DE60211573T2 - Kalibrierungssystem für ein Bildverarbeitungs-Messsystem - Google Patents

Kalibrierungssystem für ein Bildverarbeitungs-Messsystem Download PDF

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DE60211573T2
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Description

  • Diese Erfindung betrifft ein Bildverarbeitungs-Messsystem und insbesondere die Kalibrierung derartiger Systeme unter Verwendung eines Kalibrierungsartefakts in Verbindung mit einer Kalibrierungssoftware.
  • Bildverarbeitungs-Messsysteme werden verwendet, um Teile und Komponenten nach der Herstellung zu prüfen, um sicherzustellen, dass sie und ihre zugehörigen Merkmale bestimmte zulässige Abweichungen erfüllen. Zum Beispiel kann ein gestanztes Werkstück mit einer oder mehreren Bohrungen auf einem Träger unter einer Videokamera angeordnet und in Echtzeit auf einem Bildschirm betrachtet werden. Der Bildschirm ist an einen Computer mit einer darauf arbeitenden Messsoftware angeschlossen, und der Durchmesser jeder Bohrung kann durch Verwenden einer Maus und/oder einer Tastatur genau gemessen werden, um zu Qualitätssicherungszwecken zu bewerten, ob das gestanzte Stück richtig hergestellt wurde.
  • Bildverarbeitungs-Messsysteme besitzen unterschiedliche Vergrößerungsgrade, um an Teile unterschiedlicher Größen angepasst werden zu können und um Merkmale unterschiedlicher Größe an jedem beliebigen Teil genauer zu vermessen und zu betrachten.
  • Die Messsysteme selbst werden typischerweise kalibriert, bevor sie an einer Einrichtung eines Benutzers installiert werden, und dann während der Verwendung routinemäßig kalibriert, um sicherzustellen, dass die vorgenommenen Messungen korrekt sind. Typischerweise wird ein Kalibrierungsartefakt verwendet, um Bildverarbeitungs-Messsysteme zu kalibrieren. Das Artefakt beinhaltet eine Anzahl von Kreisen und Quadraten von unterschiedlichen Größen, die auf eine Oberfläche eines Glassubstrats geätzt sind. Neben jedem Kreis und Quadrat befindet sich seine Größe. Zum Beispiel kann es sich um neun Kreise handeln, deren Durchmesser von 0,01 mm bis 5,0 mm reichen.
  • Das Artefakt wird auf dem Messträger angeordnet und das Kalibrierungsprogramm der Messsoftware begonnen. Der Techniker wählt dann einen Vergrößerungsgrad und ordnet das Kalibrierungsartefakt so an, dass aus Genauigkeitsgründen der größte Kreis, der auf den Anzeigebildschirm passt, gewählt wird. Der Techniker liest dann den Durchmesser jenes Kreises vom Artefakt ab und gibt ihn als Eingabe an das Kalibrierungsprogramm ein. Das Kalibrierungsprogramm korreliert dann automatisch die Größe der Pixel auf dem Anzeigebildschirm mit der Größe des eingegebenen bekannten Durchmessers, so dass die Anzahl der Pixel, die jeden beliebigen gegebenen Abstand oder Bereich bilden, für den gewählten Vergrößerungsgrad bekannt ist.
  • Das Hauptproblem bei diesem Kalibrierungsverfahren gemäß dem Stand der Technik ist, dass der obige Vorgang für jeden Vergrößerungsgrad wiederholt werden muss. Das heißt, das Kalibrierungsartefakt muss für jeden Vergrößerungsgrad neu angeordnet werden, damit der gegenwärtig größte Kreis den Sichtbildschirm einnimmt; ferner muss stets der Durchmesser jenes Kreises eingegeben werden.
  • Wenn eine Videoeinrichtung verwendet wird, um Gegenstände zu vermessen, ist es zusätzlich sehr wichtig, dass die Beleuchtung richtig ist. Es ist möglich, durch eine Übersättigung des Bilds eine Verzerrung des Bilds zu bewirken. Wenn eine derartige Übersättigung auftritt, scheinen die dunklen Teile des Bilds zu schrumpfen und die hellen Teile zu wachsen. Ein Ausdruck dafür lautet "Überstrahlen". Übermäßiges Licht von einem Rand im Bild greift auf dunkle Pixel über, und diese werden dann als weiß erfasst. Extreme Fälle einer Überbelichtung werden durch eine Bedienungsperson leicht festgestellt, doch wenn zur Genauigkeitsteigerung eine Subpixel-Unterteilung erfolgt, können feine Auswirkungen eines Überstrahlens die Messungen ernsthaft beeinflussen und zu Fehlern führen.
