DE68901862T2

DE68901862T2 - Koordinatenmessmaschine mit verbesserter schlittenfuehrung.

Info

Publication number: DE68901862T2
Application number: DE8989118495T
Authority: DE
Inventors: Thomas Leo Hemmelgarn; Freddie Lewis Raleigh
Original assignee: Warner and Swasey Co
Current assignee: Warner and Swasey Co
Priority date: 1989-02-03
Filing date: 1989-10-05
Publication date: 1993-01-28
Anticipated expiration: 2009-10-06
Also published as: US4882847A; JPH02234009A; CA2000491C; DE68901862D1; EP0380755A1; EP0380755B1; KR900013289A; CA2000491A1

Description

Diese Erfindung betrifft Koordinatenmeßmaschinen des Typs, bei welchem ein Meßfühler zur präzise gesteuerten und abgemessenen Bewegung entlang zueinander orthogonaler Achsen auf Schlitten getragen wird. Diese Bewegung soll über einem Auflagetisch für Werkstücke stattfinden, so daß, wenn die Fühlerspitze Punkte auf einem Werkstück überschreitet, eine genaue Messung des Abstandes zwischen den Punkten erreicht werden kann.
Beispiele einer Koordinatenmeßmaschine mit vertikalem Fühler wurden in US-Patent 4 610 089, ausgegeben an Bell et al. am 9. September 1986 auf eine "Koordinatenmeßmaschine vom Brückentyp", und in US-Patent 4 630 374, ausgegeben an Raleigh am 23. Dezember 1986 auf eine "Koordinatenmeßmaschine vom Brückentyp", beschrieben. Ein Beispiel einer Maschine mit horizontalem Arm ist in US-Patent 4 305 207, ausgegeben an Lantz am 15. Dezember 1981 auf eine "Dreiachsen-Prüfmaschine", beschrieben.
Bei diesen Maschinen ist es entscheidend, daß nichtwiederholbare Verdrehungen der tragenden Strukturen, wie zum Beispiel des Grundkörpers und der Schlitten, vermieden werden. Solche Verdrehungen verursachen direkt Meßfehler infolge eines Verlusts der präzise wiederholbaren Zuordnung zwischen der Strecke der Fühlerbewegung und dem Abstand zwischen den zu messenden Punkten. Folglich sind die Steifheit und das Gewicht der Schlitten, die den Fühler tragen, wie auch die Stabilität der Schlitten tragenden Grundkörperstruktur, wichtige Faktoren bei der Konstruktion solcher Maschinen.
Ein weiterer wichtiger Konstruktionsfaktor ist das Ausmaß, in dem Unterschiede im Widerstand gegen die Bewegung auftreten, wie mit Änderungen der Lagerbelastung bei Änderungen der Umgebungstemperatur, da größerer (oder kleinerer) Widerstand das Ausmaß struktureller Abweichung, die durch Querbewegung des Fühlers zwischen Punkten auferlegt wird, verändert.
Da Präzisionsbahnen erforderlich sind, um die Schlitten zu tragen, ist die Leichtigkeit der Herstellung und Reparatur dieser Elemente, wie auch das Ausmaß, in welchem Schäden an den Bahnen durch zufällige Stöße vermieden werden, wichtig.
Im Zusammenhang mit motorgetriebenen Schlitten ist es vorteilhaft, den Angriffspunkt der treibenden Kräfte zu zentrieren und jede Tendenz zum Schiefaufsitzen, welche auf den Wagen ausgeübte, nichtwiederholbare Verdrehungskräfte einführen könnte, zu minimieren.
Ein kompakter Aufbau, welcher die Wandler- und Antriebskomponenten einschließt, ist ebenfalls eine sehr wünschenswerte Eigenschaft dieser Maschinen.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung ist eine Koordinatenmeßmaschine mit einer verbesserten Schlittenbahnanordnung, die aus einem Paar aufrechter Bahnelemente besteht, die lösbar auf der oberen Oberfläche eines Grundkörpers mit Abstand voneinander und parallel zu einer Achse der Schlittenbewegung befestigt sind. Jedes Bahnelement ist länglich und besitzt sich nach innen neigende obere überhängende Teile, wobei sich jedes entlang der Länge des Bahnelementes und zu dem überhängenden Teil des anderen Bahnelements hin erstreckt.
Die obere Oberfläche jedes überhängenden Teils definiert eine obere horizontale Bahnfläche. Der getragene Schlitten ist zwischen den Bahnelementen angeordnet und mit einem Paar erster Flanschteile ausgebildet, die jeweils nach außen ragen, um, mit dazwischen gesetzten Tragluftlagern, auf einer Bahnoberfläche zu liegen.
Auf dem überhängenden Teil jedes Bahnelementes ist auch eine Bahnunterseite definiert, die direkt unter jeder oberen Bahnfläche angeordnet ist. Der Schlitten besitzt außerdem zweite Teile, die aus abwärts ragenden lösbaren Trägern bestehen, deren Enden mit dazwischengesetzten vorgespannten Luftlagern unter die Unterseite ragen, um eine Vorspannung auf die entgegengesetzten Traglager auszuüben.
Die Bahnelemente und der Grundkörper sind, wegen seiner Stabilität, Haltbarkeit und niedriger Kosten, vorzugsweise aus Granit, während der Schlitten aus einem Leichtmetall, d.h. Aluminium, ist, um die Masse zu reduzieren. Die Träger der zweiten Teile des Schlittens sind aus Gußeisen hergestellt, um, verglichen mit der Verbindung der Bahnelementüberhänge und der Schlittenflansche, annähernd gleichmäßige Wärmeausdehnung zu erzielen, um Veränderungen der Zwischenräume der Trag- und Vorspannlager bei Temperaturänderungen zu minimieren.
Eine längliche Schiene, die zwischen die Schlittenträger und die Schenkel ragt, ist auf dem Grundkörper befestigt und definiert vertikale Führungsflächen, die mit Führungslagern, die zwischen einstückigen, abwärts ragenden Teilen des Schlittens angeordnet sind, besetzt sind, um präzise die Bewegung entlang der X-Achse zu führen.
Die Erfindung hat den Vorteil, daß sie einen kompakten starren Schlittenaufbau bietet, welcher nichtwiederholbare Belastung und thermische Verbiegungen verhindert, die zu Meßfehlern führen.
Die Ausrüstung stellt geschützte innere Öffnungen zum Unterbringen von Schlittenantriebskomponenten und Abstandswandlern, und um einen zentral angeordneten Antrieb des Schlittens entlang der Bewegungsachse zu ermöglichen, bereit.
Der Grundkörper und die Bahnen können einfach hergestellt werden, während sie eine fehlerfreie und stabile Unterstützung des Schlittens liefern. Die Gestaltung der Bahnelemente reduziert die Möglichkeiten von Schäden an den Präzisionsoberflächen, und sie werden einfach repariert und/oder ersetzt.

BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 ist eine Perspektivansicht einer Koordinatenmeßmaschine mit horizontalem Arm mit der verbesserten Schlittenbahnanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 2 ist ein fragmentarischer seitlicher Aufriß im Teilschnitt der Koordinatenmeßmaschnie, die in Fig. 1 gezeigt ist.
Fig. 3 ist ein fragmentarischer vorderer Aufriß der Koordinatenmeßmaschine, die in Fig. 1 und 2 gezeigt ist.
Fig. 4 ist ein vergrößerter rückwärtiger Aufriß des Schlittens und der benachbarten Struktur, die in Fig. 2 und 3 gezeigt sind.
Fig. 5 ist ein vergrößerter seitlicher Aufriß des Schlittens und der benachbarten Struktur, die in Fig. 2- 4 gezeigt sind.
Fig. 6 ist ein vergrößertes Detail eines eine Feder vorspannenden Führungsluftlagers, das in der Koordinatenmeßmaschine, die in Fig. 1-5 gezeigt ist, enthalten ist.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG

In der folgenden detaillierten Beschreibung wird im Interesse der Klarheit eine gewisse spezifische Terminologie verwendet und eine besondere Ausführungsform beschrieben, aber es ist selbstverständlich, daß dies nicht beschränkend gemeint ist und nicht so ausgelegt werden sollte, da die Erfindung viele Formen und Veränderungen innerhalb des Umfangs der beigefügten Ansprüche annehmen kann.
Fig. 1 stellt eine Koordinatenmeßmaschine 10 mit horizontalem Arm dar, die die verbesserte Schlittenbahnanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung enthält.
Eine solche Koordinatenmeßmaschine 10 umfaßt einen T-förmigen Grundkörper 12, auf dem eine vertikale Säulenanordnung 14 getragen wird, die darauf entlang einer ersten horizontalen Koordinatenachse, auf die hierin als X-Achse Bezug genommen wird, beweglich ist. Die vertikale Säulenanordnung 14 trägt beweglich einen horizontalen Arm 16 mit einer daran befestigten Fühlerspitze 18, wobei der horizontale Arm 16 darauf entlang einer vertikalen zweiten Koordinatenachse, auf die hierin als Y-Achse Bezug genommen wird, beweglich ist. Der horizontale Arm 16 ist ebenfalls horizontal entlang einer dritten oder Z-Achse parallel zur Längsachse des Armes 16 beweglich, wobei jede der X-, Y- und Z-Achsen orthogonal zueinander in der in der Technik bekannten Weise sind.
Der Grundkörper 12 trägt außerdem einen drehbaren Tisch 20, auf dem ein zu messendes Werkstück (nicht gezeigt) angeordnet werden kann, so daß es für die Fühlerspitze 18 zugänglich ist.
Da solche Koordinatenmeßmaschinen allgemein bekannt sind, werden die Einzelheiten hier nicht beschrieben, außer in Verbindung mit der vorliegenden Erfindung, welche eine Führungsbahnanordnung für den X-Achsen-Schlitten, der die vertikale Säulenanordnung 14 trägt, umfaßt.
Fig. 2 stellt Einzelheiten der Führungsbahnanordnung dar, welche den Grundkörper 12 enthält, der vorzugsweise aus einer Granitplatte 22 hergestellt ist, die auf pneumatischen Trenngliedern 23 getragen wird. Auf dem Grundkörper 12 ist ein Paar aufrechter Bahnelemente 24, 26 mit Abstand voneinander lösbar, wie zum Beispiel durch Bolzen (nicht gezeigt), angebracht, die jeweils länglich sind und sich parallel zueinander entlang der X-Achse erstrecken. Die Bahnelemente 24, 26 sind jeweils entlang der oberen Enden winkelig und besitzen entgegengesetzte überhängende Teile 28, 30. Die obere Fläche der überhängenden Teile 28, 30 ist maschinell bearbeitet, um fehlerfreie obere horizontale Bahnflächen 32, 34 zu schaffen, während die unteren entgegengesetzten Flächen horizontale Bahnunterseiten 36, 38 direkt unter den oberen Bahnflächen 32, 34 liefern.
Ein X-Achsen-Schlitten 40 trägt die Säulenanordnung 14, die durch eine Montageplatte 41 befestigt ist, und ermöglicht eine lineare Bewegung entlang der X-Achse. Der Schlitten 40 ist in dem Raum zwischen den winkeligen Bahnelementen 24, 26 angeordnet. Der X-Achsen-Schlitten 40 besteht aus einem maschinell bearbeiteten Aluminiumgußteil mit angegossenen ersten Teilen, die aus nach außen ragenden Flügelflanschen 42, 44 bestehen, die jeder auf einer entsprechenden der oberen horizontalen Bahnen 32, 34 liegen.
Eine winkelige Deckplatte 35 ist auf jedem Bahnelement 24, 26 befestigt und schließt zusammen mit einem beweglichen Staubgürtel 37 und Endkappen 39 den Innenraum 33 vollständig ein.
Zwischen die Flansche 42, 44 und die Bahnen 32, 34 sind Paare hinterer Tragluftlager 46a, b und vorderer Tragluftlager 48a, b gesetzt, wobei jedes der Paare mit Abstand vom anderen auf dem X-Achsen-Schlitten 40 in Richtung der X-Achse angeordnet ist.
Der X-Achsen-Schlitten 40 ist mit zweiten Teilen ausgebildet, die einen hinteren Lagerträger 50 und rechte und linke vordere Lagerträger 52 und 54 umfassen, die sich vom untersten Teil des X-Achsen-Schlittens 40 in den Raum zwischen den Bahnelementen 28, 30 erstrecken, wobei jeder Träger 50, 52, 54 Endteile 56, 58, 60 besitzt, die entsprechend nach außen unter die horizontalen Bahnunterseiten 36, 38 ragen. Dazwischen sind Paare vorspannender hinterer Luftlager 62a, b und vorderer Luftlager 64a, b gesetzt, wobei jedes Lager eines Paares in Richtung der X- Achse mit Abstand vom anderen und in grober Ausrichtung unterhalb eines korrespondierenden Tragluftlagers 46a oder 46b, 48a oder 48b angeordnet ist.
Außerdem ist der X-Achsen-Schlitten 40 mit angegossenen dritten Teilen ausgebildet, die aus Paaren seitlich mit Abstand angeordneter Führungslagerschenkeln 66a, b, 68a, b bestehen, die eine an der Oberfläche des Grundkörpers 12 befestigte Führungsschiene 70 überragen. Die Führungsschiene 70 ist vorzugsweise ebenfalls aus Granit hergestellt und von geringer Breite, um den Effekt des Unterschieds in der Wärmeausdehnung des X-Achsen-Schlittens 40 aus Aluminium zu minimieren. Eine Wandler-Skalenschiene 71 aus Stahl ist so auf der Oberseite der Führungsschiene 70 angebracht, daß eine relative Wärmeausdehnung dazwischen gestattet wird, wie zum Beispiel durch eine Stift-und- Schlitz-Verbindung (nicht gezeigt).
Jede Seite der Führungsschiene 70 ist mit einer sich vertikal erstreckenden Führungsfläche 72, 74 parallel zur XAchse ausgebildet. Paare von Führungsluftlagern 76a, b, 78a, b sind zwischen jeden der Führungslagerschenkel 66, 68 und eine entsprechende Führungsfläche 72, 74 gesetzt.
Die Führungslagerpaare 76a, b, 78a, b sind ebenfalls mit Abständen in Richtung der X-Achse angeordnet.
Die Granitplatte 22 ragt unter einen Distanzblock 25 aus Granit, der damit verbunden ist und den drehbaren Werkstücktisch 20 trägt.
Eine Antriebsanordnung für den X-Achsen-Schlitten umfaßt einen Sparren-und-Zahnriemen-Aufbau 80, der sich entlang der X-Achse erstreckt und durch den mittleren Raum zwischen den Trägern 50, 52, 54 und den SchenkeIn 66a, b und 68a, b hindurchgeht.
Entsprechende Drähte für die Motorleistungssteuerung, die Wandlersignalleitungen usw. sind zu Kabeln 81 ausgebildet, welche in Schleifen in die Räume über der Platte 22 und in den Bahnelementen 24, 26 gelegt und angebracht sind, um sich leicht mit dem Schlitten 40 vor und zurück zu bewegen.
Fig. 3 zeigt, daß der Sparren-und-Riemen-Aufbau 80 ein starres Sparrenelement 88 umfaßt, das mit einem Ende an einem Träger 82 und dieser wiederum an einem Ende der Grundkörperplatte 22 mit Bolzen 84 befestigt ist. Der starre Sparren 88 wird einfach an seinem entgegengesetzten Ende von dem Träger 82 mit einem Stift und einem geschlitzten Träger 90 getragen, was Stabilität liefert, ohne Druckbeanspruchung auf die Schiene 70 zu übertragen, während freie Wärmeausdehnung in Richtung der X-Achse gestattet wird. Beide Enden des Zahnriemens 89 sind an dem Sparren 88 über Biegungen 86a, 86b angebracht, wodurch kleinere Querbewegungen des Riemens infolge einer Versetzung gestattet werden, ohne bedeutende seitliche Belastung auf die Lager 76a, b und 78a, b auszuüben.
Der starre Sparren 88 nimmt die Last auf, die durch Spannen des befestigten gezahnten Antriebsriemen 89, der ebenfalls in dem Schlittenantriebsaufbau 80 enthalten ist, ausgeübt wird, um dadurch das Auferlegen von Verdrehungsfehler verursachenden Belastungen auf die Maschinenstruktur selbst zu vermeiden.
Der Staubgürtel 37 wird unter der Platte 22 durch eine Reihe von Rollen 92 zurückgeführt, die auf in den Endkappen 39 untergebrachten Trägern 94, 96 an jedem Ende der Platte 22 getragen werden. Paare von Puffer-Anschlagstiftaufbauten 98a, b, 100a, b sind an jedem Ende der Platte 22 auf jeder Seite der Führungsschiene 70 zentriert angeordnet und im Eingriff mit entsprechenden Schenkelteilen 66a, b und 68a, b, um den Stoß zu dämpfen und die auf die Lager 76a, b, 78a, b angewendete Last zu minimieren.
Fig. 4 zeigt, daß der unterste Teil 56 des hinteren Trägers 50 relativ breit ist und beide hintere Luftvorspannlager 62a, b trägt, welche, wie auch die hinteren Tragluftlager 46a, b im Vergleich zu den vorderen Vorspann- und Traglagern 64a, b und 48a, b, mit relativ geringem Abstand voneinander angeordnet sind. Dies kommt einer Dreipunktunterstützung des Schlittens 40 auf den Bahnen 32, 34, 36, 38 nahe, um die Forderung nach präziser Parallelität untereinander abzuschwächen.
Jedes der Luftlager ist von bekannter Konstruktion, die in bis jetzt kommerziell auf dem Markt gehandelten Koordinatenmeßmaschinen benutzt wird. Diese umfassen ein poröses Lagerpolster 102, z.B. aus Graphit, das durch eine Lagerkappe 104 getragen wird, die einen Innenraum, der mit Druckluft durch Röhrenverbindungen (nicht gezeigt) versorgt wird, besitzt, dessen Luft durch das poröse Lagerpolster 102 auströmt, um einen Luftfilm zu schaffen, der eine Lagerunterstützung in der bekannten Weise liefert. Die Kappe 104 wird auf einer Kugel 106 getragen, die in einem konischen Sitz eines einstellbaren, durch einen Anpreßbalken 110 befestigten Positionsstiftes 108 aufgenommen wird. Diese Anordnung erlaubt ein leichtes Neigen der Lagerkappe 104 und des Polsters 102, um leichte Veränderungen in der Oberfläche der Bahn auszugleichen. Die Luftfilmlücke wird durch Einstellen der Position des Stiftes 108 justiert.
Kabelhalterträger 112 sind am linken Ende der linken vorderen Vorspannlagerträger 54 und dem linken Ende des hinteren Lagerunterstützungsträgers 50 befestigt, zu welchem sich ein befestigtes Ende der Kabel 81 windet.
Ein Wandlerträger 114 hält den Lesekopf 116 an dem linken hinteren Führungslagerschenkel 66a in geeigneter Position, um die an der Skalenschiene 71 angebrachte Teilung abzutasten.
Der Schlittenantrieb umfaßt eine Antriebseiheit 118 mit Motorriemenscheibe, die am linken Ende des Schlittens, wie er in Fig. 4 gezeigt ist, angebracht ist und einen Antriebsmotor 120 und Reduktionsriemenscheiben 122, 124 umfaßt, die eine Zahnriemenscheibe 126 antreiben, um welche der befestigte Zahnriemen 89 mittels Riemenspannrollen 128, 130 geführt ist. Die Drehung der Zahnriemenscheibe 126 in einer Richtung bewirkt folglich ein lineares Vorrücken des X-Achsen-Schlittens 40 in einer Richtung entlang der X-Achse.
Fig. 5 zeigt, daß bestimmte Antriebskomponenten des Y-Achsen-Schlittens (nicht gezeigt) auf dem X-Schlitten 40 durch einen Träger 132 angebracht sind, der einen Antriebsmotor 134, Reduktionsriemenscheiben 136, 138 und einen Zahnkranz 140 umfaßt, der einen endlosen Riemen 142, an den der Y-Schlitten (nicht gezeigt) einstellbar gekoppelt ist, antreibt.
Fig. 6 zeigt bestimmte Einzelzeiten der Unterstützung der hinteren Führungsluftlager 76a, b. Die sich selbst ausrichtende Kugel 106 ist in einem Sitz 144 aufgenommen, der durch einen auf einem Vorsprung 150 an einem Ende des Vorspannstiftes 146 befestigten Federring 148 getragen ist, um einen vorspannenden Druck auszüben. Die entgegengesetzten Führungsluftlager 78a, b sind in einer vorgegebenen eingestellten Position befestigt. Die Vorspannung gestattet, daß begrenzte Veränderungen im Abstand zwischen den Lagern 76a, b und 78a, b entsprechend aufgenommen werden, um ein Eingreifen infolge der Wärmeausdehnung der Schiene 70 zu verhindern.
Die übrigen Einzelheiten der gezeigten Koordinatenmeßmaschine sind hier nicht dargelegt, da diese Einzelheiten keinen Teil der vorliegenden Erfindung bilden und die geeignete Struktur Fachleuten bekannt ist.

Claims

1. Koordinatenmeßmaschine (10) mit einem Grundkörper (12), mit einem Fühlerschaft (16) mit Spitze (18); mit Haltemitteln (14) zum Halten des Fühlers (16) zur Bewegung längs einer jeden von drei orthogonalen Achsen (X, Y, Z) umfassend einen den Fühler (16) tragenden Schlitten (40), eine Führungsbahnanordnung mit Bahnflächen (32, 34) längs einer der genannten Achsen, tragende Bahnlager (46a,b; 48a,b) und Führungslagern (72, 74, 76a,b; 78a,b) zum Tragen und Führen des Schlittens (40) bei seiner Linearbewegung längs der Bahnfläche (32, 34) (X), dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsbahnanordnung enthält: ein Paar zueinander beabstandeter winkeliger länglicher Bahnelemente (24, 26) die an einem Teil (22) des Grundkörpers (12) parallel zueinander und zu der genannten Achse befestigt sind, daß jedes der Bahnelemente (24, 26) einen nach innen ragenden überhängenden Teil (28, 30) hat, der eine obere horizontale Bahnfläche (32, 34) jeweils längs der genannten Achse (X) hat, daß der Schlitten (40) zwischen den Bahnelementen (24, 26) angeordnet ist und erste Teile (42, 44) hat, die jeweils nach außen ragen und über einer oberen horizontalen Bahnfläche (32, 34) auf einem Bahnelement (24, 26) liegen; und daß die tragenden Bahnlager (46a,b; 48a,b) zwischen jedem der ersten Teile (42, 44) des Schlittens (40) und jeweils einer Bahnfläche (32, 34) angeordnet sind und die Bewegung des Schlittens daran entlang ermöglichen.

2. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 1, bei der jeder der überhängenden Teile (28, 30) der Bahnelemente (24, 26) eine horizontale Bahnunterseite (36, 38) unter und parallel zu der oberen horizontalen Bahnfläche (32, 34) hat; der Schlitten (40) zweite Teile (56, 58, 60) hat, die nach außen unter jeweils eine horizontale Bahnunterseite (36, 38) ragen; und Vorspannlager (62a,b; 64a,b) vorgesehen sind, die zwischen den zweiten Teilen (56, 58, 60) des Schlittens (40) und jeweils einer horizontalen Bahnunterseite (36, 38) zur Wirkung kommen und eine Lagerkraft auf diese ausüben, um die tragenden Lager (46a,b; 48a,b) vorzuspannen.

3. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 2, bei der die zweiten Teile (56, 58, 60) des Schlittens (40) mit nach unten ragenden, an dem Schlitten (40) befestigten Trägern (50, 52, 54) gehalten sind; die ersten Teile (42, 44) des Schlittens (40), die winkeligen Bahnelemente (24, 26) mit den oberen horizontalen Bahnflächen und die Träger (50, 52, 54) aus Materialien mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehen; und die kombinierte Wärmeausdehnung der Lager (48a und 64a), (48b und 64b), (46a und 62a), (46b und 62b) und der überhängenden Teile (28, 30) der Bahnelemente (24, 26) weitgehend gleich der Wärmeausdehnung der nach unten ragenden Träger ist, wodurch die Vorspannung der tragenden Lager (46a,b; 48a,b) durch Umgebungstemperaturänderungen nicht wesentlich geändert wird.

4. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 1 oder 2, bei der die tragenden Lager aus Luftlagerpaaren (46a,b; 48a,b) gebildet sind, die in Richtung der genannten Achse (X) über jeder oberen horizontalen Bahnfläche (32, 34) mit gegenseitigem Abstand angeordnet sind.

5. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 4, bei der die Vorspannlager aus Luftlagerpaaren (62a,b; 64a,b) gebildet sind, die in Richtung der genannten Achse (X) mit gegenseitigem Abstand angeordnet sind und jeweils unter einer horizontalen Bahnunterseite (36, 38) liegen, wobei die Vorspannlagerpaare (62a,b; 64a,b) jeweils nahezu ausgerichtet auf und unter einem jeweiligen tragenden Luftlager (46a,b; 48a,b) liegen.

6. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 4 oder 5, bei der eines (46a,b) der Paare tragender Lager mit relativ geringem gegenseitigem Abstand in Richtung der genannten Achse (X) angeordnet ist, um einer Dreipunktlagerung für den Schlitten (40) nahezukommen.

7. Koordinatenmeßmaschine (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Führungslager eine längliche Schiene (70) auf dem Teil (22) des Grundkörpers in Richtung der genannten Achse (X) umfassen, die einander entgegengesetzte vertikale Flächen (72, 74) parallel zu der genannten Achse (X) hat; wobei der Schlitten (40) dritte Teile (66a,b; 68a,b) hat, die auf jeder Seite der Schiene (70) nach unten ragen; und wobei Führungslager (76a,b; 78a,b) zwischen den dritten Teilen (66a,b; 68a,b) und den vertikalen Flächen (72, 74) der Schiene vorgesehen sind.

8. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 7, bei der der Teil (22) des Grundkörpers, die winkeligen Bahnelemente (24, 26) und die Schiene (70) aus Granit, die ersten (42, 44) und dritten (66a,b; 68a,b) Teile des Schlittens (40) aus Aluminium und die zweiten Teile (50, 52, 54) aus Gußeisen bestehen.

9. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 7 oder 8, bei der die Führungslager Luftlagerpaare (76a,b; 78a,b) sind, die auf jeder Seite der Führungsschiene (70) in Richtung der genannten Achse (X) mit gegenseitigem Abstand angeordnet sind, wobei jedes Luftlager (76a,b) der Luftlagerpaare auf ein Luftlager (78a,b) auf der anderen Seite der Schiene (70) ausgerichtet ist.

10. Koordinatenmeßmaschine (10) nach Anspruch 9, ferner enthaltend Feder-Vorspannmittel (148) zum Ausgleich von Änderungen des Abstandes zwischen einander gegenüberliegenden Führungsluftlagern (76a,b; 78a,b) infolge thermischer Paßfehler zwischen der Führungsschiene (70) und dem Schlitten (40) durch begrenzte Auslenkung der Vorspannmittel (148).

11. Koordinatenmeßmaschine (10) nach einem der Ansprüche 7 bis 10, bei der die ersten Teile des Schlittens Flanschteile (42, 44) haben, die ausgehend von der Oberseite des Schlittens (40) horizontal jeweils über einer der oberen horizontalen Bahnflächen (32, 34) liegen.

12. Koordinatenmeßmaschine (10) nach einem der Ansprüche 7 bis 11, bei der die zweiten Teile des Schlittens nach unten ragende Träger (50, 52, 54) haben, die von dem Schlitten (40) lösbar sind, wobei jeder Träger (50, 52, 54) eine nach außen ragende Seite (56, 58, 60) hat, die sich unter eine der horizontalen Bahnunterseiten (36, 38) erstreckt.

13. Koordinatenmeßmaschine (10) nach einem der Ansprüche 7 bis 12, bei der die dritten Teile des Schlittens nach unten ragende Schenkel (66a,b; 68a,b) einstückig mit dem Schlitten (40) haben und wobei die zweiten und dritten Teile die Mitte des Schlittens (40) mit gegenseitigem Abstand überragen.

14. Koordinatenmeßmaschine (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche in Form einer Horizontalarmmaschine mit horizontal gerichtetem Fühler (16), der zur Bewegung in Richtung der horizontalen Achse (Z) in eigener Längsrichtung und zur Bewegung in Richtung der vertikalen Achse (Y) quer dazu an einer vertikalen Säulenanordnung (14) gehalten ist; und bei der die vertikale Säulenanordnung (14) oben auf dem Schlitten (40) befestigt ist.