DE630226C - Mikroskop zur Pruefung von Oberflaechen - Google Patents

Mikroskop zur Pruefung von Oberflaechen

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DE630226C
DE630226C DEZ21631D DEZ0021631D DE630226C DE 630226 C DE630226 C DE 630226C DE Z21631 D DEZ21631 D DE Z21631D DE Z0021631 D DEZ0021631 D DE Z0021631D DE 630226 C DE630226 C DE 630226C
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DE
Germany
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slide
microscope
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eyepiece
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Expired
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DEZ21631D
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/082Condensers for incident illumination only

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

  • Mikroskop zur Prüfung von Oberflächen Mikroskope zur Prüfung von Oberflächen, beispielsweise von bearbeiteten Metallflächen, durch Vergleich des mikroskopisch vergrößerten Bildes der zu prüfenden Oberfläche mit einer Normalfläche, die von der Bildschicht eines Diapositivs vergrößert wiedergegeben wird, sind bereits bekannt. Zur Ausführung der Prüfung wird erfindungsgemäß das Diapositiv praktisch in der Bildebene des Mikroskopobjektivs sö ange-.bracht, daß es einen Teil des mit dem Mikroskopokular übersehbaren Bildfeldes einnimmt, so daß die Normalfläche neben der zu prüfenden Fläche im Gesichtsfelde des Mikroskops sichtbar ist. Ist dabei die Vergrößerung des Bildes der Normalfläche der vom Mikroskopobjektiv bewirkten Vergrößerung der Abbildung der zu prüfenden Fläche angepaßt, dann können beide Flächen bezüglich ihrer Beschaffenheit, z. B. der Güte ihrer Bearbeitung, ohne weiteres miteinander verglichen werden.
  • Es erweist sich- als besonders zweckmäßig, zur Beleuchtung des zu prüfenden Objektes und des Diapositivs eine gemeinsame Lichtquelle vorzusehen. Die Lichtquelle wird in der Regel eine künstliche Lichtquelle, vorzugsweise der Leuchtfaden einer elektrischen Glühlampe sein. Um eine einwandfreie Beleuchtung der zu vergleichenden Flächen zu erzielen, empfiehlt es sich, zur Beleuchtung des Diapositivs ein optisches System vorzusehen, das die Lichtquelle in' oder in der Nähe der Ebene einer Blende abbildet, und diese letztgenannte Abbildung als sekundäre Lichtquelle für die Beleuchtung des Diapositivs zu benutzen. Läßt man die Lichtstrahlen dieser sekundären Lichtquelle unmittelbar auf das Diapositiv fallen, so ergibt sich eine verhältnismäßig unvorteilhafte Beleuchtung dieses Diapositivs, - weil das darauffallende Lichtstrahlenbündel divergiert. Die Beleuchtungsstrahlen können dann in ihrem weiteren Verlauf zum großen Teile nicht von 1 Mikroskopokular aufgenommen werden und gehen infolgedessen ungenutzt verloren. Es läßt sich eine ausreichende Beleuchtung des Diapositivs erzielen, indem man vor das Diapositiv ein Streufilter in den Beleuchtungsstrahlengang schaltet. Die von der sekundären Lichtquelle auf das Streufilter geworfenen Beleuchttfngsstrahlen werden von dieser diffus zerstreut mit der Wirkung, daß der Beobachter im Mikroskopokular das Diapositiv vor einem gleichmäßig aufgehellten Hintergrunde erblickt. Eine günstige Beleuchtung des Diapositivs erfordert aber, die sekundäre Lichtquelle mit Hilfe eines weiteten optischen Systems, welches vor das Diapositiv in den Beleuchtungsstrahlengang geschaltet ist, in oder in der Nähe der Austrittspupille des Mikroskopokulars abzubilden. Die Beleuchtung des Diapositivs entspricht auf diese Weise der üblichen Beleuchtung des Objektes in einem Apparat für diaskopische Projektion. Das Diapositiv liegt dabei in einem konvergenten Beleuchtungsstrahlenbündel, dessen Strahlen im wesentlichen die Austrittspupille des Mikroskopokulars durchsetzen und- demzufolge in das am Okular befindliche Auge d_ es Beobachters eintreten können.
  • In der Zeichnung sind zwR Ausführuligs-Beispiele des Eründungsgefeständes dargestellt. Abb. i gibt das erste K-usführungsbeispiel' im Mittelschnitt im Aufriß wieder. Abb. 2 zeigt das zweite Ausführungsbeispiel schematisch- in entsprechender Lage: -Das erste Ausführungsbeispiel (Abb. i) hat einen Mikroskoptubus i, in welchem in bekannter Weise- ein Mikroskopobjektiv 2-und ein einstellbares Mihroskopokulär 3 befestigt sind. Die Bildebene des Objektivs 2 ist durch eine das Bildfeld begrenzende Blende 4 bestimmt. In einen Schlitz 5, welcher sich über den halben Umfang des Ttt-Bus i erstreckt, ist ein Diapositiv 6, dessen Bildschicht --eine Normalfläche vergrößert wiedergibt, so eingeschoben, daß die Bildschicht. in -der durch die Blende 4 bestimmten Ebene liegt. Unterhalb dieses Diapositivs 6 ist der Tubus i durch eine Scheide«and 7 in. einen Beleuchtungsraum und einen Beobachtungsraum geteilt. Er trägt einen seitlichen Arm 8, in welchem, ein zur Achse des Mikroskopobjektivs 2 geneigtes Lampengehäuse 9 gelagert ist. Im Lampengehäuse 9, welches an der dem Tubus i zugekehrten Seite ein Fenster io hat, ist hinter diesem Fenster io eine Glühlampe ii im Gehäuse 9 verschieblich angebracht. Das -Gehäuse 9 ist -von einer Sammellinse 12 abgeschlossen.- In der- denn Fenster io - gegenüberliegenden Wand - des Tubus i ist eine Sammellinse 13 gefaßt, hinter welcher sich 'ein geneigter Spiegel 14 im Beleuchtungsraume befindet. Oberhalb dieses Spiegels 14. ist eine Blende 15 angebracht, während der Beleuchtungsraum nach oben durch eine Milchglasscheibe 16 abge= schlossen ist.
  • Beim Gebrauche des Mikroskops wird die Glühlampe i r an - eine Stromquelle angeschlossen und im Gehäuse 9 verschoben, -bis das von der Linse i2 erzeugte Bild des Glühfadens der Lampe 14 ungefähr konzentrisch zur optischen Achse des Mikroskopobjektivs 2 liegt. Das Mikroskop wird nunmehr -so gegenüber einer zu prüfenden Fläche 17 aufgestellt, daß diese Fläche die Achse des Mikroskopobjektivs ä am Orte des Bildes des Glühfadens rechtwinklig schneidet. Das Objektive erzeugt in der,Ebene der Blende4 ein Bild der Fläche 17. Die Brennweite der Linse 13 ist so gewählt, daß der Glühfaden der Lampe i i von dieser Linse 13 und - dem Spiegel 14 in der Öffnung der Blende 15 abgebildet wird, wobei die von der Glühlampe i i ausgesandten Lichtstrahlen das Fenster io durchsetzen. Die - beleuchtete Öffnung der Blende 1 5 dient als sekundäre Lichtquelle; die von ihr ausgesandten Strahlen hellen die gesamte Fläche der Milchglasscheibe 16 auf. Der- in das Okular 3@ des Mikroskops blickende Beobachter sieht das vor der als heller Hintergrund wirkenden Milchglasscheibe 16 befindliche . Diapositiv 6 neben dem in der Ebene der Blende 4 gelegenen Bilde der zu. prüfenden Fläche 17, so daß ein Vergleich dieser Fläche 17 mit- der Normalfläche in einfacher Weise möglich ist.
  • Das zweite Ausführungsbeispiel (Abb. 2) unterscheidet sich vom- -ersten Ausführungsbeispiele lediglich durch eine ändere Ausbildung der optischen Glieder, welche- die Be--leuchtung des Diapositivs 6 -vermitteln. Die von der Lichtquelle ii ausgesandten Strahlen werden; wie - beim ersten Beispiele mittels einer Sammellinse 13 und eines geneigten Spiegels 14 -zu einem Bilde der Lichtquelle in der Öffnung einer Irisblende 18 vereinigt, wobei jedoch die eine- Hälfte des abbildenden Strahlenbündels durch eine vor- der Irisblende 18 befindliche Blende i9 aufgefangen wird: Die beleuchtete Öffnung der Irisblende 18 hat demnach die Form eines Halbkreises. der als sekundär_e_Lichtquelle dient. Die von der sekundären Lichtquelle ausgesandten Beleuchtungsstrahlen bilden ein divergierendes Strahlenbündel und werden mit Hilfe zweier Spie gel2o und 21 einer halben Kondensorlinse22 zugeführt, welche vor das Diapositiv 6_ in .den Beleuchtungsstrahlengäng geschaltet ist: Die Beleuchtungsstrahlen werden- von der Linse 22 zu einem ungefähr in der Austrittspupille des Mikroskopokulars 3 gelegenen Bilde der Lichtquelle vereinigt, wobei ein konvergentes -Strahlenbündel- das. Diapositiv 6 - durchsetzt und dessen Bild= Schicht aufhellt. Beim Gebrauche dieser Ausführungsform geht :man in derselben 'Weise vor, wie dies- zum' ersten Ausführungsbeispiel ausgeführt wurde. -Auch mit einem=gemäß dem zweiten :Ausführungsbeispiele ausgebäuteii -Mikroskop ist der Vergleich der zu prüfenden Fläche 1,7 mit der durch die Bildschicht des Diapositivs 6 dargestellten Normalfläche einfach durchzuführen.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Mikroskop zur Prüfung von Oberflächen durch Vergleich des mikroskopischen Bildes dieser Oberflächen mit einem eine i,Tormalfläche wiedergebenden Diapositiv, dadurch-gekennzeichnet, daß das Diapositiv praktisch in der Bildebene des-Mikroskopobjektivs so angebracht ist, daß es einen-Teil des mit dem Mikroskopokular übersehbaren Bildfeldes einnimmt.
  2. 2. Mikroskop nach Anspruch i, mit ,einer gemeinsamen Lichtquelle zur Beleuchtung des zu prüfenden- Objektes und des Diapositivs, dadurch gekennzeichnet, daß zur Beleuchtung des Diapositivs ein optisches System vorgesehen ist, das die Lichtquelle in oder in der Nähe der Ebene einer Blende > abbildet und daß diese Abbildung als sekundäre Lichtquelle für die Beleuchtung des Diapositivs dient.
  3. 3. Mikroskop nach Anspruch -2, dadurch gekennzeichnet, daß die sekundäre Lichtquelle mit Hilfe eines weiteren optischen Systems, welches vor das Diapositiv in den Beleuchtungsstrahlengang geschaltet ist, in oder in der Nähe der Austrittspupille des 1@lil:roskol)okulars zur Abbildung gelangt.
DEZ21631D 1934-03-17 1934-03-17 Mikroskop zur Pruefung von Oberflaechen Expired DE630226C (de)

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DE (1) DE630226C (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1423603B1 (de) * 1960-12-30 1970-05-21 Genevoise Instr Physique Winkelmessmikroskop

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1423603B1 (de) * 1960-12-30 1970-05-21 Genevoise Instr Physique Winkelmessmikroskop

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