DE69010447T2 - Tintenstrahldruckkopf. - Google Patents
Tintenstrahldruckkopf.Info
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Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Druckköpfe und Druckerpatronen für das thermische Tintenstrahldrucken auf Anforderung (im weiteren als "Bubble-Jet" bezeichnet) und im besonderen auf Konstruktionen, die diese Druckerpatronen verbessern, indem sie eine neuartige Tintenführung zwischen dem Tintenvorratsbereich und dem Bereich der Tropfenbildung bereitstellen.
- Bei der Entwicklung von Bubble-Jet Vorrichtungen haben sich grundsätzlich zwei Lösungen für den Tropfenausstoß herausgebildet: (i) Ausstoßen der Tropfen parallel zur Oberfläche der Heizelemente und ihrer elektrischen Schaltungen, und (ii) Ausstoßen der Tropfen senkrecht zur Oberfläche der Heizelemente. US-A-4,330,787 beschreibt einige Vorteile der letztgenannten Vorrichtungen, nachfolgend als Senkrechttropfenausstoßer bezeichnet.
- Eine andere Möglichkeit der Eingruppierung von Bubble-Jet Vorrichtungen besteht darin, daß man unterscheidet, ob der Tintendruckkopf einen von ihin räumlich getrennten (aber mit ihm über eine Leitung verbundenen) oder einen an ihm befestigten Tintenvorratsbehälter besitzt. In der letztgenannten Kategorie bilden der Druckkopf und der Tintenvorrat eine Druckerpatrone, die innerhalb des Druckers als Einheit verfahrbar ist, und die Druckerpatrone oder ihr Tintenbehälter werden ersetzt, wenn die Tinte verbraucht ist. Jede der Lösungen, mit räumlich getrenntemn und befestigtemn Tintenvorrat, besitzt für verschiedene Ausführungsformen von Druckern ihre Vorteile. Beispielsweise ist die Lösung einer entfernbaren Druckerpatrone für kleine, tragbare Drucker wünschenswert. Eine große Zahl verschiedener Ausgestaltungen für Druckerpatronen ist erfunden worden.
- Wie z.B. in US-A-4,567,493, US-A-4,500,895, US-A-4,680,859 und US-A- 4,771,295 erwähnt, ist die typische Lösung für die Tintenführung von Tintenvorrat einer Druckerpatrone zur Tropfenausstoß zone, indem man Öffnungen, z.B. Löcher oder Schlitze, durch den Treiber-Chip hindurch ausformt, auf dem die Heizelemente und die Leitungen ausgebildet sind. Diese Lösung arbeitet gut bei "Senkrechttropfenausstoßern" da der Tintenvorrat auf der anderen Seite des Treiber-Chips von der Düsenplatte oder Druckzone aus angebracht werden kann.
- Jedoch birgt die Ausbildung der Öffnungen durch den Treiber-Chip einige Schwierigkeiten. Erstens wird ein zusätzlicher Produktionsschritt benötigt, der zeitaufwendig ist, und der zerbrechliche Chip-Substrat kann dadurch beschädigt werden. Zweitens schwächen die Schlitze und Löcher durch den Chip dessen strukturelle Stabilität, und es kann zum Bruch oder Riß während nachfolgender Montageschritte bei der Druckerpatronenherstellung kommen. Ebenso nehmen die Öffnungen einen Teil der aktiven Oberfläche des Chips ein.
- Eine Aufgabe der gegenwärtigen Erfindung ist es eine verbesserte Konfiguration für Druckerpatronen zum "Senkrechttropfenausstoß" zur Verfügung zu stellen, um die Ausbildung von Löchern oder Schlitzen durch den Treiber-Chip der Druckerpatrone zu vermeiden. Eine andere Aufgabe der gegenwärtigen Erfindung ist es, eine Konstruktion einer Druckerpatrone zur Verfügung zu stellen, die in ihrer Gesamtheit eine Konfiguration besitzt, die einfach herzustellen ist und mit guter Zuverlässigkeit bei der Bereitstellung der Tinte vom Vorrat zum Druckmedium arbeitet. Eine andere Aufgabe der Erfindung ist es, ein verbessertes Verfahren zur Herstellung dieser Druckerpatronen bereitzustellen.
- In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel umfaßt die gegenwärtige Erfindung eine verbesserte Bubble-Jet-Druckerpatrone, die gekennzeichnet ist durch:
- (a) einen Tintentank mit einem von Wandungen umgebenen Tintenvorratsbereich und mit einem einen Tintenzuführ- und -abgabebereich umfassenden Wandungsteil, das (i) eine Außen- und eine Innenseite sowie (ii) Tintenführungen aufweist, die sich vom Mittelpunkt der dem Tintenvorratsbereich zugewandten Innenseite bis zu einer Auslaßöffnung/Auslaßöffnungen in der Außenseite des Wandungsteils erstrecken;
- (b) einen Ein-Chip-Druckkopf, der ein durchgehendes Substrat mit Widerstandsheizelementen und Elektrodenzuleitungen umfaßt, die auf einer oberen Substratfläche angeordnet sind, wobei die untere Substratfläche in der Nähe einer Schmalseite/von Schmalseiten des Chips an der Außenseite des Wandungsteils angebracht ist, ohne die Tintenauslaßöffnung(en) abzudecken,
- (c) eine erhöhte Tintenbarriere, die auf der Außenseite des Wandungsteils und der Oberseite des Chips ausgebildet ist und sich unter Freilassung der Anschlußbereiche der Elektrodenzuleitungen um die Heizelemente des Chips und um die Tintenauslaßöffnung(en) herum erstreckt und so hoch ist, daß sie über die Oberseite des Chips hinausragt, und
- (d) eine Düsenplatte, deren Randbereiche an der Oberseite der Tintenbarriere befestigt sind.
- Die nachstehende Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele nimmt Bezug auf die Zeichnung. Die Zeichnung zeigt in:
- Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer bevorzugten Druckerpatrone,
- Fig. 2, 2A, 3, 3A, 4, 4A, 5 und 5A jeweils eine perspektivische Ansicht von Detailkonstruktionen der Komponenten der Druckerpatrone aus Fig. 1 und jeweils eine schematische Darstellung der Produktionsschritte dieser Tintenpatrone,
- Fig. 6, 6A, 7, 7A, 8, 8A, 9, 9A, 10 und 10A jeweils eine perspektivische Ansicht, ähnlich der aus den Fig. 2 bis 5A, aber von einer anderen bevorzugten Druckerpatrone und Produktionsverfahren gemäß der gegenwärtigen Erfindung, und
- Fig. 11, 11A, 12, 12A, 13, 13A und 14 jeweils eine perspektivische Ansicht, ähnlich der aus den Figur 2 bis 5A und 6 bis 10A, aber von einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
- Die in Fig. 1 gezeigte und gemäß eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der gegenwärtigen Erfindung konstruierte Druckerpatrone 1 umfaßt einen Tintenvorratsbehälter, bestehend aus Seitenwandungen 2, Bodenwandungen 3 und einer Kappenkonstruktion 4. Die Kappenkonstruktion kann einen Verschluß und ein Rahmenteil 6 umfassen, das derart bemessen ist, daß es die oberen Enden der Wandungen 2 des Tintenvorrats und ein Tintenzuführbauteil 10 umschließt, das so gestaltet ist, damit es in den inneren Umfang des Rahmenbauteils 6 paßt.
- Wie in Fig. 2 und 2A gezeigt besitzt das Tintenzuführbauteil 10 eine Einlaßröhre 11, die sich von deren Rückflächel Innenfläche in den Tintenvorratsbereich hinein erstreckt. An der Vorderfläche/Außenfläche des Tintenzuf ührbauteils 10 ist ein H-förmiger Ausschnitt 12 ausgebildet. Eine Tintenführung 13 erstreckt sich von der Röhre 11 durch die Dicke des Tintenzuführbauteils und endet in der Mitte des Ausschnitts 12. Die Verbindung des Ausschnitts 12 ermöglicht einen Tintenfluß zu den sich gegenüberliegenden parallelen Teilen dieses Ausschnitts 12. Falls es gewünscht wird, können das Tintenzuführbauteil und das Rahmenbauteil als einstückiges Kappenteil ausgebildet sein.
- Wie am besten in Fig. 2 und 2A gezeigt, ist der Tropfenausstoß-Chip auf dem Tintenzuführbauteil 10 befestigt. Chip 20 kann ein dielektrisches Substrat 21, z. B. Silizium oder Glas sein, auf dem eine Vielzahl von Heizelementen 22, Elektrodenzuleitungen 23, Referenzelektroden 24 und Verbindungspunkten 25 ausgebildet sind. Die Heizelemente und die Elektroden können mit einer isolierenden und schützenden Schicht (nicht dargestellt, aber bekannt) überzogen werden. Der Ausschnitt 12 ist entsprechend dem Chip-Substrat bemessen, so daß, wenn der Chip 20 auf dem Tintenzuführbauteil 10 und über der Verbindung des Ausschnitts 12 befestigt wird, der Ausschnitt 12 größtenteils von der unteren Fläche des Substrats 21 bedeckt wird. Es bleibt jedoch ein Teil der parallelen Abschnitte 12a, 12b des Abschnitts offen, um einen Tintenfluß vom Vorratsraum zu den Kanten des Chips 20 zu ermöglichen.
- Dann, wie in Fig. 3 und 3A gezeigt, wird eine Tintenbarriere und Verzweigungsschicht 30, z. B. ein Polymer, auf der Oberseite des Chips und Tintenzuführbauteils ausgeformt oder angebracht. Die Schicht 30 bildet eine Tintenbarrierengrenze, die die offenen Abschnitte 12a, 12b des Ausschnitts und die Widerstandsheizelemente 22 auf dem Chip umgibt. Die polymere Schicht 30 kann ebenfalls eine Vielzahl von Stegen 32 umfassen, die sich zwischen den Ausschnitten 12a, 12b über die Oberfläche des Chips 20 erstrecken und die einzelnen Widerstandsheizelemente 22 voneinander trennen. Dies versorgt jedes Heizelement mit einem relativ isolierten Tintenzufluß aus den entsprechenden Kanälen, die zwischen den Stegen 32 ausgebildet sind.
- Dann, wie in Fig. 4 und 4A gezeigt, wird eine Düsenplatte 40 auf der Barriere- und der Verzweigungsschicht 30 befestigt. Beispielsweise kann die Düsenplatte 40 elektrogalvanisch auf einem Träger mit Erhebungen aus Photoresistmaterial, die die Düsenöffnungen darstellen, ausgebildet werden. Die Düsenöffnungen 41 werden nach einem Muster, das dem Muster Heizelemente 22 auf dem Chip entspricht, ausgebildet, und die Düsenplatte wird z. B. mit ein Adhesiv derart oben auf die erhöhten Tintenbarrierenabschnitte 31 der Schicht 30 befestigt, daß die Ausschnitte 12a, 12b und die durch die Stege ausgebildeten Kanäle bedeckt werden. Die Düsenöffnungen 41 sind zwischen entsprechenden Stegen 32 und direkt über den entsprechenden Heizelementen 22 ausgerichtet, so daß die durch Erhitzen eines Widerstandselements gebildete Tintenblase einen Tintentropfenausstoß durch die dem Widerstandselement zugeordnete Düsenöffnung bewirkt.
- Wie in Fig. 5 und 5A dargestellt ist das Tintenzuführbauteil 10 im Rahmen 6 befestigt, und elektrische Leitungen 8 und Kontaktstellen 9 sind für die entsprechenden Endstellen 25 auf dem Chip 20 ausgebildet. Somit werden, falls eine Druckerpatrone in einen Drucker eingesetzt wird, die Kontaktstellen 9 mit den Treiberschaltungen des Druckers verbunden, um ein ausgewähltes Bestromen der Heizelemente 22 zu ermöglichen.
- Letztendlich ist die Druckerpatronenherstellung abgeschlossen, wenn die Kappe 4 mit allen an ihr befestigten Komponenten (vorstehend beschrieben) am mit Tinte gefüllten Vorratsbehälter befestigt ist. Die Druckerpatrone kann dann in einem Drucker montiert werden, und Tinte, die aus den Tintenvorrat durch die Röhre 11 und die Öffnung 13 zu den Ausschnittsabschnitten 12a, 12b fließt, von da über die Chipränder zu und zwischen die Stege 32, kann durch die Aktivierung der Heizelemente ausgestoßen werden. In Anbetracht dessen, können alle vorstehenden Zuführstrukturen in Größe und Material so gefertigt werden, daß sie einen kapillaren Transport der Tintenflüssigkeit bewirken. Im anderen Falle kann das Tintenvorratsgehäuse als separate Einheit ausgebildet sein, z. B. mit einer zerbrechlichen Abdeckung und Mittel zur entfernbaren Befestigung oben auf dem Kappenbauteil.
