JP2772990B2 - 流体配管用結合管 - Google Patents

流体配管用結合管

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JP2772990B2 JP2095212A JP9521290A JP2772990B2 JP 2772990 B2 JP2772990 B2 JP 2772990B2 JP 2095212 A JP2095212 A JP 2095212A JP 9521290 A JP9521290 A JP 9521290A JP 2772990 B2 JP2772990 B2 JP 2772990B2
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00Flanged joints
    • F16L23/04Flanged joints the flanges being connected by members tensioned in the radial plane

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、流体配管の結合に関する。本発明は、特に
拡散工程の際に、非常に高純度のガスを用いることが必
要とされるマイクロエレクトロニクス部品の製造に好都
合に適用されるが、それのみに限定されるわけではな
い。
[従来の技術] 上記のような適用を目的とする場合、高純度ガスの搬
送用配管の結合部域においては、その漏洩を防ぐととも
に、搬送されるガスとの相互作用によって、例えば配管
の酸化などを引き起こすおそれのある、外部の化学物質
が配管に侵入することをも防ぐために、非常に高度な密
封状態を確保することが必要とされる。そのような酸化
は、長期的には、部品の生産性を損なうことがある。
また、配管結合の機械的操作の際には、物質の微細な
侵食が生じる可能性があり、これを可能な限り回避する
ことも必要である。
さらに、結合管が、ある特定分野、特に重量が決定的
要因となる航空宇宙関係の用途に用いられる場合は、そ
のような結合管の質量を、最小限に削減することも望ま
しい。
現在公知の結合管が有する問題点は、上記の制約条件
の組合わせが、部分的にしか考慮されていないことであ
る。さらに、このような配慮が、たとえ部分的になされ
たとしても、製品の複雑化を招くのが一般的であり、組
立てが煩瑣となり、その重量が増加するため、製造原価
に否定的影響を及ぼす可能性がある。
[発明が解決しようとする課題] 本発明の第1の目的は、上記の問題点に対する解決策
を提供することにある。
本発明の第2の目的は、結合部域に、非常に高度の密
封状態が確保される流体配管用の結合管を提供すること
である。
本発明の第3の目的は、正しい意味でのシーリングガ
スケットを用いることのない、組立てを簡易化するよう
な結合管を提供することである。
本発明の第4の目的は、組立てを更に簡単化し、かつ
製造原価を削減するために、おす部材およびめす部材の
いずれをも用いない結合管を提供することである。
本発明の第5の目的は、対する正しい意味での機械的
結合操作によって、いかなる微細侵食をも惹起すること
のない結合管を提供することでもある。
本発明の第6の目的は、軽量であり、かつ廉価に製造
できる結合管を提供するとこである。
[課題を解決するための手段] 本発明は、各配管の少なくとも一方に固着するための
一端を、それぞれが有する2個の末端取付物と自由結合
面とを、その自由結合面を介して相互に締めつける手段
を備える形態の流体配管用結合管に関するものである。
本発明の一般的な特徴によれば、各末端取付物は、直
径が配管のそれと連続的であるボアを内部に有し、か
つ、固着末端から始まるその外部が、円筒形の軸受け表
面に向かって広がる円錐形の軸受け表面をなしている同
軸の金属製の体部を備えており、前記内部ボアが開口す
る環状かつ放射状の研磨された断面に終端する中心部の
円筒形の部分に向かって陥入する少なくとも1個の平担
な肩が、前記円筒形の軸受け表面に連なっている。
各末端取付物はさらに、外形が円筒形をなし、前記中
心部円筒形部分に密着して取り付けられて、前記平担な
