DE60305684T2 - Verfahren und vorrichtung zur vereinfachten systemkonfiguration - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur vereinfachten systemkonfiguration Download PDF

Info

Publication number
DE60305684T2
DE60305684T2 DE60305684T DE60305684T DE60305684T2 DE 60305684 T2 DE60305684 T2 DE 60305684T2 DE 60305684 T DE60305684 T DE 60305684T DE 60305684 T DE60305684 T DE 60305684T DE 60305684 T2 DE60305684 T2 DE 60305684T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
screen
tool
sensor
module
configuration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60305684T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60305684D1 (de
Inventor
Merritt Austin FUNK
Wei Cedar Park CHEN
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE60305684D1 publication Critical patent/DE60305684D1/de
Publication of DE60305684T2 publication Critical patent/DE60305684T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/042—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • G05B19/4187—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow by tool management
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/32—Operator till task planning
    • G05B2219/32128—Gui graphical user interface
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/80—Management or planning

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • Debugging And Monitoring (AREA)
  • Paper (AREA)
  • Selective Calling Equipment (AREA)

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Halbleiter-Verarbeitungssysteme, insbesondere auf ein Halbleiter-Verarbeitungssystem, das grafische Benutzerschnittstellen (GUIs, Graphical User Interfaces) verwendet, um Systemkonfiguration zu vereinfachen.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Die Kosten und das Tempo der Entwicklung neuer Halbleitereinrichtungen und des Aufbaus neuer Herstellungswerke erhöhen sich beständig. Die Produkteinführungszeit für neue Halbleitereinrichtungen ist für die Wirtschaftlichkeit und den Erfolg einer Firma kritisch. Kunden erwarten die neuesten Produkte und Dienste augenblicklich überall in der Welt. Die Notwendigkeit, neue Maschinen und Prozesse schnell zu installieren, ist entscheidend, die raschen Verschiebungen und Änderungen auf dem Halbleitereinrichtungsmarkt zu erfüllen. Halbleiterherstellungseinrichtungen stehen auch der Herausforderung zum Unterhalten und Steuern Hunderter komplexer Herstellungsprozesse und Maschinen gegenüber. Unterdessen müssen die Halbleiterherstellungseinrichtungen wesentliche Änderungen in Einrichtungen und Prozessen erlauben, die in einer relativ kurzen Zeitperiode entwickelt und implementiert werden müssen, um Befriedigung der Kunden zu schaffen.
  • Computer werden allgemein verwendet, um Herstellungsprozesse zu steuern, zu überwachen und zu initialisieren. Angesichts der Komplexität in einem Halbleiterherstellungswerk von den ablaufinvarianten Waferflüssen, kritischen Verarbeitungsschritten und Wartbarkeit der Prozesse ist ein Computer für diese Operationen ideal. Es werden verschiedene Eingabe/Ausgabe- (E/A) Einrichtungen verwendet, um Prozessflüsse, Waferzustände und Wartungspläne zu steuern und zu überwachen. Es existiert eine Vielfalt von Werkzeugen in einem Halbleiterherstellungswerk, um diese komplizierten Schritte von kritischen Operationen, wie etwa Ätzen, zu Stapelverarbeitung und Inspektionen abzuschließen. Die meisten Werkzeugeinstallationen werden unter Verwendung eines Anzeigebildschirms bewerkstelligt, der Teil der grafischen Benutzerschnittstelle (GUI) eines Steuercomputers ist, der die Installationssoftware enthält. Installation eines Halbleiter-Verarbeitungswerkzeugs ist eine zeitraubende Prozedur. Die ineffiziente Einrichtung eines Werkzeugs kann zu Einrichtungsausfallzeiten führen, die sich zu gesamten Betriebskosten hinzufügen.
  • Halbleiterverarbeitungseinrichtungen erfordern beständige Überwachung. Verarbeitungsbedingungen ändern sich mit der Zeit mit den geringsten Änderungen in kritischen Prozessparametern, was unerwünschte Ergebnisse schafft. Kleine Änderungen können leicht in der Zusammensetzung oder dem Druck eines Ätzgases, Prozessmoduls oder Wafertemperatur auftreten. In vielen Fällen können Änderungen von Prozessdaten, die eine Verschlechterung von Verarbeitungscharakteristika widerspiegeln, nicht durch einfachen Verweis auf die angezeigten Prozessdaten erfasst werden. Es ist schwierig, Anomalien einer frühen Stufe und eine charakteristische Verschlechterung eines Prozesses zu erfassen. Häufig ist Vorhersage- und Mustererkennung notwendig, die durch fortgeschrittene Prozesssteuerung (APC, advanced process control) angeboten wird.
  • Einrichtungssteuerung wird häufig durch eine Reihe von unterschiedlichen Steuersystemen mit einer Vielfalt von Steuervor richtungen durchgeführt. Einige der Steuersysteme können Mensch-Maschine-Schnittstellen haben, wie etwa Berührungsbildschirme, während andere nur eine Variable, wie etwa die Temperatur, sammeln und anzeigen. Das APC-System ist in der Lage, Daten zu sammeln, die für das Prozesssteuersystem tabellarisch angeordnet sind. Die Datensammlung des Überwachungssystems kann eindimensionale oder mehrdimensionale Daten, die Analyse und Anzeige der Daten handhaben, und die Fähigkeit haben, die Prozessvariablen auszuwählen, die zu sammeln sind. Es werden verschiedene Bedingungen in einem Prozess durch unterschiedliche Sensoren überwacht, die in jedem der Prozessmodule vorgesehen sind, und Daten der überwachten Bedingungen werden transferiert und in einem Steuercomputer akkumuliert. Falls die Prozessdaten automatisch angezeigt und erfasst werden, können die Prozessbedingungen einer Massenproduktionslinie durch statistische Prozesssteuerungs- (SPC, statistical process control) Diagramme eingestellt und gesteuert werden.
  • Aus der internationalen Patentanmeldung WO-A-0157823 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung für webbasiertes Werkzeugmanagement bekannt, die in einer Halbleiter-Herstellungsumgebung eingesetzt werden können. Eine Vielzahl von Clients erleichtert Benutzerinteraktionen mit einer Vielzahl von automatisierten Herstellungswerkzeugen. Innerhalb der Clients sind Werkzeugmanagementeinrichtungen über einen Standard-Webbrowser vorgesehen. Der Benutzer kann sich über eine Anmeldung in einer Seite anmelden. Der eingetragene Benutzername und das Passwort werden mit einem Eintrag in einer Liste verglichen, die durch einen Server unterhalten wird. Über eine grafische Anzeige kann der Benutzer Attribute eines Werkzeugobjektmodells editieren und deshalb ändern, was eine logische Beschreibung in einer automatischen Steuerumgebung eines physikalischen Werkzeugs "auf dem Fabrikboden" vorsieht.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Entsprechend ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine grafische Benutzerschnittstelle (GUI) zum Konfigurieren und Initialisieren eines Halbleiterverarbeitungssystems vorzusehen, worin die GUI umfasst einen webbasierten Anmeldebildschirm; und eine Vielzahl von Konfigurationsbildschirmen, einschließlich mindestens eines Systemkonfigurationsbildschirms, mindestens eines Modulkonfigurationsbildschirms, mindestens eines Sensorkonfigurationsbildschirms und mindestens eines Alarmkonfigurationsbildschirms.
  • Es ist ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Verwenden einer grafischen Benutzerschnittstelle (GUI) zum Konfigurieren und Initialisieren eines Halbleiterverarbeitungssystems vorzusehen, wobei das Verfahren Bereitstellen eines sicheren Anmeldebildschirms umfasst. Es wird mindestens ein Verarbeitungswerkzeug konfiguriert, das mindestens einen Systemkonfigurationsbildschirm verwendet. Es wird mindestens ein Prozessmodul konfiguriert, das mindestens einen Modulkonfigurationsbildschirm verwendet. Es wird mindestens ein Sensor konfiguriert, der mindestens einen Sensorkonfigurationsbildschirm verwendet. Es wird mindestens ein Alarmmanagementsystem konfiguriert, das mindestens einen Alarmkonfigurationsbildschirm verwendet.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die begleitenden Zeichnungen, die in die Spezifikation einbezogen sind und einen Teil von ihr bilden, veranschaulichen gegenwärtig bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung, und dienen gemeinsam mit der oben angegebenen allgemeinen Beschreibung und der nachstehend angegebenen detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen dazu, die Prinzipien der Erfindung erläutern. Eine vollständigere Beurtei lung der Erfindung wird mit Verweis auf die folgende detaillierte Beschreibung leichter offensichtlich, insbesondere wenn in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen betrachtet, in denen:
  • 1 ein vereinfachtes Blockdiagramm eines Halbleiterherstellungssystems, das durch einen fortgeschrittenen Prozess (APC) gesteuert wird, in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 eine beispielhafte Ansicht eines Anmeldebildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 eine vereinfachte Ansicht eines Hauptmenü-GUI-Bildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 4 eine vereinfachte Ansicht eines Bildschirmauswahl-GUI-Bildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 5 eine vereinfachte Ansicht eines Systemkonfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 6A-6C und 7A-7C vereinfachte Ansichten von zusätzlichen Konfigurationsbildschirmen in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 8 eine vereinfachte Ansicht eines anderen Konfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 9 eine vereinfachte Ansicht eines anderen Konfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 10 eine vereinfachte Ansicht eines Modulkonfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 11A und 11B vereinfachte Ansichten von zusätzlichen Modulkonfigurationsbildschirmen in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • 12 eine vereinfachte Ansicht eines Sensorinstanzbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 13 eine vereinfachte Ansicht eines anderen Sensorinstanzbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 14 eine vereinfachte Ansicht eines anderen Sensorinstanzbildschirms sich in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 15 eine vereinfachte Ansicht eines Modulpausenbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 16A-16D beispielhafte Ansichten von Alarmkonfigurationsbildschirmen in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen; und
  • 17 eine vereinfachte Ansicht eines Flussdiagramms für einen Konfigurationsprozess für ein Halbleiterverarbeitungs system in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Detaillierte Beschreibung einer Ausführungsform
  • 1 zeigt ein beispielhaftes Blockdiagramm eines APO-Systems in einer Halbleiterherstellungsumgebung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform umfasst die Halbleiterherstellungsumgebung 100 mindestens ein Halbleiterverarbeitungswerkzeug 110, viele Prozessmodule 120, PM1 bis PM4, viele Sensoren 130 zum Überwachen des Werkzeugs, der Module und Prozesse, eine Sensorschnittstelle 140 und ein APC-System 145. Das APC-System 145 kann einen Schnittstellenserver (IS) 150, einen APC-Server 160, eine Client-Arbeitsstation 170, eine GUI-Komponente 180 und eine Datenbank 190 umfassen. In einer Ausführungsform kann IS 150 eine Echtzeit-Speicherdatenbank umfassen, die als ein "Hub" gesehen werden kann.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform wird ein einzelnes Werkzeug 110 zusammen mit vier Prozessmodulen 120 gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Das APC-System 145 kann sich mit einer Reihe von Verarbeitungswerkzeugen verbinden, einschließlich Cluster-Werkzeugen mit einem oder mehr Prozessmodulen. Das APC-System kann verwendet werden, um eine Reihe von Verarbeitungswerkzeugen einschließlich Cluster-Werkzeugen mit einem oder mehr Prozessmodulen zu konfigurieren. Z.B. können die Werkzeuge verwendet werden, um Ätzen, Ablagerung, Diffusion, Reinigung, Messung, Polieren, Entwicklung, Transfer, Speicherung, Lade- und Entladungsprozesse durchzuführen.
  • In einer Ausführungsform kann das Verarbeitungswerkzeug 110 einen Werkzeugagenten (nicht gezeigt) umfassen, der ein Softwareprozess sein kann, der in Werkzeug 110 läuft und der Er eignisinformation, Kontextinformation und Start-Stopp-Zeitsteuerungsbefehle bereitstellen kann, die verwendet werden, um Datenerlangung mit den Werkzeugprozessen zu synchronisieren. Außerdem kann das APC-System 145 einen Agentenclient (nicht gezeigt) umfassen, der ein Softwareprozess sein kann, der verwendet werden kann, um eine Verbindung mit dem Werkzeugagenten vorzusehen.
  • In einer Ausführungsform kommuniziert IS 150 unter Verwendung von Sockets. Z.B. kann die Schnittstelle unter Verwendung von TCP-/IP-Socket-Kommunikation implementiert sein. Vor jeder Kommunikation wird ein Socket hergestellt. Dann wird eine Nachricht als eine Zeichenkette gesendet. Nachdem die Nachricht gesendet ist, wird der Socket aufgehoben.
