DE68906039D1 - Vorrichtung und verfahren zur messung eines kurzen lichtimpulses oder eines kurzen elektrischen impulses. - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur messung eines kurzen lichtimpulses oder eines kurzen elektrischen impulses.

Info

Publication number
DE68906039D1
DE68906039D1 DE8989400158T DE68906039T DE68906039D1 DE 68906039 D1 DE68906039 D1 DE 68906039D1 DE 8989400158 T DE8989400158 T DE 8989400158T DE 68906039 T DE68906039 T DE 68906039T DE 68906039 D1 DE68906039 D1 DE 68906039D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
impulse
short
measuring
light
electric impulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE8989400158T
Other languages
English (en)
Other versions
DE68906039T2 (de
Inventor
Marc Cuzin
Edouard Rossa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ORG EUROPEENE DE RECH
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
ORG EUROPEENE DE RECH
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ORG EUROPEENE DE RECH, Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical ORG EUROPEENE DE RECH
Application granted granted Critical
Publication of DE68906039D1 publication Critical patent/DE68906039D1/de
Publication of DE68906039T2 publication Critical patent/DE68906039T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R29/00Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
    • G01R29/02Measuring characteristics of individual pulses, e.g. deviation from pulse flatness, rise time or duration
DE89400158T 1988-01-22 1989-01-19 Vorrichtung und Verfahren zur Messung eines kurzen Lichtimpulses oder eines kurzen elektrischen Impulses. Expired - Fee Related DE68906039T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8800694A FR2626376B1 (fr) 1988-01-22 1988-01-22 Dispositif et procede de mesure d'une impulsion breve de rayonnement ou d'une impulsion breve electrique

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE68906039D1 true DE68906039D1 (de) 1993-05-27
DE68906039T2 DE68906039T2 (de) 1993-10-14

Family

ID=9362522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE89400158T Expired - Fee Related DE68906039T2 (de) 1988-01-22 1989-01-19 Vorrichtung und Verfahren zur Messung eines kurzen Lichtimpulses oder eines kurzen elektrischen Impulses.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4933634A (de)
EP (1) EP0327420B1 (de)
JP (1) JPH02110384A (de)
CA (1) CA1323503C (de)
DE (1) DE68906039T2 (de)
FR (1) FR2626376B1 (de)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5142224A (en) * 1988-12-13 1992-08-25 Comsat Non-destructive semiconductor wafer probing system using laser pulses to generate and detect millimeter wave signals
US5216359A (en) * 1991-01-18 1993-06-01 University Of North Carolina Electro-optical method and apparatus for testing integrated circuits
US5159262A (en) * 1991-07-09 1992-10-27 Cascade Microtech, Inc. Method for measuring the electrical and optical performance of on-wafer microwave devices
JP2726587B2 (ja) * 1991-11-29 1998-03-11 株式会社東芝 電子ビーム照射装置および電気信号検出装置
EP0559274A3 (en) * 1992-03-03 1994-06-29 Philips Nv Probe apparatus and method for measuring high-frequency signals
FR2742867B1 (fr) * 1995-12-22 1998-02-06 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif interferometrique de caracterisation d'un milieu
FR2742866B1 (fr) * 1995-12-22 1998-01-30 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif de caracterisation d'un milieu ionise mettant en oeuvre une source de rayonnement electromagnetique a duree ultracourte
US6168009B1 (en) 1995-12-28 2001-01-02 Fuji Machine Mfg. Co. Ltd. Apparatus for positioning electronic component holder head and apparatus for transferring electronic component
US5926950A (en) * 1995-12-28 1999-07-27 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Electronic component transferring device and method, and electronic component mounting system and method
FR2766576B1 (fr) * 1997-07-23 1999-08-27 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'analyse d'impulsion unique a pas variable
DE50002659D1 (de) * 1999-06-28 2003-07-31 Siemens Ag Einrichtung zur detektion von polarisationsmodendispersion
US6445202B1 (en) 1999-06-30 2002-09-03 Cascade Microtech, Inc. Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current
US6512385B1 (en) * 1999-07-26 2003-01-28 Paul Pfaff Method for testing a device under test including the interference of two beams
US6914423B2 (en) 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
US6965226B2 (en) 2000-09-05 2005-11-15 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7206078B2 (en) 2002-05-03 2007-04-17 Attofemto, Inc. Non-destructive testing system using a laser beam
US7400411B2 (en) 2001-12-06 2008-07-15 Attofemto, Inc. Method for optically testing semiconductor devices
US8462350B2 (en) 2001-12-06 2013-06-11 Attofemto, Inc. Optically enhanced holographic interferometric testing methods for the development and evaluation of semiconductor devices, materials, wafers, and for monitoring all phases of development and manufacture
US9952161B2 (en) 2001-12-06 2018-04-24 Attofemto, Inc. Methods for obtaining and analyzing digital interferometric data for computer testing and developing semiconductor and anisotropic devices and materials
US7733499B2 (en) * 2001-12-06 2010-06-08 Attofemto, Inc. Method for optically testing semiconductor devices
US7492172B2 (en) 2003-05-23 2009-02-17 Cascade Microtech, Inc. Chuck for holding a device under test
US7250626B2 (en) 2003-10-22 2007-07-31 Cascade Microtech, Inc. Probe testing structure
US7187188B2 (en) 2003-12-24 2007-03-06 Cascade Microtech, Inc. Chuck with integrated wafer support
US7535247B2 (en) 2005-01-31 2009-05-19 Cascade Microtech, Inc. Interface for testing semiconductors
US7656172B2 (en) 2005-01-31 2010-02-02 Cascade Microtech, Inc. System for testing semiconductors
US8319503B2 (en) 2008-11-24 2012-11-27 Cascade Microtech, Inc. Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3278846A (en) * 1962-05-03 1966-10-11 Edgerton Germeshausen & Grier Apparatus for sampling electric waves
GB1558042A (en) * 1977-01-18 1979-12-19 Cossor Ltd A C Measurement of pulse duration
US4482863A (en) * 1981-08-14 1984-11-13 At&T Bell Laboratories Apparatus and method for measuring electronic response of high speed devices and materials
US4480192A (en) * 1982-02-16 1984-10-30 The University Of Rochester Optical pulse correlation measurement
US4745361A (en) * 1987-03-03 1988-05-17 University Of Rochester Electro-optic measurement (network analysis) system

Also Published As

Publication number Publication date
EP0327420B1 (de) 1993-04-21
FR2626376B1 (fr) 1990-07-13
US4933634A (en) 1990-06-12
FR2626376A1 (fr) 1989-07-28
JPH02110384A (ja) 1990-04-23
DE68906039T2 (de) 1993-10-14
EP0327420A1 (de) 1989-08-09
CA1323503C (en) 1993-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68906039D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur messung eines kurzen lichtimpulses oder eines kurzen elektrischen impulses.
DE3866067D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung eines reflektirenden konus.
DE69104068D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung eines blutparameters.
DE3776259D1 (de) Verfahren und geraet zur multipol-akustischen messung in einem bohrloch.
DE68925673T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung des Herzzeitvolumens
DE3772702D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur konfiguration eines messinstruments und konfigurierbares messinstrument.
DE68928192D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Positionsdetektion
DE69021659D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur reihenweisen Parallelprogrammfehlersuche.
DE69124843T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Radwinkeln
DE3878213T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum pruefen eines transparenten behaelters.
DE69112090T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Musterdimensionen.
DE3671967D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der ionenaktivitaet.
DE68909539T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle eines quasi-geschlossenen elektromagnetischen Schirmes.
DE69222382D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Lageabweichungen
DE59007116D1 (de) Verfahren zur Messung eines elektrischen Feldes oder einer elektrischen Spannung und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
DE59000948D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ueberpruefung oder vermessung eines zahnaerztlichen abdruckes oder modell eines gebisses.
DE59002629D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur probennahme an einer grundwassermessstelle.
DE68902174T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der drehgeschwindigkeit.
DE3888161D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer falschen Spuraufzeichnung.
DE68915522D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung akustischer Untersuchungen in einem Bohrloch.
DE3770728D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur impulsechomessung.
DE69111300T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Fehlererfassung in einem Geschwindigkeitsmessystem.
DE3687022D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der ionenaktivitaet.
DE3764766D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen mit einem lichtschnitt.
DE3584722D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur untersuchung in einem bohrloch mit akustischen dipolscherwellen.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee