.: Bicyclo[2,2,1]hept-2-en 6-Methylbicyclo[2,2,1]hept-2-en 5,6-Dimethylbicyclo[2,2,1]hept-2-en 1-Methylbicyclo[2,2,1]hept-2-en. 6-Ethylbicyclo[2,2,1]hept-2-en 6-n-Butylbicyclo[2,2,1]hept-2-en 6-Isobutylbicyclo[2,2,1]hept-2-en: 7-Methylbicyclo[2,2,1]hept-2-en : Tetracyclo[4,4,012.5,17.10]-3-dodecen-Derivate wie z. B.: Tetracyclo[4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 5,10-Dimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 2,10-Dimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 11,12-Dimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 2,7,9-Trimethyltetracyclo[4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 9-Ethyl-2,7-dimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 9-Isobutyl-2,7-dimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 9,11,12-Trimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 9-Ethyl-11,12-dimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 9-Isobutyl-11,12-dimethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 5,8,9,10-Tetramethyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Methyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Ethyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Propyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Hexyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.0]-3-dodecen 8-Stearyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8,9-Dimethyltetracyclo[4,4,0, 11.25,17.10]-3-dodecen 8-Methyl-9-ethyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Chlor-tetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Brom-tetracycio[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Fluor-tetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8,9-Dichlor-tetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Cyclohexyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Isobutyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Butyltetracyclo[4,4,0, 12.5,17.10]-3-dodecen 8-Ethyliden-tetracyclo[4,4,0,- 125,17.10]-3-dodecen 8-Ethyliden-methyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-n-Propyliden-9-ethyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Ethyliden-9-isopropyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Ethyliden-9-isopropyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-n-Propyliden-tetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-n-Propyliden-9-ethyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Ethyliden-9-ethyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-n-Propyliden -9- isopropyltetracyclo[4,4,0,12.5,17.10]-3- dodecen 8-n-Propyliden-9-butyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Isopropyliden-tetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Isopropyliden-9-methyltetracyclo- [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Isopropyliden-9-ethyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen 8-Isopropyliden-9- isopropyltetracyclo[4,4,0,12.5,17.10-3- dodecen 8-Isopropyliden-9-bulyltetracyclo [4,4,0,12.5,17.10]-3-dodecen Hexacyclo[6,6,1,13.6,110.13,02.7,09.14]-4-heptadecent-Derivate wie z. B.: Hexacyclo[6,6,1,13.6,110.13,02.7,09.14]- 4-heptadecen 12-Methylhexacyclo[6,6,1,13.6, 110.13,02.7,09.14]-4-heptadecen 12-Ethylhexacyclo[6,6,1,13.6, 110.13,02.7,09.14]-4-heptadecen 12-Isobutylhexacyclo[6,6,1,13.6, 110.13,02.7,09.14]-4-heptadecen 1,6,10-Trimethyl-12-isobutylhexacyclo[6,6,1,13.6,110.13,02.7,09.14]- 4-heptadecen Octacyclo[8,8,0,12.9,14.7,11.18,113.16,03.8,012.17]-5-docosen- Derivate wie z.B.: Octacyclo[8,8,0,12.9,14.7,1,11.18, 113.16,03.8,012.17]-5-docosen 15-Methylotacyclo[8,8,0,12.9,14.7, 1,11.18,113.16,03.8,012.17]-5-docosen 15-Ethyloctacyclo[8,8,0,12.9,14.7, 1,11.18,113.16,03.8,012.17]-5-docosen pentacyclo[6,6,1.13.6,02.7,09.14]-4-hexadecen-Derivate wie z.B.: Pentacyclo[6,6,1,13.6,02.7,09.14]-4- hexadecen 1,3-Dimethylpentacyclo[6,6,1, 13.6,02.7,09.14]-4-hexadecen 1,6-Dimethylpentacyclo[6,6,1, 13.6,02.7,09.14]-4-hexadecen 15,16-Dimethylpentacyclo[6,6,1, 13.6,02.7,09.14]-4-hexadecen Heptacyclo-5-icosen-Derivate oder Heptacyclo-t-henicosen Derivate wie z. B.: Heptacyclo[8,7,0,12.9,14.7,111.17, 03.8,012.16]-5-icosen Heptacyclo[8,8,0,12.9,14.7,111.18, 03.8,012.17]-5-henicosen Toricyclo[4,3,0,12.5]-3-decen- Derivate wie z.B.: Tricyclo[4,3,0,12.5)-3-decen 2-Methyl-tricyclo[4,3,0,12.5]-3-decen 5-Methyl-tricyclo[4,3,0,12.5]-3- decen Tricyclo[4,4,0,12.5-undecen- Derivate wie z. B.: Tricyclo[4,4,0,12.5]-3-undecen 10-Methyl-tricyclo[4,4,0,12.5)- 3-undecen Pentacyclo[6,5,1,113.6,02.7,09.13]-4-pentadecen- Derivate wie z. B.: Pentacyclo[6,5,1,113.6, 02.7,09.13]-4-pentadecen 1,3-Dimethylpentacyclo[6,5,1,13.6, 02.7,09.13]-4-pentadecen 1,6-Dimethylpentacyclo[6,5,1,13.6, 02.7,09.13]-4-pentadecen 14,15-Dimethylpentacyclo[6,5,1,13.6, 02.7,09.13]-4-pentadecen Dienverbindung wie z. B.: Pentacyclo[6,5,1,13.6, 02.7,09.13]-4,10-pentadecadien Penlacyclo[7,4,0,12.5,08.13,19.12]-3-pentadecen- Derivate wie z. B.: Pentacyclo[7,4,0,12.5,08.13,19.12]-3- pentadecen Methyl-substituiertes Pentacyclo- [7,4,0,12.5,08.13,19.12]-3-pentadecen Heptacyclo[8,7,0,13.6,02.7,110.17,011.16,112.15]-4-icosen- Derivate wie z. B.: Heptacyclo[8,7,0,13.6,02.7,110.17, 011.16,112.15]-4-icosen Dimethyl-substituiertes Heptacyclo- [8,7,0,13.6,02.7,110.17,011.16,112.15]-4- icosen nonacyclo[10,9,1,14.7,03.8,02.10,012.21,113.20,014.19,115.18]-5- pentacosen Derivate wie z.B.: Nonacyclo[10,9,1,14.7,03.8,02.10,012.21, 113.20,014.19,115.18]-5-pentacosen Trimethyl-substituiertes Nonacyclo- [10,9,1,14.7,03.8,02.10,012.21,113.20, 014.19,115.18]-5-pentacosen
  • Die folgenden Verbindungen können als konkrete Beispiele fĂŒr Cycloolefine, die durch die Formel [1-b] dargestellt werden, genannt werden. 3-Phenylbicyclo[2,2,1]hept-2-en 5-Methyl-5-phenylbicyclo [2,2,1] hept-2-en 5-Benzylbicyclo[2,2,1]hept-2-n 5-Tolybicyclo[2,2,1]hept-2-en 1,4-Methano-1,1a,4,4a- tetrahydrofluoren 1,4-Methano-1,4,4a,5,10,10a- hexahydroanthracen Cyclopentadien-acenaphthylen- Additionsprodukte 5-(α-naphthyl)bicyclo[2,2,1]hept- 2-en
  • Die statistischen Cycloolefin-Copolymere (A) umfassen Ethyleneinheiten und die obengenannten Cycloolefin-Einheiten als essentielle Komponenten; wenn notwendig, können diese Copolymere allerdings zusĂ€tzlich zu diesen beiden essentiellen Komponenten andere copolymerisierbare ungesĂ€ttigte Monomerkomponenten enthalten, so lang diese keine Hindemisse auf dem Weg zur Lösung der Aufgabe der vorliegenden Erfindung darstellen. Die ungesĂ€ttigten Monomere, die, wenn notwendig, mit den Copolymeren (A) copolymerisiert werden können, können beispielsweise alpha- Olefine mit 3 bis 20 Kohlenstoffatomen umfassen, wie z. B. Propylen, 1-Buten, 4-Methyl-1-penten, 1-Hexen, 1-Octen, 1- Decen, 1-Dodecen, 1-Tetradecen, 1-Hexadecen, 1-Octadecen und 1-Eicosen, die in einer Menge von bis zu Ă€quimolar zu der Ethylenkomponenteneinheit in dem resultierenden statistischen Copolymeren eingesetzt werden können.
  • In dem statistischen Cycloolefin-Copolymer [A], das einen Erweichungspunkt (TMA) von mindestens 70ÂșC hat, liegen die Repetiereinheiten [a], die von Ethylen abgeleitet sind, in einer Menge von 40 bis 85 mol%, vorzugsweise von 50 bis 75 mol% vor, wohingegen die Repetiereinheiten [b], die von dem Cycloolefin abgeleitet sind, in einer Menge von 15 bis 60 mol%, vorzugsweise von 25 bis 50 mol% vorliegen; diese Repetiereinheiten [a] und [b] sind in der im wesentlichen linearen Kette des Copolymeren [A] statistisch angeordnet. Der Molprozentgehalt der Repetiereinheiten [a] und [b] wurden durch ÂčÂłC-NMR bestimmt. Die Tatsache, daß dieses statistische Cycloolefin-Copolymer [A] in Dekalin bei 135ÂșC vollstĂ€ndig löslich ist, bestĂ€tigt, daß es im wesentlichen linear und frei von einer gelbildenden vernetzten Struktur ist.
  • Das statistische Cycloolefin-Copolymer [A] hat eine GrenzviskositĂ€t [η] von 0,05 bis 10 dl/g, vorzugsweise von 0,08 bis 5 dl/g, gemessen in Dekalin bei 135ÂșC.
  • Der Erweichungspunkt (TMA) des statistischen Cycloolefin- Copolymeren [A], der mit einem thermischen mechanischen Analysator gemessen wird, betrĂ€gt mindestens 70ÂșC, vorzugsweise 90 bis 250ÂșC und noch bevorzugter 100 bis 200ÂșC. Der Erweichungspunkt (TMA), auf den oben hingewiesen wurde, wurde durch Überwachung des thermischen Deformationsverhaltens einer 1-mm-Folie aus dem Copolymeren [A] bestimmt, wobei ein thermomechanischer Analysator, der von Du Pont hergestellt und verkauft wird, verwendet wurde. Genauer ausgedrĂŒckt, eine Quarznadel wurde senkrecht unter einer Last von 49 g auf der Folie angeordnet, dann wurde die Vorrichtung mit einer Geschwindigkeit von 5ÂșC/min erhitzt, und die Temperatur, bei der die Nadel in eine Tiefe von 0,635 mm in die Folie eindrang, wurde als TMA genommen. Dieses statistische Cycloolefin-Copolymer [A] hat normalerweise eine GlasĂŒbergangstemperatur (Tg) von 50 bis 230ÂșC, vorzugsweise von 70 bis 210ÂșC.
  • Die KristallinitĂ€t dieses statistischen Cycloolefin- Copolymeren [A], die durch Röntgenstrahldiffraktoinetrie gemessen wird, liegt normalerweise zwischen 0 und 10 %, vorzugsweise zwischen 0 und 7 % und noch bevorzugter zwischen und 5 %.
  • Die Cycloolefin-Copolymeren (A), die die statistische Cycloolefin-Copolymerzusammensetzung, die in der vorliegenden Erfindung zur Bildung des Substrates verwendet wird, bilden, können alle nach den Verfahren hergestellt werden, die von den Erfindern der vorliegenden Erfindung in den japanischen Offenlegungsschriften Nr. 168708/1985, 120816/1986, 115912/1986 und 115916/1986, 252406/1987, 252407/1987, 271308/1986 und 272216/1986 vorgeschlagen wurden, wobei die Bedingungen in geeigneter Weise ausgewĂ€hlt werden.
  • DarĂŒber hinaus kann in der vorliegenden Erfindung als Substratmaterial eine statistische Cycloolefin- Copolymerzusammensetzung verwendet werden, die ein statistisches Cycloolefin-Copolymer [A], das durch Copolymerisieren von Ethylen mit einem Cycloolefin, das durch die folgende Formel [I], [I-a] oder [I-b] dargestellt wird und eine GrenzviskositĂ€t [η] von 0,05 bis 10 dl/g, gemessen in Dekalin bei 135ÂșC, und einen Erweichungspunkt (TMA) von mindestens 70ÂșC hat, hergestellt wird, und ein statistisches Cycloolefin-Copolymer [B], das durch Copolymerisieren von Ethylen mit einem cycloolefin, das durch die Formel [I], [I- a] oder [I-b] dargestellt wird und eine GrenzviskositĂ€t [η] von 0,05 bis 5 dl/g, gemessen in Dekalin bei 135ÂșC, und einen Erweichungspunkt (TMA) von weniger als 70ÂșC hat, hergestellt wird, enthĂ€lt.
  • DarĂŒber hinaus kann das Substrat der magnetooptischen Aufzeichnungsinedien gemĂ€ĂŸ der vorliegenden Erfindung aus Polymeren bestehen, die Repetiereinheiten der allgemeinen Formel [III], welche aus einer Ringöffnung der Cycloolefinmonomeren [I] resultieren, haben, oder aus Polymeren, die Repetiereinheiten der allgemeinen Formel [IV], die aus einer Hydrierung der Einheiten [III] resultieren, haben, bestehen.
  • In der allgemeinen Formel [III] oder [IV] sind n und RÂč bis RÂčÂČ wie in der allgemeinen Formel [I] definiert.
  • Obgleich die Dicke des Substrats nicht besonders limitiert ist, betrĂ€gt sie vorzugsweise 0,5 bis 5 mm und insbesondere 1 bis 2 mm.
  • In der Erfindung sind die Materialien fĂŒr die Aufzeichnungsschicht 3 nicht auf spezielle beschrĂ€nkt. Wenn das verwendete Substrat 3 eine magnetooptische Aufzeichnungsschicht mit einer inonoaxialen Anisotropie senkrecht zur SchichtoberflĂ€che ist, besteht diese Aufzeichnungsschicht allerdings vorzugsweise aus mindestens einem Glied, das unter (i) 3d-Übergangsmetallen ausgewĂ€hlt ist, und mindestens einem Element, das unter (iii) Seltenerdelementen ausgewĂ€hlt ist; oder sie besteht aus mindestens einem Glied, das unter (i) 3d-Übergangsmetallen, (ii) einem korrosionsbestĂ€ndigen Metall ausgewĂ€hlt ist, und mindestens einem Element, das unter (iii) Seltenerdelementen ausgewĂ€hlt ist.
  • Die verwendeten 3d-Übergangsmetalle umfassen Fe, Co, Ti, V, Cr, Mn, Ni, Cu und Zn. Von diesen Metallen ist Fe oder Co oder sind beide bevorzugt.
  • Das korrosionsbestĂ€ndige Metall (ii) ist fĂ€hig, die oxidationsbestĂ€ndigkeit dieser magnetooptischen Aufzeichnungsschicht als Aufzeichnungsschicht 3 zu verbessern, indem dieses korrosionsbestĂ€ndige Metall in diese Aufzeichnungsschicht 3 eingearbeitet wird. Ein derartiges korrosionsbestĂ€ndiges Metall, das verwendet wird, umfaßt Pt, Pd, Ti, Zr, Ta, Mo, Nb und Hf. Von diesen Metallen sind Pt, Pd und Ti und insbesondere Pt oder Pd oder beide bevorzugt.
  • Die verwendeten Seltenerdelemente (iii) umfassen z. B. Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tin, Yb, Lu, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sin und Eu. Von diesen Elementen werden Gd, Tb, Dy, Ho, Nd, Sm und Pr bevorzugt.
  • Eine derartige magnetooptische Aufzeichnungsschicht, wie sie oben genannten ist, enthĂ€lt wĂŒnschenswerterweise das 3d- Übergangsmetall (i) in einer Menge von 30 bis 85 Atom%, vorzugsweise 40 bis 70 Atom%, das korrosionsbestĂ€ndige Metall (ii) in einer Menge von weniger als 30 Atom%, vorzugsweise 5 bis 25 Atom% und das Seltenerdelement (iii) in einer Menge von 5 bis 50 Atom%, vorzugsweise 25 bis 45 Atom%.
  • Wenn die verwendete Aufzeichnungsschicht 3 eine andere als die magnetooptische Aufzeichnungsschicht ist, die Aufzeichnungsschicht z. B. eine Aufzeichnungsschicht des PhasenĂ€nderungstyps ist, besteht diese Aufzeichnungsschicht 3 aus einem Legierungsfilm, der z. B. im wesentlichen aus Te oder Se besteht, und einem Te-Ge-Sb-Legierungsfilm, einem In- Sb-Te-Legierungsfilm, einem Te-Ge-Cr-Legierungsfilm oder einem Te-Ge-Zn-Legierungsfilm. Ferner kann ein organischer Farbstoffilm, der aus Polymethinverbindungen oder Cyaninverbindungen besteht, als Aufzeichnungsschicht des PhasenĂ€nderungstyps verwendet werden.
  • Obgleich die Dicke der Aufzeichnungsschicht 3 nicht besonders limitiert ist, betrĂ€gt sie 50 bis 5000 Å, vorzugsweise 100 bis 2000 Å.
  • In dem ersten Informationsaufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,1 bis 10 Atom% mindestens eines Elements (Metall), das unter Hafnium und Niobium ausgewĂ€hlt ist, enthĂ€lt.
  • Konkret ausgedrĂŒckt, die Metallschicht 4 besteht aus einer Aluminiumlegierung, die 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 6 Atom% Hafnium (Hf) enthĂ€lt, einer Aluminiumlegierung, die 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 6 Atom% Niobium (Nb) enthĂ€lt, oder aus einer Aluminiumlegierung, die sowohl Hafnium wie Niobium in einer Gesamtmenge von 0,1 bis 10 Atom% enthĂ€lt.
  • Die Metallschicht 4, wie sie oben erwĂ€hnt wurde, kann geringe Mengen mindestens eines anderen Metalls (Elements) zusĂ€tzlich zu Aluminium, Hafnium und/oder Niobium enthalten. Solche anderen Metalle, wie sie oben erwĂ€hnt wurden, umfassen beispielsweise Chrom (Cr, nur im Fall von Al-Nb-Legierung) Silizium (Si), Tantal (Ta), Kupfer (Cu), Wolfram (W), Zirkonium (Zr), Mangan (Mn), Magnesium (Mg, nur im Fall von Al-Nb-Legierung) und Vanadium (V). Die Menge dieser anderen Metalle, die in der metallischen Schicht, wenn ĂŒberhaupt, enthalten ist, betrĂ€gt ĂŒblicherweise weniger als 5 Atom%, vorzugsweise weniger als 2 Atom%.
  • In dem zweiten Informationsaufzeichnungsmedium der Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,1 bis 9,5 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Hafnium und 0,1 bis 5 Atom%, vorzugsweise 1 bis 3 Atom% Chrom enthĂ€lt.
  • In dieser Aluminiumlegierung ist der Gesamtgehalt an Hafnium und Chrom vorzugsweise weniger als 10 Atom%.
  • In einer AusfĂŒhrungsform der vorliegenden Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,1 bis 9,5 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Hafnium, 0,1 bis 5 Atom%, vorzugsweise 1 bis 3 Atom% Chrom und 0,1 bis 9,5 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Titan enthĂ€lt.
  • In dieser Aluminiumlegierung ist der Gesamtgehalt an Hafnium, Chrom und Titan vorzugsweise weniger als 10 Atom%.
  • Die Metallschichten des zweiten Informationsaufzeichnungsmediums der Erfindung und der AusfĂŒhrungsform, wie sie oben erlĂ€utert wurde, können zusĂ€tzlich zu dem Aluminium, Hafnium, Chrom und Titan noch geringe Mengen mindestens eines anderen Elements (Metalls) enthalten Solche anderen Elemente (Metalle) umfassen z. B. Silizium (Si), Tantal (Ta), Kupfer (Cu), Wolfram (W), Zirkonium (Zr), Mangan (Mn) und Vanadium (V). Die Menge dieser anderen Elemente (Metalle), die, wenn ĂŒberhaupt, in der Metallschicht enthalten ist, betrĂ€gt ĂŒblicherweise weniger als 5 Atom%, vorzugsweise weniger als 2 Atom%.
