DE69000126T2

DE69000126T2 - Verbindung von rohrleitungen fuer ein fluid, insbesondere fuer ein hochreines gas.

Info

Publication number: DE69000126T2
Application number: DE9090400941T
Authority: DE
Inventors: Raymond Depraetere; Andre Sabatier
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1989-04-12
Filing date: 1990-04-05
Publication date: 1992-12-17
Anticipated expiration: 2010-04-06
Also published as: EP0392901B1; FR2645940A1; US5011196A; CA2014383C; DK0392901T3; ES2031723T3; FR2645940B1; CA2014383A1; JPH02296092A; EP0392901A1; IL94066A0; JP2772990B2; IL94066A; DE69000126D1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft die Verbindung von Rohrleitungen für ein Fluid.
Sie findet vorteilhafterweise Anwendung, jedoch nicht einschränkend, bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauteilen, die die Verwendung von Gas von sehr hoher Reinheit, insbesondere bei Streu- bzw. Diffusionsphasen, fordert.
Für eine derartige Anwendung ist es notwendig, eine sehr gute Dichtheit im Bereich der Verbindung der Leitungen sicherzustellen, die das Gas von hoher Reinheit fördern, um einerseits ein Austreten zu vermeiden und andererseits den Zutritt von äußeren Stoffen in die Leitungen zu vermeiden, die geeignet sind, beispielsweise die Oxidation der letzteren durch Zusammenwirken mit dem transportierten Gas hervorzurufen. Eine derartige Oxidation beschädigt also auf lange Sicht die Herstellungsqualität der Bauteile.
Es ist weiterhin ebenfalls angebracht, so gut wie möglich die Mikro-Ausbruchsvorgänge von Material zu verhindern, die eventuell auftreten können bei dem mechanischen Vorgang der Verbindung der Rohrleitungen für Fluid.
Es ist weiterhin wünschenswert, die Masse dieser Verbindungen zu minimieren, wenn diese in gewissen Bereichen Verwendung finden, insbesondere in der Luft- und Raumfahrt, in der der Faktor Gewicht bestimmend ist.
Das durch die derzeit bekannten Verbindungen (beispielsweise GB-A- 1258305) bekannte Problem liegt darin, daß diese nur teilweise die Gesamtheit der Anforderungen, die oben dargestellt wurden, respektieren. Weiterhin macht diese teilweise Zurückhaltung sogar eine Verbesserung des Produkts allgemein notwendig, was dessen Montage kompliziert, dessen Gewicht erhöht und die Produktionskosten steigen lassen kann.
Die Erfindung zielt darauf ab, dieses Problem zu lösen.
Ein Ziel der Erfindung ist, eine Verbindung von Rohrleitungen für ein Fluid vorzuschlagen, die im Bereich der Verbindung eine sehr gute Dichtheit aufweist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist eine Verbindung vorzuschlagen, die keine sogenannte Dichtung verwendet, was dessen Montage erleichtert.
Um insbesondere weiterhin die Montage zu erleichtern und die Herstellkosten zu senken, zielt die Erfindung darauf ab eine Verbindung vorzuschlagen, die weder männliche noch weibliche Elemente, bzw. Ineinandersteckelemente aufweist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist eine Verbindung vorzuschlagen, deren mechanische Bedienung der Verbindung an sich nicht zu Mikroausbrüchen von Materie führt.
Die Erfindung hat weiterhin zum Ziel, eine Verbindung von geringer Masse und geringen Herstellkosten vorzuschlagen.