  • Wechselweise kann eine Schnittstelle als ein TCL-Prozess strukturiert sein, der mit C/C++-Code erweitert ist, oder ein C/C++-Prozess, der eine spezielle Klasse verwendet, wie etwa eine verteilte Nachrichten-Hub- (DMH, Distributed Message Hub) Client-Klasse. In diesem Fall kann die Logik, die die Prozess-/Werkzeugereignisse durch die Socket-Verbindung sammelt, korrigiert werden, um die Ereignisse und ihre Kontextdaten in eine Tabelle in IS 150 einzufügen.
  • Der Werkzeugagent kann Nachrichten senden, um dem APC-System Ereignis- und Kontextinformation bereitzustellen. Z.B. kann der Werkzeugagent Los-Start-/Stoppnachrichten, Stapel-Start/Stoppnachrichten, Wafer-Start-/Stoppnachrichten, Rezeptur-Start-/Stoppnachrichten und Prozess-Start-/Stoppnachrichten senden. Außerdem kann der Werkzeugagent verwendet werden, um Einstellpunktdaten zu senden und/oder zu empfangen und Wartungszählerdaten zu senden und/oder zu empfangen.
  • Wenn ein Verarbeitungswerkzeug interne Sensoren umfasst, können diese Daten zu dem IS 150 und dem APC-Server 160 gesendet werden. Es können Datendateien verwendet werden, um diese Daten zu transferieren. Z.B. können einige Verarbeitungswerkzeuge Verfolgungsdateien erstellen, die in dem Werkzeug komprimiert werden, wenn sie erstellt werden. Komprimierte und/oder unkomprimierte Dateien können transferiert werden. Wenn Verfolgungsdateien in dem Verarbeitungswerkzeug erstellt werden, können die Verfolgungsdaten Endpunkterfassungs- (EPD) Daten enthalten oder nicht. Die Verfolgungsdaten sehen wichtige Information über den Prozess vor. Die Verfolgungsdaten können, nachdem die Verarbeitung eines Wafers abgeschlossen ist, aktualisiert und transferiert werden. Die Verfolgungsdateien sind zu dem richtigen Verzeichnis für jeden Prozess zu transferieren. In einer Ausführungsform können Werkzeugverfolgungsdaten, Wartungsdaten und EPD-Daten von einem Verarbeitungswerkzeug 110 erhalten werden.
  • In 1 werden vier Prozessmodule gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Das Halbleiterverarbeitungssystem kann eine beliebige Zahl von Verarbeitungswerkzeugen mit einer beliebigen Zahl von Prozessmodulen, die mit ihnen in Verbindung stehen, und unabhängigen Prozessmodulen umfassen. Das APC-System 145 kann verwendet werden, um eine beliebige Zahl von Verarbeitungswerkzeugen mit einer beliebigen Zahl von Prozessmodulen, die mit ihnen in Verbindung stehen, und unabhängigen Prozessmodulen zu konfigurieren. Das APC-System 145 kann Daten von Prozessen, die Verarbeitungswerkzeuge, Prozessmodule und Sensoren einbeziehen, sammeln, bereitstellen, verarbeiten, speichern und anzeigen.
  • Prozessmodule können unter Verwendung von Daten, wie etwa ID, Modultyp, Gasparameter und Wartungszähler, identifiziert werden, und diese Daten können in eine Datenbank gesichert werden. Wenn ein neues Prozessmodul konfiguriert wird, kann dieser Typ von Daten unter Verwendung einer Modulkonfigurationsbedienfläche/Bildschirms in einer GUI-Komponente 180 bereit gestellt werden. Z.B. kann das APC-System die folgenden Modultypen von Tokyo Electron Limited unterstützen eine Unity SCCM chamber (Kammer), eine Unity DRM oxide chamber (Oxidkammer), eine Telius DRM oxide chamber, eine Telius SCCM oxide chamber, und eine Telius SCCM Poly chamber. Wechselweise kann das APC-System andere Kammern unterstützen.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform wird ein einzelner Sensor 130 zusammen mit einem zugehörigen Prozessmodul gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Es kann eine beliebige Zahl von Sensoren mit einem Prozessmodul gekoppelt sein. Der Sensor 130 kann einen OES-Sensor, einen VIP-Sensor, einen analogen Sensor und andere Typen von Halbleiterverarbeitungssensoren einschließlich digitaler Sonden umfassen. Die APC-Datenmanagementanwendungen können verwendet werden, um Daten von einer Vielfalt von Sensoren zu sammeln, zu verarbeiten, zu speichern, anzuzeigen und auszugeben.
  • In dem APC-System können Sensordaten durch sowohl externe als auch interne Quellen bereitgestellt werden. Externe Quellen können unter Verwendung eines externen Datenrecordertyps definiert werden; ein Datenrecorderobjekt kann jeder externen Quelle zugewiesen werden; und es kann eine Zustandsvariablendarstellung verwendet werden.
  • Sensorkonfigurationsinformation kombiniert Sensortyp und Sensorinstanzparameter. Ein Sensortyp ist ein generischer Begriff, der der Funktion des Sensors entspricht. Eine Sensorinstanz paart den Sensortyp mit einem spezifischen Sensor in einem spezifischen Prozessmodul und Werkzeug. Mindestens eine Sensorinstanz ist für jeden physischen Sensor konfiguriert, der an einem Werkzeug anzubringen ist.
  • Z.B. kann ein OES-Sensor ein Typ eines Sensors sein; eine VI-Sonde kann ein anderer Typ eines Sensors sein, und ein analo ger Sensor kann ein unterschiedlicher Typ eines Sensors sein. Außerdem kann es zusätzliche generische Typen von Sensoren und zusätzliche spezifische Typen von Sensoren geben. Ein Sensortyp enthält alle Variablen, die benötigt werden, um eine bestimmte Art eines Sensors zur Laufzeit einzurichten. Diese Variablen können statisch (alle Sensoren dieses Typs haben den gleichen Wert), konfigurierbar nach Instanz (jede Instanz des Sensortyps kann einen eindeutigen Wert haben) oder dynamisch konfigurierbar durch einen Datensammlungsplan (jedes Mal, wenn der Sensor zur Laufzeit aktiviert wird, kann ihm ein anderer Wert gegeben werden) sein.
  • Eine Variable "konfigurierbar nach Instanz" kann die Sensor-/Sonden-IP-Adresse sein. Diese Adresse variiert nach Instanz (für jede Prozesskammer), variiert aber nicht von Lauf zu Lauf. Eine Variable "konfigurierbar nach Datensammlungsplan" kann eine Liste von Oberschwingungsfrequenzen sein. Diese können für jeden Wafer basierend auf der Kontextinformation unterschiedlich konfiguriert sein. Z.B. kann Wafer-Kontextinformation Werkzeug-ID, Modul-ID, Slot-ID, Rezeptur-ID, Kassetten-ID, Startzeit und Endzeit enthalten. Es kann viele Instanzen des gleichen Sensortyps geben. Eine Sensorinstanz entspricht einem spezifischen Teil von Hardware und verbindet einen Sensortyp mit dem Werkzeug und/oder Prozessmodul (Kammer). Mit anderen Worten ist ein Sensortyp generisch und eine Sensorinstanz ist spezifisch.
  • Der Sensor 130 kann ein statischer oder dynamischer Sensor sein. Z.B. kann ein dynamischer VI-Sensor seinen Frequenzbereich, Abtastperiode, Skalierung, Auslösung und Versatzinformation zur Laufzeit unter Verwendung von Parametern hergestellt haben, die durch einen Datensammlungsplan bereitgestellt werden. Der Sensor 130 kann ein analoger Sensor sein, der statisch und/oder dynamisch sein kann. Z.B. können analoge Sensoren verwendet werden, um Daten für eine ESC-Span nung, Anpassungsparameter, Gasparameter, Flussraten, Drücke, Temperaturen, RF-Parameter und andere prozessbezogene Daten bereitzustellen. Der Sensor 130 kann mindestens eines von: VIP-Sonde, OES-Sensor, analoger Sensor, digitaler Sensor und Halbleiterverarbeitungssensor umfassen.
  • Das APC-System 145 kann auch eine Datenmanagementanwendung zum Verarbeiten der Daten von dem Sensor 130 umfassen. Z.B. kann eine Funktion einer dynamischen ladbaren Bibliothek (DLL), die in C geschrieben ist, verwendet werden, um Daten von dem Sensor 130 zu parsen und sie zum Drucken zu der Ausgabedatei geeignet zu formatieren. Die DLL-Funktion kann eine Zeichenkette von dem Sensor als einen Parameter nehmen, und die druckbare (durch Tab begrenzte) Zeichenkette als ein zweites Argument zurückgeben.
  • Wie in 1 gezeigt, kann Sensorschnittstelle 140 verwendet werden, um eine Schnittstelle zwischen Sensor 130 und dem APC-System 145 bereitzustellen. Z.B. kann das APC-System 145 mit Sensorschnittstelle 140 über eine Internet- oder Intranet-Verbindung verbunden sein, und Sensorschnittstelle 140 kann mit Sensor 130 über eine Internet- oder Intranet-Verbindung verbunden sein. Auch kann Sensorschnittstelle 140 als ein Protokollkonverter, Medienkonverter und Datenpuffer agieren. Außerdem kann Sensorschnittstelle 140 Echtzeitfunktionen bereitstellen, wie etwa Datenerlangung, Peer-zu-Peer-Kommunikationen und E/A-Abtastung. Wechselweise kann Sensorschnittstelle 140 eliminiert werden, und der Sensor 130 kann direkt mit dem APC-System 145 gekoppelt sein.
  • In einer Ausführungsform kann eine Sensorschnittstelle die Datenpunkte zu einer rohen Datendatei schreiben. Z.B. kann IS 150 einen Startbefehl zu der Sensorschnittstelle senden, um Datenerlangung zu initiieren, und kann einen Stoppbefehl senden, um zu bewirken, dass die Datei geschlossen wird. IS 150 kann dann die Sensordatendatei lesen und parsen, die Daten verarbeiten und die Datenwerte in die Datentabellen im Speicher absenden.
  • Wechselweise könnte die Sensorschnittstelle die Daten in Echtzeit zu dem IS 150 im Strom senden (streamen). Es könnte ein Schalter bereitgestellt werden, um der Sensorschnittstelle zu ermöglichen, die Daten zur Platte zu schreiben. Die Sensorschnittstelle kann eine Methode bereitstellen, um die Datei zu lesen und die Datenpunkte zu dem IS 150 für eine Offline-Verarbeitung und Analyse im Strom zu senden.
  • Wie in 1 gezeigt, kann das APC-System 145 eine Datenbank 190 umfassen. In der Datenbank 190 können Konfigurationsdaten gespeichert werden. Außerdem können rohe Daten und Verfolgungsdaten von dem Werkzeug als Dateien in der Datenbank 190 gespeichert werden. Die Menge von Daten hängt von den Datensammlungsplänen, die durch den Benutzer konfiguriert werden, ebenso wie der Häufigkeit ab, mit der Prozesse durchgeführt werden und Verarbeitungswerkzeuge betrieben werden. Die Daten, die von den Verarbeitungswerkzeugen, den Verarbeitungskammern, den Sensoren und dem APC-System erhalten werden, sind in Tabellen gespeichert.
  • In einer Ausführungsform können die Tabellen in dem IS 150 als Tabellen im Speicher und in Datenbank 190 als persistenter Speicher implementiert werden. Der IS 150 kann die strukturierte Abfragesprache (SQL, Structured Query Language) für Spalten- und Zeilenerstellung ebenso wie Absenden von Daten zu den Tabellen verwenden. Die Tabellen können in den persistenten Tabellen in Datenbank 190 (z.B. kann DB2 verwendet werden) dupliziert werden, und können unter Verwendung der gleichen SQL-Anweisungen gefüllt werden.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform kann IS 150 sowohl eine Echtzeitdatenbank im Speicher als auch ein Abonnementserver sein. Z.B. sind Clientprozesse in der Lage, Datenbankfunktionen unter Verwendung von SQL mit dem vertrauten Programmierungsmodell relationaler Datentabellen durchzuführen. Außerdem kann der IS 150 einen Datenabonnementdienst bereitstellen, wo die Client-Software eine asynchrone Meldung empfängt, wann immer Daten, die ihr Auswahlkriterium erfüllen, eingefügt, aktualisiert oder gelöscht werden. Ein Abonnement verwendet die volle Leistung einer SQL-Auswahlabfrage, um zu spezifizieren, welche Tabellenspalten von Interesse sind, und welches Zeilenauswahlkriterium verwendet wird, um zukünftige Datenänderungsmeldungen zu filtern.
  • Da der IS 150 sowohl eine Datenbank als auch ein Abonnementserver ist, können Clients "synchronisierte" Abonnements zu existierenden Tabellendaten öffnen, wenn sie initialisiert sind. Der IS 150 stellt Datensynchronisation durch einen Veröffentlichungs-/Abonnementmechanismus, Datentabellen im Speicher und Überwachungslogik zum Ordnen von Ereignissen und Alarmen durch das System bereit. Der IS 150 stellt mehrere auf TCP/IP basierte Nachrichtengebungstechnologien bereit, einschließlich Sockets, UDP und veröffentlichen/abonnieren.
  • Z.B. kann die Architektur des IS 150 viele Datenhubs (d.h. SQL-Datenbanken) verwenden, die Echtzeit-Datenmanagement und Abonnementfunktionen bereitstellen können. Anwendungsmodule und Benutzerschnittstellen verwenden SQL-Nachrichten, um auf Information in dem (den) Datenhub (s) zuzugreifen und sie zu aktualisieren. Wegen Leistungsverhaltensbegrenzungen, die mit Absenden von Laufzeitdaten zu der relationalen Datenbank in Verbindung stehen, werden Laufzeitdaten zu Datentabellen im Speicher abgesendet, die durch den IS 150 gemanagt werden. Der Inhalt dieser Tabellen kann zu der relationalen Datenbank am Ende einer Wafer-Verarbeitung abgesendet werden.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform, die in 1 gezeigt wird, wird eine einzelne Client-Arbeitsstation 170 gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Das APC-System 145 kann eine Vielzahl von Client-Arbeitsstationen 170 unterstützen. In einer Ausführungsform erlaubt die Client-Arbeitsstation 170 einem Benutzer, Konfigurationsprozeduren durchzuführen; Status einschließlich Werkzeug, Kammer und Sensorstatus zu betrachten; den Prozessstatus zu betrachten; Historiendaten zu betrachten; und Modellierung und Auswertungsfunktionen durchzuführen.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform, die in 1 gezeigt wird, kann das APC-System 145 einen APC-Server 160, der mit IS 150 gekoppelt sein kann, eine Client-Arbeitsstation 170, eine GUI-Komponente 180 und eine Datenbank 190 umfassen, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Der APC-Server 160 kann eine Reihe von Anwendungen umfassen, einschließlich mindestens einer auf ein Werkzeug bezogenen Anwendung, mindestens einer auf ein Modul bezogenen Anwendung, mindestens einer auf einen Sensor bezogenen Anwendung, mindestens einer IS-bezogenen Anwendung, mindestens einer auf eine Datenbank bezogenen Anwendung und mindestens einer GUI-bezogenen Anwendung. Außerdem kann der APC-Server eine Reihe von Konfigurationsanwendungen umfassen.
  • Der APC-Server 160 umfasst mindestens einen Computer und Software, die viele Prozesswerkzeuge unterstützt; sammelt und synchronisiert Daten von den Werkzeugen, Prozessmodulen, Sensoren und Sonden; speichert Daten in einer Datenbank, ermöglicht dem Benutzer, existierende Diagramme zu betrachten; und stellt Störungserfassung bereit. Der APC-Server erlaubt Online-Systemkonfiguration, Online-Störungserfassung von Los zu Los, Online-Störungserfassung von Wafer zu Wafer, Online-Datenbankmanagement, und führt mehrdimensionale Analyse von Summendaten unter Verwendung von Modellen basierend auf Historiendaten durch.
  • Z.B. kann der APC-Server 160 Plattenplatz; eine CPU; RAM (physischer Speicher); Festplattenlaufwerke; einen Cache; installierte Serversoftware für Windows 2000; Microsofts Internet Explorer; TCP/IP-Netzprotokoll; und eine Netzkarte umfassen.
  • Das APC-System 145 kann mindestens eine Speichereinrichtung umfassen, die Dateien, die rohe Daten von Sensoren enthalten, und Dateien, die Verfolgungsdaten von dem Werkzeug enthalten, speichert. Das APC-System 145 kann eine Datenmanagementanwendung umfassen, die dem Benutzer erlaubt, ältere Dateien zu löschen. Das APC-System 145 kann eine Vielzahl von Tabellen umfassen, die verwendet werden, um das System zu betreiben, und diese Tabellen können in Datenbank 190 gespeichert sein. Außerdem können andere Computer (nicht gezeigt), wie etwa Computer/Arbeitsstationen im Standort oder außerhalb des Standorts und/oder Hosts, durch ein Netz verbunden werden, um Funktionen bereitzustellen, wie etwa Betrachtung von Daten/Diagrammen, SPC-Diagrammbildung, EPD-Analyse, Dateizugriff, für ein oder viele Werkzeuge.
  • Wie in 1 gezeigt, kann das APC-System 145 eine GUI-Komponente 180 umfassen. Z.B. kann eine GUI-Komponente als eine Anwendung auf dem APC-Server 160, der Client-Arbeitsstation 170 und Werkzeug 110 laufen.
  • Die GUI-Komponente 180 ermöglicht einem Benutzer des APO-Systems, die gewünschte Konfiguration, Datensammlung, Überwachung, Modellierung und Aufgaben zur Störungsbehebung mit so wenig Eingabe wie möglich durchzuführen. Das GUI-Design stimmt mit dem SEMI Human Interface Standard for Semiconductor Manufacturing Equipment (SEMI Draft Doc. #2783B) und mit dem SEMATECH Strategic Cell Controller (SCC) User-Interface Style Guide 1.0 (Technology Transfer 92061179A-ENG) überein. Ein Fachmann wird erkennen, dass GUI-Bedienflächen/Bildschirme eine Auswahl-Tab-Struktur von links nach rechts und/oder Struktur von rechts nach links, eine Struktur von unten nach oben, eine Struktur von oben nach unten oder eine Kombinationsstruktur umfassen können.
  • Obwohl die Bildschirme, die zur Veranschaulichung gezeigt werden, Versionen der englischen Sprache waren, ist dies außerdem für die Erfindung nicht erforderlich, und es können andere Sprachen verwendet werden. Z.B. kann ein Bildschirm japanischer Sprache, ein Bildschirm chinesischer Sprache, ein Bildschirm taiwanesischer Sprache, ein Bildschirm koreanischer Sprache, ein Bildschirm deutscher Sprache und ein Bildschirm französischer Sprache verwendet werden.
  • Die GUI-Komponente 180 stellt ein Mittel zur Interaktion zwischen dem APC-System 145 und dem Benutzer bereit. Wenn die GUI beginnt, kann ein Anmeldebildschirm, der die Benutzeridentifikation und das Passwort validiert, und der eine erste Ebene von Sicherheit vorsieht, angezeigt werden. Es ist wünschenswert, dass Benutzer unter Verwendung einer Sicherheitsanwendung vor einer Anmeldung registriert werden. Eine Datenbankprüfung von Benutzeridentifikation zeigt einen Autorisierungsgrad an, der die verfügbaren GUI-Funktionen rationalisieren wird. Auswahlelemente, für die der Benutzer nicht autorisiert ist, können anders und nicht verfügbar sein. Das Sicherheitssystem erlaubt einem Benutzer auch, ein existierendes Passwort zu ändern. Z.B. kann die Anmeldebedienfläche/der Anmeldebildschirm von einem Browser-Werkzeug geöffnet werden, wie etwa Netscape oder Internet Explorer. Ein Benutzer kann einen Benutzer-ID und ein Passwort in die Anmeldefelder eintragen.
  • Autorisierte Benutzer und Administratoren können GUI-Bedienflächen/Bildschirme verwenden, um Systemkonfiguration und Sensoreinrichtungsparameter zu modifizieren. Die GUI-Komponente 180 kann eine Konfigurationskomponente umfassen, um einem Benutzer zu erlauben, Verarbeitungswerkzeuge, Verarbeitungsmodule, Sensoren und das APC-System zu konfigurieren. Z.B. können GUI-Konfigurationsbedienflächen/Bildschirme für mindestens eines von einem Verarbeitungswerkzeug, einem Verarbeitungsmodul, einem Sensor, einer Sensorinstanz, einer Modulpause und einem Alarm bereitgestellt werden. Konfigurationsdaten können in einer Attributdatenbanktabelle gespeichert sein, und können mit den Vorgaben zu der Installation eingerichtet werden.
  • Die GUI-Komponente 180 kann eine Statuskomponente zum Anzeigen des aktuellen Status für Verarbeitungswerkzeuge, Verarbeitungsmodule, Sensoren und das APC-System umfassen. Außerdem kann die Statuskomponente eine Diagrammkomponente zum Präsentieren systembezogener und prozessbezogener Daten zu einem Benutzer unter Verwendung von einem oder mehr unterschiedlichen Typen von Diagrammen umfassen.
  • Die GUI-Komponente kann eine Datenmanagerkomponente zum Erstellen, Editieren und Betrachten von Strategien und Plänen umfassen, die verwendet werden, um Daten zu sammeln, zu speichern und zu analysieren.
  • Auch kann die GUI-Komponente 180 eine Echtzeit-Operationskomponente umfassen. Z.B. kann eine GUI-Komponente mit einer Hintergrundaufgabe gekoppelt sein, und eine gemeinsam verwendete Systemlogik kann die gemeinsame Funktionalität bereitstellen, die sowohl durch die Hintergrundaufgabe als auch durch die GUI-Komponente verwendet wird. Gemeinsam genutzte Logik kann verwendet werden um zu garantieren, dass die Rückgabewerte die gleichen wie die sind, die zu der Hintergrund aufgabe zurückgegeben werden. Des weiteren kann die GUI-Komponente 180 eine APC-Dateimanagement-GUI-Komponente und eine Sicherheitskomponente umfassen. Es sind auch Hilfebedienflächen/Bildschirme verfügbar. Z.B. werden Hilfedateien im PDF-(portables Dokumentenformat) und/oder HTML-Format bereitgestellt.
  • 2 zeigt eine beispielhafte Ansicht eines Anmeldebildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Z.B. können Felder für einen Benutzer-ID und ein Passwort bereitgestellt werden. Die Anmeldebedienfläche 200 kann einen sicheren Eintrittspunkt bereitstellen. Es kann eine Anmeldebedienfläche/Bildschirm verwendet werden, um zwischen unterschiedlichen Benutzerebenen zu unterscheiden, wie etwa einer ersten Benutzerebene, einer zweiten Benutzerebene und einer dritten Benutzerebene. Z.B. kann eine erste Benutzerebene auf Betrachtung von Statusbildschirmen eingeschränkt sein; eine zweite Benutzerebene kann auf eine Betrachtung und Erstellung von Diagrammen eingeschränkt sein; und einer dritten Benutzerebene kann erlaubt werden, Strategien, Pläne zu erstellen, Parameter zu ändern oder das Werkzeug und Sensoren zu konfigurieren.
  • Die Anmeldebedienfläche/Bildschirm kann von einem Browser-Werkzeug geöffnet werden, wie etwa Netscape oder Internet Explorer. Ein Benutzer kann einen Benutzer-ID und ein Passwort in den Feldern UserID und Passwort eintragen. Diese Information kann abhängig von Groß- und Kleinschreibweise gemacht werden und sollte als Kleinbuchstaben eingegeben werden.
  • 3 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines Menü-GUI-Bildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform umfasst der Menü-GUI-Bildschirm 301 Titelbedienfläche 310 und eine Informationsbedienfläche 350. Die Informationsbedienflä che 350 kann eine Vielzahl von Auswahlelementen umfassen. Z.B. können Auswahlelemente als Knöpfe angezeigt werden und können mindestens eines von einem Werkzeugstatus-Auswahlelement, einem Diagrammauswahlelement, einem SPC-Auswahlelement, einem Datenmanager-Auswahlelement und einem anderen Auswahlelement enthalten. In anderen Ausführungsformen können die Auswahlelemente als Tabs, Bilder, Symbole, Gruppen, Menüs und/oder herabfallende Auswahllisten (drop-down lists) gezeigt werden.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform umfasst die Titelbedienfläche 310 den oberen Abschnitt des Bildschirms. Z.B. kann eine Titelbedienfläche 310 umfassen: Firmen-Logo-Feld; ein Produktinformationsfeld; ein Benutzer-ID-Feld zeigt den ID des aktuellen Benutzers an; ein Alarmnachrichtenfeld kann eine Nachricht anzeigen, wenn es einen aktiven Alarm gibt (anderenfalls ist dieses Feld leer); ein Feld für aktuelles Datum und Zeit kann das aktuelle Datum und die Zeit des Servers anzeigen; ein Namensfeld des aktuellen Bildschirms kann den Namen des aktuellen Bildschirms anzeigen; ein Kommunikationsstatusfeld kann den aktuellen Status für Kommunikationsverknüpfung zwischen Server und Werkzeug anzeigen; ein Werkzeug-ID-Feld kann den ID des Werkzeugs anzeigen, das überwacht wird; ein Abmeldefeld kann einem Benutzer erlauben, sich abzumelden; und ein Bildschirmauswahlfeld kann ausgewählt werden, um zwischen GUI-Bildschirmen und/oder Bedienflächen zu navigieren. Wechselweise kann ein GUI-Bildschirm eine oder mehr Navigationsleisten umfassen, die Auswahlelemente umfassen können. In anderen Ausführungsformen ist eine Titelbedienfläche nicht erforderlich.
  • Von dem Hauptmenübildschirm kann der Werkzeugstatusknopf verwendet werden, um auf einen Werkzeugstatus-Bildschirm zuzugreifen; ein SPC-Knopf kann verwendet werden, um auf einen SPC-Diagrammbildschirm zuzugreifen; ein Diagrammknopf kann verwendet werden, um auf einen Diagrammbildungsbildschirm zuzugreifen; ein Dateneinrichtungsknopf kann verwendet werden, um auf einen Datenmanager-Bildschirm zuzugreifen; und der Knopf Andere kann verwendet werden, um auf einen Bildschirmauswahl-Bildschirm zuzugreifen. Knöpfe können verwendet werden, um Zugriff zu steuern und nur Benutzern mit dem richtigen Sicherheitsebenenzugriff zu erlauben, auf den Bildschirm zuzugreifen, der mit einem Knopf in Verbindung steht. Z.B. kann ein Knopf verborgen werden oder sich anders zeigen um anzuzeigen, wenn ein Benutzer Zugriffsrechte hat. Einige Knöpfe werden nur auf Bildschirmen erscheinen, die durch Benutzer der dritten Ebene verwendet werden können.
  • 4 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines Bildschirmauswahl-GUI-Bildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Z.B. kann auf einen Bildschirmauswahl-GUI-Bildschirm unter Verwendung eines Bildschirmauswahl-Auswahlelementes oder unter Verwendung des Knopfes "Andere" in 3 zugegriffen werden. In der veranschaulichten Ausführungsform umfasst der Bildschirmauswahl-GUI-Bildschirm 400 eine Titelbedienfläche 410, eine Informationsbedienfläche 450 und eine Steuerbedienfläche 470. Die Informationsbedienfläche 450 kann ein Auswahlmittel umfassen, wie etwa ein Gruppenmenü, das die folgenden sechs Knöpfe Status, Diagrammbildung, Protokolle, Konfiguration, Hauptmenü und Laufzeiteinrichtung enthalten kann. Außerdem kann die Informationsbedienfläche 450 ein Elementmenü umfassen, das erscheinen kann, wenn der Konfigurationsknopf ausgewählt ist. Das beispielhafte Konfigurationselementmenü enthält 9 Konfigurationselementknöpfe: System, Sensortyp, Modul, Sensorinstanz, Modulpause, Alarme, Attribute, Empfänger und Nachrichteninhalt. Wenn z.B. der Benutzer einen der Elementmenüknöpfe auswählt (darauf klickt), kann eine spezifische Menge von GUIs dem Benutzer präsentiert werden. Verfügbare Elementmenüknöpfe erscheinen heller als Elementmenüknöpfe, die nicht verfügbar sind. Sicherheitsprozeduren und Benutzerklassen verhindern, dass nicht-autorisierte Änderungen durch nicht qualifiziertes Personal durchgeführt werden.
  • Wenn der Benutzer entscheidet, die Sensoren zu dem neuesten Modell umzuschalten, oder sogar von einem Verarbeitungswerkzeug zu einem anderen umzuschalten, kann der Benutzer eine Konfigurationsänderungsroutine starten. Z.B. können Konfigurationsänderungen zuerst unter Verwendung eines Konfigurationsbildschirms in der Arbeitsstation des Clients geschehen. Nach Durchführung der notwendigen Änderungen kann sich der Benutzer abmelden und die Konfiguration herunterladen, das System entfernt neu einstellen oder die Änderung online akzeptieren, je nachdem wie der Fall ist. Nachdem die Konfigurationsänderungen an Ort und Stelle sind, kann ein neuer Zyklus passiver Datensammlung, Modellierung und Test durchgeführt werden.
  • Wie in der veranschaulichten Ausführungsform gezeigt, kann eine Steuerbedienfläche 470 Auswahlelemente umfassen und kann sich entlang des Bodens des Bildschirms befinden. Z.B. können diese Auswahlelemente dem Benutzer ermöglichen, mindestens einen von einem Statusbildschirm, einem Diagrammbildschirm, einem Alarmbildschirm, einem SPC-Bildschirm, einem Datenmanager-Bildschirm, einem Menübildschirm und einem Hilfebildschirm anzuzeigen. In anderen Ausführungsformen ist eine Steuerbedienfläche nicht erforderlich.
  • GUI-Bildschirme können eine oder mehr Bedienflächen umfassen. Z.B. umfasst ein GUI-Bildschirm wünschenswert mindestens eine Informationsbedienfläche. In anderen Ausführungsformen können Bildschirme, Bedienflächen und Auswahlelemente in anderen Sprachen, in anderen Konfigurationen angezeigt werden, und können anders in der Größe festgelegt und positioniert sein.
  • 5 zeigt eine beispielhafte Ansicht eines Systemkonfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform werden eine Verarbeitungswerkzeug-Konfigurationsbedienfläche und eine Agentenkonfigurationsbedienfläche gezeigt. Z.B. kann auf eine Systemkonfigurationsbedienfläche durch einen Benutzer unter Verwendung eines Auswahlelementes zugegriffen werden, wie etwa eines Knopfes, eines Tabs, eines Listenelementes, eines Menüelementes und/oder eines visuellen Deskriptors. Wechselweise kann ein Verarbeitungssystem-Konfigurationsbildschirm/Bedienfläche angezeigt werden.
  • Ein Benutzer kann eine Konfigurationsbedienfläche/Bildschirm, wie etwa in 5 gezeigt, verwenden, um ein oder mehr Verarbeitungswerkzeuge und/oder Simulatoren zu konfigurieren. Z.B. kann der Benutzer die folgende Information eingeben und/oder editieren: Werkzeugname, den Typ des Werkzeugs, das Datenwurzelverzeichnis, die IP-Adresse des Werkzeugs, die Agentenversion, den Agentenbefehl, die Werkzeugversion und die installierten Prozessmodule. Als ein Beispiel wird ein auf Ätzen bezogenes Verarbeitungswerkzeug gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Verarbeitungswerkzeuge gezeigt werden. Z.B. können Ablagerungswerkzeuge, Diffusionswerkzeuge, Reinigungswerkzeuge, Transferwerkzeuge, Messungswerkzeuge, Polierungswerkzeuge und andere Typen von Halbleiter-Verarbeitungswerkzeugen verwendet werden. Außerdem erlaubt die GUI Benutzern, Werkzeugsimulatoren für eine Offline-Analyse zu konfigurieren und zu verwenden.
  • Ein Werkzeugnamensfeld kann den Namen des Verarbeitungswerkzeugs enthalten; ein IP-Adressfeld kann die IP-Adresse für das Verarbeitungswerkzeug enthalten; ein Datenwurzelverzeichnisfeld kann verwendet werden, um einen Pfad zu dem Datenverzeichnis herzustellen; ein Herauflade-Startstandortfeld kann durch einen Systemadministrator geändert werden und kann für Störungsbehebungszwecke gelesen werden.
  • Eine Konfigurationsbedienfläche/Bildschirm kann auch Agenteninformation umfassen. Z.B. kann die Agenteninformation ein Agentenversionsfeld, ein Werkzeugversionsfeld und Agentenbefehl-Auswahlelemente umfassen. Ein Werkzeugversionsfeld kann während der Konfiguration geändert werden und kann für Störungsbehebungszwecke gelesen werden; ein Agentenversionsfeld kann die aktuelle Version eines installierten Agenten anzeigen; und Agentenbefehl-Auswahlelemente zum Bestimmen des Zustands des Agenten.
  • Des weiteren kann eine Konfigurationsbedienfläche/Bildschirm einen Sicherungsknopf, einen Wiederherstellungsknopf, einen Startagentenknopf und einen Stoppagentenknopf umfassen. Ein Benutzer kann auf den Sicherungsknopf klicken, um die Einstellungen zu der Datenbank für eine Verwendung zu sichern, wenn das System das nächste Mal initialisiert wird. Ein Benutzer kann auf den Wiederherstellungsknopf klicken, um neue Einstellungen durch die zuvor gespeicherten Einstellungen zu ersetzen.
  • Nur bestätigten und qualifizierten Benutzern wird erlaubt, auf eine Systemkonfigurationsbedienfläche/Bildschirm zuzugreifen und sie/ihn zu editieren. Dies verhindert, dass Probleme auftreten, wie etwa Verlust von Daten oder ein Systemzusammenbruch. Z.B. können nur Administratoren oder qualifizierte Benutzer die System- und Sensorkonfiguration editieren. Allgemein können diese Parameter konfiguriert werden, wenn das APC-System installiert oder neu konfiguriert wird. Wechselweise können Listen, Auswahltabs und Eingabefelder verwendet werden.
  • Jedes Verarbeitungswerkzeug kann z.B. unabhängig eingerichtet und zurückgesetzt werden, während ein Verarbeitungswerkzeug arbeitet, ein anderes Verarbeitungswerkzeug kann neu konfiguriert und/oder repariert werden, ohne das Leistungsverhalten des Systems zu verschlechtern.
  • 6A-6C und 7A-7C zeigen vereinfachte Ansichten zusätzlicher Systemkonfigurationsbildschirme in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Z.B. können Konfigurationsbildschirme Sensortyp-Konfigurationsbedienflächen enthalten. Auf Sensorkonfigurationsbedienflächen kann durch einen Benutzer unter Verwendung eines Auswahlelementes, wie etwa eines Knopfes, eines Tabs, eines Listenelementes, eines Menüelementes und/oder eines visuellen Deskriptors zugegriffen werden. Der Benutzer kann Sensorkonfigurationsbedienflächen verwenden, um einen neuen Sensortyp zu erstellen, wenn eine neue Sensorschnittstelle entwickelt wird oder ein neues Prozesswerkzeug oder Prozessmodul Konfiguration erfordert. Das APC-System kann eine vordefinierte Liste von Sensortypen umfassen, die durch die APC-Software unterstützt werden. Z.B. können Änderungen in einem Kundenstandort nach Installation, vor Start, um die Prozessausrüstung laufen zu lassen, oder als ein neu konfiguriertes Beispiel, das von der Fabrik eingestellt wird, durchgeführt werden. Der Sensorkonfigurationsprozess kann eine vollständige Definition aller Eingabe- und Ausgabeparameter enthalten, die später zu verwenden sind, wenn eine Sensorinstanz erstellt oder wenn eine Instanz eines Sensors zur Laufzeit in einem Datensammlungsplan konfiguriert wird. Die Parameter, die in einer Konfigurationsprozedur erstellt werden, können später in anderen Sensorinformationsbedienflächen/Bildschirmen und Datensammlungsplanbedienflächen/Bildschirmen angezeigt werden.
  • Z.B. kann ein OES-Sensor ein Typ eines Sensors sein, und eine VI-Sonde kann ein anderer Typ eines Sensors sein. Diese sind generische Definitionen für Typen von Sensoren. Ein Sensortyp enthält alle der Variablen, die benötigt werden, um eine bestimmte Art eines Sensors zur Laufzeit einzurichten. Diese Variablen können statisch (alle Sensoren dieses Typs haben den gleichen Wert), konfigurierbar nach Instanz (jede Instanz des Sensortyps kann einen eindeutigen Wert haben) oder konfigurierbar nach dem Datensammlungsplan (jedes Mal, wenn der Sensor zur Laufzeit aktiviert wird, kann ihm ein anderer Wert gegeben werden) sein. Z.B. ist eine Variable "konfigurierbar nach Instanz" die Sensor-IP-Adresse. Diese Adresse variiert nach Instanz (für jede Prozesskammer), variiert aber nicht von Lauf zu Lauf. Eine Variable "konfigurierbar nach Datensammlungsplan" ist die Liste von Oberschwingungsfrequenzen. Diese sind nach Wafer basierend auf der Kontextinformation konfiguriert. Waferkontextinformation enthält Werkzeug-ID, Modul-ID, Slot-ID, Rezeptur-ID, Kassetten-ID, Startzeit und Endzeit.
  • In 6A wird eine Sensortyp-Listenbedienfläche mit einer hervorgehobenen VI-Sonde gezeigt. In 6B wird eine Sensorinformationsbedienfläche für eine VI-Sonde gezeigt. In 6C wird eine Sensoreinrichtungsbedienfläche für eine VI-Sonde gezeigt. In 7A wird eine Sensortyp-Listenbedienfläche mit einem hervorgehobenen OES-Sensor gezeigt. In 7B wird eine Sensorinformationsbedienfläche für einen OES-Sensor gezeigt. In 7C wird eine Sensoreinrichtungsbedienfläche für einen OES-Sensor gezeigt. Z.B. kann ein Benutzer zwischen Bedienflächen unter Verwendung von Knöpfen und/oder Tabs navigieren, und ein Benutzer kann unter Verwendung von Eingabefeldern, Knöpfen, Tabs, Menüs und Listen Elemente eingeben und/oder ändern. Unter Verwendung eines Editierelementes kann der Benutzer einen existierenden Sensor auswählen, um die zugehörigen Parameter für diesen Sensor zu modifizieren. Unter Verwendung einer Sicherung als Element kann ein Benutzer einen neuen Typ eines Sensors basierend auf einem existierenden Sensortyp erstellen.
  • Eine Sensorinformationsbedienfläche, wie etwa in 6B oder 7B gezeigt, kann verwendet werden, um eine Liste von Parametern bereitzustellen, die mit einem bestimmten Sensortyp in Verbindung stehen. Z.B. können diese Parameter unter Verwendung von Namensfeldern, Beschreibungsfeldern und Wertfeldern beschrieben werden. Eine Sensoreinrichtungsbedienfläche, wie etwa in 6C oder 7C, kann verwendet werden, um detailliertere Information für einen bestimmten Parameter bereitzustellen, der mit einem bestimmten Sensortyp in Verbindung steht. Z.B. kann diese detailliertere Parameterinformation unter Verwendung von Namensfeldern, Beschreibungsfeldern und Wertfeldern bereitgestellt werden.
  • Als ein Beispiel werden auf Ätzen bezogene Sensoren gezeigt, aber dies ist für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Sensortypen und Prozessmodultypen gezeigt werden. Z.B. können Ablagerungsmodule, Diffusionsmodule, Reinigungsmodule, Transfermodule, Messungsmodule und andere Typen von Halbleiter-Verarbeitungsmodulen zusammen mit ihren zugehörigen Sensoren verwendet werden. Z.B. können Langmuir-Sonden verwendet werden.
  • 8 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines anderen Konfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Sensoren können Sensoren enthalten, die in dem Verarbeitungswerkzeug inhärent sind, und Konfigurationsprozeduren können Verwendung von Konfigurationsbedienflächen für auf Werkzeug bezogene Sensoren enthalten. Auf Konfigurationsbedienflächen für auf Werkzeug bezogene Sensoren kann durch einen Benutzer unter Verwendung eines Auswahlelementes, wie etwa eines Knopfes, eines Tabs, eines Listenelementes, eines Menüelementes und/oder eines visu ellen Deskriptors zugegriffen werden. Der Benutzer kann Konfigurationsbedienflächen für auf Werkzeug bezogene Sensoren verwenden, um einen neuen auf Werkzeug bezogenen Sensortyp zu erstellen, wenn eine neue Sensorschnittstelle entwickelt wird oder ein neues Prozesswerkzeug oder Prozessmodul Konfiguration erfordert. Das APC-System kann eine vordefinierte Liste von auf Werkzeug bezogenen Sensortypen umfassen, die durch die APC-Software unterstützt werden. Z.B. können Änderungen in einem Kundenstandort nach Installation, vor Start eines Laufs der Prozessausrüstung oder als ein neu konfiguriertes Beispiel, das von der Fabrik eingestellt wird, durchgeführt werden. Der auf Werkzeug bezogene Sensorkonfigurationsprozess kann eine vollständige Definition aller Eingabe- und Ausgabeparameter enthalten, die später zu verwenden sind, wenn eine Sensorinstanz erstellt wird oder wenn eine Instanz eines Sensors zur Laufzeit in einem Datensammlungsplan konfiguriert wird. Die Parameter, die in diesem Einrichtungsschritt erstellt werden, können später in anderen Sensorinformationsbedienflächen/Bildschirmen und Datensammlungsplanbedienflächen/Bildschirmen angezeigt werden.
  • 9 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines anderen Konfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Sensoren können Sensoren enthalten, die in dem Prozessmodul inhärent sind, und Konfigurationsprozeduren können Verwendung von Konfigurationsbedienflächen für auf Prozessmodul bezogene Sensoren enthalten. Auf Konfigurationsbedienflächen für auf Prozessmodul bezogene Sensoren kann durch einen Benutzer unter Verwendung eines Auswahlelementes, wie etwa eines Knopfes, eines Tabs, eines Listenelementes, eines Menüelementes und/oder eines visuellen Deskriptors zugegriffen werden. Der Benutzer kann Konfigurationsbedienflächen für auf Prozessmodul bezogene Sensoren verwenden, um einen neuen auf Prozessmodul bezogenen Sensortyp zu erstellen, wenn eine neue Sensorschnittstelle entwi ckelt wird oder ein neues Prozesswerkzeug oder Prozessmodul Konfiguration erfordert. Das APC-System kann eine vordefinierte Liste von auf Modul bezogenen Sensortypen enthalten, die durch die APC-Software unterstützt werden. Z.B. können Änderungen in einem Kundenstandort nach Installation, vor Start eines Laufs der Prozessausrüstung oder als ein neu konfiguriertes Beispiel, das von der Fabrik eingestellt wird, durchgeführt werden. Der auf Modul bezogene Sensorkonfigurationsprozess kann eine vollständige Definition aller Eingabe- und Ausgabeparameter enthalten, die später zu verwenden sind, wenn eine Sensorinstanz erstellt wird oder wenn eine Instanz eines Sensors zur Laufzeit in einem Datensammlungsplan konfiguriert wird. Die Parameter, die in diesem Einrichtungsschritt erstellt werden, können später in anderen Sensorinformationsbedienflächen/Bildschirmen und Datensammlungsplanbedienflächen/Bildschirmen angezeigt werden.
  • 10 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines Modulkonfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform wird eine Informationsbedienfläche eines Modulauswahlbildschirms gezeigt. Als ein Beispiel werden vier auf Ätzen bezogene Prozessmodultypen gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Prozessmodultypen gezeigt werden. Z.B. können Ablagerungsmodule, Diffusionsmodule, Reinigungsmodule, Transfermodule, Messungsmodule und andere Typen von Halbleiter-Verarbeitungsmodulen verwendet werden.
  • Eine Modulkonfigurationsbedienfläche/Bildschirm kann eine Reihe von Knöpfen umfassen. Z.B. können die Knöpfe enthalten einen Knopf für neu, einen Editierknopf, einen Ansichtsknopf, einen Knopf zum Sichern als, einen Knopf zum Löschen, einen Import-Knopf und einen Export-Knopf. Unter Verwendung des Knopfes für neu kann ein Benutzer eine neue Instanz eines Mo dultyps erstellen. Unter Verwendung des Editierknopfes kann ein Benutzer die ausgewählte Zeile in der Tabelle editieren. Unter Verwendung des Knopfes zum Sichern als kann ein Benutzer einen Instanz-ID für einen ausgewählten Modultyp bereitstellen. Information, die sich auf diese Modulinstanz bezieht, kann in die Datenbank kopiert werden. Unter Verwendung des Knopfes zum Löschen kann der Benutzer eine ausgewählte Zeile von einer Tabelle und Datenbank löschen. Unter Verwendung des Import-Knopfes kann ein Benutzer Daten von der Datenbank importieren. Unter Verwendung Export-Knopfes kann ein Benutzer Daten zu der Datenbank exportieren.
  • Außerdem kann die Bedienfläche/der Bildschirm eine Liste von Modultypen umfassen. Z.B. kann Modulinformation in einer Tabelle aufgelistet sein. Eine Spalte für aktiviert kann den aktuellen Zustand für die Module bereitstellen, die in der Tabelle aufgeführt sind. Eine Modultypspalte kann die Namen für die Module bereitstellen. Eine Werkzeugnamenspalte kann den Werkzeugnamen bereitstellen, der mit dem Modul in Verbindung steht, und eine Modul-ID-Spalte kann eine ganze Zahl bereitstellen, da es nur einen Modultyp pro Modul-ID gibt.
  • 11A und 11B zeigen vereinfachte Ansichten von zusätzlichen Modulkonfigurationsbildschirmen in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Als ein Beispiel werden Informationsbedienflächen für auf Ätzen bezogene Module gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Prozessmodultypen gezeigt werden. Z.B. können Ablagerungsmodule, Diffusionsmodule, Reinigungsmodule, Transfermodule, Messungsmodule und andere Typen von Halbleiter-Verarbeitungsmodule verwendet werden.
  • Modulinformationsbedienflächen/Bildschirme können eine Reihe von Knöpfen umfassen. Z.B. können die Knöpfe einen Knopf für neu, einen Knopf zum Sichern als und einen Knopf zum Löschen enthalten. Unter Verwendung des Knopfes für neu kann ein Benutzer eine neue Instanz eines Modultyps erstellen. Unter Verwendung des Knopfes zum Sichern als kann ein Benutzer einen Instanz-ID für einen ausgewählten Modultyp bereitstellen. Information in Bezug auf diese Modulinstanz kann in eine Datenbank kopiert werden. Unter Verwendung des Knopfes zum Löschen kann ein Benutzer eine ausgewählte Zeile von einer Tabelle und Datenbank löschen.
  • Außerdem kann die Bedienfläche/der Bildschirm ein Modultypfeld, das verwendet werden kann, um Modultypen anzuzeigen; ein Werkzeugnamensfeld, das verwendet werden kann, um den Verarbeitungswerkzeugnamen anzuzeigen; ein Modul-ID-Feld, das verwendet werden kann, um den Modul-ID anzuzeigen; und ein # des Wartungszählerfeldes, welches einen ganzzahligen Wert eines Warnungszählers anzeigt, umfassen. Z.B. kann ein Werkzeug-ID nach einem Werkzeugnamen aus einer herabfallenden Liste ausgewählt werden, und ein Modul-ID kann aus der herabfallenden Liste vom Modultyp ausgewählt werden.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform, die in 11A gezeigt wird, wird ein Wartungszählerinformationsbildschirm gezeigt. Als ein Beispiel wird ein RF-Stundenzähler gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Wartungszählertypen gezeigt werden. Die Zahl von Wartungszählern hängt von dem Werkzeug ab. Wartungszähler werden verwendet, um Maschinenzustandsinformation, wie etwa RF in Stunden, Werkzeug in Stunden und die Zahl von Instanzen von verschiedenen Problemen zusammenzufassen.
  • Eine Wartungszählerinformationsbedienfläche/Bildschirm kann eine Reihe von Knöpfen umfassen. Z.B. können die Knöpfe einen Knopf für neu, einen Knopf zum Sichern als und einen Knopf zum Löschen enthalten. Eine Wartungszählerinformationsbedienfläche/Bildschirm kann auch einen Index eines Wartungszählerfeldes; ein Wartungszähler-Namensfeld; ein Einheitenfeld für den Wartungszähler und einen Wert für den Wartungszähler enthalten. Außerdem kann die Bedienfläche/der Bildschirm einen MC-Knopf zum Sichern, um Änderungen von einer Editierbedienfläche zu sichern, und einen Wiederherstellungsknopf, um zurück zu den gesicherten Daten zu gehen, enthalten.
  • Wartungszählerinformation kann von dem Modul abhängen. Der Benutzer kann einen neuen Namen einem spezifischen Wartungszähler zuweisen, kann ihm eine spezielle Skalenrate zuweisen und kann die Werkzeugpausenfunktion diesem Wartungszähler zuweisen. Außerdem können allgemeine Zähler mit den Wartungszählern enthalten sein, und können durch den Benutzer konfiguriert werden.
  • In der veranschaulichten Ausführungsform, die in 11B gezeigt wird, wird ein zusätzlicher Wartungszähler-Informationsbildschirm gezeigt. 11B zeigt eine vereinfachte Ansicht eines Gasparameterbildschirms. Als ein Beispiel wird eine Liste von Gasen gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Gase gezeigt werden. Die Zahl von Gasen kann von dem Werkzeug, Modul und Prozess abhängen.
  • Gasparameter können ein Teil der Modulinstanzeinrichtung sein. Z.B. kann ein Benutzer den Namen von Gasparametern für jedes Modul konfigurieren. Eine Tabelle kann mit Systemgasnamen (Gas1_Fluss, Gas2_Fluss) aufgebaut sein. Der Benutzer kann die Spalte des Parameternamens des neuen Gases in der Tabelle direkt editieren. Auch kann ein Benutzer einen Parameter aus einer Liste von möglichen Gasparameternamen aus einer herabfallenden Liste auswählen. Jeder Systemgasparametername kann einen eindeutigen Gasparameternamen haben, und die APC-Software kann prüfen um sicherzustellen, dass keine duplizierten Gasparameter für unterschiedliche Systemgasparameter verwendet werden.
  • Eine Gasparameterinformationsbedienfläche/Bildschirm kann ein installiertes Feld, ein Namensfeld für einen neuen Gasparameter und ein Systemgas-Namensfeld umfassen. Außerdem kann die Bedienfläche/der Bildschirm einen Knopf zum Sichern von Gasparametern, um Änderungen von einer Editierbedienfläche zu sichern, und einen Wiederherstellungsknopf, um zurück zu gesicherten Daten zu gehen, enthalten.
  • Die Modulkonfigurationsbedienflächen/Bildschirme können auf Modul bezogene Information für den Benutzer zum Konfigurieren bereitstellen. Für jedes Modul kann die zugehörige Information, wie etwa Modultyp, Gasparameter und Wartungszähler, in eine Datenbank gesichert werden. Modulkonfiguration kann durchgeführt werden, nachdem das Werkzeug konfiguriert ist und bevor der Sensor konfiguriert wird.
  • 12 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines Sensorinstanzbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform wird eine Sensorinstanz-Listenbedienfläche gezeigt. Z.B. kann auf Sensorinstanzbedienflächen/Bildschirme durch einen Benutzer unter Verwendung eines Auswahlelementes zugegriffen werden, wie etwa eines Knopfes, eines Tabs, eines Listenelementes, eines Menüelementes und/oder eines visuellen Deskriptors. Der Benutzer kann Sensorinstanzbedienflächen/Bildschirme verwenden, um eine neue Sensorinstanz zu erstellen, wenn eine neue Sensorinstanz erforderlich ist oder eine neue Sensorinstanz für ein Prozesswerkzeug oder ein Prozessmodul erforderlich ist. Es kann viele Instanzen des gleichen Sensortyps geben. Z.B. kann eine Sensorinstanz einem spezifischen Teil von Hardware entsprechen und verbindet einen Sensortyp mit einem Werkzeug oder Prozessmodul.
  • Das APC-System kann eine vordefinierte Liste von Sensorinstanzen umfassen, die durch die APC-Software unterstützt werden. Z.B. können Änderungen in einem Kundenstandort nach Installation, vor Start eines Laufs der Prozessausrüstung oder als ein neu konfiguriertes Beispiel, das von der Fabrik eingestellt wird, durchgeführt werden. Der Sensorkonfigurationsprozess kann eine vollständige Definition aller Eingabe- und Ausgabeparameter enthalten, die später zu verwenden sind, wenn eine Sensorinstanz erstellt wird oder wenn eine Instanz eines Sensors zur Laufzeit in einem Datensammlungsplan konfiguriert wird. Die Parameter, die in diesem Einrichtungsschritt erstellt werden, können später in anderen Sensorinformationsbedienflächen/Bildschirmen und Datensammlungsplanbedienflächen/Bildschirmen angezeigt werden.
  • Als ein Beispiel werden auf Ätzen bezogene Sensortypen gezeigt, aber dies ist nicht für die Erfindung erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Sensortypen gezeigt werden. Z.B. können auf Ablagerung bezogene Sensoren, auf Diffusion bezogene Sensoren, auf Reinigung bezogene Sensoren, auf Transfer bezogene Sensoren, auf Messung bezogene Sensoren und andere Typen von Halbleiter-Verarbeitungssensortypen verwendet werden.
  • Eine Sensorinstanzbedienfläche/Bildschirm kann eine Reihe von Knöpfen umfassen. Z.B. können die Knöpfe einen Knopf für neu, einen Editierknopf, einen Knopf zum Sichern als und einen Knopf zum Löschen umfassen. Außerdem kann eine Sensorinstanzbedienfläche/Bildschirm auch eine Liste von Sensortypen und ihren Status umfassen. Unter Verwendung einer Sensorinstanzbedienfläche/Bildschirms kann ein Benutzer die Sensoren in Prozesswerkzeugen und Prozessmodulen konfigurieren. Eine Sen sorinstanzbedienfläche/Bildschirm kann während einer Installation des APC-Systems verwendet werden, oder wenn Sensoren hinzugefügt werden, wenn Prozessmodule geändert werden, wenn Verarbeitungswerkzeuge geändert werden oder wenn Werkzeugsoftware aktualisiert wird mit einer neuen Verfolgung oder EPD-Parametern.
  • Sensorinformation kann als eine Tabelle gezeigt werden. Z.B. kann eine Spalte ist aktiviert den aktuellen Status für die Sensorinstanzen bereitstellen, die in der Tabelle aufgeführt sind; eine Sensortypspalte kann Namen für die Sensorinstanzen bereitstellen; eine Werkzeug-ID-Spalte kann einen Werkzeugnamen bereitstellen, der mit der Sensorinstanz in Verbindung steht; und eine Modul-ID-Spalte kann eine ganze Zahl bereitstellen, da es nur einen Modultyp pro Modul-ID geben kann.
  • Unter Verwendung des Knopfes für neu kann ein Benutzer eine neue Instanz eines Sensortyps erstellen. Unter Verwendung des Editierknopfes kann ein Benutzer die ausgewählte Zeile in der Tabelle editieren. Unter Verwendung des Knopfes zum Sichern als kann ein Benutzer einen Instanz-ID für einen ausgewählten Sensorinstanztyp bereitstellen, und die Information in Bezug auf diese Sensorinstanz kann in eine Datenbank kopiert werden. Unter Verwendung des Knopfes zum Löschen kann ein Benutzer eine ausgewählte Zeile aus einer Tabelle und Datenbank löschen.
  • 13 zeigt eine vereinfachte Sicht eines anderen Sensorinstanzbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform wird eine Sensorinstanz-Informationsbedienfläche gezeigt.
  • Als ein Beispiel wird eine VI-Sondensensorinstanz gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechsel weise können andere und/oder zusätzliche Sensorinstanzen gezeigt werden. Z.B. können auf Ablagerung bezogene Sensoren, auf Diffusion bezogene Sensoren, auf Reinigung bezogene Sensoren, auf Transfer bezogene Sensoren, auf Messung bezogene Sensoren und andere Typen von Halbleiter-Verarbeitungssensortypen verwendet werden.
  • Unter Verwendung des Editierknopfes kann ein Benutzer die ausgewählte Zeile in der Tabelle editieren. Unter Verwendung des Knopfes zum Sichern der Instanz kann die Information in Bezug auf eine Sensorinstanz in eine Datenbank kopiert werden. Ein Benutzer kann den Wiederherstellungsknopf verwenden, um neue Einstellungen durch die zuvor gespeicherten Einstellungen zu ersetzen. Ein Benutzer kann einen Sensorkonfigurationshilfeknopf verwenden, um Hilfeinformation zur Sensorkonfiguration zu betrachten.
  • 14 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines anderen Sensorinstanzbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform wird eine Sensorinstanz-Elementbedienfläche gezeigt. Unter Verwendung einer Sensorinstanz-Elementbedienfläche kann ein bestimmter Parameter oder eine Menge von Parametern konfiguriert werden.
  • 15 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines Modulpausenkonfigurationsbildschirms in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In der veranschaulichten Ausführungsform wird eine Informationsbedienfläche gezeigt, die Modulpausenkonfigurationselemente umfasst. Als ein Beispiel werden vier Prozessmodule gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Prozessmodultypen gezeigt werden. Z.B. können Ablagerungsmodule, Diffusionsmodule, Reinigungsmodule, Transfermodule, Messungsmodule und andere Typen von Halbleiterverarbeitungsmodulen verwendet werden.
  • Eine Modulpausenkonfigurationsbedienfläche/Bildschirm kann einen Informationsauswahlbereich, einen Modulpausentestbereich, einen Modulpausennachrichtenbereich und einen Modulpausenlistenbereich umfassen. Herabfallende Listen helfen einem Benutzer, die Modulpause zu konfigurieren.
  • Eine Modulpausenkonfigurationsbedienfläche/Bildschirm kann durch einen Benutzer verwendet werden, der einen spezifischen Grad von Autorisierung hat, wie etwa ein Prozessingenieur. Ein Benutzer kann die Pausenaktionen unter Verwendung von Analyseplänen und Strategien konfigurieren. Z.B. kann ein Benutzer bestimmen, welcher Wartungszähler für eine Modulpause verwendet wird, wenn ein Alarm auftritt. Typischerweise kann nur eine Modulpause für jedes Modul konfiguriert werden. Ein Benutzer kann einen der allgemeinen Wartungszähler auswählen, um die Modulpause zu tun. D.h. ein Wartungszähler kann konfiguriert sein, eine Modulpausenfunktion basierend auf einem beliebigen messbaren Parameter durchzuführen. Ein Benutzer kann das Werkzeug-ID-Feld, das Modul-ID-Feld, das Modulinstanzfeld (das einen Namen eines Moduls angezeigt) und die Modulzählerfelder unter Verwendung z.B. herabfallender Listen konfigurieren. Nur wenn das Modulinstanzfeld aktiviert ist, kann eine Modulinstanzliste in der herabfallenden Liste gezeigt werden. Außerdem kann eine Liste allgemeiner Sensorinformation in der herabfallenden Liste aufgeführt sein, die Name und Index von jedem Wartungszähler kombinieren. Unter Verwendung des Knopfes zum Hinzufügen kann ein Benutzer ausgewählte Information der Tabelle hinzufügen. Unter Verwendung des Knopfes zum Entfernen kann ein Benutzer ausgewählte Information aus der Tabelle löschen. Eine Pausenfehlernachrichtenanzeige kann Fehlernachrichtenrückkopplung zu dem Benutzer bereitstellen.
  • Eine Modulpause kann in dem Ende eines aktuellen Wafers oder dem Ende eines aktuellen Loses effektiv werden. Es kann eine Zahl von Alarmen verwendet werden, um eine Werkzeugpause auszulösen, z.B. ein Werkzeugalarm, ein Störungserfassungsalarm oder interne Softwarefehler.
  • 16A bis 16D zeigen beispielhafte Ansichten von Alarmkonfigurationsbildschirmen in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Z.B. kann auf Alarmkonfigurationsbedienflächen/Bildschirme durch einen Benutzer unter Verwendung eines Auswahlelementes, wie etwa eines Knopfes, eines Tabs, eines Listenelementes, eines Menüelementes und/oder eines visuelle Deskriptors zugegriffen werden. Der Benutzer kann Alarmkonfigurationsbedienflächen verwenden, um einen neuen Alarm zu erstellen, wenn ein neuer Alarm erforderlich ist oder ein neuer Alarm für ein Prozesswerkzeug oder ein Prozessmodul erforderlich ist. Außerdem kann auf die Alarmkonfigurationsbedienflächen/Bildschirme unter Verwendung des Knopfes "Alarme" in 4 zugegriffen werden. Alarmkonfigurationsbedienflächen/Bildschirme können wie gezeigt verwendet werden, um ein Alarmmanagementsystem zu konfigurieren.
  • In 16A wird eine Alarmlistenbedienfläche gezeigt. Als ein Beispiel wird ein einzelner auf ein Werkzeug bezogener Alarm gezeigt, dies ist aber für die Erfindung nicht erforderlich. Wechselweise können andere und/oder zusätzliche Alarme gezeigt werden. Z.B. können andere auf ein Werkzeug bezogene Alarme, auf einen Prozess bezogene Alarme und Software-Alarme gezeigt werden.
  • Das APC-System kann eine vorbestimmte Liste von Alarmen umfassen, die durch die APC-Software unterstützt werden. Z.B. können Änderungen in einem Kundenstandort nach Installation, vor Start eines Laufes der Prozessausrüstung oder als ein neu konfiguriertes Beispiel, das von der Fabrik eingestellt ist, durchgeführt werden. Der Alarmkonfigurationsprozess kann eine vollständige Definition aller Eingabe- und Ausgabeparameter enthalten, die später zu verwenden sind, wenn eine Alarminstanz erstellt wird. Die Parameter, die in diesem Einrichtungsschritt erstellt werden, können später in anderen Alarminformationsbedienflächen/Bildschirmen und Datensammlungsplanbedienflächen/Bildschirmen angezeigt werden.
  • Wie gezeigt, kann eine Alarmlistenbedienfläche eine Zahl von Knöpfen umfassen. Z.B. können die Knöpfe einen Knopf für neu, einen Editierknopf, einen Knopf zum Löschen, einen Auffrischungsknopf, einen Export-Knopf und einen Import-Knopf enthalten. Unter Verwendung des Knopfes für neu kann ein Benutzer eine neue Alarminformation erstellen. Unter Verwendung des Editierknopfes kann ein Benutzer einen existierenden Alarm editieren. Unter Verwendung des Knopfes zum Löschen kann ein Benutzer einen existierenden Alarm löschen. Unter Verwendung des Auffrischungsknopfes kann ein Benutzer die Anzeige aktualisieren. Unter Verwendung des Export-Knopfes kann ein Benutzer Daten in die Datenbank exportieren. Unter Verwendung des Import-Knopfes kann ein Benutzer Daten aus der Datenbank importieren.
  • In 16B wird ein Alarmkonfigurationsbildschirm gezeigt, der einen Alarmeindeutigkeitsschlüssel-Anzeigebereich, einen Anwendungseinstellungsanzeigebereich, einen Aktionsanzeigebereich, einen Beschreibungs- & Hilfe-URL-Anzeigebereich, einen Meldungsanzeigebereich, einen Knopf zum Sichern und einen Knopf zum Löschen umfassen kann.
  • Z.B. kann ein Benutzer den Alarmeindeutigkeitsschlüssel-Anzeigebereich verwenden, um den Werkzeug-ID, Quellen-ID und Alarm-ID zu konfigurieren. Diese Felder sind nicht editierbar, es sei denn, der Benutzer konfiguriert einen neuen Alarm. Wenn ein Benutzer viele Alarme editiert, dann kann der Wert, der für diese Felder angezeigt wird, herabfallende Listen sein. Ein Benutzer kann den Anwendungseinstellungsanzeigebereich verwenden, um einen Alarm einzustellen und/oder zu löschen. Ein Benutzer kann den Aktionsanzeigebereich verwenden, um die Aktionen zu konfigurieren, die durchzuführen sind, wenn der Alarm auftritt, wie etwa den Alarm zu protokollieren, eine E-Mail zu senden und/oder eine Seite zu senden. Ein Benutzer kann den Beschreibungs- & Hilfe-URL-Anzeigebereich verwenden, um eine Alarmbeschreibung zusammen mit einer Verknüpfung zu einer Hilfe-Web-Seite einzugeben, zu editieren oder zu betrachten. Ein Benutzer kann den Meldungsanzeigebereich verwenden, um E-Mail- und Funkruf-Empfänger einzugeben, zu editieren oder zu betrachten. Ein Auswahlknopf kann ein Popup-Fenster anzeigen, von dem die Auswahl durchgeführt wird. Außerdem kann ein Benutzer den Knopf zum Sichern verwenden, um Änderungen zu sichern, und den Knopf zum Löschen, um die Bedienfläche/den Bildschirm zu schließen.
  • In 16C wird eine Empfängereinrichtungsbedienfläche gezeigt. Z.B. können ein Name, eine E-Mail-Adresse und eine Funkruf-Adresse eines Empfängers bereitgestellt werden.
  • In 16D wird eine Nachrichteneinrichtungsbedienfläche gezeigt. Z.B. kann ein Alarmtypfeld bereitgestellt werden, und es kann ein Meldungstypfeld bereitgestellt werden. Unter Verwendung eines Elementes zum Hinzufügen kann der Benutzer ein Element auswählen, um eine Alarmnachricht hinzuzufügen. Unter Verwendung eines Elementes zum Entfernen kann der Benutzer ein Element auswählen, das von einer Alarmnachricht zu entfernen ist. Unter Verwendung eines Elementes zum Sichern kann ein Benutzer einen neuen Alarm erstellen.
  • In alternativen Ausführungsformen könnten eine oder mehr Konfigurations-GUI-Bedienflächen/Bildschirme Navigationsbaumme nüs umfassen. Navigationsbäume werden verwendet, um logische Menüs und Assoziationen in einer Baumstruktur unter Verwendung von Dateien zu betrachten. Die Navigationsbäume erlauben einfache Sichtbarkeit bezüglich dessen, ob ein Parameter aktiviert ist oder nicht. Z.B. können Navigationsbäume verwendet werden, um die Konfigurationen für viele Prozessmodule anzuzeigen.
  • 17 zeigt eine vereinfachte Ansicht eines Flussdiagramms für einen Konfigurationsprozess für ein Halbleiterverarbeitungssystem in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Software und zugehörige GUI-Bedienflächen/Bildschirme stellen eine einfache benutzerfreundliche Prozedur zum Konfigurieren des Systems bereit. Prozedur 1700 beginnt in 1710.
  • In 1720 werden die Systemkomponenten konfiguriert, einschließlich der Verarbeitungswerkzeuge, Verarbeitungsmodule und der zugehörigen Sensoren (Sonden). Der Benutzer kann durch den Konfigurationsprozess für das System unter Verwendung von GUI-Bedienflächen/Bildschirme wie jenen, die in 2-16 gezeigt werden, geleitet werden. Wechselweise können zusätzliche Bedienflächen/Bildschirme bereitgestellt werden, um unterschiedliche Typen von Verarbeitungswerkzeugen, Prozessmodulen und Sensoren zu konfigurieren.
  • In 1730 kann ein Benutzer eine Sensorkonfigurations-GUI-Bedienfläche/Bildschirm verwenden, um einen neuen Sensortyp zu erstellen, wenn eine neue Sensorschnittstelle entwickelt wird oder ein neuer Werkzeugkammertyp eine andere Menge von Daten in der Verfolgungs- oder EPD-Datei enthält. Das APC-System kann eine vordefinierte Liste von Sensortypen umfassen, die durch die Basissoftware unterstützt werden. Z.B. können Änderungen in einem Kundenstandort nach Installation, vor Start eines Laufes der Prozessausrüstung oder als ein neu konfigu riertes Beispiel, das von der Fabrik eingestellt ist, durchgeführt werden.
  • Sensortypkonfiguration kann bei Installation, oder wenn ein neuer Sensortyp hinzugefügt wird, durchgeführt werden. Nur fortgeschrittene Benutzer können diese Operation durchführen; sie involviert eine vollständige Definition aller Eingabe- und Ausgabeparameter, die später zu verwenden sind, wenn eine Sensorinstanz erstellt oder wenn eine Instanz eines Sensors zur Laufzeit in einem Datensammlungsplan konfiguriert wird. Die Parameter, die in diesem Einrichtungsschritt erstellt werden, können später in der Instanzkonfiguration (in der Instanzeinrichtungselementtabelle) und dem Datensammlungsplan (als Parameter zum Sichern und Einrichtungselement, um einem Benutzer zu erlauben zu wählen) angezeigt werden.
  • In 1740 kann ein Benutzer eine Modulkonfigurationsbedienfläche/Bildschirm verwenden, um die modulbezogene Information bereitzustellen, die erforderlich ist, um ein Prozessmodul zu konfigurieren. Für jedes Modul kann die meiste der zugehörigen Information, wie etwa Modultyp, Gasparameter und Wartungszähler, in eine Datenbank gesichert werden. Modulkonfiguration kann durchgeführt werden, nachdem das Werkzeug konfiguriert ist und bevor der Sensor konfiguriert wird.
  • In 1750 kann ein Benutzer die Sensoren in den Prozessmodulen unter Verwendung mindestens einer Sensorkonfigurations-GUI-Bedienfläche/Bildschirms konfigurieren. Z.B. kann die Sensorinstanz-GUI-Bedienfläche/Bildschirm während einer Installation des APC-Systems, oder wenn Sensoren hinzugefügt werden, wenn Prozessmodule geändert werden oder wenn Werkzeugsoftware mit neuen Verfolgungs- oder EPD-Parametern aktualisiert wird, verwendet werden.
  • In 1760 kann ein Benutzer die Modulpausendaten für ein Werkzeug unter Verwendung mindestens einer Konfigurations-GUI-Bedienfläche/Bildschirms konfigurieren. Z.B. kann ein Benutzer einen Wartungszähler, der für eine Modulpause verwendet wird, wenn ein Alarm auftritt, unter Verwendung der Modulpausenkonfigurationsbedienfläche/Bildschirms konfigurieren. Ein Benutzer kann einen der allgemeinen Zähler auswählen, um die Modulpause zu tun. Benutzer können alle Pausenaktionen unter Analyseplänen und Strategien konfigurieren.
  • In 1770 kann ein Benutzer die Alarmkonfigurationsbedienflächen/Bildschirme verwenden, um einen oder mehr Alarme zu konfigurieren. Z.B. kann ein Benutzer den Alarm unter Verwendung eines Werkzeug-ID, Quellen-ID und Alarm-ID konfigurieren. Ein Benutzer kann auch einen Alarm einstellen und/oder löschen. Ein Benutzer kann die Aktionen konfigurieren, die durchzuführen sind, wenn der Alarm auftritt, wie etwa den Alarm protokollieren, eine E-Mail senden und/oder eine Seite senden. Ein Benutzer kann eine Alarmbeschreibung zusammen mit einer Verknüpfung zu einer Hilfe-Web-Seite eingeben, editieren oder betrachten. Ein Benutzer kann E-Mail- und Funkruf-Empfänger eingeben, editieren oder betrachten. Prozedur 1700 stoppt in 1780.
  • Funktionsknöpfe können sich unten und/oder oben von den GUI-Bildschirmen befinden. Da die gleichen Funktionsknöpfe in vielen der Bildschirme angezeigt werden, können Benutzer zu einer beliebigen Funktion von einem beliebigen Bildschirm navigieren, ohne eine Reihe von Menüs durchlaufen zu müssen. In der Titelbedienfläche kann ein Knopf zum Abmelden angezeigt werden, und er wird verwendet, um sich von dem System abzumelden. Erinnerungsnachrichten können vorgesehen werden, wenn Daten modifiziert und nicht gesichert wurden. Außerdem kann ein Hilfeknopf angezeigt werden, und er wird verwendet, um kontextspezifische und allgemeine Dokumentation zu betrach ten, um den Benutzer zu unterstützen, die Daten, die dem Benutzer präsentiert werden, und/oder die Daten, die von dem Benutzer gefordert werden, zu verstehen.
  • Angesichts der obigen Unterweisungen sind zahlreiche Modifikationen und Variationen der vorliegenden Erfindung möglich. Es ist deshalb zu verstehen, dass innerhalb des Bereichs der angefügten Ansprüche die Erfindung anders als hierin speziell beschrieben praktiziert werden kann.

Claims (27)

  1. APC-System (APC = Advanced Process Control) bzw. System zur erweiterten Prozesssteuerung, um ein Haltleiterverarbeitungssystem (100) zu verwalten, umfassend einen Satz GUI-Bildschirme (GUI = Graphical User Interface) bzw. Bildschirmen mit grafischer Benutzeroberfläche (180, 300, 400), wobei der Satz GUI-Bildschirme (180, 300, 400) umfasst webbasierte Anmeldungsbildschirme (200) zur Bereitstellung eines sicheren Eingangspunktes, wenigstens einen GUI-Bildschirm zur Systemkonfiguration, um eine Anzahl von Verarbeitungswerkzeugen (110) im Halbleiterverarbeitungssystem (100) zu konfigurieren, wobei wenigstens ein Bildschirm zur Systemkonfiguration über den Anmeldungsbildschirm zugänglich ist, wenigstens einen GUI-Bildschirm zur Modulkonfiguration, um ein Prozessmodul (120), das an ein Verarbeitungswerkzeug (110) gekoppelt ist, zu konfigurieren, gekennzeichnet durch: wenigstens einen GUI-Bildschirm zur Sensorkonfiguration, um einen Sensor (130), der an ein Verarbeitungswerkzeug (110) gekoppelt ist, zu konfigurieren, und wenigstens einen Bildschirm zur Alarmkonfiguration, um ein Alarmverwaltungssystems, das an das Verarbeitungswerkzeug gekoppelt ist, zu konfigurieren.
  2. APC-System nach Anspruch 1, wobei mehrere Bildschirme zur Systemkonfigurationen einen Bildschirm zur Werkzeugkonfiguration umfassen.
  3. APC-System nach Anspruch 2, wobei der Bildschirm zur Werkzeugkonfiguration ein Feld Werkzeugbezeichnung, ein Feld IP-Rdresse und einen Werkzeugstart-Auswahlbereich umfasst.
  4. APC-System nach Anspruch 1, wobei mehrere Bildschirme zur Systemkonfiguration einen Bildschirm zur Fühlerkonfiguration umfassen.
  5. APC-System nach Anspruch 4, wobei der Bildschirm zur Fühlerkonfiguration einen Bereich umfasst, um einen (V/I)-Spannungs-/Stromfühler zu konfigurieren.
  6. APC-System nach Anspruch 4, wobei der Bildschirm zur Fühlerkonfiguration einen Bereich umfasst, um ein optisches Emissionsspektrum (OES) zu konfigurieren.
  7. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm zur Konfiguration von wenigstens einem Modul einen Modul-Auswahlbildschirm umfasst.
  8. APC-System nach Anspruch 7, wobei der Bildschirm zur Auswahl des Moduls das Feld Moduldaten, das Feld Werkzeugdaten, das Feld ID-Daten und einen Modulstatus-Auswahlbereich umfasst.
  9. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm zur Konfiguration von wenigstens einem Modul einen Moduldatenbildschirm umfasst.
  10. APC-System nach Anspruch 9, wobei der Moduldatenbildschirm einen Bereich zur Auswahl eines Wartungszählers umfasst.
  11. APC-System nach Anspruch 9, wobei der Moduldatenbildschirm einen Bereich zur Auswahl von Gasparametern umfasst.
  12. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm zur Konfiguration von wenigstens einem Modul einen Bildschirm zur Modulpausenkonfiguration umfasst.
  13. APC-System nach Anspruch 12, wobei der Bildschirm zur Modulpausenkonfiguration das Feld Moduldaten, das Feld Werkzeugdaten, das Feld Modultypdaten und das Feld Pausenfehlermeldung umfasst.
  14. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm mit wenigstens einer Sensorkonfiguration einen Bildschirm zur Auswahl des Sensortyps umfasst.
  15. APC-System nach Anspruch 14, wobei der Bildschirm zur Auswahl des Sensortyps das Feld Sensortypdaten, das Feld Sensordaten und einen Hilfe-Auswahlbereich umfasst.
  16. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm zur Konfiguration von wenigstens einem Sensor einen Sensor-Auswahlbereich umfasst.
  17. APC-System nach Anspruch 16, wobei der Sensor-Auswahlbildschirm das Feld Werkzeugdaten, das Feld Modul-Identifikationsdaten und einen Sensorstatus-Auswahlbereich umfasst.
  18. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm zur Konfiguration von mindestens einem Alarm einen Bildschirm zur Alarmkonfiguration umfasst, um ein Alarmverwaltungssystem zu konfigurieren.
  19. APC-System nach Anspruch 18, wobei der Alarm-Konfigurationsbildschirm Alarm das Feld Werkzeugdaten, das Feld Sourcedaten, das Feld Alarmdaten und das Feld Meldeaten umfasst.
  20. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Satz APC-GUI-Bildschirme (180, 300, 200) mindestens einen Bildschirm umfasst, der aus einer Gruppe gewählt wird, die sich aus einem Bildschirm in englischer Sprache, einem Bildschirm in japanischer Sprache, einem Bildschirm in chinesischer Sprache, einem Bildschirm in koreanischer Sprache, einem Bildschirm in deutscher Sprache und einem Bildschirm in französischer Sprache zusammensetzt.
  21. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Satz APC-GUI-Bildschirme (180, 300, 400) mindestens einen Bildschirm umfasst, der eine Auswahl von Tabulatoren einschließt, die aus einer Gruppe linksbündiger Tabulatoren, rechtsbündiger Tabulatoren, von oben nach unten ausgerichteter Tabulatoren und von unten nach oben ausgerichteter Tabulatoren gewählt werden.
  22. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Satz APC-GUI-Bildschirme (180, 300, 400) wenigstens einen Bildschirm mit einem Titelelement umfasst mit Firmenzeichenfeld zur Anzeige der Versionsangaben, Benutzeridentifikationsfeld zur Anzeige der Identifikation des aktuellen Benutzers, Alarmmeldefeld zur Anzeige einer Meldung im Fall eines aktiven Alarms, aktuellem Datum und Zeitfeld zur Anzeige des aktuellen Datums und der Uhrzeit des Servers, aktuellem Bildschirmbezeichnungsfeld zur Anzeige des Namens des aktuellen Bildschirms, Kommunikationsstatusfeld zur Anzeige des aktuellen Status für die Kommunikationsverbindung zwischen Server und Werkzeug, Werkzeugidentifikationsfeld zur Anzeige der Identifikation des zu überwachenden Werkzeugs, Abmeldungsfeld, damit ein Benutzer sich abmelden kann.
  23. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Satz APC-GUI-Bildschirme (400) mindestens einen Bildschirm umfasst, der ein Bedienungsfeld (470) mit mehreren Schaltflächen im unteren Bildschirmteil aufweist, wobei die Schaltflächen einen Benutzer befähigen, einen Werkzeugstatusbildschirm, einen Prozessmodulbildschirm, Grafikbildschirm, Alarmprotokollbildschirm, SPC-Bildschirm, Datenaufbaubildschirm und Hilfebildschirm anzuzeigen.
  24. APC-System nach Anspruch 1, wobei das APC-System (145) ferner einen APC-Server (160) umfasst, der an das Halbleiterverarbeitungssystem (100) gekoppelt ist.
  25. APC-System nach Anspruch 24, bei welchem das APC-System (145) ferner mehrere kundenbasierte Endgeräte (170) umfasst, die an den APC-Server (160) gekoppelt sind, wobei mindestens ein kundenbasiertes Endgerät (170) eine grafische Benutzeroberfläche bzw. GUI (180, 300, 400) umfasst, um ein Verarbeitungswerkzeug (110) zu konfigurieren, und eine GUI (180, 300, 400), um ein Verarbeitungsmodul (120), das an das Verarbeitungswerkzeug (110) gekoppelt ist, zu konfigurieren.
  26. APC-System nach Anspruch 1, wobei der Werkzeug-Konfigurationsbildschirm einen Konfigurationsbildschirm für ein Werkzeug (110) umfasst, das aus einer Gruppe gewählt wird, die aus einem Ätzwerkzeug, einem Ablagerungswerkzeug, einem Diffusionswerkzeug, einem Reinigungswerkzeug, einem Transferwerkzeug, einem Messtechnikwerkzeug und einem Beschickungswerkzeug besteht.
  27. Verfahren zum Konfigurieren eines Halbleiterverarbeitungssystems (100), das ein APC-System (Advanced Process Control) bzw. System zur erweiterten Prozesssteuerung (145) benutzt, welches einen Satz grafischer Benutzeroberflächen bzw. GUI-Bildschirme (180, 300, 400) umfasst, wobei das Verfahren die Schritte umfasst zum: Zugriff auf einen Systemkonfigurationsbildschirm, der einen webbasierten Anmeldungsbildschirm (200) benutzt, Konfigurieren von wenigstens einem Verarbeitungswerkzeug (110), das wenigstens einen GUI-Bildschirm zur Systemkonfiguration benutzt.
DE60305684T 2002-04-23 2003-04-08 Verfahren und vorrichtung zur vereinfachten systemkonfiguration Expired - Lifetime DE60305684T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US37448602P 2002-04-23 2002-04-23
US374486P 2002-04-23
PCT/US2003/010531 WO2003092044A2 (en) 2002-04-23 2003-04-08 Method and apparatus for simplified system configuration

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60305684D1 DE60305684D1 (de) 2006-07-06
DE60305684T2 true DE60305684T2 (de) 2007-05-03

Family

ID=29270514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60305684T Expired - Lifetime DE60305684T2 (de) 2002-04-23 2003-04-08 Verfahren und vorrichtung zur vereinfachten systemkonfiguration

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20050065630A1 (de)
EP (1) EP1497701B1 (de)
JP (1) JP4537196B2 (de)
AT (1) ATE328308T1 (de)
AU (1) AU2003253594A1 (de)
DE (1) DE60305684T2 (de)
TW (1) TWI264667B (de)
WO (1) WO2003092044A2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015211309A1 (de) * 2015-06-19 2016-12-22 Robert Bosch Gmbh Werkzeugsystem für eine Montageanlage mit auswählbaren Benachrichtigungsregeln und ein Verfahren für ein Werkzeugsystem einer Montageanlage

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004006299A2 (en) 2002-07-03 2004-01-15 Tokyo Electron Limited Method for dynamic sensor configuration and runtime execution
CN1666203A (zh) * 2002-07-03 2005-09-07 东京电子株式会社 用于自动的传感器安装的方法和设备
US7269468B2 (en) 2003-09-05 2007-09-11 Fisher-Rosemount Systems, Inc. State machine function block with a user modifiable output configuration database
US7730415B2 (en) * 2003-09-05 2010-06-01 Fisher-Rosemount Systems, Inc. State machine function block with a user modifiable state transition configuration database
JP4900903B2 (ja) * 2006-02-24 2012-03-21 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理装置のパラメータ管理システム、基板処理装置のパラメータ管理方法、プログラム、及び記憶媒体
US20070271526A1 (en) * 2006-05-22 2007-11-22 Powley John Jay User Interface Paradigm for Manufacturing Applications
US7551072B2 (en) * 2006-09-29 2009-06-23 Rockwell Automation Technologies, Inc. Run-time configuration of alarms and events
US8717181B2 (en) 2010-07-29 2014-05-06 Hill-Rom Services, Inc. Bed exit alert silence with automatic re-enable
US8990375B2 (en) * 2012-08-31 2015-03-24 Facebook, Inc. Subscription groups in publish-subscribe system
US9086688B2 (en) 2013-07-09 2015-07-21 Fisher-Rosemount Systems, Inc. State machine function block with user-definable actions on a transition between states
US10073444B2 (en) * 2015-09-20 2018-09-11 Macau University Of Science And Technology Petri net-based optimal one-wafer cyclic scheduling of treelike hybrid multi-cluster tools
JP6962539B2 (ja) * 2017-02-24 2021-11-05 株式会社レクサー・リサーチ 業務計画最適化方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3630931B2 (ja) * 1996-08-29 2005-03-23 富士通株式会社 プラズマ処理装置、プロセスモニタ方法及び半導体装置の製造方法
KR100695582B1 (ko) * 1998-07-10 2007-03-14 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 제조 공정의 엔드포인트 검출 방법 및 장치
US7069101B1 (en) * 1999-07-29 2006-06-27 Applied Materials, Inc. Computer integrated manufacturing techniques
US8028049B1 (en) * 2000-02-01 2011-09-27 Peer Intellectual Property Inc. Apparatus and method for web-based tool management
US6952656B1 (en) * 2000-04-28 2005-10-04 Applied Materials, Inc. Wafer fabrication data acquisition and management systems
US20020022969A1 (en) * 2000-07-07 2002-02-21 Berg Marc Van Den Remote automated customer support for manufacturing equipment
JP2002027567A (ja) * 2000-07-12 2002-01-25 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置のリモート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置
US6482744B1 (en) * 2000-08-16 2002-11-19 Promos Technologies, Inc. Two step plasma etch using variable electrode spacing

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015211309A1 (de) * 2015-06-19 2016-12-22 Robert Bosch Gmbh Werkzeugsystem für eine Montageanlage mit auswählbaren Benachrichtigungsregeln und ein Verfahren für ein Werkzeugsystem einer Montageanlage

Also Published As

Publication number Publication date
EP1497701A2 (de) 2005-01-19
TW200401224A (en) 2004-01-16
ATE328308T1 (de) 2006-06-15
JP4537196B2 (ja) 2010-09-01
JP2005524229A (ja) 2005-08-11
AU2003253594A8 (en) 2003-11-10
TWI264667B (en) 2006-10-21
WO2003092044A3 (en) 2004-02-05
WO2003092044A2 (en) 2003-11-06
US20050065630A1 (en) 2005-03-24
AU2003253594A1 (en) 2003-11-10
EP1497701B1 (de) 2006-05-31
DE60305684D1 (de) 2006-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20050047645A1 (en) Method for interaction with status and control apparatus
JP4685446B2 (ja) データコンテキストに基づいてデータを処理する方法
DE10020999B4 (de) Vorrichtung für die Stapelverarbeitung bei der Ereignisentwicklungsverarbeitung und Betrachtung
JP4589108B2 (ja) 自動センサのインストール方法および装置
JP4635121B2 (ja) 動的センサ構築およびランタイム実行のための方法
US7515972B2 (en) System and method for dynamically creating and editing function block types in a process control environment
EP1000426B1 (de) Dynamisches instandhaltung verwaltungssystem
DE60305684T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur vereinfachten systemkonfiguration
DE112012006925B4 (de) Systemkonstruktions-Unterstützungswerkzeug und System
TW200408936A (en) Method and apparatus for monitoring tool performance
KR101030104B1 (ko) 데이터 선이식을 위한 방법
DE102015122002A1 (de) Verfahren und Apparatur zur Bereitstellung einer rollenbasierten Benutzerschnittstelle

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition