DE623393C - - Google Patents

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DE623393C
DE623393C DENDAT623393D DE623393DA DE623393C DE 623393 C DE623393 C DE 623393C DE NDAT623393 D DENDAT623393 D DE NDAT623393D DE 623393D A DE623393D A DE 623393DA DE 623393 C DE623393 C DE 623393C
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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DENDAT623393D 1934-10-24 Active DE623393C (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3028836A (en) * 1957-02-06 1962-04-10 Trenton Times Corp Coating table apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3028836A (en) * 1957-02-06 1962-04-10 Trenton Times Corp Coating table apparatus

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