  • Wenn die Kreise mit der kleinsten Größe verwendet werden (bei einer hohen Vergrößerung), ist überdies die Pixelauflösung klein (eine Stelle von 10 Mikron kann den Rahmen ausfüllen). Die Auswirkung einer um einen Mikrometer abweichenden Größe bei der Herstellung des Artefakts ist viel größer als jene der um ein Pixel abweichenden Messung. Wenn die Pixel andererseits groß sind (geringe Vergrößerung), ist die Auswirkung der um ein Pixel abweichenden Messung viel größer als jene der um einen Mikrometer abweichenden Größe bei der Herstellung. Somit stellt bei Artefakten gemäß dem Stand der Technik eine eventuell bei der Herstellung resultierende "Über- oder Unterätzung" ein Problem dar. Das entsprechende Muster ist zwar gut reproduzierbar festgelegt, doch beim Wegätzen des Chroms können Probleme resultieren. Wenn das Artefakt zu lange in der Ätzung belassen wird, werden die Chromkreise an der Außenabmessung kleiner und an der Innenabmessung größer sein. Diese Auswirkung ist dem Überstrahlen sehr ähnlich.
  • Demgemäss führen das Kalibrierungsartefakt und das Kalibrierungsverfahren, die mit dem Stand der Technik verbunden sind, zu einem mühsamen und zeitraubenden Kalibrierungsvorgang, der fehleranfällig ist, wenn der Techniker Daten unrichtig eingibt, wenn es zu einem Überstrahlen kommt, oder wenn das Artefakt nicht unter Einhaltung strengster Toleranzen hergestellt ist und es zu einem Unter- oder Überätzen kommt.
  • Ein Kalibrierungsartefakt zum Kalibrieren eines Bildverarbeitungs-Messsystems ist z.B. auch aus US 5,389,774 bekannt. Das Artefakt besteht aus einem Substrat mit mehreren konzentrischen Ringen an einer Oberfläche des Substrats, wobei jeder Ring von einer unterschiedlichen Größe ist.
  • Es ist daher eine erste Aufgabe dieser Erfindung, ein neues, leichter zu verwendendes Kalibrierungssystem für ein Bildverarbeitungs-Messsystem bereitzustellen.
  • Es ist eine zweite Aufgabe dieser Erfindung, ein Verfahren zur Kalibrierung eines Bildverarbeitungs-Messsystems bereitzustellen, das die Probleme, die mit Verfahren des Stands der Technik verbunden sind, überwindet.
  • Die erste Aufgabe wird durch ein Kalibrierungssystem nach Anspruch 1 erfüllt.
  • Die zweite Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 4 erfüllt.
  • Diese Erfindung ergibt sich aus der Erkenntnis, dass die Probleme der Verfahren zur Bildverarbeitungs-Messsystem-Kalibrierung im Stand der Technik durch ein einzigartiges Kalibrierungsartefakt mit konzentrischen Ringen von unterschiedlichen Größen überwunden werden können. Dieses muss weder neu angeordnet werden, wenn unterschiedliche Vergrößerungsgrade gewählt werden, noch besteht die Notwendigkeit für den Techniker, den Durchmesser jedes Kreises einzugeben, wenn sich der Vergrößerungsgrad verändert. Ferner können die Auswirkungen des Überstrahlens beseitigt werden.
  • Die Größe jedes Rings und die Veränderung im Durchmesser zwischen jedem benachbarten Paar von Ringen ist in der Kalibrierungssoftware gespeichert. Ein Gesichtspunkt der Erfindung ist, dass die Größenveränderung zwischen jedem benachbarten Paar von Ringen unterschiedlich ist. Auf diese Weise kann die Kalibrierungssoftware dann, wenn die Kalibrierungssoftware misst, wie viele Pixel die beiden größten Ringe auf dem Anzeigebildschirm einnehmen, das Verhältnis der Pixel, die die beiden Ringe einnehmen, berechnen und aus diesem Verhältnis automatisch die tatsächliche (kalibrierte) Größe jedes Rings erstellen. Sobald diese Information bekannt ist, wird die effektive Größe der Pixel bei diesem Vergrößerungsgrad für zukünftige Messungen festgelegt, und durch Wiederholen des obigen Vorgangs bei jedem Vergrößerungsgrad wird das Bildverarbeitungs-Messsystem somit richtig kalibriert, ohne dass es nötig ist, das Artefakt irgendwann neu anzuordnen oder Größeninformationen einzugeben.
  • Diese Erfindung stellt somit ein Kalibrierungsartefakt zum Kalibrieren eines Bildverarbeitungs-Messsystems zur Verfügung. Das Kalibrierungsartefakt umfasst ein Substrat und mehrere konzentrische Ringe an einer Oberfläche des Substrats, wobei jeder Ring von einer unterschiedlichen vordefinierten Größe ist. In der bevorzugten Ausführungsform ist die Größenveränderung von beliebigen zwei benachbarten Ringen von der Größenveränderung von beliebigen anderen zwei benachbarten Ringen verschieden.
  • Das Verfahren zur Kalibrierung eines Bildverarbeitungs-Messsystems gemäß dieser Erfindung beinhaltet das Anordnen eines Kalibrierungsartefakts, das eine Reihe von konzentrischen Ringen aufweist, unter einer Kamera des Maschinensichtmesssystems; das Wählen eines Vergrößerungsgrads; das Messen der Größe eines allergrößten Rings in Pixel; das Messen der Größe eines zweitgrößten Rings in Pixel; das Vergleichen der Größen; und das Bestimmen, aus dem Vergleich, des tatsächlichen Durchmessers eines der Ringe. Jeder Ring ist von einer vorbestimmten unterschiedlichen Größe, und die Größenveränderung von beliebigen zwei benachbarten Ringen ist von der Größenveränderung zwischen beliebigen anderen zwei benachbarten Ringen verschieden. Das Verfahren kann ferner das Bestimmen eines ersten Durchschnitts der gemessenen Größe des allergrößten Rings in Pixel und der gemessenen Größe des zweitgrößten Rings in Pixel beinhalten. Das Verfahren kann ferner das Messen der Größe eines drittgrößten Rings in Pixel und das Bestimmen eines zweiten Durchschnitts der gemessenen Größe des drittgrößten Rings in Pixel und der gemessenen Größe des zweitgrößten Rings in Pixel beinhalten. Das Vergleichen kann das Verwenden des ersten und des zweiten Durchschnitts beinhalten.
  • Typischerweise ist jeder Ring von einer vorbestimmten unterschiedlichen Größe und die Größenveränderung von beliebigen zwei benachbarten Ringen von der Größenveränderung zwischen beliebigen anderen zwei benachbarten Ringen ist verschieden.
  • Das Kalibrierungsartefakt beinhaltet vorzugsweise ein Substrat und mehrere konzentrische Formen (z.B. Ringe) an einer Oberfläche des Substrats. Jede Form weist eine unterschiedliche vordefinierte Größe auf, und die Veränderung zwischen der Größe von beliebigen zwei benachbarten Formen ist von der Größenveränderung zwischen beliebigen anderen zwei benachbarten Formen verschieden.
  • Diese Erfindung stellt auch ein Kalibrierungssystem zur Verfügung, das ein Kalibrierungsartefakt und einen Softwarealgorithmus beinhaltet. Das Artefakt beinhaltet ein Substrat und mehrere konzentrische Ringe an einer Oberfläche des Substrats. Jeder Ring ist von einer unterschiedlichen vordefinierten Größe, und die Veränderung zwischen der Größe von beliebigen zwei benachbarten Ringen ist von der Veränderung zwischen der Größe von beliebigen anderen zwei benachbarten Ringen verschieden. Der Softwarealgorithmus beinhaltet eine Datenbank, die die Größe jedes Rings und Daten enthält, welche die Größenveränderung zwischen jedem Paar von benachbarten Ringen widerspiegelt.
  • Das Verfahren zur Kalibrierung eines Bildverarbeitungs-Messsystems umfasst das Anordnen eines Kalibrierungsartefakts, das zumindest einen Ring mit einem inneren und einem äußeren Rand beinhaltet, unter einer Kamera des Bildverarbeitungs-Messsystems; das Wählen eines Vergrößerungsgrads; das Messen der Größe des äußeren Rands des Rings in Pixel; das Messen der Größe des inneren Rands des Rings in Pixel; und das Mitteln der gemessenen Größe des äußeren Rands des Rings und des inneren Rands des Rings.
  • Die Erfindung bietet den Vorteil, dass der Kalibrierungsvorgang weniger kompliziert, weniger zeitraubend, und weniger fehleranfällig ist.
  • Die Erfindung bietet den Vorteil, dass das Kalibrierungsartefakt die Ausführung eines weitgehend automatisierten Kalibrierungsvorgangs gestattet.
  • Die Erfindung bietet den Vorteil, dass das Erfordernis beseitigt wird, dass der Techniker das Kalibrierungsartefakt beim Kalibrieren eines Bildverarbeitungs-Messsystems jedes Mal neu anordnen muss, wenn ein unterschiedlicher Vergrößerungsgrad gewählt wird.
  • Die Erfindung bietet den Vorteil, dass die Notwendigkeit für den Techniker entfällt, den Durchmesser jedes Kreises auf dem Artefakt einzugeben, wenn sich der Vergrößerungsgrad ändert.
  • Die Erfindung bietet den Vorteil, dass die Auswirkungen eines Überstrahlens und eines Über- oder Unterätzens beseitigt werden.
  • Andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile ergeben sich für den Fachmann aus der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform und den beiliegenden Zeichnungen, wobei
  • 1 eine schematische Ansicht ist, die die Hauptbestandteile zeigt, die mit einem typischen Bildverarbeitungs-Messsystem verbunden sind;
  • 2 eine schematische Ansicht eines typischen Kalibrierungsartefakts des Stands der Technik zum Kalibrieren des in 1 gezeigten Bildverarbeitungs-Messsystem ist;
  • 3 ein Ablaufdiagramm ist, das die Hauptschritte darstellt, die mit dem Kalibrieren des in 1 gezeigten Bildverarbeitungs-Messsystems unter Verwendung des in 2 gezeigten Kalibrierungsartefakts verbunden sind;
  • 4 eine schematische Ansicht des Kalibrierungsartefakts der vorliegenden Erfindung ist;
  • 5 ein Ablaufdiagramm ist, das die Hauptschritte darstellt, die mit dem Kalibrieren des in 1 gezeigten Bildverarbeitungs-Messsystems unter Verwendung des in 4 gezeigten Kalibrierungsartefakts verbunden sind;
  • 6 eine Ansicht eines Abschnitts des Bildschirms des in 1 gezeigten Bildverarbeitungs-Messsystems ist, wenn das Artefakt von 4 nach dem in 5 dargestellten Kalibrierungsprogramm verwendet wird;
  • 7 eine Ansicht eines Abschnitts der Nachschlagetabelle oder der Datenbank ist, die mit dem Kalibrierungssoftwarealgorithmus der vorliegenden Erfindung verbunden ist;
  • 8 ein Ablaufdiagramm ist, das die Hauptschritte darstellt, die mit dem Pixelgrößenunterprogramm der vorliegenden Erfindung verbunden sind; und
  • 9 eine Draufsicht auf die bevorzugte Ausführungsform des Kalibrierungsartefakts der vorliegenden Erfindung ist.
  • Das Bildverarbeitungs-Messsystem 10, 1, beinhaltet eine Videokamera 12, die über einem X-Y-Verschiebungsmechanismus 14 platziert ist, auf dem ein flaches Teil 16 angeordnet ist. In einigen Ausführungsformen verwendet das Bildverarbeitungs-Messsystem keinen X-Y-Verschiebungsmechanismus. Das Teil 16 beinhaltet zum Beispiel Bohrungen 18, 20 und 22, die gemessen werden müssen, bevor das Teil 16 von der Fabrik oder vom Maschinengeschäft versandt wird. Ein Computer 30 und ein optionaler Computer 32 erhalten Informationen von der Kamera 12. Eine Steuerung 34 kann verwendet werden, um den X-Y-Tisch 14 durch Verwendung eines Steuerknüppels 36 zu steuern. In anderen Ausführungsformen wird der Teil nicht bewegt und wird keine Steuerung oder kein X-Y-Verschiebungsmechanismus benötigt. Ein Bildschirm 36 des Computers 30 zeigt die Bohrung 20 an, und die Messsoftware, die sich im Computer 30 befindet, misst den Durchmesser der Bohrung 20 automatisch und stellt den Durchmesser in einigen Ausführungsformen auf einem Bildschirm 40 dar.
  • Durch Wählen eines (nicht gezeigten) Menüsymbols kann der Vergrößerungsgrad der Kamera 12 verändert werden, um sowohl große als auch kleine Merkmale des Teils 16 zu sehen und zu messen.
  • Wie im obigen Abschnitt bezüglich des allgemeinen Stands der Technik besprochen, wird das Kalibrierungsartefakt 60, 2, beim Stand der Technik verwendet, um das System 10 zu kalibrieren. Das Artefakt 60 beinhaltet beabstandete metallische Kreise und Quadrate von bekannter Größe, die auf die obere Fläche eines Glassubstrats 62 geätzt sind. Das Artefakt 60 weist ungefähr die Größe eines typischen Mikroskopobjektträgers auf. Der Kreis 64 kann einen Durchmesser von 5 mm aufweisen, während der kleinste Kreis (der für das bloße Auge unsichtbar ist) einen Durchmesser von nur 0,01 mm aufweisen kann. Neben jedem Kreis ist sein Durchmesser aufgedruckt, so dass der Kalibrierungstechniker den Durchmesser des Kreises als Eingabe in die Kalibrierungssoftware eingeben kann.
  • Beim Stand der Technik wird die Kalibrierung wie folgt ausgeführt. Zuerst ordnet der Techniker das Artefakt 60, 2, auf dem Tisch 14 unter der Kamera 12 an und wählt einen Vergrößerungsgrad, Schritt 80, 3. Der Benutzer ordnet das Artefakt 60, 2, dann so an, dass der größte Kreis auf dem Artefakt, der durch die Kamera 12 abgebildet werden kann, auf dem Bildschirm 36, 1, dargestellt wird, Schritt 82, 3.
  • In Schritt 84, 3, liest der Techniker den Durchmesser des Kreises vom Artefakt ab und gibt diese Ablesung als Eingabe in das Kalibrierungsprogramm, das am Computer 32, 1, tätig ist, ein. In Schritt 86 kalibriert das Kalibrierungsprogramm der Messsoftware, die sich im Computer 32 (und/oder im Computer 30) befindet, dann automatisch die Pixelgröße für den Bildschirm 36 für den Vergrößerungsgrad, der in Schritt 80 gewählt wurde.
  • Das Bildverarbeitungs-Messsystem 10, 1, des Stands der Technik, die Messsoftware und ihre zugehörigen Kalibrierungsprogramme, und das Artefakt 60, 2, sind von einer Anzahl verschiedener Firmen einschließlich der Anmelderin der vorliegenden Anmeldung erhältlich.
  • Wie oben erklärt, weist das Artefakt 60 gemäß dem Stand der Technik und das in 3 gezeigte Kalibrierungsverfahren, das mit dessen Verwendung verbunden ist, eine Reihe von Nachteilen auf. Erstens müssen die Schritte 82 bis 86 von 3 für jeden Vergrößerungsgrad wiederholt werden, der in Schritt 80 gewählt wird. Daher ist das Verfahren gemäß dem Stand der Technik ein mühsamer und zeitraubender Vorgang, der fehleranfällig ist, wenn der Techniker eine unrichtige Abmessung eingibt.
  • Bei der vorliegenden Erfindung werden diese Nachteile, die mit dem Stand der Technik verbunden sind, durch die Verwendung eines neuen Artefakts 100, 4, überwunden.
  • Das Artefakt 100 (das ebenfalls ungefähr die Größe eines Mikroskopobjektträgers aufweist) umfasst ein Glassubstrat 62. Doch anstelle einer Anzahl von beabstandeten Kreisen mit unterschiedlichem Durchmesser weist das Substrat 62 mehrere (z.B. acht) konzentrische Ringe 10 auf, die typischerweise durch Bilden eines Musters von siebzehn Kreisen, die abwechselnd gefüllt werden, was zu einem zentralen inneren Kreis und acht konzentrischen Kreisen von zunehmendem Durchmesser führt; diese sind auf der Oberfläche 104 aufgebracht oder in diese hineingeätzt.
  • Jeder Ring weist einen unterschiedlichen Durchmesser auf. Zum Beispiel kann der größte Ring einen Durchmesser von 12,0154 mm und der kleinste Ring einen Durchmesser von 0,01 mm aufweisen.
  • Bei der vorliegenden Erfindung ist die Veränderung zwischen dem Innen- oder Außendurchmesser von beliebigen zwei benachbarten Ringen von der Veränderung zwischen dem Durchmesser von beliebigen anderen zwei benachbarten Ringen verschieden. Als erläuterndes Beispiel ist der Größenunterschied zwischen den beiden größten Kreisen somit 12,015 : 9,328 oder 129%, während der Größenunterschied zwischen den nächsten beiden kleineren Kreisen 9,328 : 7,140 oder 131% ist. Der Größenunterschied zwischen den beiden kleinsten Kreisen ist 0,025 : 0,010 oder 250%, und der Größenunterschied zwischen den nächsten beiden größeren Ringen ist 0,0523 : 0,025 oder 208%.
  • Da des Verhältnis der Größenveränderung zwischen beliebigen zwei benachbarten Ringen eine dimensionslose Zahl ist, und da die Größenveränderung zwischen jedem beliebigen Paar von benachbarten Ringen von vornherein immer unterschiedlich ist, können die Daten der Größenveränderung verwendet werden, um das Bildverarbeitungs-Messsystem 10, 1, schneller und automatischer zu kalibrieren.
  • Das speziell gestaltete Artefakt 100, 4, wird gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren und einem wie im Ablaufdiagramm von 5 gezeigten neuen Kalibrierungsunterprogramm verwendet.
  • In Schritt 120 werden die konzentrischen Kreise des Artefakts 100, 4, unter der Kamera 12, 1, angeordnet. Der Benutzer wählt als nächstes den Vergrößerungsgrad, Schritt 122, und beginnt das Kalibrierungsprogramm, um die Pixelgröße zu berechnen, Schritt 124.
  • Wie in 6 gezeigt ist der gewählte Vergrößerungsgrad ziemlich gering, so dass der zweit- und der drittgrößte Ring auf dem Bildschirm 36, 1, erscheinen. Der größte Ring, der Ring 127, der einen Durchmesser von 12,010 mm aufweist, kann durch die Kamera 12 nicht vollständig abgebildet werden. Der Ring 126 (der vollständig abgebildet werden kann) weist einen Durchmesser von 9,328 mm auf, und der Ring 128 weist einen Durchmesser von 7,140 mm auf, jedoch muss diese Information dem Techniker nicht bekannt sein und muss nicht als Eingabe in die Kalibrierungssoftware eingegeben werden.
  • Statt dessen misst die Kalibrierungssoftware automatisch den größten Ring 126 (in Pixel), Schritt 160, 8, und misst sie automatisch den nächsten kleineren benachbarten Ring 128, 6, (in Pixel), Schritt 162, 8. Aus Genauigkeitsgründen werden die größten Ringe, die bei einem gegebenen Vergrößerungsgrad durch die Kamera abgebildet werden können, für die Messung gewählt, da beim gewählten Vergrößerungsgrad die größten Ringe, die gesehen werden können, wie in 6 gezeigt die meisten Pixel unterbringen werden.
  • Als nächstes wird das Verhältnis der Pixelgrößen der Ringe 126 und 128, 6, berechnet, Schritt 164, 8. In diesem Fall beträgt das Verhältnis 400 : 305,3 oder 131%.
  • Da dieses Verhältnis eine dimensionslose Zahl ist und die Größenveränderung zwischen zwei benachbarten Ringen widerspiegelt, kann das Verhältnis dann durch die Kalibrierungssoftware genau verwendet werden, um die Größe des Rings 126 zu bestimmen, da, wie oben beschrieben, keine zwei benachbarten Ringe die gleiche Größenveränderung aufweisen. Daher wird das berechnete Verhältnis in Schritt 166, 8, mit den Verhältnissen verglichen, die in der Nachschlagetabelle oder Datenbank 200, 7, gespeichert sind, welche als Teil der Kalibrierungssoftware programmiert ist und Durchmesserinformationen für jeden Ring, in diesem Beispiel die Größe des Rings 126, 6, beinhaltet.
  • Dann wird das Kalibrierungsprogramm gemäß dem Stand der Technik begonnen, Schritt 170, 8, und der Techniker wählt danach den nächsten Vergrößerungsgrad, Schritt 122, 5.
  • Auf diese Weise muss der Techniker das Kalibrierungsartefakt niemals neu anordnen, und muss er niemals die Größe irgendeines Rings eingeben, wodurch die Schritte 82 bis 84, 3, der Methodologie des Stands der Technik, die das Artefakt 60, 2, des Stands der Technik verwendet, beseitigt werden. Statt dessen wird das Artefakt 100, 4, einmal unter der Kamera angeordnet und der Techniker wählt dann einfach verschiedene Vergrößerungsgrade, wie bei den Schritten 122 bis 124, 5, gezeigt ist.
  • Im äußerst vereinfachten Beispiel, das in 6 und 7 gezeigt ist, nimmt der Ring 126 400 Pixel ein, der Ring 128 305,3 Pixel. Daher beträgt das Verhältnis in Schritt 164 1,31. Doch dies ist auch das Verhältnis des tatsächlichen Durchmessers des Rings 128 im Vergleich zum tatsächlichen Durchmesser des Rings 126 (9,328 : 7,140). Solange keine zwei benachbarten Ringe in der Datenbank von Ringgrößen und Verhältnissen die gleiche Größenveränderung wie beliebige andere zwei benachbarte Ringe aufweisen, wird die Kalibrierungssoftware daher stets in der Lage sein, die Größe des größten Rings, der auf den Bildschirm passt, automatisch zu bestimmen und diese Information automatisch als Eingabe an das Kalibrierungsprogramm bereitzustellen, anstatt zu erfordern, dass der Benutzer diese Information wie nach dem Stand der Technik gezeigt in Schritt 86, 3, manuell eingibt. Fachleute werden verstehen, dass sogar der kleinste Ring in 6 viele Pixel einnehmen wird, und dass das Beispiel von 6 daher nur zu Erläuterungszwecken dient.
  • In der bevorzugten Ausführungsform beinhaltet eine Vorlage 100', 9, einen Ringsatz 102 und wie mit 180 und 182 gezeigte zusätzliche Artefakte, die kein Teil der gegenständlichen Erfindung sind. Der Ringsatz 102 könnte jedoch durch konzentrischen Formen von unterschiedlichen Größen ersetzt oder ergänzt werden.
  • Wie im obigen Abschnitt bezüglich des Stands der Technik beschrieben ist, es bei der Verwendung einer Videoeinrichtung zur Vermessung von Gegenständen sehr wichtig, dass die Beleuchtung richtig ist. Es ist möglich, durch Übersättigung des Bilds eine Verzerrung des Bilds einzubringen. Wenn eine derartige Übersättigung auftritt, scheinen die dunklen Teile des Bilds zu schrumpfen und die hellen Teile zu wachsen. Ein Ausdruck dafür lautet "Überstrahlen". Übermäßiges Licht von einem Rand im Bild greift auf dunkle Pixel über, und diese beginnen, als weiß erfasst zu werden. Extreme Fälle einer Überbelichtung werden durch eine Bedienungsperson leicht festgestellt, doch wenn zur Genauigkeit eine Subpixel-Unterteilung erfolgt, können feine Auswirkungen eines Überstrahlens die Messungen ernsthaft beeinflussen. Es ist äußerst wichtig, diese Auswirkungen auf ein Mindestmaß zu verringern, wenn ein System kalibriert wird.
  • Ein Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung, der dazu bestimmt ist, diese Auswirkung auf ein Mindestmaß zu verringern, ist die Verwendung des Ringsatzes 102, 9. Es wird die Größe des äußeren Rands 202 des Rings 204 gemessen, und dann die Größe des inneren Rands 206 des Rings 204 gemessen. Dann wird der Durchschnitt der beiden Messungen verwendet. Wenn ein Überstrahlen die Messung beeinflusst, wird das Ergebnis das Bewegen des äußeren Rands 202 in die entgegengesetzte Richtung der Bewegung des inneren Rands 206 des Rings 204 sein. Das Verwenden der Durchschnittsmessung löscht die Auswirkung des Überstrahlens wirksam aus. Diese Technik funktioniert an dunklen Ringen oder an hellen Ringen, da die Auswirkung die gleiche ist, nur in unterschiedlichen Richtungen.
  • Daher wird in einer anderen Ausführungsform der größte Kreis, der in das Sichtfeld passt, gemessen, und der zweitgrößte Kreis gemessen. Die Ergebnisse werden gemittelt. Als nächstes wird der drittgrößte Kreis gemessen und mit dem zweitgrößten gemittelt. Diese beiden gemittelten Messungen werden dann zum Nachschlagen der Größe und zur tatsächlichen Kalibrierung verwendet.
  • Bei diesem Verfahren besteht noch ein anderer Vorteil, der mit der Herstellbarkeit des Artefakts 100' verbunden ist. Die Verhältnisse, die für die Größe der Ringe verwendet werden, sind keine einfache Progression. Dies liegt daran, dass die Herstellungsveränderlichkeit des Artefakts und die Genauigkeit der Pixelmessungen wie folgt gegeneinander spielen. Wie im obigen Abschnitt bezüglich des allgemeinen Stands der Technik beschrieben ist die Pixelauflösung klein (kann eine Stelle von 10 Mikrometer den Rahmen ausfüllen), wenn die Kreise mit der kleinsten Größe in Verwendung stehen (bei einer hohen Vergrößerung). Die Auswirkung einer um einen Mikrometer abweichenden Herstellung des Artefakts ist viel größer als jene der um ein Pixel abweichenden Messung. Wenn die Pixel andererseits groß sind (geringe Vergrößerung), ist die Auswirkung der um ein Pixel abweichenden Messung viel größer als jene der um einen Mikrometer abweichenden Herstellung. Der Vorteil der Verwendung des Durchschnittsverfahrens ist, dass es auch das typische Problem der Herstellung dieser Art von Artefakten auslöscht. Dieses Problem wird "Über- oder Unterätzung" genannt. Das Muster ist mit hoher Reproduzierbarkeit festgelegt, doch dann wird das Chrom weggeätzt. Wenn das Artefakt zu lange in der Ätz-Lösung belassen wird, werden die Chromkreise an der Außenabmessung kleiner und an der Innenabmessung größer sein. Diese Auswirkung ist dem Überstrahlen sehr ähnlich, und wird durch Verwenden des obigen Messalgorithmus korrigiert.
  • Obwohl bestimmte Merkmale der Erfindung in einigen Zeichnungen gezeigt sind, und in anderen nicht, dient dies nur der besseren Veranschaulichung, da jedes Merkmal mit jedem beliebigen oder allen anderen Merkmalen nach der Erfindung kombiniert werden kann. Außerdem sollen die Worte "beinhalten", "umfassen", "aufweisen" und "mit", wie sie hier verwendet werden, allgemein und umfassend ausgelegt werden, und sind sie nicht auf irgendeine physische Verbindung beschränkt. Überdies sollen jedwede Ausführungsformen, die in der gegenständlichen Anmeldung offenbart sind, nicht als die einzig möglichen Ausführungsformen aufgefasst werden. Daher werden ergeben sich für den Fachmann auch andere Ausführungsformen einfallen, die unter die folgenden Ansprüche fallen.

Claims (7)

  1. Kalibrierungssystem für ein Bildverarbeitungs-Messsystem, wobei das Kalibrierungssystem umfasst: eine Kamera (12); ein Kalibrierungsartefakt (100), das im Sichtfeld der Kamera (12) angeordnet ist, wobei das Kalibrierungsartefakt (100) ein Substrat (62) und mehrere konzentrische Ringe (126, 127, 128; 204) an einer Oberfläche des Substrats (62) beinhaltet, wobei jeder Ring von einer unterschiedlichen vordefinierten Größe ist und die Größenveränderung zwischen jedem benachbarten Paar von Ringen (126, 127, 128; 204) unterschiedlich ist; eine Datenbank mit gespeicherten Daten hinsichtlich der Größe jedes Rings (126, 127, 128; 204) und der Größenveränderung zwischen jedem benachbarten Paar von Ringen (126, 127, 128; 204); Mittel, um einen Vergrößerungsgrad zu wählen; Mittel, um die Größe eines allergrößten Rings (127; 204) in Pixel zu messen; Mittel, um die Größe eines zweitgrößten Rings (126) in Pixel zu messen; Mittel, um die Größen zu vergleichen; und Mittel, um aus dem Vergleich und den gespeicherten Daten in der Datenbank den tatsächlichen Innen- oder Außendurchmesser eines dieser Ringe (126, 127; 204) zu bestimmen; ein Mittel, um das Wählen eines Vergrößerungsgrads für verschiedene Vergrößerungsgrade zu wiederholen.
  2. Kalibrierungssystem nach Anspruch 1, wobei jeder Ring (126, 127, 128; 204) des Kalibrierungsartefakts (100) einen inneren Rand und einen äußeren Rand (202, 206) aufweist.
  3. Kalibrierungssystem nach Anspruch 1, wobei die Ringe (126, 127, 128; 204) an der Oberfläche des Substrats (100) angeordnet sind oder in diese geätzt sind.
  4. Verfahren zur Kalibrierung eines Bildverarbeitungs-Messsystems, wobei das Verfahren umfasst: Anordnen eines Kalibrierungsartefakts (100), das eine Reihe von konzentrischen Ringen (126, 127, 128; 204) beinhaltet, im Sichtfeld einer Kamera (12) des Bildverarbeitungs-Messsystems, wobei die Größenveränderung zwischen jedem benachbarten Paar von Ringen (126, 127, 128; 204) unterschiedlich ist; Speichern von Daten hinsichtlich der Größe jedes Rings (126, 127, 128; 204) und der Größenveränderung zwischen jedem benachbarten Paar von Ringen (126, 127, 128; 204) in einer Datenbank; Wählen eines Vergrößerungsgrads; Messen der Größe eines allergrößten Rings (127; 204) in Pixel; Messen der Größe eines zweitgrößten Rings (126) in Pixel; Vergleichen der Größen; und Bestimmen, aus dem Vergleich und den gespeicherten Daten in der Datenbank, des tatsächlichen Innen- oder Außendurchmessers eines dieser Ringe (126, 127; 204); Wiederholen des Verfahrens für verschiedene Vergrößerungsgrade.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, ferner beinhaltend das Bestimmen eines ersten Durchschnitts der gemessenen Größe des allergrößten Rings (127; 204) in Pixel und der gemessenen Größe des zweitgrößten Rings (126) in Pixel, wobei der Schritt des Bestimmens eines ersten Durchschnitts der Ringe (127, 126; 204) das Messen der inneren und der äußeren Ränder (202, 206) der Ringe (127, 126; 204) und das Mitteln der gemessenen Größen umfasst.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, ferner beinhaltend das Messen der Größe eines drittgrößten Rings (128) in Pixel und das Bestimmen eines zweiten Durchschnitts der gemessenen Größe des drittgrößten Rings (128) in Pixel und der gemessenen Größe des zweitgrößten Rings (126) in Pixel, wobei der Schritt des Bestimmens eines zweiten Durchschnitts der Ringe das Messen der inneren und der äußeren Ränder der Ringe und das Mitteln der gemessenen Größen umfasst.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei das Vergleichen das Verwenden des ersten und des zweiten Durchschnitts beinhaltet.
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