DE68911078T2 - Klopfsensor vom Nichtresonanztyp. - Google Patents
Klopfsensor vom Nichtresonanztyp.Info
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Description
- Diese Erfindung bezieht sich auf einen Klopfsensor vom Nichtresonanztyp, der geeignet ist, an einem Verbrennungsmotor zum Detektieren des Auftretens eines Klopfens des Motors befestigt zu werden.
- Es gibt einen bekannten Klopfsensor vom Nichtresonanztyp mit einem Gehäuse aus Kunstharz, das geeignet ist, an einem geeigneten Teil eines Verbrennungsmotors befestigt zu werden, mit einem ringförmigen, piezoelektrischen Element, das im Gehäuse fest angeordnet ist und ein Paar Elektroden an beiden Seiten hievon aufweist, mit einem Paar von Anschlußstiften, die jeweils mit entsprechenden Elektroden in Kontakt stehen, und mit einer zylindrischen Anschlußwand, die die Anschlußstifte umgibt (Japanische veröffentlichte ungeprüfte Patentanmeldung (Tokkyo Kokai) Nr.61-153 530 (EP-A2,3-184 666)).
- Bei einem derartigen Klopfsensor vom Nichtresonanztyp erteilt die Klopfvibration dem piezoelektrischen Element proportional zur Klopffrequenz eine Druckverformung, so daß vom piezoelektrischen Element ein piezoelektrisches Spannungssignal entsprechend der Vibration erzeugt wird. Das Ausgangssignal wird vom Zuführungsdraht aufgenommen und außerhalb des Sensors von den Anschlußstiften durch eine mit dem Anschluß verbundene Kupplung übertragen.
- Die Erfinder haben gefunden, daß der Klopfsensor vom Nichtresonanztyp dazu tendiert, Geräusche zu erzeugen, so daß das Klopfen des Motors nicht genau detektiert wird.
- Daher ist das Hauptziel der vorliegenden Erfindung, einen Klopfsensor vom Nichtresonanztyp zu schaffen, der das Auftreten eines Klopfens eines Verbrennungsmotors genau detektieren kann.
- Um das obige Ziel zu erreichen, ist gemäß der vorliegenden Erfindung ein Klopfsensor vom Nichtresonanztyp für einen Verbrennungsmotor vorgesehen, mit einem zylindrischen Körper, der ein Durchgangsloch aufweist und geeignet ist, am Motor durch eine durch das Durchgangsloch eingesetzte Schraube befestigt zu werden, mit einer zylindrischen Anschlußwand, die sich vom zylindrischen Körper radial auswärts erstreckt, mit einem ringförmigen piezoelektrischen Element, das koaxial in der Wand des zylindrischen Körpers angeordnet und in dieser eingebettet ist und ein Paar Elektroden an beiden Seiten aufweist, und mit einem Paar von Anschlußstiften, die sich axial in der Anschlußwand erstrecken und jeweils in elektrischem Kontakt mit der entsprechenden einen der Elektroden stehen, und es ist dieser Sensor dadurch gekennzeichnet, daß das piezoelektrische Element an einer der Anschlußwand benachbarten Stelle einen nicht-polarisierten Teil aufweist, so daß eine von der Anschlußwand auf das piezoelektrische Element übertragene Vibration das piezoelektrische Element im wesentlichen nicht veranlaßt, ein elektrisches Ausgangssignal zu erzeugen.
- Die Erfinder haben gefunden, daß die vom Sensor aufgenommenen Geräusche einer vom Anschluß des Sensors übertagenen Vibration zuzuschreiben sind, welche Vibration von der durch Klopfen verursachten zu diskriminieren ist. So ist der Klopfsensor gemäß der vorliegenden Erfindung nur für eine Vibration durch Klopfen empfindlich, wodurch eine genaue Detektion des Klopfens ermöglicht wird.
- Andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit Bezugnahme auf die beigeschlossenen Zeichnungen ersichtlich, in denen:
- Fig.1 eine Schnittansicht ist, die schematisch einen die vorliegende Erfindung verkörpernden Klopfsensor zeigt;
- Fig.2(a) eine Draufsicht ist, die schematisch ein piezoelektrisches Element von Fig.1 zeigt;
- Fig.2(b), 3 und 4 perspektivische Ansichten sind, die verschiedene Elektrodenmuster am piezoelektrischen Element zeigen;
- Fig.5 bis 7 perspektivische Ansichten sind, die Modifikationen der in Fig.2(b), 3 bzw. 4 gezeigten Ausführungsformen zeigen;
- Fig.8(a) und 8(b) sowie 9(a) bis 9(c) perspektivische Ansichten sind, die ein Verfahren zur Bildung weiterer Strukturen piezoelektrischer Elemente der vorliegenden Erfindung zeigen;
- Fig.10 eine perspektivische Ansicht ist, die eine weitere piezoelektrische Elementstruktur der vorliegenden Erfindung zeigt;
- Fig.11(a) eine graphische Darstellung ist, die die mit dem herkömmlichen Klopfsensor erhaltene Frequenz-Ausgangsspannungs- Kennlinie zeigt;
- Fig.11(b) und 11(c) graphische Darstellungen ähnlich Fig.11(a) im Fall eines Klopfsensors gemäß der vorliegenden Erfindung sind; und
- Fig.12 eine erläuternde Ansicht ist, die eine im Klopfsensor bewirkte Welligkeitsvibration zeigt.
- Fig.1 zeigt ein Beispiel eines Klopfsensors vom Nichtresonanztyp. Die Bezugsziffer 1 bezeichnet ein Gehäuse, das aus Kunstharz gebildet ist und einen zylindrischen Körper 2 aufweist. Eine Hülse 3 aus Metall ist im zylindrischen Körper 2 befestigt. Die Hülse 3 hat einen Flanschteil 4 an ihrem unteren Ende und ein Außengewinde 6 an ihrem oberen Teil. Außenumfänge beider Enden der Hülse sind geformt, um einen gezackten oder gezahnten Querschnitt 5a und 5b, wie veranschaulicht, aufzuweisen, wodurch die Dichtigkeit der Verbindung zwischen der Hülse 3 und dem Gehäuse 1 verbessert wird.
- Ein ringförmiges piezoelektrisches Element 7 ist im Gehäuse 1 annähernd koaxial zur Hülse 3 angeordnet und wird vom Flansch 4 der Hülse 3 aufgenommen. Das Element 7 hat an seinen beiden Seiten ein Paar Elektroden 8a und 8b, die mit einer oberen und einer unteren Elektrodenplatte 9a und 9b in elektrischem Kontakt stehen. Über der oberen Elektrodenplatte 9a sind eine Isolatorplatte 10, ein Gewicht 11 und eine Unterlagscheibe 12 in dieser Reihenfolge angeordnet, und diese Teile sind fest zusammengefügt und mit der Hülse 3 durch eine Mutter 13 verbunden, die mit dem Gewinde 6 der Hülse 3 in Eingriff steht. Die erhaltene Anordnung wird durch einen Gußvorgang in einer Form mit dem Gehäuse 1 eingekapselt oder umgeben.
- Eine zylindrische Anschlußwand 17 erstreckt sich von einem mittleren Teil des zylindrischen Körpers 2 radial nach außen. In der Anschlußwand 17 ist ein Paar von sich axial erstreckenden Anschlußstiften 14 (in Fig.1 ist nur ein Stift gezeigt) vorgesehen, die mit den paarweisen Elektroden 8a und 8b des piezoelektrischen Elements 7 durch Widerstände 15 und die Elektrodenplatten 9a und 9b in elektrischem Kontakt stehen.
- Der so ausgebildete Klopfsensor wird fest an einem geeigneten Teil eines Verbrennungsmotors durch eine durch das Durchgangsloch des zylindrischen Körpers 2 eingesetzte Schraube (nicht dargestellt) befestigt, und eine weibliche Kupplung 18, die durch durchbrochene Linien dargestellt ist, ist mit dem Anschluß 17 verbunden. Wenn im Motor ein Klopfen auftritt, wird eine Verformung in axialer Richtung der Hülse 3 zum piezoelektrischen Element übertragen, so daß eine Potentialdifferenz im piezoelektrischen Element erzeugt wird. Das piezoelektrische Spannungssignal wird von den Elektrodenplatten 9a und 9b aufgenommen und durch die weibliche Kupplung 18 aus dem System geleitet.
- Wie in Fig.2(a) gezeigt, hat das piezoelektrische Element 7 einen nicht-polarisierten Teil 60 an einer der Anschlußwand 17 benachbarten Stelle, so daß eine von der Anschlußwand 17 zum piezoelektrischen Element 7 übertragene Vibration im wesentlichen keine Erzeugung eines elektrischen Ausgangssignals durch das piezoelektrische Element 7 bewirkt. Das heißt, wenn eine Vibration von der Anschlußwand 17 eine Richtungskomponente parallel zur axialen Richtung der Hülse 3 aufweist, erzeugt das piezoelektrische Element 7 kein elektrisches Ausgangssignal, sogar wenn das Element eine Druckverformung im nicht-polarisierten Teil 60 erfährt.
- So wird, wie in Fig.11(a) gezeigt, beim herkömmlichen Klopfsensor, bei dem kein derartiger nicht-polarisierter Teil 60 vorgesehen ist, ein Geräuschsignal "n" erzeugt. Im Gegensatz dazu wird, wie in Fig.11(b) gezeigt, beim Klopfsensor gemäß der vorliegenden Erfindung ein derartiges Geräusch eliminiert.
- Ein derartiger nicht-polarisierter Teil 60 kann durch verschiedenste Verfahren gebildet werden. Ein Beispiel ist in Fig.2(b) gezeigt, in der ein Teil zumindest einer der Elektroden 8a und 8b (im veranschaulichten Fall 8a allein) weggeschnitten ist, um einen elektrodenfreien Teil 20 zu bilden. Dann wird eine Gleichspannung zwischen den zwei Elektroden 8a und 8b angelegt. Als Folge wird der Teil des piezoelektrischen Elements 7, der mit der Elektrode versehen ist, polarisiert, wobei der verbleibende Teil 60, der dem elektrodenfreien Teil 20 entspricht, nicht-polarisiert gehalten wird.
- Die Größe des nicht-polarisierten Teils 60 ist nicht spezifisch begrenzt, wird jedoch durch das gewünschte Ausmaß an Geräuscheliminierung bestimmt, unter Berücksichtigung des Beibehaltens der Empfindlichkeit des Sensors. Sehr gute Ergebnisse können erzielt werden, wenn der Winkel Θ des nicht-polarisierten Teils 60 im Bereich von 60 bis 110º liegt.
- In der in Fig.3 gezeigten Ausführungsform sind beide Seiten des piezoelektrischen Elements zur Gänze mit den Elektroden 8a und 8b versehen, und eine Gleichspannung wird zwischen diesen zur Polarisierung des gesamten Elements 7 angelegt. Danach wird ein gewünschter Teil des Elements 7 mit einem geeigneten Mittel, wie einem Lötkolben, auf eine Curie-Temperatur des Elements 7 (etwa 400ºC im Fall eines piezoelektrischen Elements aus Bleititanat) erhitzt, um dadurch einen nicht-polarisierten Teil 60 im obigen gewünschten Ausmaß zu bilden.
- In der in Fig.4 gezeigten Ausführungsform sind beide Seiten des piezoelektrischen Elements zur Gänze mit den Elektroden 8a und 8b versehen, und eine Gleichspannung wird zwischen diesen zur Polarisierung des gesamten Elements 7 angelegt. Danach werden Schlitze 21 gebildet, um eine getrennte Elektrode 22 zwischen diesen zu bilden. Dann wird eine Gleichspannung an die Elektrode 22 in der zur vorher angewendeten Richtung entgegengesetzten Richtung angelegt, um einen nicht-polarisierten Teil 60 mit einer Größe zu bilden, die der getrennten Elektrode 22 entspricht.