Die Erfindung zielt also auf eine Verbindung für oder von Rohrleitungen für ein Fluid ab, von der Art mit zwei Endstücken, die jeweils ein Ende zur Befestigung an wenigstens einer entsprechenden Rohrleitung aufweist, und eine freie Verbindungsseite sowie gegenseitige Klemmeinrichtungen dieser beiden einander gegenüberliegenden Endstücke durch ihre freie Seite aufweist.
Gemäß einer allgemeinen Eigenschaft der Erfindung weist jedes Endstück einen koaxialen metallischen Körper auf, der im Inneren in kontinuierlicher Folge des Durchmessers mit der Rohrleitung ausgenommen ist und außen, von dem genannten Ende ausgehend, eine konische Fläche aufweist, die sich gegen eine zylindrische Fläche erweitert; wobei diese von wenigstens einer ebenen Schulter gefolgt wird, die zu einem zentralen zylindrischen Bereich zurückgesetzt ist, der in einem ringförmigen, geschliffenen Abschnitt endet, wo die Innenbohrung endet.
Jedes Endstück weist ebenfalls einen Ring von zylindrischer Außengestalt aus biegsamem synthetischen Material auf, der in der Lage ist, sich in Berührung auf den zentralen zylindrischen Abschnitt derart anzulegen, daß er in Anschlag gegen die ebene Schulter kommt, wobei dieser zylindrische Ring eine radiale ringförmige Seitenwand aufweist, die, mit dem geschliffenen Abschnitt des zentralen zylindrischen Abschnitts, die freie Verbindungsfläche des Endstücks bildet; es ist ebenfalls ein zylindrischer länglicher Ring vorgesehen, der metallisch ist, und geeignet ist, an seiner Innenseite mit den zwei Ringen und wenigstens einem Teil einer jeden der beiden zylindrischen Stützflächen der Endstücke, die stirnseitig in Berührung gebracht sind, in Kontakt zu gelangen, derart, daß die beiden freien Verbindungsflächen einander gegenüberstehen;
die Einrichtungen zum festen gegenseitigen Verbinden weisen somit zwei Halbschalen auf, die zwei konische homologe Flächen der beiden entsprechenden konischen Flächen der zwei metallischen Körper aufweisen, wobei die feste Verbindung bzw. das Einklemmen der beiden Halbschalen die Verbindung der Fluidrohrleitungen sicherstellt.
Sehr vorteilhaft werden die geometrischen Eigenschaften der Endstücke gewählt, um beim Einklemmen der beiden Halbschalen zunächst eine Kompression der beiden Ringe aus biegsamem bzw. deformierbarem synthetischen Material, und sodann eine Berührung zwischen den beiden ringförmigen geschliffenen Abschnitten zu erlauben.
Gemäß einer Ausführungsform für die Verwirklichung dieser Kompression oder dieses Druckes, befindet sich die Ebene des radialen ringförmigen geschliffenen Abschnitts eines jeden Endstücks vor der Verbindung leicht zurückversetzt bezüglich der Ebene der radialen Seitenwand des entsprechenden Ringes.
Um insbesondere das Herausbrechen oder Herausreissen von Materie bei dem mechanischen Betrieb der Verbindung zu vermeiden, weist das synthetische oder Kunststoffmaterial eines jeden Rings vorzugsweise einen geringen Reibungswiderstand bezüglich des Materials der länglichen Hülse oder des länglichen Rings auf.
Gemäß einer Variante der Erfindung wird die zylindrische Stützfläche eines jeden Endstücks gefolgt von wenigstens zwei aufeinanderfolgenden ebenen Schultern, die zu dem zylindrischen zentralen Bereich zurückversetzt sind.