  • In dem dritten Informationsaufzeichnungsmedium der Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,5 bis 5 Atom%, vorzugsweise 1 bis 3 Atom% Hafnium und 0,5 bis 5 Atom%, vorzugsweise 1 bis 3 Atom% Titan enthĂ€lt.
  • In dieser Aluminiumlegierung betrĂ€gt der Gesamtgehalt an Hafnium und Titan 1 bis 5,5 Atom%, vorzugsweise 2 bis 4 Atom%.
  • Die Metallschicht einer weiteren AusfĂŒhrungsform der Erfindung, wie sie oben erlĂ€utert wurde, kann zusĂ€tzlich zu Aluminium, Hafnium und Titan noch geringe Mengen mindestens eines anderen Elements (Metalls) enthalten. Derartige andere Elemente (Metalle) umfassen z. B. Silizium (Si), Tantal (Ta), Kupfer (Cu), Wolfram (W), Zirkonium (Zr), Mangan (Mn) und Vanadium (V). Die Menge dieser anderen Elemente (Metalle), die, wenn ĂŒberhaupt, in der Metallschicht enthalten ist, betrĂ€gt normalerweise weniger als 5 Atom%, vorzugsweise weniger als 2 Atom%.
  • In dem vierten Informationsaufzeichnungsmedium der Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Hafnium und 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Magnesium enthĂ€lt.
  • In dieser Aluminiumlegierung betrĂ€gt der Gesamtgehalt an Hafnium und Magnesium weniger als 15 Atom%, vorzugsweise 1 bis 10 Atom%.
  • In einer weiteren AusfĂŒhrungsform der Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Hafnium und 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Magnesium und 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Titan enthĂ€lt.
  • In dieser Aluminiumlegierung betrĂ€gt der Gesamtgehalt an Hafnium, Magnesium und Titan wĂŒnschenswerterweise weniger als 15 Atom%, vorzugsweise 1 bis 10 Atom%.
  • In einer weiteren AusfĂŒhrungsform der Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Hafnium, 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Magnesium und nicht mehr als 10 Atom%, vorzugsweise 0,1 bis 10 Atom%, noch bevorzugter 1 bis 5 Atom% Chrom enthĂ€lt.
  • In dieser Aluminiumlegierung betrĂ€gt der Gesamtgehalt an Hafnium, Magnesium und Chrom wĂŒnschenswerterweise weniger als 15 Atom%, vorzugsweise 1 bis 10 Atom%.
  • In einer weiteren AusfĂŒhrungsform der Erfindung ist die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung gebildet, die 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Hafniuin und 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Magnesium, weniger als 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Chrom und 0,1 bis 10 Atom%, vorzugsweise 1 bis 5 Atom% Titan enthĂ€lt.
  • In dieser Aluminiumlegierung ist der Gesamtgehalt an Hafnium, Magnesium, Chrom und Titan wĂŒnschenswerterweise niedriger als 15 Atom%, vorzugsweise 1 bis 10 Atom%.
  • In dem vierten Informationsaufzeichnungsmedium der Erfindung und den weiteren AusfĂŒhrungsformen, wie sie oben erlĂ€utert wurden, können die Metallschichten jeweils zusĂ€tzlich zu Hafnium, Magnesium, Titan und Chrom geringe Mengen mindestens eines anderen Elements (Metalls) enthalten. Solche geringe Mengen an anderen Elementen (Metallen) umfassen z. B. Silizium (Si), Tantal (Ta), Kupfer (Cu), Wolfram (W), Zirkonium (Zr), Mangan (Mn) und Vanadium (V). Die Menge an derartigen Elementen (Metallen), die, wenn ĂŒberhaupt, in der Metallschicht enthalten ist, betrĂ€gt ĂŒblicherweise weniger als 5 Atom%, vorzugsweise weniger als 2 Atom%.
  • Die Dicke der obengenannten Metallschichten betrĂ€gt 100 bis 5000 Å, vorzugsweise 500 bis 3000 Å und insbesondere 700 bis 2000 Å.
  • Die in der vorliegenden Erfindung verwendeten Metallschichten erfĂŒllen ihre Funktion als gut wĂ€rmeleitfĂ€hige Schichten, und in Gegenwart dieser Metallschichten kann verhindert werden, daß der Mittelteil von Pits (Vertiefungen), die in den Aufzeichnungsschichten ausgebildet sind, durch Wirkung des Aufzeichnungslaserstrahls, der darauf angewendet wird, ĂŒbermĂ€ĂŸig auf eine hohe Temperatur erhitzt werden. Es wird angenommen, daß das Resultat darin besteht, daß die AbhĂ€ngigkeit der erfindungsgemĂ€ĂŸen Informationsaufzeichnungsmedien von der linearen Geschwindigkeit gering ist.
  • Die Metallschichten der Erfindung, die auch in Bezug auf KorrosionsbestĂ€ndigkeit hervorragend sind, zeigen das charakteristische Merkmal, daß die AbhĂ€ngigkeit der Informationsaufzeichnungsmedien von der linearen Geschwindigkeit selbst nach einer langen Betriebsdauer gering ist, und daß diese Metallschichten zum Schutz der Aufzeichnungsschichten Ă€ußerst leistungsfĂ€hig sind.
  • Der Aufbau der Informationsaufzeichnungsmedien der Erfindung, der in Fig. 1 dargestellt ist, ist zur ErlĂ€uterung, nicht aber zur BeschrĂ€nkung angegeben. Sie können beispielsweise hergestellt werden, indem ein Schutzfilm (VerstĂ€rkungsfilm) 5 auf dem oben erwĂ€hnten Substrat 5 bereitgestellt wird und dann außerdem die Aufzeichnungsschicht 3 und die Metallschicht 4 in dieser Reihenfolge angeordnet werden. Der Schutzfilm (VerstĂ€rkungsfilm) 5 wird wĂŒnschenswerterweise aus Si&sub3;N&sub4;, SiNx (0< x< 4/3), AlN, ZnSe, ZnS, Si oder CdS gebildet, obwohl keine BeschrĂ€nkung auf die genannten besteht. Die Dicke dieses Schutzfilms ist 100 bis 2000 Å, vorzugsweise etwa 300 bis 1500 Å. Von diesen Materialien, die zur Bildung des Schutzfilms verwendet werden, werden Si&sub3;N&sub4; und SiNx (0< x< 4/3) unter dem Gesichtspunkt der RißbestĂ€ndigkeit bevorzugt.
  • Die Funktion des Schutzfilms besteht darin, die Aufzeichnungsschicht zu schĂŒtzen, und gleichzeitig verstĂ€rkt er das Informationsaufzeichnungsmedium in seiner Empfindlichkeit und fungiert als VerstĂ€rkungsfilm. Eine derartige Schutzschicht hat wĂŒnschenswerterweise einen Brechungsindex, der grĂ¶ĂŸer als der des Substrats ist.
  • Die erfindungsgemĂ€ĂŸen Informationsaufzeichnungsmedien können hergestellt werden, indem auf dem Substrat die Aufzeichnungsschicht und die Metallschicht und, wenn notwendig, die Schutzschicht unter Verwendung von Filinbildungsverfahren wie z. B. Vakuumabscheidung, Sputtern, Elektronenstrahlabscheidung oder dgl. ausgebildet werden.
    • WIRKUNG DER ERFINDUNG
  • Die Informationsaufzeichnungsmedien der vorliegenden Erfindung, die die Metallschicht enthalten, welche aus einer speziellen Aluminiumlegierung besteht, sind in Bezug auf KorrosionsbestĂ€ndigkeit hervorragend, zeigen eine geringe AbhĂ€ngigkeit der Aufzeichnungsleistung von der linearen Geschwindigkeit und sind zum Schutz der Aufzeichnungsschicht Ă€ußerst leistungsfĂ€hig.
  • Die vorliegende Erfindung wird nun anhand von Beispielen erlĂ€utert, allerdings soll die Erfindung in keinster Weise auf diese Beispiele beschrĂ€nkt werden.
  • Der Ausdruck "optimale Aufzeichnungsleistung", der in den folgenden Beispielen verwendet wird, bezeichnet eine Aufzeichnungsleistung, bei der Speichersignale mit einer Frequenz von 1 MHz und einer Einschaltdauer von 50 % aufgezeichnet werden und die ein Minimum an sekundĂ€ren oberschwingungssignalen, die von den aufgezeichneten Signalen reproduziert werden, liefert. Aufzeichnungsmedien zeigen einen niedrigeren AbhĂ€ngigkeitsgrad von der linearen Geschwindigkeit, wenn die Informationsaufzeichnungsmedien eine geringere Differenz der optimalen Aufzeichnungsleistungen, die bei verschiedenen linearen Geschwindigkeiten bestimmt werden, zeigen.
    • BEISPIEL 1
  • Im folgenden wurde die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht zunĂ€chst nach dem folgenden Verfahren untersucht.
  • Auf einem Glassubstrat wurde eine Metallschicht, die aus einer Aluminium-Hafnium-Legierung bestand, nach einem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung, bei dem ein Aluminium-Hafnium-Verbundtargets eingesetzt wurde, in einer Dicke von 700 Å abgeschieden. Der Hafniumgehalt in der oben erwĂ€hnten Aluminium-Hafnium-Legierung (Schicht), die die Metallschicht bildete, betrug 4 Atom% und der Aluminiumgehalt war 96 Atom%.
  • Diese Metallschicht wurde nach ihrer Bildung fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, eingetaucht, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung der Änderung des Reflexionsfaktors der Metallschicht beurteilt wurde.
  • Der Reflexionsgrad der Metallschicht zeigte vor und nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung keine VerĂ€nderung
    • BEISPIEL 2
  • Auf einem Glassubstrat wurde eine Metallschicht, die aus einer Aluminium-Niobium-Legierung bestand, nach einem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Aluminium-Niobium-Verbundtargets in einer Dicke von 700 Å abgeschieden. Der Niobiumgehalt in der Aluminium-Niobium-Legierung (-sschicht), die die Metallschicht bildete, betrug nach der Bildung 4 Atom%.
  • Diese Metallschicht wurde fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, getaucht, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung einer Änderung im Reflexionsfaktor der Metallschicht beurteilt wurde.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht war vor und nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung unverĂ€ndert.
    • VERGLEICHSBEISPIEL 3
  • Auf einem Glassubstrat wurde nach einem Beschichtungsverfahren durch Vakuumz erstĂ€ubung unter Verwendung eines Aluminiumtargets eine Metallschicht, die aus Aluminium bestand, in einer Dicke von 700 Å abgeschieden.
  • Diese Metallschicht wurde fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, getaucht, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung einer Änderung des Reflexionsgrads dieser Metallschicht beurteilt wurde.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht, der nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung gemessen wurde, war um etwa 30 % niedriger, als der, der vor dem Eintauchen gemessen wurde.
    • BEISPIEL 3
  • Auf einem Plattensubstrat, das aus einem amorphen Copolymer aus Ethylen mit 1,4,5,8-Dimethan-1,2,3,4,4a,5,8,8a- octahydronaphthalin (Strukturformel: nachfolgend als DMON abgekĂŒrzt) bestand, wobei das amorphe Copolymer einen Gehalt an Ethyleneinheiten, bestimmt durch NMR-Analyse, von 59 mol% hatte, eine GrenzviskositĂ€t [&eta;] von 0,42 dl/g, gemessen in Dekalin bei 135ÂșC, und eine Erweichungstemperatur (TMA) von 154ÂșC hatte, wurden sukzessive ein Schutzfilm, der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, in einer Dicke von 1100 Å und eine Aufzeichnungsschicht, die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, in einer Dicke von 260 Å abgeschieden, und zwar nach dem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung; darauf wurde eine Metallschicht, die aus einer Aluminium-Hafnium-Legierung bestand, mit Hilfe des Schichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Aluminium-Hafnium-Verbundtarget in einer Dicke von 700 Å abgeschieden. Der Hafniumgehalt in der Aluminium-Hafnium-Legierung (-sschicht), die die Metallschicht bildete, betrug 4 Atom%, und der Aluminiumgehalt war 96 Atom%.
  • Das Informationsaufzeichnungsmedium, das auf diese Weise erhalten worden war, wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und Schutzfunktion der Metallschicht fĂŒr die Aufzeichnungsschicht durch Messung einer Änderung des Reflexionsfaktors dieses Informationsaufzeichnungsmediums beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsfaktor des Inforinationsaufzeichnungsmediums zeigte vor und nach Halten dieser Metallschicht in der Umgebung von 80ÂșC und eine relativen Feuchtigkeit von 85 % keine VerĂ€nderung.
  • Diese Tatsache zeigt, daß die Metallschicht in Bezug auf KorrosionsbestĂ€ndigkeit und LeistungsfĂ€higkeit beim Schutz der Aufzeichnungsschicht hervorragend ist.
    • BEISPIEL 4
  • Beispiel 3 wurde wiederholt, außer daß die gebildete Metallschicht eine Dicke von 500 Å hatte.
  • Das erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, um den Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums zu messen, wobei der Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums sich nicht Ă€nderte.
  • Die optimale Aufzeichnungsleistung dieses Informationsaufzeichnungsmediums bei einer linearen Geschwindigkeit von 5,7 m/sec war 3,7 mW, die optimale Aufzeichnungsleistung bei einer linearen Geschwindigkeit von 11,3 m/sec war 5,2 mW.
