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Hintergrund der Erfindung
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1. Bereich
der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem
und ein Aufnahmebedingungs-Extraktionsverfahren zum Erhalten einer
optimalen Aufnahmebedingung eines dielektrischen Aufnahmemediums,
welches Information in einem Mikrogebiet (einer Mikrodomäne) einer dielektrischen
Substanz mit hoher Dichte aufzeichnet, sowie auf ein Informationsaufnahmegerät.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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In
neuerer Zeit wurden viele Arten von dielektrischen und piezoelektrischen
Materialien entwickelt, und die meisten von diesen werden für Ultraschallbauelemente,
optische Elemente, Speicher und Ähnliches
verwendet. Beispielsweise wird im Dokument
EP 1 154 422 A eine wiederbeschreibbare Datenspeicherung
beschrieben, bei welcher ein kohlenstoffhaltiges Material verwendet
wird. Außerdem wird
im Dokument
EP 0 738
004 A eine Aufnahmeeinrichtung hoher Dichte beschrieben,
welche ein Speichermedium beinhaltet, welches durch das Aufbringen
eines Isolationsfilms als Schicht auf einem Siliciumsubstrat gebildet
ist. In dem Dokument
US 5,946,284 wird
ein Disk- bzw. Plattengerät
beschrieben, welches einen dünnen
ferroelektrischen Film benutzt, welcher auf der Oberfläche einer
Disk bzw. Platte aufgebracht ist. In Angesicht dieser Tatsache wurde
ein Verfahren zum Messen einer bleibenden Polarisationsverteilung
des dielektrischen Materials und der lokalen Anisotropie des piezoelektrischen Materials
entwickelt. Auch wurde durch Benutzen dieser Technik eine andere
Technik der Informationsaufzeichnung in dem dielektrischen Material
und des Wiedergebens der Information entwickelt.
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Um
ein Polarisationsgebiet der dielektrischen Substanz zu beobachten,
gibt es herkömmlicherweise
ein Verfahren, den Unterschied der Ätzraten in einer Ebenenrichtung
durch chemisches Ätzen zu
nutzen. Es kann jedoch nur eine Auflösung in der Größenordnung
von um bei diesem Verfahren erwartet werden, und es erfordert Zeit
aufgrund der Notwendigkeit, die Verfahren des chemischen Ätzens und Ähnliches
zu durchlaufen bis zur aktuellen Beobachtung. Mit Bezug auf das
Mikrogebiet gibt es ein Verfahren des Anwendens einer Hochfrequenzspannung
an dem dielektrischen Material mit einem AFM-Gerät (Atom-Kraftmikroskop) and
das Benutzen der piezoelektrischen Antwort zu dieser Zeit. Es ist
bei diesem Verfahren jedoch schwierig, ein Detektionssignal zu erhalten,
welches genügend
S/N- bzw. Signal/Rausch-Verhältnisse
bezüglich
des Mikrogebiets in der Größenordnung
von nm aufweist.
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Die
Erfinder der vorliegenden Erfindung haben ein SNDM (abtastendes,
nicht-lineares, dielektrisches Mikroskop) entwickelt, um das Mikrogebiet
zu bilden und zu beobachten. Dieses Gerät kann das Polarisationsgebiet
der dielektrischen Substanz in der Größenordnung von nm beobachten
und ein künstliches
Polarisationsgebiet durch das Anwenden eines elektrischen Feldes
an der dielektrischen Substanz bilden. Kaori Matsuura et al. beschreiben
in "Fundamental
Study on Nano Domain Engineering Using Scanning Nonlinear Dielectric
Microscopy", Jpn.
J. Appl. Phys., Band 40 (2001), S. 4354–4356, Teil I, Nr. 6B, Juni
2001, XP-002282235
das Prinzip der SNDM-Technik. Jedoch gibt es dort kaum ein konkretes
Bedingungs- bzw. Zustandsextraktionsverfahren, mit guter Reproduzierbarkeit
ein Mikropolarisationsgebiet zu bilden, welches ein stabiles Niveau zum
Aufzeichnen und Wiedergeben besitzt.
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Falls
das Polarisationsgebiet in dem dielektrischen Material gebildet
ist und dieses als Information aufgezeichnet ist, ist es notwendig,
die Polarisation der dielektrischen Substanz teilweise mit der Richtung
eines äußeren elektrischen
Feldes zu justieren, indem von außen das elektrische Feld angelegt
wird, dessen Intensität
stärker
als die des koerzitiven elektrischen Feldes des dielektrischen Materials
ist. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben Mikrogebiete
in der Größenordnung
von Sub-nm auf PZT-Film und in einem LiTaO3-Kristall
gebildet, wobei sie das oben beschriebene SNDM benutzt haben, jedoch
sind diese nicht ausreichend stabil. Zur gleichen Zeit berichten
wenige Forscher über
die Technik zum Bilden eines stabilen Sub-nm-Mikrogebietes, welches
für das
Aufzeichnen und Wiedergeben mit hoher Aufzeichnungsdichte auf dielektrischem
Material in der gegenwärtigen
Situation geeignet ist.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Es
ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem
und ein Aufnahmebedingungs-Extraktionsverfahren des dielektrischen
Aufnahmemediums sowie ein Informationsaufzeichnungsgerät zu liefern, um
ein Mikrogebiet mit hoher Dichte und ein stabiles Mikrogebiet in
dem elektrischen Material zu bilden.
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Diese
Aufgabe wird durch ein Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem mit
den Merkmalen des Anspruchs 1 und/oder des Anspruchs 3 gelöst.
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Demnach
kann die obige Aufgabe der vorliegenden Erfindung erreicht werden
durch: ein erstes Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem eines dielektrischen
Aufzeichnungsmediums für
das Erhalten einer angewandten Spannung und einer angewandten Zeitdauer,
um eine angewandte Spannung und eine angewandte Zeitdauer zu untersuchen,
welche für
das Aufzeichnen von Information in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium
geeignet ist. Das erste Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem besitzt: eine
Einstellvorrichtung für
die angewandte Spannung zum Einstellen einer Vielzahl von angewandten Spannungen,
welche an dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium anzuwenden sind,
auf der Grundlage eines Eingangsspannungswertes; eine Einstelleinrichtung
für die
angewandte Zeitdauer zum Einstellen einer angewandten Zeitdauer
auf der Basis eines Eingangszeitdauerwertes; und eine Einrichtung
zum Bilden eines Polarisationsgebietes zum Bilden einer Vielzahl
von Polarisationsgebieten in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium,
indem wiederholt Anwendungsspannung an dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium
mit einem Taster ausgeführt wird.
Jede Anwendungsspannung wird für
die eingestellte angewandte Zeitdauer ausgeführt. Eine angewandte Spannung
wird bei jeder Anwendungsspannung entsprechend den eingestellten
angewandten Spannungen verändert.
Das erste Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem besitzt ferner: eine
Messeinrichtung zum Messen der Größe der Vielzahl der Polarisationsgebiete,
welche in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium gebildet sind;
eine Detektiereinrichtung zum Detektieren eines Polarisationsgebietes,
dessen Größe für das Aufzeichnen
von Informationen, aus der Vielzahl von Polarisationsgebieten, geeignet
ist, welche in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium geformt sind,
auf der Grundlage einer Beziehung zwischen der ge messenen Größe der Vielzahl
von Polarisationsgebieten und den eingestellten angewandten Spannungen;
und eine Ausgabeeinrichtung für
das Ausgeben einer angewandten Spannung und einer angewandten Zeitdauer
entsprechend dem detektierten Polarisationsgebiet.
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Außerdem kann
die Aufgabe der vorliegenden Erfindung auch durch ein zweites Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem
erreicht werden. Das zweite Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem besitzt: eine Einstelleinrichtung
für eine
angewandte Spannung zum Einstellen einer angewandten Spannung, welche
an dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium auf der Grundlage eines
Eingangsspannungswertes anzuwenden ist; eine Einstelleinrichtung
für eine
angewandte Zeitdauer zum Einstellen einer Vielzahl von angewandten
Zeitdauern auf der Grundlage eines Eingangszeitdauerwertes; eine
Formierungseinrichtung für
ein Polarisationsgebiet zum Bilden einer Vielzahl von Polarisationsgebieten
in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium durch wiederholtes Ausführen einer
Anwendungsspannung an dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium mit
einem Taster. Jede der Anwendungsspannungen wird durch das Anwenden
der eingestellten angewandten Spannung ausgeführt. Eine angewandte Zeitdauer wird
bei jeder Anwendungsspannung entsprechend den eingestellten angewandten
Zeitdauern verändert.
Das zweite Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem besitzt ferner:
eine Messeinrichtung zum Messen der Größe der Vielzahl von Polarisationsgebieten,
welche in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium gebildet sind;
eine Detektiereinrichtung zum Detektieren eines Polarisationsgebietes,
dessen Größe für das Aufzeichnen
von Information geeignet ist, aus der Vielzahl von Polarisationsgebieten,
welche in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium geformt sind, auf
der Grundlage einer Beziehung zwischen der gemessenen Größe der Vielzahl
von Polarisationsgebieten und den eingestellten angewandten Zeitdauern;
und eine Ausgabeeinrichtung zum Ausgeben einer angewandten Spannung
und einer angewandten Zeitdauer entsprechend dem detektierten Polarisationsgebiet.
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Entsprechend
dem ersten oder zweiten Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem des
dielektrischen Aufzeichnungsmediums zum Zweck des Aufzeichnens in
dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium wird es möglich, eine optimale angewandte
Spannung, welche an einer Elektrode anzuwenden ist, und eine optimale
angewandte Zeitdauer zum Anwenden der angewandten Spannung einzustellen.
Die optimale angewandte Spannung und die optimale an gewandte Zeitdauer
sind eine angewandte Spannung und eine angewandte Zeitdauer, welche
ein stabiles und das kleinste Polarisationsgebiet bilden. Die angewandte
Zeitdauer ist eine angewandte Pulsbreite und bestimmt eine Aufzeichnungsgeschwindigkeit, wenn
die Information in Reihe aufgezeichnet wird, so dass es vorzuziehen
ist, dass sie so kurz wie möglich ist.