Weitere Vorteile und Eigenschaften der vorliegenden Erfindung ergeben sich beim Studium der detaillierten nachfolgenden Beschreibung und der beigefügten Zeichnungen. Darin zeigt:
Figur 1 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform der Verbindung gemäß der Erfindung, die nicht zusammengesetzt ist;
Figur 2 einen Längsschnitt eines Endstücks der Verbindung von Figur 1, vor dem Verbinden;
Figur 3 einen Längsschnitt der Verbindung von Figur 1 nach dem Verbinden;
Figur 4 eine zweite Ausführungsform eines Endstücks, das Teil einer Verbindung nach der vorliegenden Verbindung ist vor dem Verbinden; und
Figur 5 diese andere Ausführungsform der Verbindung nach dem Verbinden.
Die Zeichnungen zeigen wesentlich die geometrischen Elemente mit bestimmten Eigenschaften. Deshalb sind sie integraler Bestandteil der Beschreibung und dienen nicht nur dem besseren Verständnis der detaillierten nachfolgenden Beschreibung, sondern nehmen gegebenenfalls auch an der Definition der Erfindung teil.
Wie in Figur 1 dargestellt, weist die Verbindung zwei identische Rohrendstücke 1a, 1b auf, die koaxial sind, einen länglichen Metallring bzw. eine Metallhülse 3 sowie zwei metallische Klemmhalbschalen 4 auf. Die das Endstück 1a bildenden Elemente tragen Bezugszeichen, die mit dem Buchstaben a versehen sind und jene des Endstücks 1b tragen Bezugszeichen, die mit dem Buchstaben b versehen sind. Aus Gründen der Vereinfachung wird im folgenden nur das Endstück 1a unter gleichzeitiger Bezugnahme auf Figur 2 beschrieben.
Das Endstück 1a, das eine Länge von einigen mm bis zu einigen Dutzend mm aufweisen kann, weist ein Befestigungsende 11a für eine Rohrleitung auf, die in den Figuren nicht dargestellt ist. Der Begriff "Länge" bezeichnet hier und nachfolgend eine Abmessung, die parallel zu einer Längssymmetrieachse gemessen ist. Dieses Befestigungselement 11a weist hier einen zylindrischen Endbereich 110a, gefolgt von einem weiteren zylindrischen Bereich (111a) von größerem Durchmesser auf. Dieses Endstück weist eine innere zentrale Ausnehmung oder Bohrung 12a auf, die im Durchmesser kontinuierlich mit der Fluidleitung verläuft, wenn diese an dem Endstück befestigt ist.
Das Befestigungselement 11a wird verlängert durch einen metallischen Körper 10a, der ebenfalls koaxial ist. Dieser Körper bildet außen, ausgehend von dem zylindrischen Bereich 111a, eine konische Fläche oder Stützfläche 100a, die sich zu einer zylindrischen Stützfläche 101a vergrößert, die einen Durchmesser von ungefähr 12 mm und eine Länge von ungefähr 1,8 mm aufweist.
Diese zylindrische Stützfläche 101a wird gefolgt von einer ersten ebenen radialen ringförmigen Schulter 102a, die zurückversetzt ist, die sie mit einer zylindrischen Zwischenstützfläche 103a von einem Durchmesser von ungefähr 9,7 mm und einer Länge von ungefähr 1,5 mm verbindet. Diese letztere zylindrische Stützfläche wird ebenfalls gefolgt von einer zurückversetzten ebenen radialen ringförmigen Schulter 104a, die sie mit einem zylindrischen Zentralbereich 105a von einem Durchmesser von ungefähr 6,5 mm und einer Länge von ungefähr 1 mm verbindet. Dieser zentrale zylindrische Bereich 105a endet durch einen ringförmigen radial geschliffenen Bereich 106a wo die Innenbohrung 12a endet.
Ein weiteres wesentliches Element des Endstücks besteht aus einem Ring 2a aus einem biegsamen synthetischen oder Kunststoffmaterial, wie beispielsweise Polytetrafluorethylen, das unter der Marke "Teflon" vertrieben wird.
Dieser Ring, deren Einhüllende 21a ein Zylinder ist von einem äußeren Durchmesser, der im wesentlichen gleich jenem der zylindrischen Stützfläche 101a des Metallkörpers ist, weist eine ebene ringförmige Hinterseite 22a auf, die in Anschlag kommt gegen die erste ebene Schulter 102a des Metallkörpers. Dieser Ring weist ebenfalls eine weitere ebene ringförmige Hinterseite 23a auf, von einem Durchmesser, der geringer ist als jener der Hinterseite 22a, auf, der in Anschlag kommt gegen die zweite ebene ringförmige Schulter 104a des Metallkörpers.
Die Länge der äußeren Seite 21a dieses Rings beträgt ungefähr 2,54 mm. Somit übersteigt, wenn dieser Ring eingesetzt ist in Berührung mit dem zentralen zylindrischen Bereich 105a und mit dem zylindrischen Zwischenbereich 103a des Endstücks, die Ebene seiner vorderen ebenen radialen ringförmigen Seitenwand 20a um einen Abstand d, der gleich ungefähr 5/100 mm der Ebene des geschliffenen ringförmigen Abschnitts 106a des Endstücks ist. Mit anderen Worten ist der geschliffene ringförmige Abschnitt leicht zurückversetzt bezüglich der ringförmigen Seitenwand 20a des Rings angeordnet.
Das so gebildete Endstück weist somit eine freie Verbindungsseite auf, die gebildet wird durch den geschliffenen radialen Abschnitt 106a des Metallkörpers und durch die freie Seitenwand 2a des Rings aus Teflon 2a.
Um die eigentliche Verbindung durchzuführen, ist eine längliche metallische zylindrische Hülse 3 vorgesehen, die eine Länge von ungefähr 7 mm, einen Außendurchmesser von ungefähr 12,6 mm und eine Dicke von ungefähr 0,3 mm aufweist. Es kann somit bemerkt werden, daß der Innendurchmesser dieses Rings derart eingestellt ist, daß er im wesentlichen gleich jenem der Außenseite 21 eines jeden Rings 2 sowie gleich jenem der zylindrischen Stützfläche 101 eines jedes Metallkörpers ist.
Beim Vorgang des eigentlichen Verbindens, werden die beiden Endstücke einander gegenüberliegend angeordnet durch ihre freie Verbindungsseite und die längliche zylindrische Hülse wird um sie gleitend bewegt, um innen unter Berührung die beiden Teflonringe und einen Bereich einer jeden der beiden zylindrischen Stützflächen 101a und 101b der Metallkörper aufzunehmen.
Eine erste Funkion der länglichen Hülse 3 ist also, eine hervorragende Ausrichtung der beiden Endstücke derart sicherzustellen, daß eine so perfekt wie mögliche Zentrierung ihrer Innenbohrung erreicht wird. Beim Vorortsetzen oder Anbringen dieser Hülse 3 erlaubt der schwache Reibungskoeffizient des Teflons bezogen auf das Material der Hülse ein Gleiten letzterer ohne Mikroausbrüchen von Material sowohl im Bereich der Ringe 2 als auch im Bereich der Hülse 3. Der Fachmann nimmt somit zur Kenntnis, daß auf allgemeine Weise eine erste zu respektierende Bedingung für das Aufbaumaterial der Ringe 2 ist, einen schwachen Reibungskoeffizienten bezogen auf das Material der Hülse 3 aufzuweisen.