- In Anbetracht des Vorstehenden ist es erkennbar, daß in der Druckerpatrone 1 eine wirksame Tintenversorgung von einem am hinteren Ende befindlichen Tintenreservoir zu einem senkrechten Tropfenausstoßdruckkopf in kompakter Bauweise bereitgestellt wird, welche keine Öffnung im zerbrechlichen Tropfenaus stoßchip erfordert.
- Die Fig. 6 und 6A bis 10 und 10A stellen gemäß der gegenwärtigen Erfindung eine andere bevorzugte Druckerpatronenkonstruktion dar. In diesem Ausführungsbeispiel beinhaltet das Tintenzuführbauteil 50 einen Ausschnitt, der zur Aufnahme eines Ein-Chip-Druckkopfes geeignet ist, wobei dessen Oberfläche 61 in etwa bündig mit der Oberfläche 52 des Tintenzuführbauteils abschließt. Das Tintenzuführbauteil 50 besitzt ebenso darin ausgeformte Tintenführungen 53, 54 zur Tintenzufuhr, die von der Einiaßröhre 55 unterhalb der Oberfläche des Ausschnitts 51 zu den Tintenauslaßöffnungen 56, 57 führen, die an gegenüberliegenden Rändern des Umfangs des Ausschnitts 51 austreten. Der Treiberchip 60 besitzt Widerstandsheizelemente 64 und Elektroden 65, 66, die gemäß dem Vorstehenden aber in einem anderen Muster hergestellt sind.
- Nachdem der Ein-Chip-Druckkopf 60 innerhalb des Ausschnitts, wie in Fig 7 und 7A gezeigt, befestigt ist, wird über der Oberfläche des Chips und des Tintenzuführbauteils eine Tintenbarriere und Verzweigungsstruktur 70 ausgebildet. Das Barriereteil 71 dieser Struktur umgibt die Auslaßöffnungen 56, 57 und die Widerstandsheizelemente 64, und die Verzweigungsabschnitte 73 stellen Kanäle zwischen den Heizelementen dar. Wie in Fig. 7 und 7A gezeigt bildet die Struktur 70 ebenfalls Seitenkanäle entlang der inneren Ränder der Barrierenabschnitte 71, so daß die Tinte zu allen lieizelementen fließen kann. Es sei nochmals erwähnt, daß die Abschnitte der Struktur 70 gegenüber den Oberflächen 52, 61 erhöht sind, so daß die Düsenplatte 80 oben auf der Struktur 70 befestigt werden kann und zwischen der inneren Oberfläche der Düsenplatte und der Außenfläche des Ein-Chip-Druckkopfes 60 einen Abstand kapillarer Dimension bildet.
- Nachdem die Düsenplatte 80 befestigt ist, um das von der Barriere umgebene Gebiet abzudecken, wird Film 90, der Verbindungsleitungen 91 trägt, mit seine Öffnung 92 über der Düsenplatte 80 befestigt, und die Leitungsenden 93 werden mit den Anschlüssen 65, 66 des Treiber-Chips verbunden (siehe Fig. 9 und 9A). Anschließend wird eine Beschichtung, z.B. aus Polyamid, auf die äußere Oberfläche, mit Ausnahme des Düsenbereichs der Düsenplatte 80 (siehe Fig. 10 und 10A), des Tintenzuführbauteils und die von ihm gehaltenen Bauteile aufgebracht. Das Produkt ist nun für den Einbau in einen Rahmen (siehe Rahmen 6 aus Fig. 1) und zum Befestigen an einem gefüllten Tintenvorratsraum fertig, um die Drukkerpatronenherstellung abzuschließen.
- Die Fig. 11 und 11A zeigen ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der gegenwärtigen Erfindung. Aus Fig. 11 und 11A ist zu erkennen, daß das Tintenzuführbauteil 110 eine zentrale Öffnung 112 und eine Einlaßröhre 111 besitzt, die sich von der hinteren Oberfläche des Tintenzuführbauteils durch eine Auslaßleitung 113 zu einer Auslaßöffnung gegenüber dem Umfang der Öffnung 112 erstreckt. Die Öffnung 112 besitzt einen derart gestalteten Umfang, daß dieser die Ränder des Chips 120 aufnehmen kann, und daß er eine größere Dicke als die Dicke des Chips 120 besitzt, so daß er auch ein Temperatursenkeelement tragen kann (nicht dargestellt, aber so angebracht, daß es mit dem Unterteil des Chips 120 in Wärmeaustausch steht), um, falls gewunscht, die Temperatur des Chip- substrats zu kontrollieren.
- Der Chip 120 umfaßt ein Substrat 121, Widerstandsheizelemente 122 und Leitungen 123, 124 der Adress- und Referenzelektroden, die im allgemeinen denen in Fig. 2 bis 5 Beschriebenen ähnlich sind, aber ein anderes Layout besitzen. Der Chip 120 ist innerhalb einer zentralen Öffnung des Tintenzuführbauteil 110 befestigt, so daß die tropfenausstoßende Struktur im allgemeinen mit der äußeren Fläche des Tintenzuführblocks bündig ist.
- Anschließend (siehe Fig. 12 und 12A) wird eine Tintenbarriere und eine Verzweigungsschicht 130 über den äußeren Oberflächen der Bauteile 110, 120 ausgebildet, um einen erhöhten Barrierenabschnitt 131 zu schaffen, der die Tintenöffnung 113 und die Widerstandsheizelemente 122 umgibt. ln diesem Ausführungsbeispiel besteht die Schicht 130 aus einer Verzweigung von Fingerabschnitten 132, die sich vom Innenbereich des Barriereabschnitts 131 zwischen den Heizelementen erstrecken. Somit kann die Tinte von der Austrittsöffnung 113 entlang eines zentralen Kanals zwischen den Heizelmenten und in die Verzweigungen zwischen den Fingerelementen 132 fließen.
- Anschließend (siehe Fig. 13 und 13A) wird eine Düsenplatte 140 mit zwei linearen Düsenreihen 141 oben auf der Schicht 130 befestigt, wobei sich die Öffnungen über den entsprechenden Heizelementen 122 befinden. Die Düsenplatte 140 ist ebenfalls galvanisch hergestellt, um einen länglichen domförmigen Abschnitt zu besitzen, der sich zwischen den Düsenreihen 141 erstreckt. Ist die Düsenplatte befestigt, so hat der domförmige Abschnitt ein Ende über der Auslaßöffnung positioniert und erstreckt sich entlang des zentralen Kanals der Schicht 130, um in dem zentralen Bereich zwischen den Heizelementen das Tintenvolumen zu erhöhen. Dies ist nützlich, um ein Tintenpuffer bei hohen Tropfenausstoßraten zu erhalten.
- Abschließend, wie in Fig 14 gezeigt, wird ein Verbingungsleitungen 191, 192 tragender Film mit den Elektroden 123, 124 des Chips 120 verbunden. Dann wird über die zusammengebaute Einheit, mit Ausnahme des Bereichs der zentralen Düsenplatte, eine Schutzschicht auf gebracht (siehe hierzu die Fig. 6 bis 10). Die Einheit ist zur Befestigung in einer Vorrichtung für Druckerpatronen bereit.
- Die vorliegende Erfindung gewährleistet einen industriellen Vorteil durch eine Konstruktion einer Druckerpatrone eines "Senkrecht-Tropfenausstoßers", die höhere Produktivität ermöglicht indem sie Tintenzuführöffnungen durch den Tropfenausstoß-Chip vermeidet.
Claims (5)
1. Bubble-Jet-Druckerpatrone, bei der die Tropfen in einer senkrecht
zur Oberfläche des Heizelements verlaufenden Richtung ausstoßbar
sind, gekennzeichnet durch
(a) einen Tintentank mit einem von Wandungen (2, 3) umgebenen
Tintenvorratsbereich und mit einem einen Tintenzuführ- und
-abgabebereich umfassenden Wandungsteil (10, 50, 110), das (i)
eine Außen- und eine Innenseite sowie (ü) Tintenführungen (12,
13, 53, 54, 112, 113) aufweist, die sich vom Mittelpunkt der dem
Tintenvorratsbereich zugewandten Innenseite bis zu einer
Auslaßöffnung/Auslaßöffnungen (12a, 12b, 56, 57, 113) in der
Außenseite des Wandungsteils erstrecken,
(b) einen Ein-Chip-Druckkopf (20, 60, 120), der ein durchgehendes
Substrat (21, 61, 121) mit Widerstandsheizelementen (22, 64,
122) und Elektrodenzuleitungen (23, 24, 65, 66, 123, 124)
umfaßt, die auf einer oberen Substratfläche angeordnet sind,
wobei die untere Substratfläche in der Nähe einer
Schmalseite/von Schmalseiten des Chips an der Außenseite des Wandungsteils
angebracht ist, ohne die Tintenausläßöffnung(en) abzudecken,
(c) eine erhöhte Tintenbarriere (31, 71, 131), die auf der Außenseite
des Wandungsteils und der Oberseite des Chips ausgebildet ist
und sich unter Freilassung der Anschiußbereiche der
Elektrodenzuleitungen um die Heizelemente des Chips und um die
Tintenauslaßöffnung(en) herum erstreckt und so hoch ist, daß sie
nber die Oberseite des Chips hinausragt, und
(d) eine Düsenplatte (40, 80, 140), deren Randbereiche an der
Oberseite der Tintenbarriere befestigt sind.
2. Bubble-Jet-Druckerpatrone nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
(a) Wandungen (2, 3), die einen Tintenvorratsbehälter mit einer
Auslaßöffnung bilden,
(b) eine am Tintenvorratsbehälter befestigte und die Auslaßöffnung
abdeckende Kappe (4), die eine Ober- und eine Unterseite sowie
eine sich gabelnde und zwischen ihrer Ober- und Unterseite
ausgebildete Tintenführung aufweist, deren Einlaßbereich (55)
sich vom mittleren Abschnitt der Kappenunterseite aus zum
Tintenvorratsbehalter hin öffnet und sich innerhalb der Kappe in
eine Vielzahl von Auslaßkanälen (53, 54) verzweigt, die an
Schmalseiten der Kappenoberseite Auslaßöffnungen (56, 57)
bilden,
(c) einen Ein-Chip-Druckkopf (60) mit Widerstandsheizelementen (64)
und auf der oberen Fläche eines durchgehenden Substrats
ausgebildeten Elektrodenzuleitungen (65, 66), wobei der Chip auf
der Oberseite der Kappe (4) angeordnet ist und seine untere
Seite den mittleren Kappenabschnitt vollständig überdeckt, wobei
Schmalseiten des Substrats zwischen den Kappenauslaßöffnungen
(56, 57) liegen,
(d) einen umlaufenden Tintenbarriererahmen (71), der um die
Ränder der Kappenoberseite herum ausgebildet ist und die
Auslaßöffnungen sowie die Widerstandsheizelemente mit Ausnahme der
Anschlußbereiche der Elektrodenzuleitungen (65, 66) umgibt,
sind
(e) eine auf dem Tintenbarriererahmen angeordnete Düsenplatte
(80), die den Innenbereich des Tintenbarriererahmens abdeckt.
3. Bubble-Jet-Druckerpatrone nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Tintenbarriere ein polymeres
Wandungselement und eine Vielzahl polymerer Stege (32, 73, 132) umfaßt, die
innerhalb der Tintenbarriere zwischen den Widerstandsheizelementen
auf dem Chip ausgebildet sind.
4. Bubble-Jet-Druckerpatrone nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Tintenbarriere die Anschlußbereiche der
Elektrodenzuleitungen von der Tintenauslaßöffnung/den
Auslaßöffnungen abschottet.
5. Bubble-Jet-Druckerpatrone nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß der Chip mindestens zwei benachbarte Reihen
von Heizelementen (122) mit einem dazwischen durchgehenden
Substrat aufweist.
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