DE656029C

DE656029C - Verfahren zur Vorbehandlung von fuer die kathodische Zerstaeubung bestimmten Metallelektroden

Info

Publication number: DE656029C
Application number: DED69214D
Authority: DE
Original assignee: DISPERSION CATHODIQUE S A
Current assignee: DISPERSION CATHODIQUE S A
Priority date: 1934-10-16
Filing date: 1934-11-25
Publication date: 1938-01-27
Also published as: US2047350A; BE411781A; NL46324C; FR793014A; ES137643A1

Description

Verfahren zur Vorbehandlung von für die kathodische Zerstäubung bestimmten Metallelektroden Ziel der. Erfindung ist, die kathodische Zerstäubung von Metallen zu beschleunigen und wirtschaftlich zu gestalten sowie das -kathodische Zerstäuben von solchen Metallen, die bisher überhaupt nicht oder nur sehr schwer zu zerstäuben waren, zu ermöglichen sowie die Zerstäubung bei höheren Drücken als bisher vorzunehmen.
Man hat gefunden, daß durch Chemosorption oder aktive (aktivierte) Adsorption, hierunter versteht man die auf Primärvalenzkräften beruhende Adsorption von Gasen auf festen Körpern, die erst oberhalb einer bestimmten Temperatur merkbar in Erscheinung tritt, bei Temperaturerhöhung bis auf ein gewisses Maximum ansteigt und dann nicht mehr allein durch Herabsetzung des Druckes entfernt werden kann (vgl. u. a. »Die Adsorption von Gasen und Dämpfen an festen Körpern« von H. Dohse und H. Mark, Leipzig, Akademische Verlagsgesellschaft mbH., 1933, § 18, insbesondere S. 66, Absatz 3, sowie James William M c Bain, »The sorption of gases and vapours by solids«, London, George Routledge & Sons Ltd., 1932, S.475 und 479-481), an der Oberfläche des zu zerstäubenden Metalls eine dünne Gasschicht gebunden ist, die die Zerstäubung erschwert. Erfindungsgemäß wird nun, zweckmäßig bevor man mit dem eigentlichen Zerstäuben beginnt, diese Gasschicht, die` praktisch aus Luftsauerstoff besteht, bei einer Temperatur oberhalb 80o° C entfernt, und zwar in Gegenwart eines ionisierten Füllgases, das mit dem Gas der gebundenen Gasschicht eine chemische -Verbindung eingeht.
Die Höhe der Temperatur, bis zu der die Kathode erhitzt werden muß, hängt von der Art des zu zerstäubenden Metalles und den chemischen Eigenschaften des Füllgases ab. Bei gewissen Elektrodenmetallen kann die Temperatur etwa bei Weißglut liegen. Sie übersteigt z. B. bei Verwendung von Platin oder Wolfram 130o° C. Um die Kathode auf die gewünschte Temperatur zu bringen und, wenn es erwünscht ist, auf dieser Temperatur zu halten, kann man sich beliebiger Mittel bedienen. So ist es beispielsweise möglich, mit Hilfe der gleichen Stromquelle, die später für die Zerstäubung in Anwendung kommt, die notwendige Erhitzung der Kathode durchzuführen oder auch eine direktes Beheizung der Kathode durch einen besonderen Stromkreis vorzusehen.
In gewissen Fällen ist es zweckmäßig, während des Abgasens der Elektroden eine letwä ,auftretende geringe Bestäubung des zu metallisierenden Gegenstandes durch Anbringen eines Schutzschirmes zwischen diesem und den Elektroden zu verhindern.

trischen Widerständen, Spiegeln usw. Beispiel -i Um Kobalt kathodisch zu zerstäuben, werden Kobaltbänder von 4 mm Breite und 2 mm Dicke als Elektroden benutzt. Als Füllgas verwendet man Wasserstoff. Der Druck beträgt 0,36 mm IHg. Man bringt die Kathoden auf eine Temperatur von etwa iioo° C. Die anhaftende Sauerstoffschicht läßt sich innerhalb von etwa i Minute entfernen. Darauf erfolgt die kathodische Zerstäubung bei einer Spannung von 2ooo Volt innerhalb einer Zeit von ungefähr 5 Minuten. Es entsteht eine Kobaltschicht von annähernd 4o Millimikron Dicke.
Beispiel 2 Zur kathodischen Zerstäubungvon Molybdän werden als Elektroden Molybdändrähte mit einem Durchmesser von o,8 mm verwendet. Als Füllgas dient Wasserstoff. Der Druck beträgt 0,4 mm Hg. Die Kathoden werden auf eine Temperatur von i2oo° C gebracht.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zur Vorbehandlung von für die kathodische Zerstäubung bestimmten Metallelektroden, die im Betriebe in warmem Zustande mit Luft in Berührung kommen, dadurch gekennzeichnet, daß die durch Chemosorption oder aktive (aktivierte), Adsorption auf der Oberfläche der Metallelektroden gebundene dünne Sauerstoffschicht vor dem eigentlichen Zerstäubungsvorgang bei einer Temperatur oberhalb 8oo° C und gleichzeitiger lonisierung des Füllgases entfernt wird.
2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Entfernung der gebundenen Gasschicht in Gegenwart von Wasserstoff erfolgt, das mit dem Gas der Gasschicht eine chemische Verbindung eingeht.