DE671263T1 - Transportsystem mit elektrostatischer Substrathalterungsvorrichtung. - Google Patents
Transportsystem mit elektrostatischer Substrathalterungsvorrichtung.Info
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Claims (28)
1. Transportsystem, das aufweist:
einen Träger mit einer Oberfläche;
einen Träger mit einer Oberfläche;
eine Anordnung von ersten Leitern, die sich unter der Oberfläche im
allgemeinen parallel zueinander erstrecken;
eine Anordnung von zweiten Leitern, die sich unter der Oberfläche im
allgemeinen parallel zu den ersten Leitern erstrecken, wobei jeder zweite Leiter einen engen Abstand zu einem ersten Leiter aufweist, um einen
schmalen Spalt zwischen ihnen abzugrenzen;
eine Vorrichtung für das Anlegen einer elektrischen Potentialdifferenz
zwischen den ersten und den zweiten Leitern, um elektrostatische Felder in
den Spalten zu erzeugen, die ein Substrat zur Oberfläche des Trägers anziehen und dort festhalten können; und
eine Steuervorrichtung für das Steuern der Vorrichtung für das Anlegen
der Potentialdifferenz, so daß die Potentialdifferenz nur zwischen den
ausgewählten ersten und zweiten Leitern so angelegt wird, daß die Bereiche
der Oberfläche des Trägers gesteuert werden, auf denen das Substrat festgehalten wird.
2. Transportsystem nach Anspruch 1, bei dem der Träger ein elastisches
Band ist.
3. Transportsystem nach Anspruch 1, bei dem der Träger ein rotierender
Zylinder ist.
4. Transportsystem nach Anspruch 1, bei dem der Träger aufweist:
erste und zweite Elemente, die parallel zueinander im allgemeinen in
erste und zweite Elemente, die parallel zueinander im allgemeinen in
einer gemeinsamen Ebene beweglich sind, und eine Vorrichtung für das
relative Bewegen der Elemente;
wobei die ersten und zweiten Elemente jeweils die Anordnungen der
ersten und zweiten Leiter tragen, und
wobei die Steuervorrichtung so steuert, daß eine Potentialdifferenz
zwischen den ersten und zweiten Elektroden des einen der Elemente, wenn sich
die zwei Elemente relativ in einer Richtung bewegen, und zwischen den ersten
und zweiten Elektroden des anderen Elementes angelegt wird, wenn sich die
zwei Elemente relativ in der entgegengesetzten Richtung bewegen.
5. Transportsystem nach Anspruch 1, bei dem die Steuervorrichtung umfaßt:
■a m -
einen Schalter im Stromkreis zwischen der Vorrichtung für das Anlegen
der Potentialdifferenz und einem jeden Leiter in mindestens einer der
Anordnungen; und
eine Betätigungsvorrichtung für das selektive Betätigen der Schalter.
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6. Transportsystem nach Anspruch 5, bei dem die Betätigungsvorrichtung
in einer oder mehreren unveränderlichen Zonen längs des Weges des Trägers
gegenüberliegend den darauf befindlichen Schaltern angeordnet ist, wobei die
Schalter betätigt werden, wenn der Träger bewegt wird, um sie innerhalb einer Zone anzuordnen.
7. Transportsystem das aufweist:
eine Halterung;
eine Halterung;
ein Paar im Abstand angeordnete Walzen, die drehbar in der Halterung
parallel zueinander montiert sind;
eine Bandschi eife, die um die Walzen herum in Eingriff kommt und
zwischen diesen gedehnt wird, um eine obere Bandstrecke und eine untere
Bandstrecke zu bilden, wobei die Bandschleife eine äußere Fläche aufweist;
eine Vorrichtung für das Drehen mindestens einer der Walzen, so daß sich die obere Bandstrecke in einer ausgewählten Längsrichtung bewegt;
ein elektrostatisches Haltegitter, das sich in der Bandschleife befindet, wobei das Gitter erste und zweite Reihen von Elektroden umfaßt;
und
eine Spannungsquelle für das Anlegen einer elektrischen
Potentialdifferenz zwischen der ersten und zweiten Reihe von Elektroden, um
elektrostatische Felder zu erzeugen, die aus der äußeren Fläche der Bandschleife austreten, und die ausreichend stark sind, um ein Substrat, das
auf die äußere Fläche der Bandschleife gebracht wird, anzuziehen und festzuhalten.
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8. Transportsystem nach Anspruch 7, bei dem die Stärke der elektrostatischen Felder, die auf der Bandschleife erzeugt werden, mit dem
Gewicht und der Steifigkeit des Substrates in Beziehung steht, das auf die
äußere Fläche der Bandschleife gebracht wird, so daß das Substrat am Austrittsende der Bandschleife eher austritt, als daß es mitgenommen wird.
9. Transportsystem nach Anspruch 7, das außerdem eine Vorrichtung für das
elektrische Isolieren ausgewählter Elektroden von der Spannungsquelle in der
ersten und/oder zweiten Reihe der Elektroden umfaßt, so daß nur ausgewählte
Segmente der Bandschleife ein Substrat anziehen und festhalten werden.
10. Transportsystem nach Anspruch 9, bei dem die Vorrichtung für das
Isolieren umfaßt:
einen Schalter, der zwischen die Spannungsquelle und jede Elektrode
aus mindestens einer der Reihen von Elektroden geschaltet ist; und
eine Vorrichtung für das Öffnen der Schalter, wenn die Schalter an
ausgewählten Stellen längs des Weges der Bandschleife angeordnet werden. 10
11. Transportsystem nach Anspruch 10, bei dem die Schalter lichtempfindliche Schalter sind, die sich öffnen, wenn an den Stellen das
Licht weggenommen wird.
12, Transportsystem nach Anspruch 7, das außerdem eine Beschichtung mit,
hoher Reibung auf der äußeren Fläche der Bandschleife umfaßt.
13. Transportsystem nach Anspruch 12, bei dem die Beschichtung ein
Neopren- oder Silikonkautschuk ist.
14. Transportsystem nach Anspruch 7, das außerdem aufweist: ein zweites Paar Walzen, die dem ersten Paar gleichen;
eine zweite Bandschleife, die der ersten Bandschleife gleicht und um
das zweite Paar Walzen herum in Eingriff kommt; und eine Vorrichtung für das Positionieren der Walzenpaare relativ in
Reihe, so daß die obere Strecke der einen Bandschleife im wesentlichen in
der gleichen Ebene angeordnet ist wie die untere Strecke der anderen Bandschleife, so daß das Substrat, das auf der einen Bandschleife getragen
wird, und bei dem eine Seite ausgesetzt wird, zur anderen Bandschleife
weggeführt werden kann, so daß seine andere Seite ausgesetzt wird.
15. Transportsystem nach Anspruch 7, das außerdem umfaßt:
eine Überwachungsvorrichtung für das Überwachen der seitlichen Position der Bandschleife mit Bezugnahme auf eine ausgewählte Position und
das Erzeugen eines darauf hinweisenden Ausgangssignals;
eine Schiebevorrichtung für das seitliche Verschieben der Bandschleife
als Reaktion auf ein Steuersignal; und
eine Servovorrichtung, die auf das Ausgangssignal für das Zuführen
eines Steuersignals zur Schiebevorrichtung anspricht, so daß die
Schiebevorrichtung dahingehend tendiert, die Bandschleife in der
ausgewählten Position zu halten.
16. Transportsystem nach Anspruch 15, bei dem die Überwachungsvorrichtung
5- Anzeigen für die Bandposition auf der Bandschleife umfaßt; und
bei dem ein Detektor angrenzend an die Bandschleife für das Nachweisen
der Anzeigen und die Erzeugung eines darauf hinweisenden Ausgangssignals angeordnet ist.
17. Transportsystem nach Anspruch 16, bei dem die Anzeigen eine Vielzahl
von parallelen Linien mit engem Abstand aufweisen, die sich in Längsrichtung auf der Bandschleife erstrecken; und
bei dem der Detektor ein optischer Gitterdetektor ist, der ein Interferenzmuster mit den Linien erzeugt.
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18. Transportsystem nach Anspruch 16, das außerdem umfaßt:
einen Druckkopf für das Aufzeichnen von Bildern auf einem Substrat,
das auf der äußeren Fläche der Bandschleife gehalten wird;
eine Positioniervorrichtung für das bewegliche Positionieren des Druckkopfes entgegengesetzt der äußeren Fläche der Bandschleife;
eine Bewegungsvorrichtung, die auf das Kopfsteuersignal für das
Bewegen des Druckkopfes in der seitlichen Richtung senkrecht zur ausgewählten Richtung anspricht; und
eine zweite Servovorrichtung, die auf das Ausgangssignal für die Zuführung eines Kopfsteuersignals zur Bewegungsvorrichtung anspricht, so daß
der Druckkopf in der seitlichen Richtung verschoben wird, um jegliche
seitliche Bewegung der Bandschleife von der ausgewählten Position aus auszugleichen.
19. Transportsystem nach Anspruch 18, das außerdem umfaßt:
Zeitmarken, die längs der Bandschleife markiert sind;
einen Meßfühler für das Messen der Zeitmarken und das Erzeugen eines Zeitsignals als Reaktion darauf; und
Zeitmarken, die längs der Bandschleife markiert sind;
einen Meßfühler für das Messen der Zeitmarken und das Erzeugen eines Zeitsignals als Reaktion darauf; und
eine Drucksteuervorrichtung, die auf das Zeitsignal betreffs eines
Voreil ens oder Nacheil ens des AufZeichnens mittels des Druckkopfes
anspricht, um jegliche Veränderungen der Bewegung der Bandschleife in der
ausgewählten Richtung auszugleichen.
20. Transportsystem nach Anspruch 19, bei dem die Überwachungsvorrichtung
ebenfalls umfaßt:
einen zweiten Detektor, der der ßandschleife gegenüberliegend an einer
Stelle angeordnet ist, die einen Abstand vom ersten Detektor aufweist, um
die seitliche Position der Anzeigen nachzuweisen, und um ein zweites darauf
hinweisendes Ausgangssignal zu erzeugen; und
eine zweite Servovorrichtung, die ebenfalls auf das zweite Ausgangssignal anspricht, um das Kopfsteuersignal zur Bewegungseinrichtung
zu erzeugen.
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21. Transportsystem nach Anspruch 15, bei dem die Schiebevorrichtung eine
Vorrichtung für das Verändern der Konizität der einen der Walzen umfaßt.
22. Transportsystem nach Anspruch 21, bei dem eine der Walzen umfaßt:
einen zylindrischen zentralen Körper;
einen zylindrischen zentralen Körper;
ein Paar Dehnungselemente mit veränderlichem Durchmesser an den
entgegengesetzten Enden des zentralen Körpers;
eine elastische zylindrische Buchse, die den zentralen Körper und die
Dehnungselemente umschließt; und
eine Vorrichtung für das Verändern des Durchmessers der Dehnungselemente als Reaktion auf das Steuersignal.
23. Transportsystem, das aufweist:
eine Halterung;
eine Halterung;
ein Paar im Abstand angeordnete Walzen, die drehbar in der Halterung
parallel zueinander montiert sind;
eine Bandschleife, die um die Walzen herum in Eingriff kommt und
zwischen diesen gedehnt wird, um eine obere Bandstrecke und eine untere
Bandstrecke zu bilden, wobei die Bandschleife eine äußere Fläche aufweist;
eine Vorrichtung für das Drehen mindestens einer der Walzen, so daß sich die obere Bandstrecke in einer ausgewählten Längsrichtung bewegt;
eine Vorrichtung für das Überwachen der seitlichen Position der
Bandschleife mit Bezugnahme auf eine ausgewählte Position und das Erzeugen eines darauf hinweisenden Ausgangssignals;
einen Druckkopf für das Aufzeichnen von Bildern auf einem Substrat,
das auf der äußeren.Fläche der Bandschleife gehalten wird;
eine Positioniervorrichtung für das bewegliche Positionieren des
Druckkopfes entgegengesetzt der äußeren Fläche der Bandschleife;
eine Bewegungsvorrichtung, die auf das Kopf steuersignal für das
Bewegen des Druckkopfes in der seitlichen Richtung senkrecht zur
ausgewählten Längsrichtung anspricht; und
eine Senkvorrichtung, die auf das Ausgangssignal für die1 Zuführung
eines Kopfsteuersignals zur Bewegungsvorrichtung anspricht, so daß der
Druckkopf in der seitlichen Richtung verschoben wird, um jegliche seitliche
Bewegung der Bandschleife von der ausgewählten Position aus auszugleichen.
24. Transportsystem nach Anspruch 23, das außerdem umfaßt:
Zeitmarken, die längs der Bandschleife markiert sind;
Zeitmarken, die längs der Bandschleife markiert sind;
einen Meßfühler für das Messen der Zeitmarken und das Erzeugen eines
Zeitsignals als Reaktion darauf; und
eine Drucksteuervorrichtung, die auf das Zeitsignal betreffs eines
Voreilens oder Nacheil ens des AufZeichnens mittels des Druckkopfes
anspricht, um jegliche Veränderungen der Bewegung der Bandschleife in der
ausgewählten Richtung auszugleichen.
25. Transportsystem nach Anspruch 24, bei dem die Überwachungsvorrichtung
ebenfalls umfaßt:
die Anzeigen für die Bandposition auf dem Band und ein Paar Detektoren, die der Bandschleife gegenüberliegend an Stellen angeordnet
sind, die einen Abstand voneinander aufweisen, um die seitliche Position der Anzeigen an den Stellen nachzuweisen, und um ein Ausgangssignal und ein
darauf hinweisendes zweites Ausgangssignal zu erzeugen; und
wobei die zweite Servovorrichtung ebenfalls auf das Ausgangssignal und
das zweite Ausgangssignal anspricht, um das Kopfsteuersignal der Bewegungsvorrichtung zu liefern.
26. Transportsystem, das aufweist:
einen Förderer für das Befördern eines Artikels;
eine Vorrichtung für das Bewegen des Förderers in einer ausgewählten
Längsrichtung;
eine Vorrichtung für das Befestigen des Artikels auf dem Förderer;
erste und zweite einen Abstand aufweisende Arbeitsstationen, die dem
Förderer gegenüberliegend angeordnet sind, wobei jede Station eine
Vorrichtung für die Verarbeitung des Artikels umfaßt;
eine Bewegungsvorrichtung, die auf die Steuersignale für das Bewegen
der Vorrichtung für die Verarbeitung des Artikels in der seitlichen Richtung
senkrecht zur ausgewählten Längsrichtung anspricht;
einen Detektor für die Überwachung der seitlichen Position des
Förderers relativ zu einer ausgewählten unveränderlichen Position und das
Erzeugen eines Ausgangssignals als Reaktion darauf; und
eine Senkvorrichtung, die auf das Ausgangssignal für das Zuführen der
Steuersignale zur Bewegungsvorrichtung anspricht, um so die Vorrichtung für die Verarbeitung des Artikels zur ersten und zweiten Arbeitsstation zu
verschieben, um jegliche seitliche Bewegungen des Förderers aus der
ausgewählten Position heraus auszugleichen, nachdem der Artikel auf dem Förderer befestigt ist.
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27. Transportsystem nach Anspruch 26, das außerdem umfaßt:
eine in Längsrichtung angeordnete Reihe von Zeitmarken, die auf dem
Förderer markiert sind;
einen Meßfühler für das Messen der Zeitmarken und das Erzeugen eines
Zeitsignals als Reaktion darauf; und
eine Steuervorrichtung, die auf das Zeitsignal für des Voreilen oder
Nacheilen des Arbeitsganges der Vorrichtung für die Verarbeitung des
Artikels anspricht, um jegliche Veränderungen hinsichtlich der Bewegung des
Förderers in der Längsrichtung auszugleichen, nachdem der Artikel auf dem Förderer befestigt ist.
28. Transportsystem nach Anspruch 26, bei dem die Überwachungsvorrichtung
ebenfalls einen zweiten Detektor umfaßt, der gegenüberliegend dem Förderer
an einer Stelle angeordnet ist, die einen Abstand zum ersten Detektor aufweist, um die seitliche Position des Förderers relativ zur
unveränderlichen Position nachzuweisen, und um ein darauf hinweisendes
zweites Ausgangssignal zu erzeugen; und
wobei die zweite Servovorrichtung ebenfalls auf das zweite Ausgangssignal anspricht, um die Steuersignale der Bewegungsvorrichtung zu
liefern.
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