肩に隣接することができる可塑性合成材料を用いて作成
されるワッシャも備えており、この円筒形のワッシャ
は、前記中心部円筒形部分の研磨された断面とともに前
記末端取付物の自由結合面を形成する、環状かつ放射状
の側面を有している。
また、内部が2個の前記ワッシャと、対面するよう配
置された前記末端取付物の2個の円筒形軸受け表面の少
なくともそれぞれの一部との密着取り付けに適応する、
金属製の細長い円筒形のリングが設けられており、前記
2カ所の自由結合面を互いに対向させることができるよ
うになっている。
さらに、相互に締めつけるための手段は、2個の金属
製の体部のそれぞれの円錐形の軸受け表面に類似した2
個の円錐形の軸受け表面をそれぞれ有する2個の半球形
のシェルからなり、これら2個の半球形シェルの締めつ
けによって、この流体配管の結合が確保される。
末端取付物の幾何学的特徴性は、2個の半球形シェル
の締めつけの際に、まず、可塑性合成材料を用いて作成
された2個のワッシャが圧縮され、次いで、2個の環状
の研磨された断面同士の密着が可能なように選択されて
いる。
好適実施例の1形態によれば、このような圧縮を実現
するために、結合前は、各末端取付物の環状かつ放射状
の研磨された断面の平面が、対応するワッシャの環状側
面の平面に対して、わずかに陥入するように位置してい
る。
特に機械的結合操作の際の物質の侵食を防ぐために、
各ワッシャの合成材料は、細長いリングの材料よりも小
さな摩擦係数を有するのが好都合である。
本発明の変化形態においては、各末端取付物の円筒形
軸受け表面に、前記中心部の円筒形の部分に向かって陥
入する連続的な少なくとも2カ所の平担な肩が連なって
いる。
[実施例] 以下、添付の図面を参照して、実施例を詳細に説明す
ることによって、本発明のその他の利点、および特徴と
を明らかにする。
基本的には、これらの図面は、明確な物性を有する幾
何学的部材で構成されている。これに基づき、各図面
は、下記の説明の不可欠な部分を形成し、したがって、
それに対してより充分な理解をもたらすことができ、か
つ、必要とあらば、本発明の定義にも資することができ
るのである。
第1図に示した通り、この結合管は、同一の2個の同
軸配管の末端取付物(1a)(1b)と、細長い金属製のリ
ング(3)と、さらに、2個の金属製の締めつけ用半球
形シェル(4)とからなっている。
末端取付物(1a)を構成する部材には、aの文字が続
く符号が付され、末端取付物(1b)のそれらには、bの
文字が続く符号が付されている。繁雑を避けるため、末
端取付物(1a)のみについて説明することとし、第2図
についても同様とする。
末端取付物(1a)は、数mmから数十mmの長さであっ
て、流体配管(図示せず)との固着末端(11a)を備え
ている。「長さ」なる用語は、これ以降は、対称軸に平
行に測定された寸法を指すものとする。
固着末端(11a)は、円筒形の末端部分(110a)から
なり、より大きな直径の別の円筒形の部分(111a)へと
連なっている。この末端取付物は、流体配管をこれに固
着させた場合に、その直径と連続するボア(12a)を内
部の中心部に有している。
固着末端(11a)は、やはり同軸の金属製の体部(10
a)内に伸長している。この体部の外部は、円筒形の部
分(111a)から始まり、直径が約12mmであり、長さがほ
ぼ1.8mmの、円筒形の軸受け表面(101a)に向かって広
がる円錐形の軸受け表面(100a)となっている。
この円筒形の軸受け表面(101a)は、中間に存在する
直径が約9.7mmで、長さがほぼ1.5mmの円筒形の軸受け表
面(103a)に結合させる、陥入した環状かつ放射状の第
1の平担な肩(102a)へと連なっている。この後者の軸
受け表面もまた、それを、直径が約6.5mmで、長さがほ
ぼ1mmの中心部の円筒形の部分(105a)に結合させる、
陥入した環状かつ放射状の第2の平担な肩(104a)へと
連なっている。
この中心部円筒形部分(105a)は、環状かつ放射状の
研磨された断面(106a)に終端し、ここで、前記内部ボ
ア(12a)は開口している。
末端取付物を構成する主要な部材としては、他のワッ
シャ(2a)があるが、これは、可塑性の合成材料、例え
ば「テフロン」なる商品名のもとに市販されているポリ
テトラフルオロエチレンを用いて作成されている。
このワッシャの外被(21a)は、前記金属製の体部の
円筒形の軸受け表面(101a)のそれと実質的に等しい外
径の円筒であって、この金属製の体部の第1の平担な肩
(102a)と隣接する平担かつ環状の後面(22a)を有し
ている。また、このワッシャは、金属製の体部の第2の
平担かつ環状の肩(104a)に隣接する、前記後面(22
a)より小さい直径の平担かつ環状の後面(23a)をも備
えている。
このワッシャの外側側面(21a)の長さは、ほぼ2.5mm
である。したがって、このワッシャを、末端取付物の中
心部の円筒形部分(105a)、および中間部の円筒形の軸
受け表面(103a)に密着させて取り付けた場合、その平
担な環状かつ放射状の前面(20a)の平面は、ほぼ5/100
mmに等しいdなる距離だけ、末端取付物の環状の研磨さ
れた断面(106a)から突出する。換言すれば、この環状
の研磨された断面は、ワッシャの環状の壁面(20a)に
対して、わずかに陥入するように位置する。
上記の構成の末端取付物は、さらに、金属製の体部の
放射状の研磨された断面(106a)と、テフロン製ワッシ
ャ(2a)の自由壁面(20a)とからなる自由結合面を備
えている。
正しい意味での結合を進めるために、外径約12.6mm、
肉厚約0.3mm、長さがほぼ7mmの細長い円筒形の金属製リ
ング(3)が設けられている。したがって、このリング
の内径は、各ワッシャ(2)の外面(21)の直径のみな
らず、金属製の体部のそれぞれの円筒形軸受け表面(10
1)のそれとも、実質的に等しい。
正しい意味での結合操作を実行する場合には、2個の
末端取付物を、その自由な結合面が互いに対向するよう
に位置させ、細長い円筒形のリングを後者の周囲に滑動
させて、2個のテフロン製ワッシャ、および金属製の体
部の各円筒形軸受け表面(101a)(101b)の一部分の密
着した取り付けに、内部的に適応するようにする。
したがって、この細長いリング(3)の第1の機能
は、2個の末端取付物の非常に精密な心合わせを確実に
実現させて、その内部ボアの中心を、可能な限り完全に
一致させることである。このリング(3)を定位する場
合、リングに対するテフロンの摩擦係数が低いために、
リングは、ワッシャ(2)の部域とリング(3)の部域
との双方における物質のいかなる微細侵食もなく滑動す
ることができる。
したがって、技術の習熟者は、ワッシャ(2)の構成
材料に関して顧慮すべき第1の前提条件は、一般に、そ
の摩擦係数がリング(3)の材料のそれよりも小さくな
ければならないことであることに注目するものと思われ
る。
リング(3)を用いて2個の末端取付物の心合わせを
行った後は、それぞれの内面が2分された円錐形の軸受
け表面(401sa)(401sb)および(401ia)(401ib)と
なっている、2個の半球形のシェル(40s)(40i)を、
リング、および2個の末端取付物を囲む位置に取り付け
る。その結果、これら4個の2分された円錐形の軸受け
表面は、末端取付物の2個の円錐形軸受け表面(100a)
(100b)と協働する2個の円錐形軸受け表面(401a)
(401b)を規定することになる。
2個の半球形シェルの締めつけは、これに配置された
ボルト孔(400s)(400i)と協働する2個のボルト(図
示せず)を用いて行なう。
締めつけ操作の際は、2個の半球形シェルの円錐形軸
受け表面と、末端取付物の円錐形軸受け表面との協働に
よって、まず第1に、2個のテフロン製ワッシャ(2a)
の軸方向への圧縮が、次いで、2カ所の研磨された断面
(106a)(106b)の密着が可能となる。これは、一方で
は、各ワッシャの自由側面が、金属製の体部の研磨され
た断面からdなる距離をもって隔てられているため、他
方では、テフロンの性質が可塑的であるために、実現さ
れるのである。
この可塑的な性質は、さらに、ワッシャ(2a)(2b)
の構成材料が、一般に満足すべき第2の前提条件とな
る。この目的のためには、結合管を構成するステンレス
