DE69000217T2 - Verriegelungsanordnung mit einer nie programmierbaren speicherzelle mit schwebendem gate. - Google Patents

Verriegelungsanordnung mit einer nie programmierbaren speicherzelle mit schwebendem gate.

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DE69000217T2 DE1990600217 DE69000217T DE69000217T2 DE 69000217 T2 DE69000217 T2 DE 69000217T2 DE 1990600217 DE1990600217 DE 1990600217 DE 69000217 T DE69000217 T DE 69000217T DE 69000217 T2 DE69000217 T2 DE 69000217T2
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur irreversiblen Verriegelung des Zugriffs zu einem integrierten Schaltkreis, die in sämtlichen Gebieten verwendbar ist, wo es zu einem gegebenen Zeitpunkt erforderlich ist, auf irreversible Weise den Zugriff zu bestimmten Bereichen oder Funktionen des integrierten Schaltkreises zu untersagen.
  • Diese Vorrichtung ist besonders wichtig, um beim Herausgehen aus der Fertigung die Zugänglichkeit eines integrierten Schaltkreises nach Tests zu begrenzen. Nach der Fertigung muß nämlich ein integrierter Schaltkreis mit einer Abdeckung getestet werden, nach deren Verbesserung ständig getrachtet wird. Es ist insbesondere erforderlich, daß die interne Zugänglichkeit des integrierten Schaltkreises während des Tests maximal ist. Diese Zugänglichkeit muß dann jedoch beschränkt werden, denn ein Benutzer des Schaltkreises soll nach diesen Tests lediglich Zugriff zu einer sogenannten Anwendungsebene haben. Es müssen somit bestimmte Zugriffswege untersagt werden.
  • Im übrigen soll ein Anwender eines programmierbaren integrierten Schaltkreises diesen integrierten Schaltkreis durch Programmierung einer Anwendung an seine Wünsche anpassen können. Es kann nun besonders wichtig sein, die Modifikationen oder sogar das externe Lesen von in bestimmten Speicherbereichen enthaltenen Informationen zu untersagen. Es kann ebenso bedeutsam sein, sich gegen eventuelle äußere Störungen zu sichern, die die Speicherzonen beeinträchtigen könnten. Verriegelungsvorrichtungen gestatten derartige Schutzmaßnahmen. Diese Vorrichtungen sind beispielsweise in gesicherten integrierten Schaltkreisen, wie den Schaltkreisen der Monetärerzeugnisse, erforderlich.
  • Im Stand der Technik befinden sich diese Verriegelungsvorrichtungen beim Herausgehen aus der Fertigung in einem nicht verriegelten Zustand und sind zu geschlossenen Schaltern äquivalent. Diese Vorrichtungen sind einmal auf irreversible Weise programmierbar. Einmal nach den Tests programmiert, sind sie zu offenen Schaltern äquivalent. Diese Vorrichtungen sind sogar mit dem Schaltkreis integriert, damit es keine Möglichkeit gibt, sie aufs neue kurzzuschließen. Ihre Zustände sind in den logischen Gleichungen für den Zugriff zu Speicherbereichen oder Funktionen berücksichtigt, die sie kontrollieren. Es ist aus dem Dokument WO-A-88/00372 eine Verriegelungsvorrichtung bekannt, die einen Steuerkreis für Zellen umfaßt, um diese nichtlöschbar zu machen.
  • Es sind ebenfalls Verriegelungsvorrichtungen mit programmierbaren Sicherungen bekannt. Jede Sicherung, die beispielsweise durch eine sehr feine Schicht aus polykristallinem Silicium ausgeführt ist, wird durch einen Transistor stromversorgt. Wenn während einer bestimmten Zeit ein Strom fließt, erfolgt eine lokale Erwärmung, die durch den sehr feinen Querschnitt der Sicherung hervorgerufen wird. Diese Erwärmung reicht aus, um das Metall zu verdampfen: Die Sicherung wird als durchgebrannt bezeichnet. Es kommt in der Tat vor, daß die Sicherung nicht durchbrennt. In der Praxis ist also eine Vorrichtung mit Sicherungen nicht sehr zuverlässig.
  • Die Erfindung hat daher das Ziel, eine Verriegelungsvorrichtung auszuführen, die diesen Nachteil nicht aufweist. Sie macht von bekannten Merkmalen der EEPROM-Zellen Gebrauch, an die erinnert werden muß.
  • Eine EEPROM-Zelle ist eine elektrisch löschbare und programmierbare Zelle. Sie umfaßt einen Transistor mit schwebendem Gate. Das zwischen einem Steuergate des Transistors und einer Kanal-Zone des Transistors mit Leitfähigkeit angeordnete schwebende Gate kann elektrische Ladungen aufnehmen. Diese Ladungen können einen leitenden Zustand des Transistors unabhängig von einem auf das Steuergate gegebenen Befehl aufprägen. In einer EEPROM-Zelle werden die elektrischen Ladungen durch Anwendung eines beträchtlichen elektrischen Feldes in das schwebende Gate injiziert. Eine solche Zelle weist die Besonderheit auf, daß sie eine Schwellwertspannung Null beim Herausgehen aus der Fertigung aufweist. Sie ist jungfräulich. Man erinnert sich, daß die Schwellwertspannung die im Absolutwert minimale Spannung ist, die auf das Steuergate gegeben werden muß, damit sich in der Kanal-Zone ein Kanal mit Leitfähigkeit ausbildet. Eine EEPROM-Zelle mit Kanal vom N-Typ hat eine positive Schwellwertspannung in der Größe von 5 Volt, wenn die Zelle gelöscht ist. Wenn die Zelle programmiert ist, ist ihre Schwellwertspannung in der Größe von -2 Volt negativ.
  • Die Lesekreise der Speicherzellen umfassen einen Auswahlkreis, der einen Steuerimpuls auf das Steuergate der Transistoren der Speicherzellen jeder Zeile gibt. Für einen herkömmlichen Gate-Spannungswert in der Größe von 1,5 Volt leitet die beschriebene EEPROM-Zelle Strom, wenn sie programmiert ist, denn es wird an sie eine Gatespannung angelegt, die größer als ihre Schwellwertspannung ist. Die EEPROM- Zelle leitet Strom nicht, wenn sie gelöscht ist.
  • Bei der Erfindung wird die Tatsache vorteilhaft genutzt, daß die EEPROM-Zelle, wenn sie jungfräulich ist, sich so verhält, als ob sie programmiert wäre. Gemäß der Erfindung richtet man sich auch darauf ein, die Programmierung der EEPROM-Zelle zu untersagen. Unter diesen Bedingungen leitet sie nur Strom, wenn sie jungfräulich ist. Sowie sie einmal gelöscht worden ist, leitet sie nicht mehr. Wenn sie nicht mehr programmiert werden kann, bleibt sie in diesem Zustand: Man hat die gesuchte Verriegelungsvorrichtung.
  • Ziel der Erfindung ist daher eine Vorrichtung zur Verriegelung des Zugriffs insgesamt oder teilweise zu einem integrierten Schaltkreis, der eine nie programmierbare EEPROM- Zelle mit einer Vorrichtung zur Verriegelung des Zugriffs insgesamt oder teilweise zu einem integrierten Schaltkreis umfaßt, wobei die nie programmierbare EEPROM-Zelle einen Transistor mit schwebendem Gate umfaßt, der mit einem Spannungsbegrenzer an seiner Drain-Zone und/oder seiner Source- Zone versehen ist.
  • Die Merkmale einer EEPROM-Zelle gemäß der Erfindung sind in der Beschreibung gegeben, die folgt und die unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ausgeführt ist. Diese Beschreibung und die Figuren sind lediglich zu Beispielzwecken und keinesfalls als die Erfindung einschränkend ausgeführt. In den Figuren:
  • Figur 1 zeigt ein Beispiel einer Verriegelungsvorrichtung, die mit einer EEPROM-Zelle gemäß der Erfindung versehen ist,
  • Figur 2.a zeigt ein elektrisches Ersatzschaltbild einer EEPROM-Zelle gemäß der Erfindung,
  • Figur 2.b ist eine schematische Schnittansicht einer Zelle gemäß Figur 2.a.
  • Figur 1 zeigt eine Verriegelungsvorrichtung gemäß der Erfindung. Eine EEPROM-Zelle 1 weist eine mit Masse verbundene Source-Zone 4 auf. Eine Drain-Zone 3 wird durch einen Polarisationsstromgenerator versorgt, der durch einen Auswahlkreis der Zelle gesteuert ist. Bei einer dualen Technologie werden die entsprechenden Rollen der Source- und Drain-Zonen umgekehrt. Es wird eine durch einen nicht dargestellten Auswahlkreis gesteuerte Lesespannung V1 auf das Steuergate 2 der EEPROM-Zelle gegeben. Die Zelle wird beispielsweise durch die Dekodierung einer Basisadresse einer Speicherzone ausgewählt, die sie schützt. Nun wird eine Lesespannung in der Größe von 1,5 Volt auf das Gate 2 gegeben. Vor der Auswahl wird eine Bitleitung 30, mit der die Zelle verbunden ist, durch einen Generator 31 mit einer Spannung in der Größe von 5 Volt versorgt. Ein Lesekreis 20 (in der angelsächsischen Literatur: sense), der auf eine Schwellwertspannung einschließlich zwischen 0 und 5 Volt ausgerichtet ist, allgemein wird der Mittelwert 2,5 Volt genommen, erfaßt eine "1", wenn die Zelle jungfräulich ist, und eine "0", wenn die Zelle gelöscht ist. Wenn die Zelle jungfräulich ist, ist ihre Schwellwertspannung nämlich gleich 0 Volt. Sie verhält sich im Zeitpunkt der Auswahl wie ein geschlossener Schaltkreis. Unter diesen Bedingungen fällt die Spannung auf der Bitleitung 30 ab. Dieser Abfall wird im Kreis 20 erfaßt. Wenn die Zelle 1 hingegen gelöscht worden ist, verhält sie sich wie ein offener Schaltkreis, was auch der angelegte Befehl zeigt. Es gibt nun keinen erfaßten Spannungsabfall mehr. Diese Information am Ausgang des Detektors 20 gibt die Dekodierung der Speicherzone frei oder nicht.
  • Man kann so einen nicht programmierbaren Speicherblock EEPROM in einem integrierten Schaltkreis haben, wobei jede Zelle eine spezielle Funktion verriegelt.
  • Die Figuren 2.a und 2.b zeigen eine nie programmierbare EEPROM-Zelle gemäß der Erfindung. Die EEPROM-Zelle 1 wird auf ihrem Steuergate 2 durch eine Spannung V1 gesteuert. Zwischen der Drain-Zone 3 und Masse ist ein Spannungsbegrenzer 5 vorhanden, der die Spannung zwischen dem Drain und Masse auf 5 Volt begrenzt. Zwischen der Source-Zone 4 und Masse ist ein weiterer Spannungsbegrenzer 6 vorhanden, der dieselbe Rolle spielt. In Figur 2.b sind die Drain-Zone 3 und die Source-Zone 4 Bereiche mit Dotierung von einem gegebenen Typ, beispielsweise N, in einem Substrat vom entgegengesetzten Typ, beispielsweise P. Der Spannungsbegrenzer 5 bzw. 6 ist eine Zener-Diode, die vorzugsweise (Figur 2.b) ausgeführt ist, indem die Drain-Zone 3 bzw. Source-Zone 4 mit einer Zone mit entgegengesetzter Dotierung 7 bzw. 8 außerhalb der Kanal-Zone 9 verbunden wird. Die Zonen mit entgegengesetzter Dotierung 7 und 8 sind mit Masse verbunden. Die Zonen 7 und 8 haben eine Dotierung vom selben Typ wie diejenige des Substrats L. Wenn die Zelle in einer Hülle ausgeführt ist, sind die Zonen 7 und 8 mit einem selben Typ von Verunreinigungen wie diejenige der Hülle dotiert, in der die Zelle ausgeführt ist. Es ist außerdem erforderlich, daß die Zonen stärker als das Substrat oder ggfs. die Hülle dotiert sind.
  • Im Beispiel von Figur 2b sind die Zonen 7 und 8 P-dotiert.
  • Um die umgesetzten physikalischen Phänomene zu erläutern, sei an die Lösch- und Programmierprinzipien einer EEPROM- Zelle erinnert.
  • Es sei beispielsweise eine EEPROM-Zelle mit Kanal-Zone vom N-Typ genommen. Diese Zelle 1 wird gelöscht, indem ihr Steuergate 2 auf ein sehr positives Potential in der Größe von 15 Volt und dann ihre Drain-Zone 3 auf Masse gesetzt wird: Elektronen werden unter dem schwebenden Gate 10 unter der Wirkung eines elektrischen Feldes eingefangen, das auf diese Weise erzeugt werden kann. Sie induzieren eine Potentialbarriere, die sich der Bildung eines leitenden Kanals in der Kanal-Zone 9 entgegensetzt: Die Schwellwertspannung der Zelle wird erhöht. Die Schwellwertspannung nimmt gewöhnlich einen Wert in der Größe von 5 Volt an.
  • Die Programmierung einer gelöschten EEPROM-Zelle besteht darin, die Elektronen des schwebenden Gates 10 austreten zu lassen. Hierfür wird das Steuergate auf Masse und die Drain- Zone auf ein sehr positives Potential in der Größe von 15 Volt und größer gebracht. Die im schwebenden Gate eingefangenen Elektroden werden nun abgezogen. Die Schwellwertspannung der Zelle wird verringert. Die Schwellwertspannung nimmt gewöhnlich einen Wert in der Größe von -2 Volt an. Der Grund für diese negative Schwellwertspannung rührt von der Tatsache her, daß die Programmieroperation während einer Zeitdauer beibehalten wird, die größer als diejenige ist, die erforderlich ist, damit lediglich die vorher eingefangenen Elektronen zum Austreten gebracht werden, um sicher zu sein, daß die Zelle gut programmiert worden ist. Indem dies ausgeführt wird, wird ebenso bewirkt, daß die freien Elektronen das schwebende Gate verlassen, die zur elektrischen Neutralität des Materials des schwebenden Gates beitragen. Auf diese Weise werden gewissermaßen Löcher importiert.
  • In der Tat ist die Potentialdifferenz wichtig, die die Richtung des elektrischen Feldes und damit der Bewegung der Elektronen vorgibt. Für die Programmierung könnte man so das Steuergate auf ein sehr negatives Potential und die Drain- Zone auf Masse setzen: Die Potentialdifferenz wäre unverändert. Aber in der Praxis ist es nicht möglich, das Steuergate auf ein negatives Potential zu setzen, denn die Befehlslogik der Zellen, die mit dem integrierten Schaltkreis verknüpft ist, wird sich dem stets entgegensetzen.
  • In bestimmten Fällen kann die Zelle auf dieselbe Weise gelöscht und programmiert werden, indem die Source-Zone 4 anstelle der Drain-Zone 3 verwendet wird, da zwischen diesen beiden Zonen nicht unterschieden wird. Aus diesem Grunde wird bei der Erfindung ein Spannungsbegrenzer an jeder Source- und Drain-Zone angeordnet.
  • Es muß außerdem festgestellt werden, daß es möglich ist, die Zelle zu programmieren, indem sie einer Ultraviolettstrahlung ausgesetzt wird. Dies ist nur möglich, wenn das schwebende Gate nicht durch eine optische Maske geschützt ist. Diese optische Maske kann beispielsweise in der Form eines Metallbelages 12 ausgeführt sein, der auf dem integrierten Schaltkreis angeordnet ist.
  • Wenn ein Spannungsbegrenzer 5 bzw. 6 auf der Drain-Zone 3 bzw. Source-Zone 4 angeordnet wird, wird die elektrische Programmierung verhindert, denn es kann ein sehr positives Potential nicht mehr an diese Zonen angelegt werden und es ist nicht möglich, ein sehr negatives Potential auf das Steuergate zu bringen, wie weiter oben ersichtlich war. Wenn außerdem ein Metallbelag 12 auf das Steuergate gebracht wird, wird die Programmierung durch Ultraviolettstrahlung verhindert: Man hat eine nie programmierbare EEPROM-Zelle.
  • Die gerade ausgeführte Beschreibung und Beurteilung für eine EEPROM-Zelle mit Kanal-Zone vom N-Typ kann auf dieselbe Weise auf eine EEPROM-Zelle mit Kanal-Zone vom P-Typ angewendet werden, indem die Polaritäten und der Ladungstyp umgekehrt werden.
  • Der Spannungsbegrenzer 5 bzw. 6 ist beispielsweise als Zener-Diode ausgeführt, wie bereits weiter oben ersichtlich war, indem mit der Drain-Zone 3 bzw. Source-Zone 4 eine Zone mit entgegensetzter Dotierung 7 bzw. 8 außerhalb der Kanal- Zone 9 verbunden wird. Die Zonen mit entgegengesetzter Dotierung 7 und 8 sind mit Masse verbunden. Es wird ein umgekehrt polarisierter Zonenübergang PN erhalten, von dem gezeigt werden kann, daß er eine Zener-Diode ist, gekennzeichnet durch eine Zener-Spannung, die einen Wert einschließlich zwischen 5 und 6 Volt aufweist. Für die praktische Ausführung der Zener-Dioden kann bei der Dotierungsimplantation eine leichte Überdeckung der später dotierten Zone (7 oder 8) in der vorher dotierten benachbarten Zone (3 oder 4) mit einem entgegengesetzten Typ zugelassen werden.

Claims (4)

1. Vorrichtung zur Verriegelung des Zugriffs insgesamt oder teilweise zu einem integrierten Schaltkreis, umfassend eine EEPROM-Zelle (1) mit einem Transistor mit schwebendem Gate (10), dadurch gekennzeichnet, daß der Transistor mit einem Spannungsbegrenzer (5, 6) an seiner Drain- Zone (3) und/oder seiner Source-Zone (4) versehen ist, damit die EEPROM-Zelle nie programmierbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spannungsbegrenzer an jeder Source- und/oder Drain-Zone der EEPROM-Zelle eine Zener- Diode ist, die einfach ausgeführt ist, indem mit jeder Source- und Drain-Zone eine Zone mit entgegengesetzter Dotierung (7, 8) verbunden wird, die an Masse gelegt und außerhalb der Kanal-Zone (9) der EEPROM-Zelle angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach einem beliebigen der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Metallbelag (12) auf dem Steuergitter für die EEPROM-Zelle umfaßt, um eine Programmierung dieser EEPROM-Zelle durch Anwendung einer Ultraviolettstrahlung zu sperren.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß sie in den integrierten Schaltkreis (11) integriert ist, deren Zugriff sie steuert.
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