    • VERGLEICHSBEISPIEL 2
  • Auf ein Substrat, das in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive ein Schutzfilm, der aus Si&sub3;N&sub4; bestand und eine Aufzeichnungsschicht, die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, nach dem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung abgeschieden; darauf wurde eine Metallschicht, die aus Aluminium bestand, mit dem Schichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Aluminiumtargets in einer Dicke von 700 Å abgeschieden.
  • Das auf diese Weise erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und Schutzfunktion der Metallschicht fĂŒr die Aufzeichnungsschicht durch Messung einer VerĂ€nderung des Reflexionsfaktors dieses Informationsaufzeichnungsmediums beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsfaktor dieses Informationsaufzeichnungsmediums der nach Halten dieses Aufzeichnungsmediums gemessen wurde, war um etwa 15 % niedriger als der, der vor dem Halten gemessen wurde.
    • BEISPIEL 5
  • Im folgenden wurde die KorrosionsbestĂ€ndigkeit einer Metallschicht, die aus einer Aluminium-Hafnium-Chrom- Legierung bestand, nach dem folgenden Verfahren untersucht.
  • Auf einem Glassubstrat wurde eine Metallschicht, die aus einer Aluminium-Hafnium-Chrom-Legierung bestand, durch das Beschichtungsverfahren der VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Aluminium-Chrom-Hafnium-Verbundtargets in einer Dicke von 1000 Å abgeschieden.
  • Die Gehalte der so gebildeten Metallschicht an Hafnium und Chrom waren jeweils 2 Atom%.
  • Diese Metallschicht wurde fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, eingetaucht, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung der Änderung des Reflexionsfaktors der Metallschicht beurteilt wurde.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht vor und nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung zeigte keine Änderung.
  • Die Anzahl kleiner Löcher in der Metallschicht nach dem oben erwĂ€hnten Eintauchen war weniger als 50 StĂŒck (49 StĂŒck) pro OberflĂ€cheneinheit (5 cm x 5 cm).
    • BEIPSIEL 6
  • Auf einem Substrat, das in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive ein Schutzfilm (1100 Å Dicke), der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, und eine Aufzeichnungsschicht (260 Å Dicke), der aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung abgeschieden, darauf wurde eine Metallschicht (500 Å Dicke), die aus einer Al-Cr-Hf-Legierung bestand, mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Al-Cr-Hf abgeschieden. Die Gehalte an Cr und Hf in der Al-Legierung (-sschicht), die die erhaltene Metallschicht bildete, waren jeweils 2 Atom%.
  • Das erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und Schutzfunktion der Metallschicht fĂŒr die Aufzeichnungsschicht durch Messung einer VerĂ€nderung des Reflexionsfaktors des Informationsaufzeichnungsmediums und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsgrad des Informationsaufzeichnungsmediums zeigte vor und nach dem Halten in der Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % keine VerĂ€nderung.
  • Die optimale Aufzeichnungsleistung dieses Informationsaufzeichnungsmediums bei einer linearen Geschwindigkeit von 5,7 m/sec war 3,6 mw, und die optimale Aufzeichnungsleistung bei einer linearen Geschwindigkeit von 11,3 m/sec betrug 5,3 mW.
    • BEISPIEL 7
  • Auf einem Substrat, das in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive ein Schutzfilm, der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, und eine Aufzeichnungsschicht (500 Å Dicke), die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) nach dem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung abgeschieden, und darauf wurde eine Metallschicht (700 Å Dicke), die aus einer Al-Cr-Hf-Legierung bestand, mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Al-Cr-Hf abgeschieden. Die Gehalte an Cr und Hf in der Al- Legierung (-sschicht), die die erhaltene Metallschicht bildete, waren jeweils 2 Atom%.
  • Das erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und Schutzfunktion der Metallschicht fĂŒr die Aufzeichnungsschicht durch Messung einer VerĂ€nderung des Reflexionsfaktors des Informationsaufzeichnungsmediums und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums war vor und nach dem Halten desselben in der Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % unverĂ€ndert.
    • VERGLEICHSBEISPIEL 3
  • Auf einem Glassubstrat wurde eine Metallschicht, die aus einer Aluminium-Chrom-Legierung bestand, mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzersĂ€tugung unter Verwendung eines Aluminium-Chrom-Verbundtargets in einer Dicke von 1000 Å ausgebildet.
  • Der Chromgehalt der auf diese Weise gebildeten Metallschicht betrug 2 Atom%.
  • Diese Metallschicht wurde fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, eingetaucht.
  • Nach 4-stĂŒndigem Eintauchen wurden VerĂ€nderungen beim Reflexionsfaktor und dem OberflĂ€chenprofil der Metallschicht gemessen. Der Reflexionsfaktor der Metallschicht, der gemessen wurde, war um etwa 2 % erniedrigt.
  • Die Anzahl der kleinen Löcher, die in der Metallschicht beobachtet wurden, betrug etwa 70 StĂŒck pro OberflĂ€cheneinheit des Films (5 cm x 5 cm).
    • VERGLEICHSBEISPIEL 4
  • In der gleichen Weise wie in Vergleichsbeispiel 3, allerdings unter Verwendung eines Verbundtargets aus Aluminium-Chrom- Legierung, das sich in der Zusammensetzung von dem Verbundtarget, das in Vergleichsbeispiel 3 eingesetzt wurde, unterschied, wurde eine Metallschicht erhalten, die 4 Atom% Chrom enthielt.
  • Diese Metallschicht wurde in der gleichen Weise wie in Vergleichsbeispiel 3 in eine wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung eingetaucht, um VerĂ€nderungen des Reflexionsgrades und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht nach ihrem Eintauchen zu messen.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht zeigte vor und nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung keine VerĂ€nderung, und die Anzahl der kleinen Löcher, die nach dem Eintauchen in der Metallschicht beobachtet wurden, betrug etwa 70 StĂŒck pro FilmoberflĂ€cheneinheit (5 cm x 5 cm).
    • BEISPIEL 8
  • Im folgenden wurden KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschichten, die aus einer Aluminium-Hafnium-Titan- Legierung bestanden, untersucht.
  • Auf einem Glassubstrat wurde nach dem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargts aus Aluminium(Al)-Hafnium(Hf)-Titan(Ti) eine Metallschicht, die aus einer Aluminium-Hafnium-Titan-Legierung bestand, ausgebildet.
  • Der Titangehalt der auf diese Weise erhaltenen Metallschicht betrug 1 Atom%, und der Hafniumgehalt desselben betrug 2 Atom%.
  • Die Metallschicht wurde fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, eingetaucht, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung eine VerĂ€nderung des Reflexionsfaktors der Metallschicht und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht beurteilt wurde.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht zeigte vor und nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung keine Änderung, und die Anzahl der kleinen Löcher, die nach dem Eintauchen in der Metallschicht beobachtet wurden, war weniger als 40 StĂŒck (38 StĂŒck) pro OberflĂ€cheneinheit des Films (5 cm x 5 cm).
    • BEISPIEL 9
  • Eine Metallschicht, die 2 Atom% Titan und 1 Atom% Hafnium enthielt, wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 erhalten, allerdings wurde ein Verbundtarget, das aus einer Aluminium-Titan-Hafnium-Legierung bestand, die sich in der Zusammensetzung von dem Verbundtarget, das in Beispiel 8 verwendet wurde, unterschied.
  • Diese Metallschicht wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 7 in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung eingetaucht, um die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung der VerĂ€nderungen des Reflexionsfaktors und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht nach dem Eintauchen derselben zu bewerten.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht zeigte vor und nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung keine VerĂ€nderung, und die Anzahl der kleinen Löcher, die nach dem Eintauchen in der Metallschicht beobachtet wurden, war weniger als 40 StĂŒck (33 StĂŒck) pro OberflĂ€cheneinheit des Films (5 cm x 5 cm).
    • BEISPIEL 10
  • Auf einem Substrat, das in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive ein Schutzfilm (1100 Å Dicke), der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, und eine Aufzeichnungsschicht (260 Å Dicke), die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, nach dem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung abgeschieden, und darauf wurde nach dem Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Al-Hf-Ti eine Metallschicht (500 Å Dicke), die aus Al-Hf-Ti- Legierung bestand, abgeschieden.
  • Das auf diese Weise erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und Schutzfunktion der Metallschicht durch Messung einer VerĂ€nderung beim Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums zeigte vor und nach dem Halten des Aufzeichnungsmediums in der Umgebung von 80ÂșC und einer relativen Feuchtigkeit von 85 % keine VerĂ€nderung.
  • Die optimale Aufzeichnungsleistung dieses Informationsaufzeichnungsmediums bei einer linearen Geschwindigkeit von 5,7 m/sec betrug 3,3 mW, die optimale Aufzeichnungsleistung bei einer linearen Geschwindigkeit von 11,3 m/sec betrug 4,7 mw.
    • VERGLEICHSBEISPIEL 5
  • In der gleichen Weise wie in Beispiel 8, allerdings unter Verwendung eines Verbundtargets aus Aluminium-Titan anstelle von Aluminium-Titan-Hafnium, das in Beispiel 8 verwendet wurde, wurde eine Metallschicht erhalten, die 2 Atom% Titan enthielt.
  • Diese Metallschicht wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung eingetaucht, um KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung von VerĂ€nderungen des Reflexionsfaktors und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht nach ihrem Eintauchen zu beurteilen.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht wurde durch das Eintauchen der Metallschicht um etwa 8 % erniedrigt. Die Anzahl von kleinen Löchern, die in der Metallschicht beobachtet wurden, betrug etwa 51 StĂŒck pro FilmoberflĂ€cheneinheit (5 cm x 5 cm).
    • VERGLEICHSBEISPIEL 6
  • In der gleichen Weise wie in Vergleichsbeispiel 5, wurde eine Metallschicht, die aus einer Aluminium-Titan-Legierung bestand, welche 4 Atom% Titan enthielt, ausgebildet.
  • Diese Metallschicht wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung eingetaucht, um VerĂ€nderungen die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung von VerĂ€nderungen des Reflexionsfaktors und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht nach Eintauchen derselben zu beurteilen.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht verringerte sich durch das Eintauchen um etwa 2 %. Die Anzahl von kleinen Löchern, die in der Metallschicht beobachtet wurden, war mehr als 115 StĂŒck pro FilmoberflĂ€cheneinheit (5 cm x 5 cm).
    • BEISPIEL 11
  • Auf einem Substrat, wie es in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive mittels Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung ein Schutzfilm (1000 Å Dicke), der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, und eine Aufzeichnungsschicht (500 Å Dicke), die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, abgeschieden, und darauf wurde eine Metallschicht (700 Å Dicke), die aus einer Al-Hf-Ti-Legierung bestand, mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Al-Hf-Ti abgeschieden.
  • Das auf diese Weise erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und mit einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und die Schutzfunktion der Metallschicht durch Messung einer Änderung des Reflexionsfaktors dieses Informationsaufzeichnungsmediums beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums zeigte vor und nach Halten dieses Aufzeichnungsmediums in einer Umgebung von 80ÂșC und mit einer relativen Feuchtigkeit von 85 % keine VerĂ€nderung.
    • BEISPIEL 12
  • Auf einem Substrat wurden mittels Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Aluininium(Al)-Hafnium(Hf)-Magnesium(Mg) eine Metallschicht (1000 Å Dicke), die aus einer Aluminium- Hafnium-Magnesium-Legierung bestand, ausgebildet.
  • Diese Metallschicht wurde fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, getaucht, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht durch Messung einer VerĂ€nderung des Reflexionsfaktors dieser Metallschicht und des OberflĂ€chenprofils der Metallschicht beurteilt wurde.
  • Der Reflexionsfaktor der Metallschicht zeigte vor und nach dem Eintauchen der Metallschicht in die wĂ€ĂŸrige Natriumchloridlösung keine VerĂ€nderung, und die Anzahl von kleinen Löchern, die in der Metallschicht beobachtet wurden, war weniger als 30 StĂŒck (25 StĂŒck) pro OberflĂ€cheneinheit des Films (5 cm x 5 cm).
    • BEISPIELE 13 BIS 14
  • In der gleichen Weise wie in Beispiels 12, allerdings unter Verwendung der in Tabelle 1 angefĂŒhrten Verbundtargets wurden Metallschichten ausgebildet. Der Atomgehalt und die Anzahl von kleinen Löchern in den auf diese Weise gebildeten Schichten sind in Tabelle 1 angegeben. TABELLE 1
    • BEISPIEL 15
  • Auf einem Substrat, das in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung ein Schutzfilm (1100 Å Dicke), der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, und eine Aufzeichnungsschicht (260 Å Dicke), die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, abgeschieden, und darauf wurde mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Aluminium(Al)-Hafnium(Hf)-Magnesium(Mg) eine Metallschicht (500 Å Dicke), die aus einer Al-Mg-Hf-Legierung bestand, abgeschieden. In der Al-Legierung (-sschicht), die die Metallschicht, wie sie oben gebildet wurde, bildet, betrug der Mg-Gehalt 4 Atom% und der Hf-Gehalt 2 Atom%.
  • Das auf diese Weise erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und mit einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten.
  • Der Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums zeigte vor und nach dem Halten des Aufzeichnungsmediums in einer Umgebung von 80ÂșC und mit einer relativen Feuchtigkeit von 85 % keine VerĂ€nderung.