Wenn einmal die beiden Endstücke mit Hilfe der Hülse 3 ausgerichtet sind, werden zwei Halbschalen 40s, 40i, die an ihrer jeweiligen Innenseite zwei konische Halbflächen 401sa, 401sb und 401ia, 401ib aufweisen, um die beiden Endstücke und den Ring angebracht. Diese vier konischen Halbschalen definieren somit zwei konische Stützflächen 401a und 401b, die mit zwei konischen Flächen oder Stützflächen 100a, 100b der Endstücke enden. Das Einzwängen oder Einklemmen der beiden Halbschalen wird durch zwei Schrauben (in den Figuren nicht dargestellt) sichergesellt, die mit Passagen 400s und 400i, die in jenen ausgebildet sind, sichergestellt.
Beim Einsteck- oder Einklemmvorgang, erlaubt das Zusammenwirken der konischen Flächen der beiden Halbschalen und der Endstücke zunächst eine axiale Kompression der beiden Teflonringe 2a, sodann ein Kontakt der beiden geschliffenen Abschnitte 106a und 106b. Dies wird erreicht, einerseits durch den Abstand d, der die freie Wand eines jeden Rings von dem geschliffenen Abschnitt des Metallkörpers trennt und andererseits durch das Deformationsvermögen des Teflons. Dieses Deformationsvermögen bildet also eine zweite Bedingung, die auf allgemeine Weise das Material, das die Ringe 2a und 2b bildet, erfüllen soll. Hierzu wird ein weicheres Material verwendet als nichtrostender Stahl (316L beispielsweise), das die Verbindung bildet. Geeignete Materialien sind über das Polytetraflourehylen hinaus dessen Derivate, wie beispielsweise ein fluoriertes Elastomer, bekannt unter der Bezeichnung KEL-F, oder andere Kunststoffmaterialien, die für die Berührung mit Gas verwendet werden.
Die so gebildete Verbindung weist somit eine einzige Dichtebene auf, die einerseits durch die Zwischenwand der beiden Ringe 2 und andererseits durch die Zwischenwand der beiden geschliffenen Abschnitte 106 gebildet wird. Eine doppelte Dichtheit wird somit erzeugt, einerseits auf der Höhe der Ringe und andererseits auf der Höhe der geschliffenen Abschnitte und dieses ohne Zwischensetzen einer eigentlichen Dichtung. Weiterhin erlauben die geometrischen Eigenschaften der Hülse 3, erzeugt aus einem einzigen Stück, einer gewählten Länge und Dichte über die gesamte Länge des während des gesamten Klemmens, eine exzellente Führung der beiden Endstücke derart sicherzustellen, daß ihre Ausrichtung beibehalten wird.
Die Dichtheit einer derartigen Ringverbindung, die während Versuchen gemessen wurde, ist geringer als 10&supmin;&sup9; cm³ x s&supmin;¹ für Helium, für eine Druckdifferenz von 1 at zwischen der inneren Verbindungsbohrung und dem äußeren, für eine einzige Dichtoberfläche von 1 cm². Die Verbindung gemäß der Erfindung erlaubt somit eine sehr gute Dichtheit mit einem Minimum an Teilen, insbesondere ohne eigentliche Verbindung zu erreichen. Darüberhinaus erfordert eine solche Verbindung, die identische Endstücke aufweist, keine Herstellung von männlichen oder weiblichen Teilen, d.h. Zusammensteckteilen, erleichtert ihre Montage und verringert die Kosten der Serienproduktion.
Eine Verbindung dieses Typs ist insbesondere gut geeignet für Verbindungsstellen von Rohrleitungen für Gas, insbesondere von großer Reinheit, wie beispielsweise Wasserstoff, Argon, Sauerstoff, Hydrochloranhydrid und andere Gase, die für die Herstellung von Halbleitern verwendbar sind, wie Phosphorsäurechlorid (POCl&sub3;), Bortribromid (BBr&sub3;), Trichlorethylen, Arsenwasserstoff (AsH&sub3;), Siliciumwasserstoff (SiH&sub4;). Sie dient ebenfalls in Verbindung mit der pharmazeutischen Herstellung.