- Es sei auf Fig.12 bezuggenommen. Der Klopfsensor S vom Nichtresonanztyp der vorliegenden Erfindung ist fest an einem geeigneten Teil E, wie einem Zylinderkopf oder einem Zylinderblock, eines Motors mit einer Schraube B befestigt und erzeugt ein Ausgangssignal proportional zur Größenordnung der Motorvibration. Da die Vibration eine Welligkeitsvibration V&sub2; sowie eine gewöhnliche Längsvibration V&sub1; beinhaltet, wird eine durch die Welligkeitsvibration V&sub2; bewirkte Verformung alternierend einem ersten Teil des piezoelektrischen Elements, der dem Anschluß benachbart angeordnet ist, und einem zweiten Teil hievon erteilt, der diametral gegenüber dem ersten Teil angeordnet ist, wobei das Zentrum des piezoelektrischen Elements als Hebeldrehpunkt dient. Als Folge wird, wie in Fig.11b gezeigt, beim Klopfsensor mit einem wie in den Fig.2 bis 4 dargestellten piezoelektrischen Element ein der Welligkeitsvibration V&sub2; zugeschriebenes Geräusch "m" bei einer spezifischen Frequenz erzeugt.
- Fig.5 bis 7 veranschaulichen Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung, bei welchen das obige Problem überwunden wurde. Diese Ausführungsformen sind ähnlich jenen von Fig.2(b), 3 und 4, ausgenommen, daß ein weiterer nicht-polarisierter Teil 61 im piezoelektrischen Element 7 an einer im wesentlichen diametral gegenüber dem nicht-polarisierten Teil 60 liegenden Stelle vorgesehen ist. Durch diese Anordnung wird, wie in Fig.11(c) gezeigt, ein derartiges Geräusch eliminiert.
- In der in Fig.5 gezeigten Ausführungsform sind zwei symmetrische Teile zumindest einer der Elektroden 8a und 8b weggeschnitten, um die zwei elektrodenfreien Teile 20 zu bilden. Dann wird eine Gleichspannung zwischen den beiden Elektroden 8a und 8b angelegt. Folglich werden die Teile des piezoelektrischen Elements 7, die mit der Elektrode versehen sind, polarisiert, wobei die verbleibenden Teile 60 und 61, die den elektrodenfreien Teilen 20 entsprechen, nicht-polarisiert gehalten werden.
- In der in Fig.6 gezeigten Ausführungsform sind beide Seiten des piezoelektrischen Elements 7 zur Gänze mit den Elektroden 8a und 8b versehen, und eine Gleichspannung wird dazwischen angelegt, um das gesamte Element 7 zu polarisieren. Danach werden zwei symmetrische Teile des Elements 7 mit einem geeigneten Mittel, wie einem Lötkolben, auf eine Curie-Temperatur des Elements 7 erhitzt, um dadurch nicht-polarisierte Teile 60 und 61 in den oben erwähnten symmetrischen Teilen zu bilden.
- In der in Fig.7 gezeigten Ausführungsform sind beide Seiten des piezoelektrischen Elements 7 zur Gänze mit den Elektroden 8a und 8b versehen, und eine Gleichspannung wird dazwischen angelegt, um das gesamte Element 7 zu polarisieren. Danach werden Schlitze 21 gebildet, um getrennte Elektroden 22 zu bilden. Dann wird eine Gleichspannung an die Elektroden 22 in einer zur vorher angewendeten Richtung entgegengesetzten Richtung angelegt, um nicht-polarisierte Teile 60 und 61 mit einer den getrennten Elektroden 22 entsprechenden Größe zu bilden.
- Da das Vorliegen der elektrodenfreien Teile 20 einen gleichmäßigen Druckkontakt zwischen dem piezoelektrischen Element und einem Fixierungsmittel hiefür verhindert, wird ein Unterschied zwischen einem von den elektrodenfreien Teilen aufgenommenen Druck und dem von den Teilen mit den Elektroden aufgenommenen bewirkt, was zur Dispersion oder Nichtgleichmäßigkeit von Ausgangscharakteristiken von piezoelektrischen Elementen führt. Dies wird besonders auffällig, wenn zwei elektrodenfreie Teile, wie in der in Fig.5 gezeigten Ausführungsform, gebildet werden, obwohl die in Fig.6 und 7 gezeigten Ausführungsformen im wesentlichen frei von derartigen Problemen sind.
- Die Probleme, die in den in Fig.2(b) und 5 gezeigten Ausführungsformen vorliegen, wurden in der in den folgenden Ausführungsformen gezeigten Ausbildung überwunden.
- Es sei auf Fig.8(a) und 8(b) bezuggenommen; ein piezoelektrisches Element ist an seinen beiden Seiten mit Silberelektroden 8a und 8b versehen, die beispielsweise durch das Aufbringen einer Beschichtung oder durch Drucken gebildet werden. Zwei symmetrische Teile zumindest einer der Elektroden 8a und 8b werden weggeschnitten, um zwei elektrodenfreie Teile 20 zu bilden. Dann wird eine Gleichspannung zwischen den zwei Elektroden 8a und 8b angelegt, so daß die Teile des piezoelektrischen Elements 7, die mit der Elektrode versehen sind, polarisiert werden, wobei die verbleibenden Teile 60 und 61, die den elektrodenfreien Teilen 20 entsprechen, nicht-polarisiert gehalten werden. Dann wird ein Füllstoff, wie Silicon oder ein ähnliches Harz, ein Fett oder eine Farbe inklusive einer leitfähigen, auf die elektrodenfreien Teile 20 aufgebracht, so daß die obere Fläche der in den Teilen 20 so vorgesehenen Schichten 30 die gleiche Höhe wie die Fläche der Elektroden 8a und 8b aufweist. Die Füllstoffschichten 30 dienen auch zum Ausgleichen der Oberflächenrauhheit oder -unebenheit des piezoelektrischen Elements. Demgemäß weist die Oberfläche des die Elektrode tragenden piezoelektrischen Elements eine verbesserte Flachheit und Glattheit auf und kann mit den Elektrodenplatten 9a und 9b (Fig.1) gleichmäßig in Kontakt treten, wodurch die Gleichmäßigkeit derAusgangscharakteriatiken des piezoelektrischen Elements verbessert wird. Die obige Polarisationsbehandlung kann gewünschtenfalls nach der Bildung der Füllschichten 30 durchgeführt werden.
- Es sei auf Fig.9(a) bis 9(c) bezuggenommen; ein piezoelektrisches Element ist an seinen beiden Seiten mit gebildeten Silberelektroden 40a und 40b versehen. Zwei symmetrische Teile zumindest einer der Elektroden 40a und 40b werden weggeschnitten, um zwei elektrodenfreie Teile 41 zu bilden. Dann wird eine Gleichspannung zwischen den zwei Elektroden 40a und 40b angelegt, so daß die Teile des piezoelektrischen Elements 7, die mit der Elektrode versehen sind, polarisiert werden, während die verbleibenden Teile 60 und 61, die den elektrodenfreien Teilen 41 entsprechen, nicht-polarisiert gehalten werden (Fig.9(a)). Danach werden die Elektroden 40a und 40b, beispielsweise durch Schleifen oder chemisches Ätzen, entfernt (Fig.9(b)). In diesem Fall, wenn die elektrodenfreien Teile 41 in nur einer der Elektroden 40a und 40b gebildet wurden, ist es ausreichend, die bei den elektrodenfreien Teilen 41 vorgesehene Elektrode zu entfernen. An den erhaltenen Oberflächen des piezoelektrischen Elements werden dann neue Elektroden 8a und 8b durch Silberbeschichtung oder durch ein Verfahren zum Aufbringen dünner Filme, wie Vakuumniederschlagen, gebildet (Fig.9(c)). Die so hergestellten piezoelektrischen Elemente haben glatte, flache Oberflächen und zeigen gleichmäßige Ausgangscharakteristiken.