鋼(例えば316L)よりも軟らかい材料が使われることに
なる。適当な材料としては、ポリテトラフルオロエチレ
ン以外には、その誘導体、例えばKEL−Fなる名称で公
知のフッ素含有エラストマーその他の、ガスに対する結
合技術に用いられる合成材料がある。
このようにして構成された結合管は、一方では2個の
ワッシャ(2)の接続部により、他方では2カ所の研磨
された断面(106)の接続部によって構成される単一の
平担な密封平面を備えている。したがって、一方ではワ
ッシャの部域に、他方では研磨された断面の部域に、正
しい意味でのシーリングガスケットを介在させることな
く、二重の密封状態が実現する。その上、一体化して作
成された、選択された長さおよび肉厚のリング(3)の
幾何学的特徴性によって、2個の末端取付物に対する正
確な案内を、圧縮の当初から確保し、それらの心合わせ
を維持することが可能となる。
試験の際に測定されたこのような結合管の密着度は、
結合管の内部ボアと外側との間の単位密封表面1cm2
たりの圧力差1気圧につき、ヘリウムの洩れが10-9cm3
/秒を下回る。
したがって、本発明の結合管によって、特に、正しい
意味でのシーリングガスケットを用いることなく、最小
限度の部品を用いて非常に高度の密封状態を得ることが
可能となる。さらに、このような同一の末端取付物から
なる結合管は、おす部材およびめす部材のいずれかの製
造をも必要とせず、その組み立てを簡易化し、かつ大量
生産の原価を削減する。
このような形態の結合管は、ガスの配管、なかんずく
高純度のガス、例えば水素、アルゴン、酸素、無水塩化
水素、および、半導体の製造に適したその他のガス、例
えば塩化ホスホリル(POCl3)、三臭化ホウ素(BB
r3)、トリクロロエチレン、アルシン(AsH3)、シラン
(SiH4)の配管の結合に特に良く適している。また、こ
れを、医薬品製造のための結合技術に用いることもでき
る。
このような結合管はまた、数百バールに及ぶ高圧に耐
えることが可能であり、ワッシャ(2)を構成する材料
を酸の侵食に耐性を有するように選定することもでき
る。
第4図および第5図は、本発明の結合管の別の好適実
施例を示すものであって、直径がほぼ9.5mm(3/8イン
チ)の流体配管の結合に更に適している。第1図乃至第
3図の示したものと類似の、あるいはその機能が類似す
る部材には、第1図乃至第3図のそれと同一であって、
後にvなる接尾辞が続く符号を付してある。好適実施例
の相違点のみを、次に説明する。
固着末端(11a−v)は、金属製の体部(10a−v)の
円錐形の軸受け表面(100a−v)に結合された円筒形の
末端部分(110a−v)のみからなっている。金属製の体
部の円筒形軸受け表面(101a−v)は、中心部の円筒形
の部分(105a−v)へと陥入する単一の平担な肩(102a
−v)のみに連なっている。
テフロン製ワッシャ(2a−v)は、外径が約12mm、内
径が約9.7mmの単一の円筒のみによって構成される。こ
れは、環状の肩(102a−v)に隣接し、その環状かつ放
射状の壁(20a−v)は、金属製の体部の環状の研磨さ
れた断面(106a−v)の平面から、5/100mm突出してい
る。
細長いリング(3−v)、ならびに締めつけ手段(4
−v)の幾何学的特徴性は、この結合管の上記の寸法を
考慮して調整される。
本発明は、上記好適実施例の形態に限定されるもので
はなく、それらの変化形のすべて、なかんずく、次の事
項を包含する。
2個の同一の末端取付物については上記に記載し
た。同一でなければならないのは、金属製の体部および
その可塑性合成材料によるワッシャのみであることは認
識可能であると思われる。
固着末端は、各種の形態の配管に結合され、極端な場
合は、同時に数本の配管に、あるいは流体用部品、例え
ば弁またはフィルタの一部を形成するために結合される
ように、屈曲その他の各種の形状とすることができる。
おす部品およびめす部品の不在によって、結合は著しく
簡易化される。
各末端取付物の円筒形軸受け表面と、中心部の円筒
形の部分との間に位置する陥入した平担な肩の数が無制
限であることは当然である。
1あるいは2個の肩に関する信頼度は、各種の直径、
例えば2〜6mm、6〜10mm、および10〜15mmの配管用
に、ある程度の幅を有する結合管の作成を許し、その幅
の各部分は、同一の大まかな形態を用いている、すなわ
ち、同一直径の円筒形軸受け表面(101)、および類似
の円錐形軸受け表面(100)を備えており、すべての範
囲に対して類似のリング、および締めつけ用シェルを用
いることが可能となっている。
上記の手段の幾つかは、変化形においては、有効な用
途がない場合に、当然省略することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の結合管の好適実施例の第1の形態
の、組立て前の状態における斜視図である。 第2図は、結合前の第1図の結合管の末端取付物の中央
縦断面図である。 第3図は、結合後の第1図の結合管の中央縦断面図であ
る。 第4図は、本発明の結合管の末端取付物形成部分の好適
実施例の第2の形態の、結合前の状態を示す中央縦断面
図である。 第5図は、第4図の好適実施例の形態の、結合後の状態
を示す中央縦断面図である。 (1a)(1b)(1a−v)……末端取付物 (2a)(2b)(2a−v)(2b−v)……ワッシャ (3)(3−v)……円筒形のリング (4)(4−v)……締めつけ手段 (40s)(40i)……半球形シェル (10a)(10b)(10a−v)……金属製の体部 (11a)(11b)(11a−v)……固着末端 (12a)……内部ボア (20a)(20b)(20a−v)……ワッシャ壁面 (21a)(21b)(21a−v)……ワッシャ外面 (22a)(22b)……ワッシャ後面 (23a)(23b)……ワッシャの肩後面 (100a)(100b)(100a−v)……円錐形軸受け表面 (101a)(101b)(101a−v)……第1円筒形軸受け表
面 (102a)(102a−v)……体部の第1の肩 (103a)……第2円筒形軸受け表面 (104a)……体部の第2の肩 (105a)(105a−v)……中心部の円筒形部分 (106)(106a)(106b)(106a−v)……研磨された
断面 (110a)(110b)(110a−v)……円筒形末端部分 (111a)(111b)……末端部の円筒形部分 (400s)(400i)……ボルト孔 (401sa)(401sb)(401ia)(401ib)……円錐形軸受
け表面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 レイモン ドゥプラエテール フランス国 エフ‐91000 エブリ リ ュ デ コクリコ 1 (56)参考文献 特開 昭54−152219(JP,A) 特開 昭62−248625(JP,A) 特開 平1−290833(JP,A) 実開 昭57−132882(JP,U) 実開 昭61−61390(JP,U) 実開 昭58−119687(JP,U) 実開 昭63−175386(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) F16L 21/00 - 21/08

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】各配管の少なくとも一方に固着されるため
    の一端(11a)(11b)を、それぞれが有する2個の末端
    取付物(1a)(1b)と自由結合面とを、前記自由結合面
    を介して、前記2個の末端取付物を相互に締めつける手
    段(4)を備える流体配管用結合管であって、 各末端取付物(1a)が、 直径が前記配管のそれと連続的であるボア(12a)を内
    部に有し、かつ、固着末端(11a)から始まるその外部
    が、前記内部ボア(12a)が開口する環状かつ放射状の
    研磨された断面(106a)に終端する中心部の円筒形の部
    分(105a)に向かって陥入する、少なくとも1個の平坦
    な肩(102a)へと連なる円筒形の軸受け表面(101a)に
    向かって広がる円錐形の軸受け表面(100a)をなしてい
    る同軸の金属製の体部(10a)と、 外形が円筒形をなし、前記中心部円筒形部分(105a)に
    密着して取り付けられて、前記平坦な肩(102a)に隣接