  • Die optimale Aufzeichnungsleistung dieses Informationsaufzeichnungsmediums bei einer linearen Geschwindigkeit von 5,7 m/sec betrug 4,0 mW, die optimale Aufzeichnungsleistung bei einer linearen Geschwindigkeit von 11,3 m/sec betrug 5,6 mw.
    • VERGLEICHSBEISPIEL 7
  • Auf einem Glassubstrat wurde mittels Beschichtungsverfahren durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Aluminium-Magnesium eine Metallschicht (1000 Å Dicke) ausgebildet, die aus einer Aluminium-Magnesium-Legierung bestand.
  • Der Magnesiumgehalt in der auf diese Weise erhaltenen Metallschicht betrug 5 Atom%.
  • Diese Metallschicht wurde fĂŒr 4 Stunden bei 60ÂșC in eine wĂ€ĂŸrige Lösung, die 10 Gew.% Natriumchlorid enthielt, eingetaucht.
  • Der Reflexionsfaktor der eingetauchten Metallschicht verringerte sich durch das obengenannte Eintauchen um etwa 2 %. Die Anzahl an kleinen Löchern, die in der Metallschicht beobachtet wurden, war etwa 70 StĂŒck pro OberflĂ€cheneinheit des Films (5 cm x 5 cm).
    • ZUSATZBEISPIELE 1 UND 2 ZUSATZBEISPIEL 1
  • Auf einem Substrat, das in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive mit Hilfe des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung ein Schutzfilm (1100 Å Dicke), der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, und eine Aufzeichnungsschicht (260 Å Dicke), die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, abgeschieden, und darauf wurde mittels des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Al-Hf-Ti eine Metallschicht (500 Å Dicke), die aus einer Al- Hf-Ti-Legierung (Al-Gehalt: 96 Atom%; Hf-Gehalt: 2 Atom%, Ti- Gehalt: 2 Atom%) abgeschieden.
  • Das auf diese Weise erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und mit einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und die Schutzfunktion der Metallschicht durch Messung einer Änderung des Reflexionsfaktors des Informationsaufzeichnungsmediums beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums zeigte vor und nach Halten dieses Aufzeichnungsmediums in einer Umgebung von 80ÂșC und mit relativer Feuchtigkeit von 85 % keine VerĂ€nderung.
  • Die optimale Aufzeichnungsleistung dieses Informationsaufzeichnungsmediums bei einer linearen Geschwindigkeit von 5,7 m/sec war 3,3 mW, und die optimale Aufzeichnungsleistung bei einer linearen Geschwindigkeit von 11,3 m/sec war 4,7 mW.
    • ZUSATZBEISPIEL 2
  • Auf einem Substrat, das in Beispiel 3 verwendet worden war, wurden sukzessive unter Verwendung des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung ein Schutzfilm (1000 Å Dicke), der aus Si&sub3;N&sub4; bestand, und eine Aufzeichnungsschicht (500 Å Dicke), die aus Pt&sub1;&sub0;Tb&sub2;&sub9;Fe&sub5;&sub5;Co&sub6; (Atom%) bestand, abgeschieden, und darauf wurde mittels des Beschichtungsverfahrens durch VakuumzerstĂ€ubung unter Verwendung eines Verbundtargets aus Al-Hf-Ti eine Metallschicht (700 Å Dicke), die aus einer Al-Hf-Ti-Legierung (Al-Gehalt: 96 Atom%; Hf-Gehalt: 2 Atom%, Ti-Gehalt: 2 Atom%) bestand, abgeschieden.
  • Das auf diese Weise erhaltene Informationsaufzeichnungsmedium wurde fĂŒr etwa 720 Stunden in einer Umgebung von 80ÂșC und mit einer relativen Feuchtigkeit von 85 % gehalten, wobei die KorrosionsbestĂ€ndigkeit der Metallschicht und die Schutzfunktion der Metallschicht durch Messung einer Änderung des Reflexionsfaktors des Informationsaufzeichnungsmediums beurteilt wurden.
  • Der Reflexionsfaktor des Informationsaufzeichnungsmediums zeigte vor und nach dem Halten des Aufzeichnungsmediums in einer Umgebung von 80ÂșC und mit relativer Feuchtigkeit von 85 % keine VerĂ€nderung.

Claims (10)

1. Informationsaufzeichnungsmedium, das ein Substrat und darauf eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, 0,1 bis 10 Atom% mindestens eines Elements, ausgewĂ€hlt aus Hafnium und Niobium, enthĂ€lt.
2. Informationsaufzeichnungsmedium, das ein Substrat und darauf eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, 0,1 bis 9,5 Atom% Hafnium und 0,1 bis 5 Atom% Chrom enthĂ€lt, und der Gesamtgehalt an Hafnium und Chrom weniger als 10 Atom% ist.
3. Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, in dem die Metallschicht, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, zusÀtzlich 0,1 bis 9,5 Atom% Titan enthÀlt, und der Gesamtgehalt an Hafnium, Chrom und Titan weniger als 10 Atom% ist.
4. Informatipnsaufzeichnungsmedium, das ein Substrat und darauf eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, 0,5 bis 5 Atom% Hafnium und 0,5 bis 5 Atom% Titan enthĂ€lt, und der Gesamtgehalt an Hafnium und Titan 1 bis 5,5 Atom% ist.
5. Informationsaufzeichnungsmedium, das ein Substrat und darauf eine Aufzeichnungsschicht und eine Metallschicht umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht aus einer Aluminiumlegierung besteht, die, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, 0,1 bis 10 Atom% Hafnium und 0,1 bis 10 Atom% Magnesium enthĂ€lt, und der Gesamtgehalt an Hafnium und Magnesium weniger als 15 Atom% ist.
6. Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 5, in dem die Metallschicht zusÀtzlich, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, 0,1 bis 10 Atom% Titan enthÀlt, und der Gesamtgehalt an Hafnium, Magnesium und Titan weniger als 15 Atom% ist.
7. Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 5, in dem die Metallschicht zusÀtzlich, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, nicht mehr als 10 Atom% Chrom enthÀlt, und der Gesamtgehalt an Hafnium, Magnesium und Chrom weniger als 15 Atom% ist.
8. Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 5, in dem die Metallschicht, bezogen auf die gesamten Atome, die die Aluminiumlegierung bilden, 0,1 bis 10 Atom% Titan und weniger als 10 Atom% Chrom enthÀlt, und der Gesamtgehalt an Hafnium, Magnesium, Titan und Chrom weniger als 15 Atom% ist.
9. Informationsaufzeichnungsinedium nach einem der AnsprĂŒche 1 bis 8, in dem die Aufzeichnungsschicht eine magnetooptische Aufzeichnungsschicht ist.
10. Informationsaufzeichnungsmedium nach einem der AnsprĂŒche 1 bis 8, in dem die Metallschicht eine Filmdicke von 100 bis 5000 Å hat.
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