Eine derartige Verbindung kann ebenfalls hohen Drücken widerstehen, typischerweise bis über mehrere 100 Bar, und das die beiden Ringe 2 bildende Material wird ebenfalls ausgewählt, um einem Säureangriff zu widerstehen.
Die Figuren 4 und 5 zeigen eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Verbindung, die genauer für Verbindungen von Rohrleitungen von Fluid geeignet ist, die einen Durchmesser von 0,95 cm (3/8 Daumen) aufweisen.
Die analogen Elemente oder die Elemente mit analogen Funktionen wie die in den Figuren 1 bis 3 dargestellten, haben Bezugszeichen mit dem Zusatz v bezüglich jenen der Figuren 1 bis 3. Im folgenden werden nur die Unterschiede dieser beiden Ausführungsformen beschrieben.
Das Ende der Befestigung 11a-v weist nur den zylindrischen Endbereich 110a-v auf, der mit den konisch Stützflächen 100a-v des Metallkörpers 10a-v verbunden ist. Die zylindrische Stützfläche 101a-v des Metallkörpers wird nur von einer zurückversetzten ebenen Schulter 102a-v gefolgt zu dem zylindrischen zentralen Bereich 105a-v.
Der Ring aus Teflon 2a-v wird nur von einem einzigen Zylinder mit einem äußeren Durchmesser gleich ungefähr 12 mm und einem inneren Durchmesser gleich ungefähr 9,7 mm gebildet. Er kommt in Anschlag gegen die ringförmige Schulter 102a-v und die Ebene seiner radialen ringförmigen Seitenwand 20a-v übersteigt ebenfalls um 5/100 mm die Ebene des geschliffenen ringförmigen Abschnitts 106a-v des Metallkörpers.
Die geometrischen Eigenschaften des länglichen Rings bzw. der Hülse 3-v sowie der Klemmeinrichtung 4-v sind unter Berücksichtigung der Abmessungen dieser Verbindung eingestellt bzw. angepaßt.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungsformen, die oben beschrieben wurden, begrenzt, sondern umfaßt alle Varianten davon, insbesondere die folgenden:
- es wurden vorhergehend zwei identische Endstücke beschrieben. Es könnte jedoch auch konzipiert oder vorgesehen werden, daß nur die metallischen Körper und die Ringe aus biegsamem Kunststoff von ihnen identisch sind. Tatsächlich können die Befestigungsenden verschiedene Formen einnehmen gebogen oder sonstwie, derart, daß sich mit Rohrleitungen unterschiedlichen Typs, oder sogar mit mehreren Leitungen gleichzeitig verbinden oder weiterhin Teil einer Fluidkomponente, wie beispielsweise einem Venil oder einem Filter bilden. Das Nichtvorhandensein von männlichen oder weiblichen Teilen bzw. Ineinandersteckteilen erleichtert beträchtlich die Verbindungen;
- die Anzahl der ebenen zurückgezogenen Schultern, die zwischen der zylindrischen Stützfläche eines jeden Endstücks und dem zylindrischen zentralen Bereich sind, sind selbstverständlich nicht begrenzt. Vorzugsweise erlaubt die Anwendung von einer oder zwei Schultern die Herstellung eines Satzes oder Sortiments von Verbindungen für Rohrleitungen unterschiedlichen Durchmessers wie beispielsweise 2-6 mm, 6-10mm und 10-15 mm, wobei der Bereich des Sortiments dasselbe Rohteil verwendet, d.h. daß es eine zylindrische Stützfläche 101 vom selben Durchmesser und analoge konische Stützflächen 100 aufweist, was erlaubt, analoge Ringe und Halbschalen für alle Sortimente oder Sätze zu verwenden.

Claims

1. Verbindung von Rohrleitungen für ein Fluid, enthaltend zwei Endstücke (1a, 1b), die jeweils ein Ende (11a, 11b) zur Befestigung an wenigstens einer entsprechenden Rohrleitung, und eine freie Anschlußfläche haben, und Einrichtungen (4) zum festen gegenseitigen Verbinden der zwei mit ihren freien Flächen einander gegenüberstehenden Endstücke, wobei jedes Endstück (1a) aufweist:

einen metallischen koaxialen Körper(10a), der im Inneren mit einer durchgehenden Bohrung (12a) vom selben Durchmesser wie die Rohrleitung versehen ist und außen von dem genannten Ende (11a) ausgehend eine konische Fläche (100a) aufweist, die sich gegen eine zylindrische Fläche (101a) erweitert, der wenigstens eine zurückgesetzte ebene Schulter (102a) in Richtung auf einen zentralen zylindrischen Abschnitt (105a) folgt, der in einem ringförmigen, geschliffenen Abschnitt (106) endet, wo die Innenbohrung (12a) endet, und

einen Ring (2a) von außen zylindrischer Gestalt aus einem verformbaren synthetischen Material, das in der Lage ist, sich in Berührung auf den zentralen zylindrischen Abschnitt (105a) anzulegen, in Anlage an die genannte ebene Schulter (102a), und der eine ringförmige radiale ebene Wand (20a) aufweist, die mit dem genannten geschliffenen Abschnitt (106a) die freie Verbindungsfläche bildet,

und wobei eine schlanke zylindrische Metallhülse (3) vorgesehen ist, die geeignet ist, an ihrer Innenseite mit den zwei Ringen (2a, 2b) und wenigstens einem Teil der beiden zylindrischen Flächen (101a, 101b) der stirnseitig in Berührung gebrachten Endstücke in Kontakt zu gelangen, so daß die zwei freien Verbindungsflächen einander gegenüberstehen, und wobei die Einrichtungen (4) zum festen gegenseitigen Verbinden zwei Halbschalen (40s, 40i) umfassen, die konische Flächen (401sa, 401sb, 401ia, 401ib) aufweisen, die zu den zwei entsprechenden konischen Flächen (100a, 100b) der zwei koaxialen Metallkörper passen, wobei die feste Verbindung dieser zwei Halbschalen die Verbindung der Fluidrohrleitungen bewirkt.

2. Verbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Dichtheit aufweist, die unter oder gleich 10&supmin;&sup9; cm³xs&supmin;¹ für Helium ist für eine Druckdifferenz von 1at zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Verbindung für eine Dichtungseinheitsfläche von 1cm².

3. Verbindung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die geometrischen Eigenschaften der Endstücke so gewählt sind, daß sie beim Festlegen der zwei Halbschalen eine Kompression der zwei Ringe aus verformbarem synthetischem Material erlauben, die von einer Berührung zwischen den zwei ringförmigen, geschliffenen Abschnitten gefolgt wird.

4. Verbindung nach Anspruch 3 dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Verbinden die geschliffene Fläche des ringförmigen radialen Abschnitts (106a) jedes Endstücks (2a) leicht gegenüber der Ebene der ringförmigen, radialen ebenen Wand (20a) des entsprechenden Ringes (2a) zurückgesetzt ist.

5. Verbindung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das verformbare synthetische Material jedes Ringes (2a, 2b) einen geringen Reibungskoeffizienten in bezug auf das Material der schlanken Hülse (3) aufweist.

6. Verbindung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das synthetische Material jedes Ringes aus der Gruppe ausgewählt ist, die von Polytetraflourethylen und seinen Derivaten gebildet ist.

7. Verbindung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zylindrische Fläche (101a) jedes Endstücks (1a) von wenigstens zwei ringförmigen ebenen zurückgezogenen Schultern (102a, 104a) gefolgt wird, die sich gegen den zylindrischen zentralen Abschnitt (105a) erstrecken.

8. Verbindung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die schlanke Metallhülse (3) aus einem Stück besteht und einen Innendurchmesser hat, der im wesentlichen gleich dem der Scheiben aus verformbarem synthetischem Material und dem der zylindrischen Flächen der zwei Endstücke ist und daß die Länge und die Dicke dieser Hülse so gewählt sind, daß eine korrekte Zentrierung der zwei Endstücke sichergestellt ist.

9. Verbindung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das geleitete Fluid ein Gas ist.

10. Verbindung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das geleitete Gas von hoher Reinheit ist.

11. Verbindung nach einem der Ansprüche 9 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß das geleitete Gas ein solches aus der Gruppe ist, die Wasserstoff, Argon, Sauerstoff, Ammoniak, Phosphorsäurechlorid, Bortribromid, Trichlorethylen, Arsenwasserstoff, Siliciumwasserstoff umfaßt.

12. Verbindung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Endstücke identisch sind.