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Die
optimale angewandte Spannung und die optimale angewandte Zeitdauer
werden durch Anwenden einer Spannung an dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium über einige
Kombinationen der angewandten Spannung und der angewandten Zeitdauer,
wobei die Größe des Polarisationsgebietes gemessen
wird, welches zu der Zeit gebildet ist, und durch das Prüfen von
Daten bezüglich
der Größe des erhaltenen
Polarisationsgebietes, der angewandten Spannung, der angewandten
Zeitdauer und Ähnlichem,
erhalten.
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Das
Material und die Dicke des dielektrischen Materials, ein Radius
des Tasters und Ähnliches
beeinflussen das Bilden des Polarisationsgebietes. Bei einem Aufzeichnungsgerät, welches
das Material und die Dicke der gleichen dielektrischen Substanz
nutzt, und den gleichen Radius des Tasters, wird es möglich, eine
Aufnahmebedingung einzustellen, welche in der Lage ist, das stabilste
Polarisationsgebiet mit der höchsten
Geschwindigkeit und mit der höchsten
Dichte durch Einstellen der angewandten Spannung und der angewandten
Zeitdauer, wie oben erhalten, zu bilden.
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Entsprechend
der Erfindung wird das kleinste Polarisationsgebiet, welches durch
verschiedene Kombinationen der angewandten Spannung und der angewandten
Zeitdauer erhalten wird und bei welchem das Polarisationsgebiet
nicht verschwindet und gehalten wird, d.h. das stabile und das kleinste
Polarisationsgebiet von den Daten auf den gemessenen Polarisationsgebieten
detektiert. Beispielsweise gibt es einen Punkt, bei welchem es schwierig
wird, zu halten, ohne das Verschwinden des Polarisationsgebietes
aufgrund eines schnellen Abnehmens des Polarisationsgebietes, welches
in Antwort auf das Abnehmen der angewandten Spannung und der angewandten
Zeitdauer abnimmt. Das Polarisationsgebiet zu dieser Zeit wird detektiert.
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In
dem oben erwähnten
ersten oder zweiten Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem des dielektrischen
Aufzeichnungsmediums wird ferner eine Bedingungsbestimmungseinrichtung
zum Bestimmen der angewandten Spannung der angewandten Zeitdauer
vorgesehen, welche das Polarisationsgebiet bei einer optimalen Aufnahmebedingung
gebildet haben, wenn von der Detektiereinrichtung detektiert wird,
dass das Polarisationsgebiet stabil und das kleinste ist.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt werden, falls das stabile und das kleinste
Polarisationsgebiet durch die Detektiereinrichtung detektiert wird, die
angewandte Spannung und die angewandte Zeitdauer zu dieser Zeit
bestimmt und als die optimale Aufnahmebedingung für das Bilden
des Polarisationsgebietes mit hoher Dichte und bei hoher Geschwindigkeit
extrahiert. Deshalb ist es, falls das stabile und das kleinste Polarisationsgebiet
ersehen werden kann (ungeachtet einer visuellen Beobachtung oder
einer automatischen Detektion), möglich, die optimale Bedingung
der angewandten Spannung und der angewandten Zeitdauer auf deren
Grundlage zu bestimmen.
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Der
Term "das kleinste" bezüglich des
Terms "die Größe des Polarisationsgebiets" in Bezug auf die vorliegende
Erfindung bedeutet weder einen idealen noch einen buchstäblichen
Minimalwert, sondern bedeutet, dass er von der Auflösung und
der Reproduzierbarkeit des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
abhängt
und dass er einen bestimmten Grad an Breite oder Bereich vom idealen
oder buchstäblich minimalen
Wert zu der Seite hin besitzt, wo das Polarisationsgebiet stabiler
wird, wie z.B. zur Seite einer hohen Spannung hin oder zur Seite
einer langen Zeitdauer hin. Die Breite des Bereiches bezogen auf "die kleinste" wird entsprechend
der Auflösung
und der Reproduzierbarkeit des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem
experimentell, empirisch, theoretisch oder durch Simulation bestimmt
und ist nicht auf eine physikalische Änderung an sich begrenzt. "Die optimale" Aufnahmebedingung
der angewandten Spannung und der angewandten Zeitdauer zeigt den
Wert des angewandten Volumens und die angewandte Zeitdauer an, welche "das kleinste" Polarisationsgebiet
nach obiger Bedeutung bilden.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufzeichnungsbedingungs-Extraktionssystem
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird es zusammen mit einer
anderen Bestimmungsberechnungseinrichtung zum Berechnen bzw. Bestimmen
eines zulässigen
Bereiches bezüglich
der Größe des Polarisationsgebietes
auf der Grundlage der Größe des Polarisationsgebietes,
welches stabil ist und als das kleinste durch die Detektiereinrichtung
detektiert wird, und zum Bestimmen einer angewandten Spannung und
einer angewandten Zeitdauer, welche für das Bilden des Polarisationsgebietes
benötigt
werden, welches eine Größe innerhalb
des zulässigen Bereiches
besitzt, bereitgestellt.
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Die
zuvor erwähnte
Bedingungsbestimmungseinrichtung bestimmt die angewandte Spannung
und die angewandte Zeitdauer, welche benötigt werden, um eine Größe des Polarisationsgebietes
zu bilden, welches stabil ist und als das kleinste durch die Detektiereinrichtung
detektiert wird. Jedoch bestimmt die Bedingungsbestimmungseinrichtung
entsprechend diesem Gesichtspunkt einen zulässigen Bereich in der Größe des Polarisationsgebietes
auf der Grundlage der Größe des Polarisationsgebietes, welches
stabil ist und als das kleinste durch die Detektiereinrichtung detektiert
wird, und bestimmt eine angewandte Spannung und eine angewandte
Zeitdauer, welche für
das Bilden des Polarisationsgebietes benötigt werden, welches eine Größe innerhalb des
zulässigen
Bereiches besitzt. Theoretisch ist die Größe des Polarisationsgebietes,
welches stabil und das kleinste ist, eins. Tatsächlich ist es jedoch gestattet,
die Größe des Polarisationsgebietes
innerhalb eines zulässigen
Bereiches zu ändern.
Der zulässige Bereich
wird beispielsweise auf der Grundlage der funktionellen Bedingungen
eines Informationsaufzeichnungs- oder Wiedergabegerätes bestimmt. Konkreter
ausgedrückt,
es wird so bestimmt, um die Begrenzung der Aufzeichnungsgeschwindigkeit
oder Aufzeichnungsdichte eines Informationsaufzeichnungs- oder Wiedergabegerätes beizubehalten. Demnach
ist es möglich,
den Grad an Freiheit zum Einstellen der Spannung, der angewandten
Zeitdauer oder zum Einstellen der Größe des Polarisationsgebietes
zu verbessern.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird eine Vielzahl von Polarisationsgebieten
durch das Einstellen einer Vielzahl von angewandten Spannungen mit
der Einstelleinrichtung für
ange wandte Spannung mit Bezug auf eine vorher festgelegte angewandte
Zeitdauer gebildet, welche mit der Einstelleinrichtung für die angewandte
Zeitdauer eingestellt wurde.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird zuerst die Zeitdauer des Anwendens, d.h.
die Pulsbreite, eingestellt, und verschiedene Pegel an Spannungen
werden mit der Pulsbreite angewandt, um die Polarisationsgebiete
der Reihe nach zu bilden. Nach dem sequenziellen Verändern der
Spannung innerhalb eines vorher festgelegten Bereiches und dessen Anwendung
wird eine nächste
Pulsbreite eingestellt, und die Spannung wird in der gleichen Weise
angewandt, wobei dadurch Daten gesammelt werden. Die Daten der angewandten
Spannung, der angewandten Zeitdauer und des Polarisationsgebietes
können schnell
und vollständig
erhalten werden.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird die Einstellvorrichtung
für die
angewandte Spannung ausgestattet mit: einer Einrichtung zum Einstellen
einer Anfangsspannung der angewandten Spannung; einer Einrichtung
zum Einstellen einer Schritt- bzw. Stufenspannung, welche zu der
Anfangsspannung zu addieren ist; und eine Einrichtung zum Einstellen
der Anzahl des Hinzufügens
der Stufenspannung, wobei die Einstelleinrichtung der angewandten
Spannung sequenziell die Stufenspannung zu der angewandten Spannung
addiert, wann immer das Polarisationsgebiet gebildet wird, und wobei
es automatisch die angewandte Spannung einstellt, bis die Einstellanzahl erreicht
wird.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird die angewandte Spannung sequenziell durch
eine Vorgehensweise entsprechend einer vorher festgelegten Regel
erhalten, dann wird die erhaltene Spannung sequenziell an dem Taster
für eine
vorher festgelegte Zeitdauer angelegt, und das Polarisationsgebiet
wird automatisch gebildet. Wenn beispielsweise die anfangs angewandte
Spannung V0, die Stufenspannung ΔV und die
Anzahl des Ausführens
n0 ist, wird die n-te angewandte Spannung
V erhalten durch V = V0 + ΔV × n (n ≤ n0), und die Spannung wird angelegt.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird eine Vielzahl von Polarisationsgebieten
durch das Einstellen einer Vielzahl von angewandten Zeitdauern mit
der Einstelleinrichtung der angewandten Zeitdauer gebildet, unter Berücksichtigung
einer vorher festgelegten angewandten Spannung, welche mit der Einstelleinrichtung
für angewandte
Spannung eingestellt wurde.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird zuerst die Spannung, welche anzuwenden
ist, eingestellt, und die angewandte Spannung wird mit verschiedenen
Pulsbreiten angewendet, um die Polarisationsgebiete zu bilden. Nach
dem Ändern
der Pulsbreite innerhalb eines vorher festgelegten Bereiches und
dessen Anwendung wird eine nächste
angewandte Spannung eingestellt und das Polarisationsgebiet in der
gleichen Weise gebildet, wobei dadurch Daten gesammelt werden. Die
Daten bezüglich
der angewandten Spannung, der angewandten Zeitdauer und des Polarisationsgebietes
können
schnell und vollständig
erhalten werden.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums ist die Einstelleinrichtung
der angewandten Zeitdauer ausgestattet mit: einer Einrichtung zum
Einstellen einer Anfangszeitdauer der angewandten Zeitdauer; einer
Einrichtung zum Einstellen einer Stufenzeitdauer, welche zu der
Anfangszeitdauer zu addieren ist; und einer Einrichtung zum Einstellen
der Anzahl des Addierens der Stufenzeitdauer, wobei die Einstelleinrichtung
der angewandten Zeitdauer sequenziell die Stufenzeitdauer zu der
angewandten Zeitdauer addiert, wann immer das Polarisationsgebiet
gebildet wird, und automatisch die angewandte Zeitdauer einstellt,
bis die Einstellanzahl erreicht ist.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird die angewandte Zeitdauer sequenziell durch
eine Vorgehensweise entsprechend einer vorher festgelegten Regel
erhalten, dann wird die angewandte Spannung, welche eingestellt
ist, sequenziell für
die benutzte Zeitdauer angewendet, und das Polarisationsgebiet wird
automatisch gebildet. Wenn beispielsweise die anfangs angewandte
Zeitdauer T0, die Stufenzeitdauer ΔT und die
Anzahl der Ausführung
m0 ist, wird die m-te angewandte Zeitdauer
T mit T = T0 + ΔT × m (m ≤ m0)
betrieben, und die angewandte Spannung wird mit der Pulsbreite angewendet.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird eine Speichereinrichtung
zum Speichern vorgesehen: der angewandten Spannung, welche durch
die Einstelleinrichtung der angewandten Spannung eingestellt ist
und welche angewendet wird; der angewandten Zeitdauer, welche durch
die Einstelleinrichtung der angewandten Zeitdauer eingestellt ist
und für
welche die angewandte Spannung angewandt wird; und der Größe des Polarisationsgebietes,
welches durch die Messeinrichtung gemessen wird.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt werden die Spannung, welche anzuwenden ist,
die Zeitdauer des Anwendens und die Größe des Polarisationsgebietes,
welches zu der Zeit gebildet ist, aufgezeichnet oder gespeichert
unter Berücksichtigung
aller Kombinationen der angewandten Spannung und der angewandten
Zeitdauer. Sie werden als Daten genutzt, wenn die optimale Aufzeichnungsbedingung
erhalten wird.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird ferner die Information über das
Material und die Dicke des dielektrischen Aufzeichnungsmediums und über den
Radius des Tasters, welcher die angewandte Spannung anlegt, in der
Speichereinrichtung gespeichert.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt werden das Material und die Dicke des dielektrischen
Materials, welches zu benutzen ist, und der Radius des Tasters,
welcher zu benutzen ist, aufgezeichnet oder als Daten gespeichert,
zusätzlich
zu der Spannung, die anzulegen ist, der angewandten Zeitdauer und
der Größe des Polarisationsgebietes,
welches zu dieser Zeit gebildet wird. Die Informationen darüber werden als
Daten benutzt, wenn die optimale Aufnahmebedingung erreicht wird.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums ist dieses mit einer Ausgabeeinrichtung
für das
Ausgeben in einem vorher festgelegten Format ausgestattet: der angewandten
Spannungsinformation, welche die angewandte Spannung anzeigt, welche
durch die Einstelleinrichtung der angewandten Spannung eingestellt
ist und welche angewendet wird; der angewandten Zeitdauerinformati on,
welche die angewandte Zeitdauer anzeigt, welche durch die Einstelleinrichtung
der angewandten Zeitdauer eingestellt ist und für welche die angewandte Spannung
angewendet wird; und der Größeninformation,
welche die Größe des Polarisationsgebietes
anzeigt, welches durch die Messeinrichtung gemessen wird.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt ist es möglich,
in dem vorher festgelegten Format die Information über die
Spannung, welche anzuwenden ist, die Zeitdauer des Anwendens und
die Größe des Polarisationsgebietes,
welches zu dieser Zeit gebildet wird, auf jeden Fall auszugeben.
Als Ausgabeeinrichtung gibt es beispielsweise einen Personalcomputer, einen
Drucker, einen Monitor oder Ähnliches.
Es ist auch möglich,
die optimale Bedingung durch eine visuelle Beobachtung der von der
Ausgabeeinrichtung ausgegebenen Daten zu erhalten.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums detektiert die Detektionseinrichtung,
ob das Polarisationsgebiet, welches in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium
gebildet ist, stabil ist und ob es das kleinste auf der Grundlage
der in der Speichereinrichtung gespeicherten Information ist.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird das stabile und kleinste gebildete Polarisationsgebiet auf
der Grundlage der gespeicherten Daten auf dem Polarisationsgebiet
gewählt.
Es ist möglich,
mit einem Computer in einem statistischen Verfahren durch Benutzen
der Daten zu arbeiten, und es ist auch möglich, mit der optimalen Größe zu arbeiten, welche
nicht aktuell gebildet wird.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird Information über das
Polarisationsgebiet, welches stabil und das kleinste ist und welches
durch die Detektiereinrichtung detektiert wird, und über dessen
Größe von der Ausgabeeinrichtung
mit Information über
die angewandte Spannung ausgegeben, welche durch die Einstelleinrichtung
der angewandten Spannung eingestellt ist und welche angewendet wird,
und Information über
die angewandte Zeitdauer, welche durch die Einstelleinrichtung der
angewandten Zeitdauer eingestellt ist und für welche die angewandte Spannung
angewendet wird.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird die Größe des optimalen
Polarisationsgebietes, welches erhalten wird, an einen Personalcomputer,
einen Drucker, einen Monitor oder Ähnliches mit der Information über die
angewandte Spannung und die angewandte Zeitdauer ausgegeben, welche
erhalten wird, wenn das Polarisationsgebiet gebildet wird. Wenn
die angewandte Spannung und die angewandte Zeitdauer zu dieser Zeit
nicht aktuell für
das Bilden des Polarisationsgebietes genutzt wird, kann der optimale
Wert von einem Computer bearbeitet und ausgegeben werden.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums wird die Einstellung der
kürzesten
angewandten Zeitdauer durch die Einstelleinrichtung der angewandten
Zeitdauer auf der Grundlage des Wertes des intrinsischen koerzitiven elektrischen
Feldes in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium ausgeführt.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt ist der Minimalwert der angewandten Spannung,
welche anfangs eingestellt wurde, eine Spannung, welche ein elektrisches
Feld bilden kann, welches dem Wert des koerzitiven elektrischen
Feldes des dielektrischen Materials, welches zu verwenden ist, entgegenwirkt. Wegen
dieser Tatsache ist es möglich,
den niedrigeren Grenzwert der Spannung, welche anzuwenden ist, zu
lernen und das Testen des Bildens des Polarisationsgebietes im Bereich
der Spannung, welche keinen Nutzen bringt, zu vermeiden.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums ist das dielektrische Material
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums ein ferroelektrisches Material.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird das ferroelektrische Material als Material
des Mediums benutzt.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums ist das dielektrische Material
für das
dielektrische Aufzeichnungsmedium LiTaO3.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt wird LiTaO3, welches
leicht die Polarisation ungeachtet des durch den Taster angelegten
elektrischen Feldes und seiner niedrigen dielektrischen Konstante
umdrehen kann, als das Material des Mediums benutzt, und das Bilden
als das dielektrische Aufzeichnungsmedium kann leicht aufgebaut
werden, um so auf der Z-Oberfläche
von LiTaO3 aufzuzeichnen, auf welcher die
+-Oberfläche
und die –-Oberfläche der
Polarisation einen Bezug im 180°-Gebiet
besitzen.
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In
einem anderen Gesichtspunkt des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums ist dieses mit einem nichtlinearen,
dielektrischen Scanning- bzw.
Abtastmikroskop als Messeinrichtung für das Messen der Größe des Polarisationsgebietes
ausgestattet.
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Entsprechend
diesem Gesichtspunkt ist es möglich,
die Größe des Polarisationsgebietes
genau und schnell mit dem nichtlinearen dielektrischen Scanning-
bzw. Raster-Mikroskop zu messen.
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Das
Wesen, die Nützlichkeit
und weitere Merkmale dieser Erfindung werden klarer aus der nachfolgenden
detaillierten Beschreibung mit Bezug auf bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung ersichtlich, wenn diese in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen
gelesen werden, welche kurz nachfolgend beschrieben werden.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
ein Blockschaltbild, welches den Aufbau eines Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
zum Erhalten einer Aufnahmebedingung eines dielektrischen Aufnahmemediums
zeigt;
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2 ist
ein Flussdiagramm, welches den Arbeitsablauf des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
zeigt;
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3A bis 3D sind
schematische Zeichnungen, welche Aufnahmebedingungen für das dielektrische
Aufzeichnungsmedium zeigen, wobei 3A die
Bedingung zeigt, dass ein Polarisationsgebiet am Ende eines Tasters
gebildet wird, wobei 3B die Bedingung bzw. den Zustand
zeigt, dass das Polarisationsgebiet weiterwächst, wobei 3C den
Zustand zeigt, dass das Polarisationsgebiet die rückwärtige Oberfläche des
Aufzeichnungsmediums erreicht und das Polarisationsgebiet vollständig gebildet
ist, und wobei 3D eine Stärkeverteilung eines elektrischen
Feldes in dem Aufzeichnungsmedium durch den Taster zeigt;
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4 ist
ein Messdiagramm, welches ein Verhältnis zwischen der angewandten
Zeitdauer der Spannung und einem Punkt- bzw. Fleckradius bei der angewandten
Spannung von 12 V und mit einem Radius des Tasters von 25 nm zeigt;
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5 ist
ein Messdiagramm, welches eine Beziehung zwischen der angewandten
Zeitdauer der Spannung und einem Fleckradius bei der angewandten
Spannung von 15 V und mit dem Radius des Taste
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6 ist
ein Messdiagramm, welches eine Beziehung zwischen rs von 25 nm zeigt;
der angewandten Zeitdauer der Spannung und einem Fleckradius bei
der angewandten Spannung von 18 V und bei einem Radius des Tasters
von 25 nm zeigt;
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7 ist
ein schematisches Diagramm, welches eine Beziehung zwischen einer
Dicke der dielektrischen Substanz und einer Minimalspannung zeigt,
welche das Polarisationsgebiet umdreht, mit einer Form des Tasters
als Parameter;
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8 ist
ein Diagramm, welches die Beziehung zwischen einem Fleckradius und
einer angewandten Zeitdauer der Spannung zeigt, wenn bestimmte zugelassene
Werte mit Bezug auf einen optimalen Fleckradius eingestellt werden;
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9 ist
ein Flussdiagramm, welches den Arbeitsablauf eines Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
zeigt, wenn bestimmte zulässige
Werte mit Bezug auf einen optimalen Fleckradius eingestellt werden;
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10 ist
ein schematisches Diagramm, welches ein Beispiel eines Informationsaufzeichnungsgerätes zeigt,
welches das dielektrische Aufzeichnungsmedium benutzt und in welchem
die Aufzeichnungsbedingung durch ein Extraktionsverfahren der vorliegenden
Erfindung eingestellt wird; und
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11 ist
eine schematische Zeichnung, um einen Aufbau eines Lock-in-Verstärkers zu
erklären, welcher
für das
Signaldetektieren und dessen Signaldetektierbetrieb benutzt wird.
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Detaillierte
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
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(I) Erste Ausführungsform
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Das
Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem und das Verfahren des dielektrischen
Aufzeichnungsmediums der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf 1 bis 7 beschrieben. 1 ist
ein Blockdiagramm, welches einen Aufbau eines Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
zum Erhalten einer Aufnahmebedingung bzw. eines Aufzeichnungszustandes
eines dielektrischen Aufzeichnungsmediums zeigt. 2 ist
ein Flussdiagramm, welches den Arbeitsablauf des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
zeigt. 2A bis 3D sind
schematische Zeichnungen, welche Aufnahmebedingungen für das dielektrische
Aufnahmemedium zeigen, wobei 3A die
Bedingung bzw. den Zustand zeigt, bei der ein Polarisationsgebiet
am Ende eines Tasters gebildet wird, wobei 3B den
Zustand zeigt, dass das Polarisationsgebiet weiterwächst, wobei 3C den
Zustand zeigt, dass das Polarisationsgebiet die rückwärtige Oberfläche des Aufzeichnungsmediums
erreicht und das Polarisationsgebiet vollständig gebildet ist, und wobei 3D eine
Stärkeverteilung
eines elektrischen Feldes in dem Aufzeichnungsmedium durch den Taster
zeigt. 4 bis 6 sind Messdiagramme, welche
ein Verhältnis
zwischen der angewandten Zeitdauer der Spannung und einem Fleckradius
zeigen. 7 ist eine schematische Zeichnung,
welche eine Bezie hung zwischen einer Dicke der dielektrischen Substanz
und einer Minimalspannung, welche das Polarisationsgebiet umkehrt,
mit einer Form des Tasters als Parameter, zeigt.
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Das
Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem der vorliegenden Erfindung
dient dazu, dass eine Bedingung bzw. ein Zustand aufgenommen wird, wenn
Information in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium aufgezeichnet
wird. Konkret ausgedrückt,
das Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem erhält eine angewandte Spannung
zwischen einer Elektrode, welche auf der Rückseite des dielektrischen
Aufzeichnungsmediums platziert ist, und einem Taster, welcher an
einer Aufzeichnungsoberfläche
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums anliegt, und erhält ferner
die Zeitdauer, bei welcher die Spannung an dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium
angewendet wird, d.h. eine Pulsbreite. Durch das Anwenden der Spannung
an dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium auf der Grundlage der
extrahieren Bedingung bzw. des extrahierten Zustands wird das Polarisationsgebiet
zu dieser Zeit als ein Fleck mit dem kleinsten Radius gebildet,
welcher einen stabilen Zustand beibehält. Dieser Fleck entspricht
einer Einheit der Aufzeichnungsinformation, und seine Aufzeichnungszeit
ist kurz. Außerdem
gestattet er, dass ein Aufzeichnungszustand mit hoher Aufzeichnungsdichte
eingestellt wird. Gleichzeitig beeinflusst das Material und die
Dicke des dielektrischen Aufzeichnungsmediums, der Radius des Tasters
und Ähnliches
die optimale angewandte Spannung und die optimale angewandte Zeitdauer.
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Wie
in dem Blockdiagramm in 1 gezeigt wird, ist ein Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem 1 des
dielektrischen Aufzeichnungsmediums mit Bezug auf die vorliegende
Erfindung ausgestattet mit: einer Einstelleinrichtung 11 für die angewandte Spannung;
einer Einstelleinrichtung 12 für die angewandte Zeitdauer;
einer Aufzeichnungssteuereinrichtung 13; einer Aufzeichnungseinrichtung 14 für die angewandte
Spannung/angewandte Zeitdauer; einer Aufzeichnungseinrichtung 15;
einer Messeinrichtung 16 für den Punkt- bzw. Fleckradius;
einer Aufzeichnungseinrichtung 17 für den Fleckradius; einer Detektiereinrichtung 18 für den optimalen
Fleckradius; einer Bestimmungseinrichtung 19 für den Aufzeichnungszustand;
und einer Ausgabeeinrichtung 20.
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Ein
dielektrisches Aufzeichnungsmedium 37 ist mit einer dielektrischen
Substanz 35 und auf dessen einen Oberfläche mit einer Elektrode 36 ausgestattet.
Wenn eine Spannung an einem Taster 31 angelegt wird, welcher
an der anderen Oberfläche
anliegt, wird ein Polarisationsgebiet in Abhängigkeit von einem elektrischen
Feld gebildet, welches zwischen dem Taster 31 und der Elektrode 36 hergestellt
wird, und dann wird die Information aufgezeichnet. In diesem Fall
macht es das vorherige Initialisieren des Polarisationsgebietes
der dielektrischen Substanz 35 zu einer +-Oberfläche oder
zu einer –-Oberfläche und das
Anlegen einer Spannung an dem Taster 31, welche diese Polarisation
umkehren wird, möglich,
ein bessere Signal/Rausch-Verhältnisse
der Daten zu erhalten.
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Die
Einstelleinrichtung 11 der angewandten Spannung stellt
die Spannung ein, welche an dem Taster 31 der Aufzeichnungseinrichtung 15 angelegt wird.
Für die
Art des Einstellens der angewandten Spannung ist z.B. die Einstelleinrichtung 11 der
angewandten Spannung ausgestattet mit: einer Einrichtung zum Eingeben
einer anfangs angewandten Spannung V0, einer
Stufenspannung ΔV,
welche stufenweise angewandt wird, und der Anzahl n0 von
Anwendungen; und einer Vorrichtung zum Betreiben einer angewandten
Spannung V = V0 + ΔV × n (n ≤ n0), und
die angewandte Spannung V wird automatisch abhängig von der Anzahl von Anwendungen
berechnet.
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Die
Einstelleinrichtung 12 der angewandten Zeitdauer stellt
die angewandte Zeitdauer der Spannung ein, welche an dem Taster 31 der
Aufzeichnungseinrichtung 15 angewendet wird. Für die Art des
Einstellens der angewandten Zeitdauer ist beispielsweise die Einstelleinrichtung 12 der
angewandten Zeitdauer ausgestattet mit: einer Einrichtung zum Eingeben
einer anfangs angewandten Zeitdauer T0, einer
Stufenzeitdauer ΔT,
welche stufenweise angewendet wird, und der Anzahl m0 der
Anwendungen; und einer Einrichtung zum Betreiben einer angewandten
Zeitdauer T = T0 + ΔT × m (m ≤ m0),
und die angewandte Zeitdauer T wird automatisch abhängig von
der Anzahl der Anwendungen berechnet.
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Die
Aufzeichnungssteuereinrichtung 13 steuert die Aufzeichnungseinrichtung 15,
um das Polarisationsgebiet auf der Grundlage der angewandten Spannung
V, welche an der Einstelleinrichtung 11 der angewandten
Spannung eingestellt ist, und der angewandten Zeitdauer T, welche
an der Einstelleinrichtung 12 der angewandten Zeitdauer
eingestellt ist, zu bilden. Außerdem
zeichnet die Aufzeichnungssteuereinrichtung 13 die Daten
der angelegten Spannung V und der angewandten Zeitdauer T an der
Aufzeichnungseinrichtung 14 der angewandten Spannung/angewandten
Zeitdauer in der Form auf, welche in der Lage ist, dem gebildeten
Polarisationsgebiet zu entsprechen, wann immer das Polarisationsgebiet
gebildet wird. Gleichzeitig werden die anfangs angewandte Spannung
V0 und die anfangs angewandte Zeitdauer
T0 als die kleinste Spannung und Pulsbreite
eingestellt, welche das Polarisationsgebiet auf der Grundlage des
koerzitiven elektrischen Feldes des dielektrischen Materials 35 und
umgekehrt dazu bilden kann.
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Die
Aufzeichnungseinrichtung 14 der angewandten Spannung/angewandten
Zeitdauer zeichnet die angewandte Spannung V und die angewandte Zeitdauer
T auf, welche angewendet werden, wenn das Polarisationsgebiet gebildet
wird, in einer Form, welche in der Lage ist, dem gebildeten Polarisationsgebiet
zu entsprechen. Wenn das optimale Polarisationsgebiet für das Aufzeichnen
aus den Polarisationsgebieten heraus, welche durch die Kombinationen
von verschiedenen angewandten Spannungen V und verschiedenen angewandten
Zeitdauer T gebildet werden, erhalten wird, kann die Kombination
der angewandten Spannung V und der angewandten Zeitdauer T, welche
das optimale Polarisationsgebiet gebildet haben, bestimmt werden.
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Die
Aufzeichnungseinrichtung 15 ist vorgesehen, das Polarisationsgebiet
unter Berücksichtigung
eines dielektrischen Aufzeichnungsmediums 37 auf der Grundlage
des Aufzeichnungszustands der Aufzeichnungssteuereinrichtung 13 zu
bilden. Die Spannung wird durch den Taster 31 an der dielektrischen
Substanz 35 des dielektrischen Aufzeichnungsmediums 37 angelegt,
um den Fleck zu bilden. Die Aufzeichnungsbedingung bzw. der Aufzeichnungszustand
ist die angewandte Spannung V und die angewandte Zeitdauer T, und
deren Werte werden sequenziell durch die Einstelleinrichtung 11 der angewandten
Spannung und die Einstelleinrichtung 12 der angewandten
Zeitdauer verändert.
Wann immer der Taster 31 und das dielektrische Aufzeichnungsmedium 37 den
Fleck bilden, wird deren relative Position durch einen nicht dargestellten
Bewegungsmechanismus bewegt, und sie bilden einen anderen Fleck mit
einer nächsten
Spannungsanwendungsbedingung bzw. -zustand in einem neuen Aufzeichnungsgebiet.
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Die
Messeinrichtung 16 des Fleckradius misst die Größe des Fleckes über ein
an der Aufzeichnungseinrichtung 15 gebildetes Polarisationsgebiet.
Als Messmittel werden das Verfahren zum Messen durch chemisches Ätzen der
Aufzeichnungsoberfläche
eines Aufzeichnungsmediums und das Detektieren der Differenz einer Ätzrate,
das Verfahren zum Messen durch Anlegen einer Hochfrequenzspannung
an einem dielektrischen Material durch ein AFM-Gerät und Detektieren
der piezoelektrischen Antwort und das SNDM-Verfahren, welches von
den Erfindern der vorliegenden Erfindung vorgeschlagen wird, angewendet.
Die Fleckradius-Messeinrichtung 16, welche in 1 gezeigt
wird, rastert die dielektrische Substanz 35 mit dem Taster
in der Richtung ab, welche mit einem L aus dem Alphabet gezeigt
wird, was in der dritten Ausführungsform
erklärt
werden wird.
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Die
Fleckradius-Aufzeichnungseinrichtung 17 zeichnet sequenziell
den Fleckradius eines Polarisationsgebietes 38 auf, welcher
an der Fleckradius-Messeinrichtung 16 gemessen wird. Der
Fleck wird in einer Form aufgezeichnet, welche der Information bezüglich der
angewandten Spannung V und der angewandten Zeitdauer T, welche den
Fleck bilden, entsprechen kann. Beispielsweise kann das Aufzeichnen
der Größenordnung,
welche der Größenordnung
des Bildens entspricht, der Größenordnung
der angewandten Spannung V und der angewandten Zeitdauer entsprechen,
welche an der Aufzeichnungseinrichtung 14 der angewandten
Spannung/der angewandten Zeitdauer aufgezeichnet ist.
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Die
Detektiereinrichtung 18 des optimalen Fleckes detektiert
den stabilen und kleinsten Fleck an Daten, welcher in der Fleckaufzeichnungseinrichtung 17 aufgezeichnet
ist. Als Detektierverfahren ist es denkbar, eine Berechnung durchzuführen, indem eine
statistische Annäherung
aus der Beziehung zwischen dem Fleckradius und der angewandten Zeitdauer
T oder ein Bestimmen aus den Messdiagrammen des Fleckradius gegenüber der
angewandten Zeitdauer T angewendet wird, wie dies in 4 bis 6 gezeigt
wird, was später
erläutert
wird.
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Die
Bestimmungseinrichtung 19 der Aufnahmebedingung bestimmt
die angewandte Spannung V und die angewandte Zeitdauer T, um den
stabilen und kleinsten Fleck aus dem optimalen Fleck, welcher an
der Optimalfleck-Detektiereinrichtung 18 detektiert wurde,
und aus der angewandten Spannung V und der angewandten Zeitdauer
T zu bilden, welche an der Aufzeichnungseinrichtung 14 der
angewandten Spannung/angewandten Zeitdauer aufgezeichnet sind und
welche für
das Bilden des optimalen Fleckes eingestellt und angewendet werden.
Diese optimale angewandte Spannung V und angewandte Zeitdauer T
ist nicht auf aktuelle Einstellwerte begrenzt, sondern sie werden
als deren Mittelwerte durch eine statistische Operation in einigen
Fällen
erhalten.
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Die
Ausgabeeinrichtung 20 gibt nach der Korrelation der Daten,
welche in der Aufzeichnungseinrichtung 14 der angewandten
Spannung/angewandten Zeitdauer aufgezeichnet sind, zusammen mit
den Daten, welche in der Fleckradius-Aufzeichnungseinrichtung 17 aufgezeichnet
sind, aus, und sie gibt auch die angewandte Spannung V, die angewandte
Zeitdauer T und Ähnliches
aus, welche erhalten werden, um den stabilen und kleinsten Fleck
zu bilden. Als Ausgabegerät
gibt es einen Personalcomputer, einen Drucker, einen Monitor und Ähnliches. Darüber hinaus
ist es möglich,
die optimale Aufnahmebedingung bzw. den optimalen Aufzeichnungszustand
aus dem Ausgang abzuschätzen
und zu erhalten, welcher die Beziehung zwischen dem Fleckradius,
der angewandten Spannung V und der angewandten Zeitdauer T anzeigt.
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Wie
oben erklärt,
ist es entsprechend dem Aufnahmebedingungs-Extraktionssystem des
dielektrischen Aufzeichnungsmediums der vorliegenden Erfindung möglich, den
Einstellzustand bzw. die Einstellbedingung der angewandten Spannung
und der angewandten Zeitdauer zu erhalten, welche das stabile und
das kleinste Polarisationsgebiet in Bezug auf das Material und die
Dicke der dielektrischen Substanz und den Radius des Tasters bildet.
Durch das Einstellen der Bedingung der angewandten Spannung und
der angewandten Zeitdauer, welche aus einem Informationsaufzeichnungsgerät erhalten
werden, welches das Material und die Dicke der gleichen dielektrischen
Substanz besitzt, und des gleichen Taster-Radius wird es deshalb
möglich,
Information bei hoher Geschwindigkeit und mit hoher Dichte aufzuzeichnen.
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Als
Nächstes
wird der Arbeitsablauf des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems 1 erklärt. Wie in 2 gezeigt
wird, werden als Erstes Anfangswerte eingestellt, wie z.B. die anfangs
angewandte Spannung V0, welche zwischen
dem Taster 31 und der Elektrode 36 angelegt wird,
die Stufenspannung ΔV,
die anfangs angewandte Zeitdauer T0, die
Stufenzeitdauer ΔT,
die Anzahl n0 des Einstellens der angewandten
Spannung und die Anzahl m0 des Einstellens
der angewandten Zeitdauer (Schritt S101). Diese anfangs angewandte
Spannung V0 und anfangs angewandte Zeitdauer
T0 werden jeweils als die kleinste Spannung
und Pulsbreite eingestellt, welche das Polarisationsgebiet im Gegensatz
zu dem koerzitiven elektrischen Feld bilden können, welches aus dem dielektrischen
Material 35 erhalten wird. Die angewandte Zeitdauer entspricht
der Pulsbreite der angewandten Spannung.
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Als
Zweites wird die angewandte Spannung V = V0 + ΔV × n eingestellt
(Schritt S102). n ist die Anzahl der Einstellungen, und wenn n =
0 beim Start ist, wird die erste angewandte Spannung die Spannung V0, welche anfangs eingestellt ist. Dann wird
die angewandte Zeitdauer T = T0 + ΔT × m eingestellt (Schritt
S103). m ist die Anzahl der Einstellungen, und wenn m = 0 beim Start
ist, wird eine erste angewandte Zeitdauer die Zeit T0,
welche anfangs eingestellt ist.
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Nachdem
die angewandte Spannung V und die angewandte Zeitdauer T eingestellt
sind, wird die Spannung, welche einzustellen ist, an der Elektrode 31 für die Zeit,
welche einzustellen ist, angelegt, und das Polarisationsgebiet wird
in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium 37 gebildet (Schritt
S104). Dieses Bilden des Polarisationsgebietes führt dazu, dass der Fleck des
Polarisationsgebietes in der Größe gebildet
wird, welche der angewandten Spannung V und der angewandten Zeitdauer
T entspricht. Nach dem Schritt S104 bewegt sich der Taster 31 um
eine vorher festgelegte Position zum Anwenden einer nächsten Spannung
auf dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium (Schritt S105).
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Als
Nächstes
wird beurteilt, ob die Anzahl des Anwendens die Anzahl m0 erreicht, welche anfangs eingestellt ist
(Schritt S106). Falls diese nicht erreicht wird, kehrt der Arbeitsablauf zum
Schritt S103 zurück,
und das Bilden des Polarisationsgebietes wird mit der nächsten eingestellten
angewandten Zeitdauer wiederholt.
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Wenn
die Anzahl der Anwendungen die Anzahl m0 erreicht,
welche anfangs eingestellt ist, dann wird beurteilt, ob die Anzahl
der Anwendungen der Spannungen die Anzahl n0 erreicht,
welche anfangs eingestellt ist (Schritt S107). Wenn es diese nicht
erreicht, nachdem die angewandte Zeitdauer T auf T0 eingestellt
ist (Schritt S108), dann kehrt der Arbeitsablauf zum Schritt S102
zurück,
und das Bilden des Polarisationsgebietes wird mit der nächsten eingestellten
angewandten Spannung wiederholt.
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Gleichzeitig
wird angenommen, dass die Ausführungsanzahl
m des Einstellens der angewandten Spannung und die Ausführungsanzahl
n des Einstellens der angewandten Zeitdauer auf einer vorher festgelegten
Route während
einer Arbeitsroutine gezählt
werden. Die Einstellordnung der angewandten Spannung kann mit der
der angewandten Zeitdauer ersetzt werden.
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Nachdem
die Ausführungsanzahl
n des Einstellens der angewandten Spannung und die Ausführungsanzahl
m des Einstellens der angewandten Zeitdauer die anfangs eingestellten
Anzahlen n0 und m0 überschreiten,
wodurch die Aufzeichnungsoperation vollendet wird, wird der Fleckradius
des gebildeten Polarisationsgebietes gemessen (Schritt S109). Als
Messung des Fleckradius werden das Verfahren des Messens durch chemisches Ätzen der
Aufzeichnungsoberfläche
eines Aufzeichnungsmediums und des Detektierens des Unterschiedes
einer Ätzrate, das
Verfahren des Messens durch Anlegen einer Hochfrequenzspannung an
dem dielektrischen Material durch ein AFM-Gerät und des Detektierens der
piezoelektrischen Antwort oder das SNDM-Verfahren benutzt.
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Dann
wird der optimale Fleckradius für
den Aufzeichnungsvorgang aus einer Bedingungs- bzw. Zustandsverteilung des gebildeten
Fleckradius ausgewählt.
Der Fleck, der stabil ist und dessen Fleckradius der kleinste ist,
wird gewählt
und festgelegt, was später
mit Bezug auf 4 bis 6 im Detail
erläutert
werden wird (Schritt S110).
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Dann
werden die angewandte Spannung V und die angewandte Zeitdauer T
zur Zeit des Bildens des optimalen Fleckes für das Aufzeichnen aus der Aufzeichnungseinrichtung 14 der
angewandten Spannung/der angewandten Zeitdauer ausgelesen, und die
angewandte Spannung V und die angewandte Zeitdauer T der optimalen
Fleckbildung für
die Charakteristika und die Dicke des dielektrischen Materials und
der Radius des Tasters, welche zur Zeit benutzt werden, werden bestimmt
(Schritt S111).
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Wie
oben beschrieben, werden die angewandte Spannung V und die angewandte
Zeitdauer der optimalen Fleckbildung für die Charakteristika und die
Dicke des dielektrischen Materials und der Radius des Tasters extrahiert.
Wenn sie für
das Aufzeichnungsgerät
angewendet werden, werden die extrahierte angewandte Spannung V
und die extrahierte angewandte Zeitdauer T mit Bezug auf das Aufzeichnungsgerät eingestellt
(Schritt S112), welches den gleichen Radiustaster besitzt wie der
des dielektrischen Materials zur Zeit des Extrahierens, und es wird
begonnen, die Information aufzuzeichnen (Schritt S113).
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Der
Arbeitsablauf des Aufnahmebedingungs-Extraktionsgerätes, welches
oben erklärt
wurde, ist nicht auf dieses begrenzt. Beispielsweise ist es auch
vorstellbar, ein Verfahren zum Messen des Fleckradius zu benutzen,
wann immer der Fleck gebildet wird, und Ähnliches.
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Das
stabile Polarisationsgebiet wird in dem Verfahren gebildet, welches
in 3A bis 3C gezeigt
wird. 3A zeigt die Bedingung bzw.
den Zustand, dass Aufzeichnungssignale der angewandten Spannung
V und der angewandten Zeitdauer T von einer Aufzeichnungssignalquelle 41 an
das dielektrische Aufzeichnungsmedium 37 angelegt werden,
welches mit der dielektrischen Substanz 35 und der Elektrode 36 ausgestattet
ist, über
den Taster 31, welcher ein hemisphärisches Endteil besitzt, dessen Radius
a ist. Es zeigt den Zustand, dass ein Polarisationsgebiet 38a nur
an dem Endteil des Tasters 31 gebildet wird und dass die
angewandte Spannung V und die angewandte Zeitdauer T nicht ausreichend sind.
Der Fleck bei diesem Zustand ist instabil und verschwindet.
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3B zeigt,
dass die Spitze eines Polarisationsgebietes 38b die rückwärtige Oberfläche der
dielektrischen Substanz 35 erreicht, und sogar in diesem
Zustand ist die Stabilität
bezüglich
des Informationsaufzeichnens nicht ausreichend.
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3C zeigt
den Zustand, dass ein Polarisationsgebiet 38 die rückwärtige Oberfläche der
dielektrischen Substanz 35 vollständig erreicht und dadurch den
Fleck formt, welcher im Wesentlichen den gleichen Radius besitzt
wie den des Tasters 31, und dass das Gebiet vollständig polarisiert
ist. Dieser Zustand ist stabil, und er wird gehalten, ohne dass
er als Information verschwindet. Dieses Polarisationsgebiet 38,
welches den kleinsten Radius besitzt, wird durch die angewandte
Spannung V und die angewandte Zeitdauer erhalten, welche durch die
oben beschriebene Aufzeichnungsbedingungsextraktion, welche angewendet
wird, bestimmt wird. Gleichzeitig zeigt 3D eine
Stärkeverteilung
eines elektrischen Feldes in der dielektrischen Substanz 35 durch
den Taster 31, und die Polarisation schreitet entlang dieses elektrischen
Feldes fort.
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Beispiele
des Messens der angewandten Spannung, der angewandten Zeitdauer
und des Fleckradius und des Detektierens des optimalen Fleckradius
werden mit Bezug auf 4 bis 6 erläutert. Es
kann angenommen werden, dass diese Figuren beispielsweise durch
einen Drucker der Ausgabevorrichtung 20 in 1 ausgegeben
werden.
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4 ist
der Fall für
eine angewandte Spannung von 12 V und einen Radius von 25 nm für den Taster. 4 zeigt,
dass der Fleckradius bei einer kürzeren
Zeit als einem Punkt P1, ungefähr
bei einer angewandten Zeitdauer der Spannung von 1000 nsec, schnell
abnimmt. Die kürzere
Zeit als diese Zeit entspricht den Zuständen bzw. Bedingungen in 3B und 3A,
und der gebildete Fleck ist instabil und für die Informationsaufzeichnung
nicht geeignet. Der Punkt P1 und die längere Zeit entsprechen dem
Zustand in 3C und der Fleck, welcher im
Wesentlichen den gleichen Radius besitzt wie der Radius des Tasters,
wird gebildet. Die angewandte Zeitdauer, welcher die kürzeste unter
diesen ist, d.h. die Pulsbreite ist klein und eine Aufzeichnungsgeschwindigkeit
ist schnell, wird als eine Bedingung bzw. ein Zustand angewendet.
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5 ist
der Fall für
eine angewandte Spannung von 15 V und einen Radius des Tasters von
25 nm. 5 zeigt, dass der Fleckradius schnell bei kürzerer Zeit
als ein Punkt P2, ungefähr
bei einer angewandten Zeitdauer der Spannung von 100 nsec, abnimmt.
Bei einer kürzeren
Zeit als dieser Zeit ist der Fleck, welcher auf die gleiche Weise,
wie oben erwähnt,
gebildet wird, instabil und für
die Informationsaufzeichnung nicht geeignet, während der Fleck, welcher im
Wesentlichen den gleichen Radius wie der Radius des Tasters besitzt,
beim Punkt P2 gebildet wird. Gleichzeitig nimmt, wenn die angewandte
Zeitdauer der Spannung auf 10000 nsec ansteigt, der Fleckradius
zu, dies ist jedoch nicht vorzuziehen, da dies die Aufzeichnungsdichte
vermindert und da dieses das Gebiet ist, welches die Aufzeichnungsgeschwindigkeit
vermindert.
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6 ist
der Fall für
eine angewandten Spannung von 18 V und einen Radius des Tasters von
25 nm. 6 zeigt, dass der Fleckradius bei kürzerer Zeit
als ein Punkt P3, ungefähr
bei einer angewandten Zeitdauer der Spannung von 20 nsec, schnell
abnimmt. Bei einer kürzeren
Zeit als dieser Zeit ist der auf die gleiche Weise, wie oben erwähnt, gebildete
Fleck instabil und für
das Informationsaufzeichnen nicht geeignet, während der Fleck, welcher im
Wesentlichen den gleichen Radius wie der Radius des Tasters besitzt,
beim Punkt P3 gebildet wird. Gleichzeitig, da die angewandte Zeitdauer
der Spannung auf 10000 nsec zunimmt, nimmt der Fleckradius zu, jedoch
ist es nicht vorzuziehen, da dies auch die Aufzeichnungsdichte und
die Aufzeichnungsgeschwindigkeit vermindert.
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Da
die optimale angewandte Zeitdauer unter Berücksichtigung jeder angewandten
Spannung bestimmt wird und die angewandte Spannung höher ist, ist
die angewandte Zeitdauer kürzer,
d.h. die Aufzeichnungsgeschwindigkeit wird höher. Jedoch hängt die
angewandte Spannung von einer Leistungsgegebenheit des Informationsaufzeichnungsgerätes ab,
und es ist notwendig, die Entladung abhängig von der Dicke der dielektrischen
Substanz und die dielektrische Konstante zwischen dem Taster und
der Elektrode zu berücksichtigen,
so dass es notwendig ist, die optimale angewandte Spannung und die
optimale angewandte Zeitdauer, wie es die Gegebenheiten erfordern,
zu bestimmen.
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7 ist
eine schematische Zeichnung, welche eine Beziehung zwischen der
Dicke der dielektrischen Substanz und einer Minimalspannung zeigt, welche
das Polarisationsgebiet umkehrt, mit einer Form des Tasters als
Parameter. Unsere Forschung zeigt, dass es eine Ähnlichkeit innerhalb der Form des
Tasters, der Dicke des dielektrischen Aufzeichnungsmediums, der
Gebietsgröße, der
Umkehrspannung in dem Polarisationsgebiet und Ähnlichem gibt. Deshalb sind,
sogar wenn der Radius des Tasters 25 nm und die Dicke der dielektrischen
Substanz 2000 Å in 7 ist,
die Dinge die gleichen, und dies zeigt an, dass das kleine Polarisationsgebiet
entsprechend dem kleinen Radius des Tasters erhalten wird.
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(II) Zweite Ausführungsform
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Als
Nächstes
wird eine zulässiger
Bereich des Fleckradius auf der Grundlage des kleinsten und stabilen
Polarisationsgebietes und der angewandten Zeitdauer der Spannung
anhand von 8 und 9 erklärt. Es ist
nützlich,
die Größe des Polarisationsgebietes
zu bestimmen, welches stabiler ist, und einen Grad an Freiheit für das Einstellen
der angewandten Zeitdauer zu erhalten, während die Begrenzung der Aufzeichnungsgeschwindigkeit
oder der Aufzeichnungsdichte beibehalten wird. Gleichzeitig ist 8 ein
Diagramm, welches die Beziehung zwischen dem Fleckradius und der
angewandten Zeitdauer der Spannung zeigt, wenn bestimmte zulässige Werte
bezüglich
des optimalen Fleckradius, welcher beispielsweise in 5 gezeigt
wird, eingestellt werden. 9 ist ein
Flussdiagramm, welches den Arbeitsablauf des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems,
welches in 2 gezeigt wird, zeigt, wenn die
zulässigen
Werte unter Berücksichtigung
des optimalen Fleckradius eingestellt werden.
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Wie
in 8 gezeigt wird, wird bei dem Fleckradius des Polarisationsgebietes
der zulässige Bereich Δr1 in der Plus-Richtung und der zulässige Bereich Δr2 in der Minus-Richtung auf der Grundlage des
Radius r0 des Punktes P2 eingestellt,
bei welchem der stabile und der kleinste Fleckradius erhalten werden
kann. Δr1 und Δr2 werden durch die Aufzeichnungsdichte eines
Informationsaufzeichnungsgerätes
begrenzt. Um ein stabileres und größeres Polarisationsgebiet zu
erhalten, ist es wichtig, Δr1 einzustellen. Nimmt man an, dass die angewandte Zeitdauer
der Spannung t2 ist, welche dem Punkt entspricht,
wo der Wert des Radius Δr0 + Δr1 und die gemessene Fleckkurve einander schneiden,
ist es zulässig,
selektiv die angewandte Zeitdauer der Spannung zwischen der angewandten
Zeitdauer t1 der Spannung entsprechend dem
Punkt P2 und der angewandten Zeitdauer t2 der Spannung einzustellen. Deshalb ist
es möglich,
willkürlich
die angewandte Zeitdauer der Spannung einzustellen, während die Begrenzung
der Aufzeichnungsgeschwindigkeit eines Informationsaufzeichnungsgerätes beibehalten wird.
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Wie
in 9 gezeigt wird, kann der Arbeitsablauf des Aufnahmebedingungs-Extraktionssystems
durch Einfügen
der Schritte 110a, 110b und 110c zwischen
den Schritten 100 und 111 in dem Arbeitsablauf
erreicht werden, welcher in 2 gezeigt wird.
Beim Schritt 110a werden Δr1 und Δr2, welche in 8 gezeigt
werden, eingestellt. Beim Schritt 110b wird der Fleckradiusbereich
für das
Aufzeichnen bestimmt. Beim Schritt 110c wird der Bereich
der angewandten Zeitdauer der Spannung für das Aufzeichnen eingestellt.
Im Anfangszustand werden zuvor die Bereiche Δr1 und Δr2 bestimmt und vorher abhängig von der Begrenzung der
Aufzeichnungsdichte eingegeben. Auf der Grundlage dieser Bedingungen
werden die konkrete angewandte Spannung und die angewandte Zeitdauer
beim Schritt 111 bestimmt. Die anderen Schritte sind die
gleichen wie diejenigen in 2, und die
Erklärung
wird daher weggelassen.
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(III) Anwendungsbeispiel
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Als
Nächstes
wird das Informationsaufzeichnungsgerät, welches mit den Einstelleinrichtungen zum
Einstellen der angewandten Spannung und der angewandten Zeitdauer
versehen ist, welche das Aufzeichnungsbedingungs-Extraktionssystem
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums eines Anwendungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung extrahiert hat, erklärt.
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Wie
in 10 gezeigt wird, ist ein Aufzeichnungsgerät 3 ausgestattet
mit: dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium 37, welches
mit der dielektrischen Substanz 35 und der Elektrode 36 ausgestattet
ist; dem Taster 31; einer Elektrode 51; einem AC-(Wechselstrom-)Signalgenerator 52;
einem Aufzeichnungssignalgenerator 53; einer Einstelleinrichtung 11 der
angewandten Spannung; einer Einstelleinrichtung 12 der
angewandten Zeitdauer; einem Ad dierglied 54; einem Oszillator 55;
einem FM-(Frequenzmodulations-)Demodulator 56; einer Signaldetektiereinrichtung 57;
einer Induktion L; einer Induktion La; und einer Kapazität Ca. Offensichtlich
ist es mit anderen verschiedenen allgemeinen Funktionen wie das
Informationsaufzeichnungsgerät
ausgestattet; jedoch ist deren Erklärung weggelassen.
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Das
dielektrische Aufzeichnungsmedium 37 ist ein Medium zum
Aufzeichnen von Information, und dessen Form kann verschieden sein,
wie z.B. in Form einer Disk bzw. Platte, in Form eines Bandes, in
Form einer Karten und Ähnlichem.
Außerdem
kann es in eine Vielzahl von Gebieten aufgeteilt sein, um Aufzeichnungsflächen zu
liefern. Als dielektrische Substanz 35 dient ein dünner Film
aus dielektrischem Material, wie z.B. Lithium, Tantalat oder Ähnliches. Die
Elektrode 36 ist eine Elektrode zum Empfangen des elektrischen
Feldes, welches an die dielektrische Substanz 35 angelegt
wird.
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Der
Taster 31 ist ein hemisphärisches bzw. halbkugeliges
Glied, welches einen vorher festgelegten Radius am Ende besitzt,
und wenigstens seine Oberfläche
besitzt eine Leitfähigkeit.
Beim Aufnehmen der Information wird Spannung an diesen Taster angelegt,
um das Polarisationsgebiet in der dielektrischen Substanz 35 zu
bilden. Auf der anderen Seite wird beim Wiedergeben das Polarisationsgebiet durch
den Taster 31 spurenförmig
abgefahren, um die aufgezeichnete Information aufzunehmen.
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Die
Elektrode 36 dient dazu, das hochfrequente elektrische
Feld mit der Erde zu verbinden, welches an dem Mikrogebiet der dielektrischen
Substanz 35 angelegt ist, wenn ein Hochfrequenzsignal, welches
bei dem Oszillator 55 oszilliert, dem Taster 31 zugefügt wird.
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Der
AC- bzw. Wechselstromsignalgenerator 52 ist eine Einrichtung
zum Erzeugen eines AC-Signals,
welches an dem Taster 31 angelegt wird, und es dient dazu,
sicher ein Lesesignal durch Anlegen eines alternierenden elektrischen
Feldes an dem Mikrogebiet der dielektrischen Substanz 35 zu
trennen und das Lesesignal zu modulieren, wenn die Information gelesen
wird. Darüber
hinaus spannt es das Aufzeichnungssignal von dem Aufzeichnungssignalgenerator 53 vor,
legt es an den Taster 31 an und zeichnet die Information
auf. Der Unterschied der Kapazität
Cs, welcher dem Polarisationszustand entspricht, löst eine
Oszillati onsfrequenz aus, welche zu modulieren ist, und das Demodulieren
dieser gestattet das Überwachen,
ob eine genaue Aufzeichnungsoperation durchgeführt wird. Wenn die Information
aufgezeichnet wird, ist SW 1 mit einem Anschluss a verbunden, und
wenn die Information geschrieben wird, ist SW 1 mit einem Anschluss
b verbunden.
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Die
Einstelleinrichtung 11 für die angewandte Spannung ist
eine Einrichtung zum Einstellen der angewandten Spannung, welche
ein Signal für
das Anlegen an der dielektrischen Substanz 35 ist, wie dies
in der ersten Ausführungsform
erklärt
wird, und die angewandte Spannung wird eingestellt, um das Polarisationsgebiet
zu bilden, welches in der Lage ist, mit der höchsten Dichte bezüglich der
dielektrischen Substanz 35 aufzuzeichnen. Die optimale
angewandte Spannung wird entsprechend der Erklärung in der ersten Ausführungsform
festgelegt.
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Die
Einrichtung 12 der angewandten Zeitdauer ist eine Einrichtung
für das
Einstellen der angewandten Zeitdauer der angewandten Spannung, welche
ein Signal zum Anlegen an der dielektrischen Substanz 35 ist,
wie dies in der ersten Ausführungsform
erklärt
wird, wie es auch der Fall für
die Einstelleinrichtung 11 der angewandten Spannung ist,
und die angewandte Zeitdauer wird eingestellt, um das Polarisationsgebiet
zu bilden, welches in der Lage ist, mit der höchsten Dichte bezüglich der
dielektrischen Substanz 35 aufzuzeichnen, oder die angewandte Zeitdauer
wird eingestellt, um das Polarisationsgebiet zu bilden, welches
die Größe innerhalb
des Bereiches besitzt, welcher entsprechend der Begrenzung der Aufzeichnungsgeschwindigkeit
oder der Aufzeichnungsdichte des Aufzeichnungsgerätes 3 der
dielektrischen Information bestimmt wird. Die optimale angewandte
Zeitdauer wird entsprechend der Erklärung in der ersten Ausführungsform
bestimmt.
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Der
Aufzeichnungssignalgenerator 53 wandelt Information, welche
in dem dielektrischen Aufzeichnungsmedium 37 aufzuzeichnen
ist, in ein Signal mit einer geeigneten Form zum Aufzeichnen. Ein Spannungspegel,
eine Pulsbreite und Ähnliches
werden entsprechend der Bedingung bzw. dem Zustand an der Einstelleinrichtung 11 der
angewandten Spannung und der Einstelleinrichtung 12 der
angewandten Zeitdauer umgeändert.
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Das
Addierglied 54 addiert das Signal zum Aufzeichnen von dem
Aufzeichnungssignalgenerator 53 zu dem AC-Signal von dem
AC-Signalgenerator 52, um es zu modulieren und an dem Taster 31 anzulegen.
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Der
Oszillator 55 erzeugt ein Signal, um die Frequenz der aufgezeichneten
Information und des Aufnehmers zu modulieren. Die Oszillationsfrequenz wird
beispielsweise auf ungefähr
1 GHz eingestellt.
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Die
Induktion La und die Kapazität
Ca stellen ein Filter zum Abschneiden niedriger Frequenzen dar,
welches installiert ist, um zu verhindern, dass sich das AC-Signal
des AC-Signalgenerators 52 mit dem
Oszillator 55 überlagert.
Die Oszillationsfrequenz des Oszillators ist ungefähr 1 GHz,
und sogar wenn das AC-Signal des AC-Signalgenerators 52 in der
Größenordnung
von MHz ist, kann ein primäres LC-Filter
es im Wesentlichen trennen. Darüber
hinaus ist das Erhöhen
der Frequenz in Bezug auf die Datenübertragungsrate günstig, und
in dem Fall kann eine Filterkonstante, welche dafür geeignet
ist, gewählt
werden.
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Die
Induktion L stellt eine Resonanzschaltung mit der Kapazität Cs entsprechend
dem Polarisationsgebiet unterhalb des Tasters 31 dar. Das
Verändern
der Kapazität
Cs verändert
die Resonanzfrequenz und bringt das Oszillationssignal des Oszillators 55 dazu,
frequenzmoduliert zu sein. Durch das Demodulieren dieser Frequenzmodulation
kann die aufgezeichnete Information ausgelesen werden. Obwohl die
Kapazität
Ca in der Resonanzschaltung ist, ist die Kapazität Cs verglichen mit der Kapazität Ca extrem
klein, so dass die Kapazität
Cs hauptsächlich ein
dominanter Faktor bezüglich
der Oszillationsfrequenz ist, und der Effekt des leitenden Ca kann
vernachlässigt
werden.
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Der
FM-Modulator 56 demoduliert das Oszillationssignal des
Oszillators 55, frequenzmoduliert durch die Resonanzschaltung,
welche durch die Induktivität
L und die Kapazität
Cs gebildet ist. Eine typische FM-Detektiereinrichtung wird dafür hergenommen.
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Die
Signaldetektiereinrichtung 57 detektiert synchron das bei
dem FM-Demodulator 56 demodulierte Signal, indem es das
AC-Signal des AC-Signalgenerators 52 als ein synchrones
Signal nutzt, wobei dadurch die aufgezeichnete Information wiedergegeben
wird.
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Als
Nächstes
wird der Aufnahmebetrieb des Informationsaufzeichnungsgerätes 3 erklärt. Der
SW 1 ist mit dem Anschluss b verbunden. Als Erstes wird die Information,
welche aufzuzeichnen ist, in den Aufzeichnungssignalgenerator 53 eingegeben.
Außerdem
wird der Pegel der angewandten Spannung an der Einstelleinrichtung 11 der
angewandten Spannung eingestellt, und die angewandte Zeitdauer der angewandten
Spannung wird an der Einstelleinrichtung 12 der angewandten
Zeitdauer eingestellt. Sie werden in den Aufzeichnungssignalgenerator 53 eingegeben.
Bei dem Aufzeichnungssignalgenerator 53 wird die Information,
welche aufzuzeichnen ist, in ein vorher festgelegtes Format gewandelt,
welches für das
Aufzeichnen geeignet ist, und sie wird ausgegeben, wie der angewandte
Spannungspegel und die angewandte Zeitdauer eingestellt sein müssen, d.h. als
ein digitales Aufzeichnungssignal mit der Pulsbreite. Gleichzeitig
wird das Einstellen des angewandten Spannungspegels und der angewandten Zeitdauer,
d.h. der Pulsbreite, durchgeführt,
indem das Verfahren benutzt wird, welches in der ersten Ausführungsform
erklärt
wird.
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Das
Aufzeichnungssignal von dem Aufzeichnungssignalgenerator 53 wird
an dem Taster 31 über die
Induktivität
La angelegt, und das Polarisationsgebiet wird auf einem vorher festgelegten
Teil der dielektrischen Substanz 35 durch das elektrische
Feld gebildet, welches zwischen dem Taster 31 und der Elektrode 36 erzeugt
ist, und so wird die Information aufgezeichnet. Dann wird der Taster 31 oder
das dielektrische Aufzeichnungsmedium 37 relativ zueinander
durch einen nicht dargestellten Mechanismus bewegt, und dann wird
die Information aufgezeichnet.
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Ein
Aufzeichnungsmonitor moduliert die Oszillationsfrequenz des Oszillators 55 durch
die Resonanzschaltung der Induktivität L und der Kapazität Cs entsprechend
dem gebildeten Polarisationsgebiet, demoduliert dieses modulierte
Signal an dem FM-Demodulator 56 und detektiert es synchron
an der Signaldetektiereinrichtung 57 mit dem AC-Signal des
AC-Signalgenerators 52 als
das synchrone Signal.
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Als
Nächstes
wird der Wiedergabebetrieb des Informationsaufzeichnungsgerätes 3 erklärt. Der SW
1 ist an dem Anschluss a angeschlossen. Das AC-Signal wird an den
Taster 31 von dem AC-Signalgenerator 52 angelegt.
Dieses AC-Signal wird das synchrone Signal bei der synchronen Detektierung. Wenn
der Taster 31 in Spuren auf dem Polarisationsgebiet entlangfährt, wird
die Kapazität
Cs detektiert, wobei die Resonanzschaltung durch die Kapazität Cs und
die Induktivität
L aufgebaut ist, und die Oszillationsfrequenz des Oszillators 55 wird
mit der Resonanzfrequenz frequenzmoduliert. Dieses frequenzmodulierte
Signal wird an dem FM-Demodulator 56 demoduliert, es wird
synchron an der Signaldetektiereinrichtung 57 mit dem AC-Signal
des AC-Signalgenerators 52 als synchrones Signal detektiert,
und die aufgezeichnete Information wird wiedergegeben.
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Als
ein Gerät,
welches für
das synchrone Detektieren der Signaldetektiereinrichtung 57 hergenommen
wird, gibt es einen Lock-in-Verstärker. Wie in 11 gezeigt
wird, ist er ausgestattet mit: Eingangsanschlüssen T1 und T2; einem Verstärker 61; einem
Wellenformgestalter 62; In-Phase-Verteilern 63 und 64;
einem 90-Grad-Phasenschieber 65; Mischern 66 und 67,
welche Multiplier sind; Tiefpassfiltern 68 und 69;
und Ausgangsanschlüssen
T3 und T5.
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Der
Verstärker 61 verstärkt ein
Demodulationssignal, welches über
den Eingangsanschluss T1 eingegeben ist, und gibt es an den In-Phase-Verteiler 63 aus.
Der In-Phase-Verteiler 63 verteilt das verstärkte Demodulationssignal
in Phase und gibt es an die Mischer 66 und 67 aus.
Auf der anderen Seite formt ein Wellenform-Former 62 ein
Standardsignal, welches über
den Eingangsanschluss T2 eingegeben ist, in eine Rechteckwelle und
gibt es an den In-Phase-Verteiler 64 aus.
Der In-Phase-Verteiler 64 verteilt das Standardsignal,
welches von dem Wellenform-Former 62 in Phase ausgegeben
wird, und gibt es an den Mischer 67 und den 90-Grad-Phasenschieber 65 aus.
Der 90-Grad-Phasenschieber 65 verschiebt das Standardsignal
nur bei 90 Grad der Frequenz des Demodulationssignals und gibt es
an den Mischer 66 aus. Der Mischer 66 multipliziert
und mischt das Demodulationssignal und das Standardsignal, welches
nur bei 90 Grad verschoben ist, wandelt es in ein Signal, welches
die Summe und die Differenz zwischen der Frequenz des Demodulationssignals
und der Frequenz des Standardsignals besitzt, und gibt es an das
Tiefpassfilter 68 aus. Das Tiefpassfilter 68 lässt nur
ein DC- (Gleichstrom-)Signal von
den eingegebenen Signalen nach dem Mischen durch und gibt eine Ausgangsspannung
Va1 an den Ausgangsanschluss T3 aus. Der Mischer 67 multipliziert
und mischt das Standardsignal und das Demodulationssignal, wandelt
es in ein Signal, welches die Summe und die Differenz zwischen der
Frequenz des Demodulationssignals und der Frequenz des Standardsignals
ist, und gibt es an das Tiefpassfilter 69 aus. Das Tiefpassfilter 69 lässt nur
das DC-(Gleichstrom-)Signal unter den eingegebenen Signalen nach
dem Mischen durch und gibt eine Ausgangsspannung Va2 an den Ausgangsanschluss
T4 aus.
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Das
von einer Schaltung aufgenommene Signal, welches die Funktion in
dieser Art besitzt, wird mit dem AC-Signal des AC-Signalgenerators 52 als das
synchrone Signal wiedergegeben, und die aufgezeichnete Information
wird wiederhergestellt. Gleichzeitig ist das für das synchrone Detektieren
benutzte Verfahren nicht auf diesen Lock-in-Verstärker begrenzt.
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Das
obige Informationsaufzeichnungsgerät wird anhand des Gerätes beschrieben,
welches einen Taster besitzt, aber ein Gerät, welches eine Vielzahl von
Tastern besitzt, ist auch benutzbar. In diesem Fall muss der AC-Signalgenerator 52 die
Funktion besitzen, die voneinander unterschiedliche Oszillationsfrequenz
für jeden
Taster zu liefern.
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Außerdem kann
bezüglich
des dielektrischen Aufzeichnungsmediums dessen Form unterschiedlich
sein, wie z.B. in Form einer Disk bzw. Platte, in Form eines Bandes,
in Form einer Karte und Ähnlichem.