- Es sei auf Fig.10 bezuggenommen; ein piezoelektrisches Element 7 ist an seinen beiden Seiten mit Dünnschichtelektroden 8a und 8b versehen, wobei beispielsweiSe Vakuumniederschlag oder eine Siebdrucktechnik verwendet wird. Elektrodenfreie Teile 51 werden gleichzeitig mit oder nach der Bildung der Elektroden 8a und 8b gebildet. Siebdruck ist für die gleichzeitige Bildung der Elektroden 8a und 8b sowie der elektrodenfreien Teile 51 geeignet. Chemisches Ätzen oder Schliefen kann zur Bildung der elektrodenfreien Teile nach der Bildung der Elektroden 8a und 8b verwendet werden. Da die Elektroden 8a und 8b eine sehr geringe Dicke aufweisen, bewirkt das Vorliegen der elektrodenfreien Teile 51 keine Nichtgleichmäßigkeit der piezoelektrischen Spannungsausgangscharakteristiken der Elemente.
- In nachstehender Tabelle sind die Ergebnisse eines Tests gezeigt, der zum Zweck des Vergleichs von Ausgangscharakteristiken von Sensoren, die das piezoelektrische Element wie in Fig.5 gezeigt (Typ A) aufweisen, mit jenen von Sensoren, die das piezoelektrische Element wie in Fig.8(b) gezeigt (Typ B) haben, durchgeführt wurde. Tabelle aufgebrachte Vibration (kHz) Typ Mittel Standardabweichung
- Der Test wurde wie folgt durchgeführt: 100 Testproben wurden für jeden der Typ A- und Typ B-Sensoren hergestellt. Jede Probe wurde auf einer Vibrationstestmaschine zum Messen der Ausgangsspannung bei Frequenzen im Bereich von 2,5 bis 15,0 kHz befestigt, wovon mittlere Ausgangsspannungen und Standardabweichungen berechnet wurden. Die Standardabweichung ist durch die folgende Gleichung definiert:
- Standardabweichung =
- worin VA die mittlere Ausgangsspannung und V&sub1; die Ausgangsspannung jeder der 100 Proben darstellt.
- Wie aus den in obiger Tabelle gezeigten Ergebnissen ersichtlich, ist das Vorsehen der Füllstoffschicht 30 in den elektrodenfreien Teilen 20 wirksam, um die Standardabweichung bei den Ausgangscharakteristiken zu verringern.
Claims (12)
1. Klopfsensor vom Nichtresonanztyp für einen
Verbrennungsmotor, mit einem zylindrischen Körper (2), der ein Durchgangsloch
aufweist und geeignet ist, am Motor durch eine durch das
Durchgangsloch eingesetzte Schraube befestigt zu werden, mit einer
zylindrischen Anschlußwand (17), die sich vom zylindrischen
Körper radial auswärts erstreckt, mit einem ringförmigen
piezoelektrischen Element (7), das koaxial in der Wand des zylindrischen
Körpers angeordnet und in dieser eingebettet ist und ein Paar
Elektroden (8a,b) an beiden Seiten aufweist, und mit einem Paar
Anschlußstiften (14), die sich axial in der Anschlußwand
erstrecken und jeweils in elektrischem Kontakt mit der
entsprechenden einen der Elektroden stehen, dadurch gekennzeichnet, daß
das piezoelektrische Element an einer der Anschlußwand
benachbarten Stelle einen nicht-polarisierten Teil (60) aufweist, so
daß eine von der Anschlußwand auf das piezoelektrische Element
übertragene Vibration das piezoelektrische Element im
wesentlichen nicht veranlaßt, ein elektrisches Ausgangssignal zu
erzeugen.
2. Klopfsensor nach Anspruch 1, bei welchem das
piezoelektrische Element einen weiteren nicht-polarisierten Teil (61) an
einer Stelle aufweist, die dem der Anschlußwand benachbarten
nicht-polarisierten Teil im wesentlichen diametral
gegenüberliegt.
3. Klopfsensor nach Anspruch 1, bei welchem das
piezoelektrische Element durch ein Verfahren erhalten wurde, das die
Schritte umfaßt:
Vorsehen eines ringförmigen, nicht-polarisierten
piezoelektrischen Elements;
Bilden einer leitfähigen Schicht über der gesamten
Oberfläche jeder Seite des nicht-polarisierten piezoelektrischen
Elements;
Entfernen eines Teils von zumindest einer der leitfähigen
Schichten; und
Anlegen einer Gleichspannung über die gegenüberliegenden
leitfähigen Schichten, so daß das piezoelektrische Element
polarisiert wird, während ein dem genannten entfernten Teil
benachbarter Teil hievon nicht-polarisiert bleibt und den
nicht-polarisierten Teil bildet.
4. Klopfsensor nach Anspruch 3, bei welchem die
gegenüberliegenden leitfähigen Schichten, die den entfernten Teil aufweisen,
als Elektroden dienen.
5. Klopfsensor nach Anspruch 4, bei welchem jede der
leitfähigen Schichten in Form eines dünnen Films vorliegt.
6. Klopfsensor nach Anspruch 4, bei welchem das Verfahren
ferner den Schritt Füllen des entfernten Teils mit einem
Füllstoff umfaßt, so daß jede der Elektroden eine flache Oberfläche
aufweist.
7. Klopfsensor nach Anspruch 3, bei welchem das Verfahren nach
der Bildung des nicht-polarisierten Teils ferner die Schritte
Entfernen der verbleibenden leitfähigen Schichten vom
piezoelektrischen Element und dann Bilden einer weiteren leitfähigen
Schicht über der gesamten Oberfläche jeder Seite hievon zur
Bildung der Elektroden umfaßt.
8. Klopfsensor nach Anspruch 2, bei welchem das
piezoelektrische Element durch ein Verfahren erhalten wurde, das die
Schritte umfaßt:
Vorsehen eines ringförmigen, nicht-polarisierten
piezoelektrischen Elements;
Bilden einer leitfähigen Schicht über der gesamten
Oberfläche jeder Seite des nicht-polarisierten piezoelektrischen
Elements;
Entfernen eines ersten und eines zweiten Teils von
zumindest einer der leitfähigen Schichten, wobei der erste und der
zweite Teil an einander diametral gegenüberliegenden Stellen
angeordnet sind; und
Anlegen einer Gleichspannung über die gegenüberliegenden
leitfähigen Schichten, so daß das piezoelektrische Element
polarisiert wird, während Teile hievon, die dem ersten und dem
zweiten Teil benachbart sind, nicht-polarisiert bleiben und die
nicht-polarisierten Teile bilden.
9. Klopfsensor nach Anspruch 8, bei welchem die
gegenüberliegenden leitfähigen Schichten, von denen der erste und der zweite
Teil entfernt wurden, als Elektroden dienen.
10. Klopfsensor nach Anspruch 9, bei welchem jede der
leitfähigen Schichten in Form eines dünnen Films vorliegt.
11. Klopfsensor nach Anspruch 9, bei welchem das Verfahren
ferner den Schritt Füllen des ersten und des zweiten Teils mit
einem Füllstoff umfaßt, so daß jede der Elektroden eine flache
Oberfläche aufweist.
12. Klopfsensor nach Anspruch 8, bei welchem das Verfahren nach
der Bildung der nicht-polarisierten Teile ferner die Schritte
Entfernen der verbleibenden leitfähigen Schichten vom
piezoelektrischen Element und dann Bilden einer weiteren leitfähigen
Schicht über der gesamten Oberfläche jeder Seite hievon zur
Bildung der Elektroden umfaßt.
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