DE68913790D1 - Verfahren und Tiegel für das Erstarren von Materialien und Verwendung zur Halbleiter-Kristallzüchtung. - Google Patents

Verfahren und Tiegel für das Erstarren von Materialien und Verwendung zur Halbleiter-Kristallzüchtung.

Info

Publication number
DE68913790D1
DE68913790D1 DE89401067T DE68913790T DE68913790D1 DE 68913790 D1 DE68913790 D1 DE 68913790D1 DE 89401067 T DE89401067 T DE 89401067T DE 68913790 T DE68913790 T DE 68913790T DE 68913790 D1 DE68913790 D1 DE 68913790D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
crucible
solidification
materials
crystal growth
semiconductor crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE89401067T
Other languages
English (en)
Other versions
DE68913790T2 (de
Inventor
Thierry Duffar
Pierre Dusserre
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National dEtudes Spatiales CNES
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Centre National dEtudes Spatiales CNES
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National dEtudes Spatiales CNES, Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Centre National dEtudes Spatiales CNES
Publication of DE68913790D1 publication Critical patent/DE68913790D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE68913790T2 publication Critical patent/DE68913790T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B11/00Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
    • C30B11/002Crucibles or containers for supporting the melt
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
    • C30B35/002Crucibles or containers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
DE1989613790 1988-04-20 1989-04-18 Verfahren und Tiegel für das Erstarren von Materialien und Verwendung zur Halbleiter-Kristallzüchtung. Expired - Fee Related DE68913790T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8805221A FR2630459B1 (fr) 1988-04-20 1988-04-20 Procede et creuset de solidification de materiaux, et application a la cristallogenese de semi-conducteurs

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE68913790D1 true DE68913790D1 (de) 1994-04-21
DE68913790T2 DE68913790T2 (de) 1994-09-15

Family

ID=9365484

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1989613790 Expired - Fee Related DE68913790T2 (de) 1988-04-20 1989-04-18 Verfahren und Tiegel für das Erstarren von Materialien und Verwendung zur Halbleiter-Kristallzüchtung.

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0338914B1 (de)
DE (1) DE68913790T2 (de)
FR (1) FR2630459B1 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3902452A1 (de) * 1989-01-27 1990-08-02 Heliotronic Gmbh Mit einer strukturierten oberflaeche versehene substrate fuer das aufwachsen von erstarrenden schichten aus schmelzen, insbesondere von halbleitermaterial
JPH0570288A (ja) * 1991-09-09 1993-03-23 Toshiba Corp 化合物半導体単結晶の製造方法及び製造装置
DE19917288C2 (de) 1999-04-16 2001-06-28 Heraeus Quarzglas Quarzglas-Tiegel
FR2927910B1 (fr) 2008-02-27 2011-06-17 Centre Nat Rech Scient Procede de cristallogenese d'un materiau electriquement conducteur a l'etat fondu.
JP5875529B2 (ja) * 2011-01-26 2016-03-02 国立大学法人山口大学 シリコン融液接触部材、その製法、および結晶シリコンの製造方法
DE102017006729A1 (de) * 2017-07-17 2019-01-17 Lebronze Alloys Germany Gmbh Bauteil, Verwendung eines Bauteils, Verfahren und System

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1420234A (fr) * 1965-01-11 1965-12-03 Siemens Ag Creuset de quartz pour la fusion du silicium
GB1577413A (en) * 1976-03-17 1980-10-22 Metals Research Ltd Growth of crystalline material
FR2345253A1 (fr) * 1976-03-23 1977-10-21 Radiotechnique Compelec Creuset pour la fabrication d'un lingot de materiau cristallin
JPS6090890A (ja) * 1983-10-24 1985-05-22 Mitsubishi Monsanto Chem Co 無機化合物単結晶の成長方法及び単結晶成長用ボ−ト

Also Published As

Publication number Publication date
FR2630459B1 (fr) 1994-04-29
FR2630459A1 (fr) 1989-10-27
EP0338914B1 (de) 1994-03-16
EP0338914A1 (de) 1989-10-25
DE68913790T2 (de) 1994-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69104864D1 (de) Verfahren zur gesteuerten Züchtung von nadelförmigen Kristallen und ihre Verwendung zur Herstellung spitzenförmiger Mikrokathoden.
DE68927509D1 (de) Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Diamant
DE3785655T2 (de) Nukleierungsmittel enthaltende mikroporeuse Materialien und Verfahren zur Herstellung derselben.
DE3863887D1 (de) Verfahren zum zuechten von homogenen kristallen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens.
DE3876534D1 (de) Verfahren zur herstellung von materialien auf basis von siliciumcarbid und eine zusammensetzung von rohmaterialien dafuer.
DE68913429D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Silicium-Einkristallen.
DE3480721D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von einkristallen.
DE68907184T2 (de) Verfahren zur zuechtung von kristallen und tiegel dafuer.
ATA222686A (de) Verfahren zur herstellung von se-metallen und se-haltigen legierungen
DE69123178D1 (de) Verwendung von Uridin zur pharmakologischen Behandlung der peripheren Komplikationen bei Diabetes
DE3872922T2 (de) Verfahren zur herstellung von lanthankuprat-einkristall.
DE3675016D1 (de) Verfahren zur fluoreszenzverbesserung von ti:al2o3 laserkristallen durch kontrolle von kristallzuechtung-atmosphaeren.
DE69009719T2 (de) Verfahren zur Züchtung von Antimon-dotierten Silizium-Einkristallen.
DE68913790D1 (de) Verfahren und Tiegel für das Erstarren von Materialien und Verwendung zur Halbleiter-Kristallzüchtung.
DE68917054D1 (de) Verfahren zur Einkristallzüchtung von zersetzbaren Halbleiter-Verbindungen.
DE3853084D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur züchtung von kristallen nach der czochralski-methode.
DE3855391T2 (de) Methode und Gerät zur Herstellung von supraleitenden keramischen Materialien
DE69004301D1 (de) Mischung zur Behandlung der von exokrinen Insuffizienz der Bauchspeicheldrüse und die Verwendung der genannten Mischung.
DE3851101D1 (de) Verfahren zur Kristallisation von Magnesiumchlorid und Verwendung in Katalysatorzusammensetzungen.
DE68901145D1 (de) Verfahren zur herstellung von arzneimitteldurchlaessigen materialien.
DE68917052D1 (de) Verfahren zur Einkristallzüchtung von zersetzbaren Halbleiter-Verbindungen.
DE69016392D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Züchtung von Kristallen.
DE3788491T2 (de) Energiehärtbare druckempfindliche Klebstoffe und Verfahren zur Herstellung von druckempfindlichen Klebstoffen.
DE68909491T2 (de) Verfahren zur Herstellung von Diamantkristall.
ATA331387A (de) Piezoelektrisches kristallelement und verfahren zur herstellung desselben

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee