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Mikroskop zur Prüfung von Oberflächen Mikroskope zur Prüfung von Oberflächen,
beispielsweise von bearbeiteten Metallflächen, durch Vergleich des mikroskopisch
vergrößerten Bildes der zu prüfenden Oberfläche mit einer Normalfläche, die von
der Bildschicht eines Diapositivs vergrößert wiedergegeben wird, sind bereits bekannt.
Zur Ausführung der Prüfung wird erfindungsgemäß das Diapositiv praktisch in der
Bildebene des Mikroskopobjektivs sö ange-.bracht, daß es einen Teil des mit dem
Mikroskopokular übersehbaren Bildfeldes einnimmt, so daß die Normalfläche neben
der zu prüfenden Fläche im Gesichtsfelde des Mikroskops sichtbar ist. Ist dabei
die Vergrößerung des Bildes der Normalfläche der vom Mikroskopobjektiv bewirkten
Vergrößerung der Abbildung der zu prüfenden Fläche angepaßt, dann können beide Flächen
bezüglich ihrer Beschaffenheit, z. B. der Güte ihrer Bearbeitung, ohne weiteres
miteinander verglichen werden.
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Es erweist sich- als besonders zweckmäßig, zur Beleuchtung des zu
prüfenden Objektes und des Diapositivs eine gemeinsame Lichtquelle vorzusehen. Die
Lichtquelle wird in der Regel eine künstliche Lichtquelle, vorzugsweise der Leuchtfaden
einer elektrischen Glühlampe sein. Um eine einwandfreie Beleuchtung der zu vergleichenden
Flächen zu erzielen, empfiehlt es sich, zur Beleuchtung des Diapositivs ein optisches
System vorzusehen, das die Lichtquelle in' oder in der Nähe der Ebene einer Blende
abbildet, und diese letztgenannte Abbildung als sekundäre Lichtquelle für die Beleuchtung
des Diapositivs zu benutzen. Läßt man die Lichtstrahlen dieser sekundären Lichtquelle
unmittelbar auf das Diapositiv fallen, so ergibt sich eine verhältnismäßig unvorteilhafte
Beleuchtung dieses Diapositivs, - weil das darauffallende Lichtstrahlenbündel divergiert.
Die Beleuchtungsstrahlen können dann in ihrem weiteren Verlauf zum großen Teile
nicht von 1 Mikroskopokular aufgenommen werden und gehen infolgedessen ungenutzt
verloren. Es läßt sich eine ausreichende Beleuchtung des Diapositivs erzielen, indem
man vor das Diapositiv ein Streufilter in den Beleuchtungsstrahlengang schaltet.
Die von der sekundären Lichtquelle auf das Streufilter geworfenen Beleuchttfngsstrahlen
werden von dieser diffus zerstreut mit der Wirkung, daß der Beobachter im Mikroskopokular
das Diapositiv vor einem gleichmäßig aufgehellten Hintergrunde erblickt. Eine günstige
Beleuchtung des Diapositivs erfordert aber, die sekundäre Lichtquelle mit Hilfe
eines weiteten optischen Systems, welches vor das Diapositiv in den Beleuchtungsstrahlengang
geschaltet ist, in oder in der Nähe der Austrittspupille des Mikroskopokulars abzubilden.
Die Beleuchtung des Diapositivs entspricht auf diese Weise der üblichen Beleuchtung
des Objektes in einem Apparat für diaskopische Projektion. Das Diapositiv liegt
dabei in einem konvergenten Beleuchtungsstrahlenbündel, dessen Strahlen im wesentlichen
die
Austrittspupille des Mikroskopokulars durchsetzen und- demzufolge in das am Okular
befindliche Auge d_ es Beobachters eintreten können.
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In der Zeichnung sind zwR Ausführuligs-Beispiele des Eründungsgefeständes
dargestellt. Abb. i gibt das erste K-usführungsbeispiel' im Mittelschnitt im Aufriß
wieder. Abb. 2 zeigt das zweite Ausführungsbeispiel schematisch- in entsprechender
Lage: -Das erste Ausführungsbeispiel (Abb. i) hat einen Mikroskoptubus i, in welchem
in bekannter Weise- ein Mikroskopobjektiv 2-und ein einstellbares Mihroskopokulär
3 befestigt sind. Die Bildebene des Objektivs 2 ist durch eine das Bildfeld begrenzende
Blende 4 bestimmt. In einen Schlitz 5, welcher sich über den halben Umfang des Ttt-Bus
i erstreckt, ist ein Diapositiv 6, dessen Bildschicht --eine Normalfläche vergrößert
wiedergibt, so eingeschoben, daß die Bildschicht. in -der durch die Blende 4 bestimmten
Ebene liegt. Unterhalb dieses Diapositivs 6 ist der Tubus i durch eine Scheide«and
7 in. einen Beleuchtungsraum und einen Beobachtungsraum geteilt. Er trägt einen
seitlichen Arm 8, in welchem, ein zur Achse des Mikroskopobjektivs 2 geneigtes Lampengehäuse
9 gelagert ist. Im Lampengehäuse 9, welches an der dem Tubus i zugekehrten
Seite ein Fenster io hat, ist hinter diesem Fenster io eine Glühlampe ii im Gehäuse
9 verschieblich angebracht. Das -Gehäuse 9 ist -von einer Sammellinse 12 abgeschlossen.-
In der- denn Fenster io - gegenüberliegenden Wand - des Tubus i ist eine Sammellinse
13 gefaßt, hinter welcher sich 'ein geneigter Spiegel 14 im Beleuchtungsraume befindet.
Oberhalb dieses Spiegels 14. ist eine Blende 15 angebracht, während der Beleuchtungsraum
nach oben durch eine Milchglasscheibe 16 abge= schlossen ist.
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Beim Gebrauche des Mikroskops wird die Glühlampe i r an - eine Stromquelle
angeschlossen und im Gehäuse 9 verschoben, -bis das von der Linse i2 erzeugte Bild
des Glühfadens der Lampe 14 ungefähr konzentrisch zur optischen Achse des Mikroskopobjektivs
2 liegt. Das Mikroskop wird nunmehr -so gegenüber einer zu prüfenden Fläche 17 aufgestellt,
daß diese Fläche die Achse des Mikroskopobjektivs ä am Orte des Bildes des Glühfadens
rechtwinklig schneidet. Das Objektive erzeugt in der,Ebene der Blende4 ein Bild
der Fläche 17. Die Brennweite der Linse 13 ist so gewählt, daß der Glühfaden der
Lampe i i von dieser Linse 13 und - dem Spiegel 14 in der Öffnung der Blende 15
abgebildet wird, wobei die von der Glühlampe i i ausgesandten Lichtstrahlen das
Fenster io durchsetzen. Die - beleuchtete Öffnung der Blende 1 5 dient als sekundäre
Lichtquelle; die von ihr ausgesandten Strahlen hellen die gesamte Fläche der Milchglasscheibe
16 auf. Der- in das Okular 3@ des Mikroskops blickende Beobachter sieht das vor
der als heller Hintergrund wirkenden Milchglasscheibe 16 befindliche . Diapositiv
6 neben dem in der Ebene der Blende 4 gelegenen Bilde der zu. prüfenden Fläche 17,
so daß ein Vergleich dieser Fläche 17 mit- der Normalfläche in einfacher Weise möglich
ist.
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Das zweite Ausführungsbeispiel (Abb. 2) unterscheidet sich vom- -ersten
Ausführungsbeispiele lediglich durch eine ändere Ausbildung der optischen Glieder,
welche- die Be--leuchtung des Diapositivs 6 -vermitteln. Die von der Lichtquelle
ii ausgesandten Strahlen werden; wie - beim ersten Beispiele mittels einer Sammellinse
13 und eines geneigten Spiegels 14 -zu einem Bilde der Lichtquelle in der Öffnung
einer Irisblende 18 vereinigt, wobei jedoch die eine- Hälfte des abbildenden
Strahlenbündels durch eine vor- der Irisblende 18 befindliche Blende i9 aufgefangen
wird: Die beleuchtete Öffnung der Irisblende 18 hat demnach die Form eines Halbkreises.
der als sekundär_e_Lichtquelle dient. Die von der sekundären Lichtquelle ausgesandten
Beleuchtungsstrahlen bilden ein divergierendes Strahlenbündel und werden mit Hilfe
zweier Spie gel2o und 21 einer halben Kondensorlinse22 zugeführt, welche vor das
Diapositiv 6_ in .den Beleuchtungsstrahlengäng geschaltet ist: Die Beleuchtungsstrahlen
werden- von der Linse 22 zu einem ungefähr in der Austrittspupille des Mikroskopokulars
3 gelegenen Bilde der Lichtquelle vereinigt, wobei ein konvergentes -Strahlenbündel-
das. Diapositiv 6 - durchsetzt und dessen Bild= Schicht aufhellt. Beim Gebrauche
dieser Ausführungsform geht :man in derselben 'Weise vor, wie dies- zum' ersten
Ausführungsbeispiel ausgeführt wurde. -Auch mit einem=gemäß dem zweiten :Ausführungsbeispiele
ausgebäuteii -Mikroskop ist der Vergleich der zu prüfenden Fläche 1,7 mit
der durch die Bildschicht des Diapositivs 6 dargestellten Normalfläche einfach durchzuführen.