    することができる可塑性合成材料を用いて作成され、か
    つ前記研磨された断面(106a)とともに自由結合面を形
    成する環状かつ放射状の側面(20a)を有するワッシャ
    (2a)とからなり、 内部が2個の前記ワッシャ(2a)(2b)と、対面するよ
    う配置された前記末端取付物の2個の円筒形軸受け表面
    (101a)(101b)の少なくともそれぞれの一部との密着
    取り付けに適応することができる金属製の細長い円筒形
    のリング(3)が設けられていて、前記2カ所の自由結
    合面を互いに対向させることが可能であり、かつ 相互に締めつけるための手段(4)が、2個の金属製の
    同軸の体部(10a)のそれぞれの円錐形の軸受け表面(1
    00a)(100b)と類似する2個の円錐形の軸受け表面(4
    01sa)(401sb)(401ia)(401ib)をそれぞれ有する
    2個の半球形のシェル(40s)(40i)からなり、 前記2個の半球形シェルの締めつけによって、前記流体
    配管の結合が確保されるようになっていることを特徴と
    する流体配管用結合管。
  2. 【請求項2】末端取付物の幾何学的特性が、2個の半球
    形シェルの締めつけの際に、可塑性合成材料を用いて作
    成された2個のワッシャが圧縮され、次いで、2個の環
    状の研磨された断面同士の密着が可能なように選択され
    ていることを特徴とする請求項(1)記載の流体配管用
    結合管。
  3. 【請求項3】結合前は、各末端取付物(1a)の環状かつ
    放射状の研磨された断面(106a)の平面が、対応するワ
    ッシャ(2a)の環状かつ放射状の平坦な壁(20a)の平
    面に対して、わずかに陥入するように位置していること
    を特徴とする請求項(2)記載の流体配管用結合管。
  4. 【請求項4】各ワッシャ(2a)(2b)の可塑性合成材料
    が、細長いリング(3)の材料よりも小さな摩擦係数を
    有することを特徴とする請求項(1)〜(3)のいずれ
    かに記載の流体配管用結合管。
  5. 【請求項5】各ワッシャの合成材料が、ポリテトラフル
    オロエチレン、およびその誘導体よりなる群から選択さ
    れることを特徴とする請求項(1)〜(4)のいずれか
    に記載の流体配管用結合管。
  6. 【請求項6】各末端取付物(1a)の円筒形軸受け表面
    (101a)に、中心部の円筒形の部分(105a)に向かって
    陥入する少なくとも2カ所の平坦な環状の肩(102a)
    (104a)が連なっていることを特徴とする請求項(1)
    〜(5)のいずれかに記載の流体配管用結合管。
  7. 【請求項7】細長い金属製リング(3)が、一体化して
    作成されており、可塑性合成材料を用いて作成されたワ
    ッシャ、および2個の末端取付物の円筒形軸受け表面の
    それと等しい内径を有し、かつ前記リングの長さおよび
    肉厚が、前記2個の取付物との正確な心合わせが確保さ
    れるように選択されていることを特徴とする請求項
    (1)〜(6)のいずれかに記載の流体配管用結合管。
  8. 【請求項8】流体として、ガスが用いられることを特徴
    とする請求項(1)〜(7)のいずれかに記載の流体配
    管用結合管。
  9. 【請求項9】搬送されるガスが、高純度のガスであるこ
    とを特徴とする請求項(8)記載の流体配管用結合管。
  10. 【請求項10】搬送されるガスが、水素、アルゴン、酸
    素、無水塩化水素、塩化ホスホリル、三臭化ホウ素、ト
    リクロロエチレン、アルシン、シランからなる群に属す
    ることを特徴とする請求項(8)または(9)に記載の
    流体配管用結合管。
  11. 【請求項11】2個の末端取付物が、同一物であること
    を特徴とする請求項(1)〜(10)のいずれかに記載の
    流体配管用結合管。
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